專利名稱：熔融金屬供給筒、內(nèi)置了該供給筒的熔融金屬供給裝置和熔融金屬供給方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及熔融焊錫、銦等低熔點(diǎn)金屬材料并供給到玻璃、陶瓷、金屬等部件的熔 融金屬的供給筒、內(nèi)置了該供給筒的熔融金屬供給裝置和熔融金屬供給方法。
背景技術(shù)：
圖51(a)、(b)中示出了構(gòu)成圖像顯示裝置的真空容器或多層玻璃(即雙層玻璃) 的玻璃嵌板。玻璃嵌板W具有一對玻璃基板w3和w4，通過間隙保持部件Q(例如玻璃球或 樹脂球等)相對設(shè)置主面Sl和S2使得在厚度方向形成尺寸為g的間隙；和接合部η。在 該玻璃基板《3和w4間隙外周部分(下面稱為外周間隙)k上同時(shí)接合主面Sl和S2，密封 該外周間隙k形成氣密室。該接合部η通過現(xiàn)有的玻璃熔塊形成。但是近年來基于高氣密 性或低脫氣性等提高密封品質(zhì)的觀點(diǎn)考慮，例如提出了用銦或焊錫等低熔點(diǎn)金屬來形成的 方式。再有，下面以玻璃嵌板的制造技術(shù)為例進(jìn)行說明，但是不限定本發(fā)明的適用對象。構(gòu)成所述多層玻璃或真空容器的玻璃嵌板經(jīng)過如下所述的工序進(jìn)行制造。(1)準(zhǔn) 備矩形的2片玻璃基板w3、w4。(2)在一個(gè)或兩個(gè)玻璃基板的接合面上，沿外周緣成框狀提 供熔融了銦或焊錫等低熔點(diǎn)金屬材料的熔融金屬，形成接合部。(3)確定位置使得玻璃基板 w3、w4的接合面彼此相對。(4)重合玻璃基板w3和w4，通過接合部接合2片玻璃基板w3和 w4。上述O)的熔融金屬供給工序所涉及的技術(shù)已在專利文獻(xiàn)1和非專利文獻(xiàn)1中公 開。在專利文獻(xiàn)1中公開了，為了在構(gòu)成圖像顯示裝置的真空容器的前面基板和背面基板 (任何一個(gè)都是玻璃基板)的接合面上形成由直接或間接接合的該前面基板和背面基板的 金屬密封材料(在本說明書中相當(dāng)于低熔點(diǎn)金屬材料)所構(gòu)成的接合部件，而在向該接合 面施加超聲波的同時(shí)涂布熔融金屬密封材料的裝置。另外，在非專利文獻(xiàn)1中公開了以&1、 Al,Si,Ti等易氧化元素提高I^b-Sn系焊錫和玻璃基板的接合性為著眼點(diǎn)，使用含有這些易 氧化元素的1種以上的I^b-Sn系焊錫作為接合材料，直接接合玻璃基板等具有氧化表面的 被接合體的技術(shù)，以及通過向熔融焊錫和玻璃基板的接觸界面上施加超聲波振動除去存在 于該接觸界面上的氣泡，改善焊錫與玻璃基板的接合性的超聲波焊接技術(shù)。這樣在玻璃基板上涂布熔融的低熔點(diǎn)金屬材料(以下沒有特別事先限定在本說 明書中將“熔融的低熔點(diǎn)金屬材料”稱為“熔融金屬”)時(shí)施加超聲波時(shí)，就通過超聲波除去 在玻璃基板的表面上存在的氣泡或異物，具有提高玻璃基板與接合部件的接合界面的接合 性的優(yōu)點(diǎn)。但是，一般金屬材料無論是固相還是液相在大氣中都容易發(fā)生氧化，在表面產(chǎn)生 氧化物。此時(shí)在大氣中保管的固相低熔點(diǎn)金屬材料也同樣，熔融該材料形成接合部時(shí)，在其 表面上生成的氧化物直接存在于接合部與玻璃基板的接合面之間，或混入到熔融金屬中。 并且，混入的氧化物成為玻璃基板與接合部的界面缺陷及接合部的內(nèi)部缺陷的起因，導(dǎo)致 接合部的氣密性、玻璃基板與接合部的界面強(qiáng)度以及接合部本身的強(qiáng)度等變差的問題。尤其是，如專利文獻(xiàn)1和非專利文獻(xiàn)1所涉及的技術(shù)，在利用超聲波振動形成接合部件的情況 下，由于混入到熔融金屬中的氧化物被超聲波振動所攪拌，所以上述問題顯著地暴露出來。在專利文獻(xiàn)2、3中記載了解決上述問題的例子。在專利文獻(xiàn)2中公開了下述結(jié) 構(gòu)，為了提供能夠抑制金屬材料氧化物的產(chǎn)生，穩(wěn)定地進(jìn)行金屬材料與板玻璃的接合以及 采用此法的氣密密封的玻璃嵌板的制造方法，通過在隔著間隙上下相對設(shè)置一對板玻璃的 同時(shí)，從儲存的熔融金屬材料表面所接觸的氣氛為惰性氣體氣氛狀態(tài)的儲存部，向外周間 隙中供給并填充熔融金屬材料，從而接合板玻璃之間，氣密地密封間隙。在專利文獻(xiàn)3中公開了以下結(jié)構(gòu)，為了提供一種填充熔融的金屬密封材料，盡管 是在大氣中進(jìn)行的，仍可通過抑制金屬密封材料表面上生成氧化膜，實(shí)現(xiàn)提高金屬密封材 料的密封面的浸潤性，可以完全密封的圖像顯示裝置的制造方法和密封材料填充裝置，該 裝置具有支撐臺，其對具有密封面的被密封物進(jìn)行定位和支撐；密閉的儲存部，儲留儲存 熔融的金屬密封材料；管嘴，其將從儲存部送來的熔融金屬密封材料填充到上述密封面上； 填充頭，其具有向管嘴的前端面和其周邊提供穩(wěn)定氣體從而形成穩(wěn)定氣體氣氛的氣體供給
直ο與上述工序O)中相關(guān)的其他技術(shù)在專利文獻(xiàn)4中公開了。在專利文獻(xiàn)4中公開 了，在使用金屬供給筒的熔融焊錫的填充方法中，即使在一對板玻璃的間隙尺寸小的情況 下，為了抑制熔融焊錫的漏出并可靠地填充外周間隙，而將排出口與板玻璃的端面之間形 成的間隙的距離設(shè)定為板玻璃的間隙尺寸的10倍以下的熔融焊錫的填充方法，其中金屬 供給筒包括排出口，排出儲存的熔融金屬材料(熔融焊錫)；導(dǎo)入板，設(shè)置在排出口的中央 部，將熔融焊錫從排出口導(dǎo)入到外周間隙。根據(jù)這樣的專利文獻(xiàn)4的填充方法，即使在板玻 璃的間隙小的情況下，也可以抑制熔融焊錫擴(kuò)展到預(yù)定之外的范圍內(nèi)，同時(shí)可以向外周間 隙中填充熔融焊錫。專利文獻(xiàn)5中公開了與上述工序( 相關(guān)的另一種技術(shù)。在專利文獻(xiàn)5中記載了 一種玻璃嵌板的制造方法，在一對玻璃板之間設(shè)置墊片從而形成間隙，將熔融的單一金屬 材料填充到間隙的邊緣部上從而直接接合一對玻璃板和金屬材料，氣密密封間隙。在該方 法中，為了向一對玻璃板的外周間隙中供給熔融的金屬材料，將導(dǎo)入熔融金屬材料的板狀 或棒狀導(dǎo)向件的至少一部分插入到外周間隙中。并且，在專利文獻(xiàn)5中記載了，在狹窄的外周間隙的情況下，困難的金屬材料的導(dǎo) 入可在上述導(dǎo)向件的促進(jìn)下而變得容易，而且導(dǎo)入速度變快，所以金屬材料與玻璃基板的 直接接合容易形成。另外，記載了通過根據(jù)外周間隙適當(dāng)設(shè)定上述導(dǎo)向件的大小和形狀，從 而能夠向外周間隙中可靠地填充熔融金屬材料。而且在專利文獻(xiàn)5中還記載了一種玻璃嵌板的制造方法，在一對玻璃板的大小彼 此不同、一個(gè)玻璃板的端部邊緣超出另一個(gè)玻璃板的端部邊緣而突出的玻璃嵌板的制造方 法中，通過使熔融錫焊利用毛細(xì)管現(xiàn)象從一個(gè)玻璃板的突出部分向外周間隙浸透，將熔融 焊錫填充到外周間隙中。在專利文獻(xiàn)5中記載了，毛細(xì)管現(xiàn)象是通過向熔融焊錫或玻璃板 的至少一個(gè)施加振動，從而使熔融焊錫向玻璃板的浸潤性提高而產(chǎn)生的。除此之外，專利文獻(xiàn)5的實(shí)施例14中記載了具體的焊錫供給裝置。該焊錫供給裝 置構(gòu)成為，向準(zhǔn)備與金屬材料接合的主面之間形成0. 2mm的間隙這樣設(shè)置的2片玻璃板的 外周間隙中，通過內(nèi)徑3mm的導(dǎo)管從焊錫熔融槽通過自重送入熔融焊錫，將安裝在導(dǎo)管前端厚度為0. 15mm的金屬板狀導(dǎo)向件從外周間隙中插入約5mm，沿玻璃板的外周邊緣向外周 間隙中填充熔融焊錫。并且，記載了通過該焊錫供給裝置，利用熔融焊錫實(shí)施的外周間隙的 密封寬度是從玻璃板的外周邊緣約5mm，密封測試、傳熱系數(shù)測定、鉛溶出試驗(yàn)、氧含有率的 測定結(jié)果沒有問題?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 特開2002-184313號公報(bào)專利文獻(xiàn)2 特開2002-255591號公報(bào)專利文獻(xiàn)3 特開2005-331673號公報(bào)專利文獻(xiàn)4 特開2002-167245號公報(bào)專利文獻(xiàn)5 :W000/58234號公報(bào)非專利文獻(xiàn)非專利文獻(xiàn)1 日經(jīng)電子，1976. 10. 18發(fā)行，92頁-113頁

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題[第1問題]上述專利文獻(xiàn)2、3中記載的技術(shù)都是在非氧化氣氛中對熔融金屬進(jìn)行動作的，具 有下述優(yōu)點(diǎn)能夠抑制低熔點(diǎn)金屬材料的熔融過程和熔融金屬的供給過程中氧化物的生 成，進(jìn)而能夠抑制由這些過程中產(chǎn)生的氧化物引起的缺陷的生成。但是，已經(jīng)存在于固相低 熔點(diǎn)金屬材料表面上的氧化物即使如專利文獻(xiàn)2、3中的技術(shù)那樣在非氧化氣氛中進(jìn)行動 作，也難以完全將其除去，由于混入到熔融金屬中，所以不能完全消除專利文獻(xiàn)1以及非專 利文獻(xiàn)1所擔(dān)憂的問題。而且，上述非專利文獻(xiàn)1中所例示的是一種折中方案，一方面，在將 含有易氧化元素的結(jié)合材料直接結(jié)合到具有氧化表面的被接合體上的情況下，為了確保氧 化表面與接合材料之間的接合性，需要存在規(guī)定量的氧；另一方面，該氧使熔融的接合材料 進(jìn)一步氧化，其結(jié)果是產(chǎn)生了在接合材料與被接合體之間產(chǎn)生氧化膜從而損害接合性。該 問題不能通過在非氧化氣氛中進(jìn)行各種動作的專利文獻(xiàn)2、3的技術(shù)來解決。本發(fā)明的第1目的是通過比現(xiàn)有技術(shù)所涉及的結(jié)構(gòu)更簡單的結(jié)構(gòu)，提供能夠抑制 在熔融并供給固相的低熔點(diǎn)金屬材料時(shí)氧化物混入到熔融金屬中的熔融金屬的供給筒、通 過使用該供給筒而在抑制氧化物的混入的同時(shí)供給熔融金屬的熔融金屬的供給裝置和供 給方法。[第2問題]本發(fā)明正是鑒于上述專利文獻(xiàn)4、5中記載的現(xiàn)有技術(shù)而提出來的，第2目的是提 供在向彼此主面隔著間隙設(shè)置的一對被接合材料即板狀體的外周間隙中供給熔融金屬時(shí)， 對現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)行了改進(jìn)的熔融金屬的供給筒、內(nèi)置了該供給筒的熔融金屬的供給裝置以及 熔融金屬的供給方法。[第3問題]通過向一對板玻璃的外周間隙中填充熔融焊錫而形成接合部時(shí)，如專利文獻(xiàn)4中 所記載的，需要事先將熔融焊錫的排出口與板玻璃的端面隔開一定的距離。在該情況下，由于能夠從排出口與板玻璃的端面間形成的間隙中充滿的狀態(tài)下填充熔融焊錫，所以熔融 焊錫從該間隙漏出，如圖51(b)所示，不僅在板玻璃w3、w4的外周間隙中填充了熔融焊錫， 而且在板玻璃w3、w4的端面上熔融焊錫nl也形成附著狀態(tài)。從該排出口與板玻璃的端面 間形成的間隙漏出的熔融焊錫量增加時(shí)，附著到端面上的熔融焊錫nl高高隆起，嚴(yán)重情況 下有時(shí)會從板玻璃w4的端面流下。這樣的玻璃嵌板不僅外觀不好，而且恐怕會損害其安裝 性。另外，泄漏到承載板玻璃的部件的承載面上的熔融焊錫落下時(shí)，會產(chǎn)生該熔融焊錫污染 玻璃板《4的本該潔凈的表面這樣的質(zhì)量問題、向承載部件上承載下一塊板玻璃w4的情況 下高度方向的定位精度變差這樣的批量生產(chǎn)方面的問題。該問題可以通過實(shí)現(xiàn)熔融焊錫的排出口與板玻璃的端面間形成的間隙恰當(dāng)化、或 者熔融焊錫的供給量的恰當(dāng)化來解決，但是一個(gè)一個(gè)地確定具有各種各樣形態(tài)的玻璃嵌板 的恰當(dāng)?shù)臈l件在批量生產(chǎn)時(shí)非常困難，成本變高。本發(fā)明的第3目的是提供在向彼此主面隔著間隙設(shè)置的一對被接合材料即板狀 體的外周間隙中供給熔融金屬時(shí)，熔融金屬難以附著到板狀體的端面上的熔融金屬的供給 筒、內(nèi)置了該供給筒的熔融金屬的供給裝置以及熔融金屬的供給方法。[第4問題]除了上述第3問題，如圖51(d)所示在一對玻璃板的大小彼此不同、一個(gè)玻璃板的 端部邊緣超出另一個(gè)玻璃板的端部邊緣而突出的情況下，采用利用專利文獻(xiàn)5中記載的毛 細(xì)管現(xiàn)象將熔融焊錫導(dǎo)入到外周間隙中的方法時(shí)，熔融焊錫從板玻璃w4的端面流下的擔(dān) 心少了，但是如圖51(d)所示，出現(xiàn)熔融焊錫π2大量漏出到玻璃板w4的突出部分的狀態(tài)。 而且，如專利文獻(xiàn)5的實(shí)施例1中所記載的，接合部η的寬度為2. 5-4mm時(shí)存在接合寬度不 穩(wěn)定的問題。本發(fā)明的第4目的是提供在向彼此的主面隔著間隙設(shè)置的一對被接合材料即板 狀體的外周間隙中供給熔融金屬時(shí)，熔融金屬難以附著到板狀體的端面上的熔融金屬的供 給筒、內(nèi)置了該供給筒的熔融金屬的供給裝置以及熔融金屬的供給方法，特別是在一對玻 璃板的大小彼此不同、一個(gè)玻璃板的端部邊緣超出另一個(gè)玻璃板的端部邊緣而突出的情況 下，熔融金屬難以漏出到突出部分，能夠向外周間隙中以一定的寬度穩(wěn)定地供給熔融金屬 的熔融金屬的供給筒、內(nèi)置了該供給筒的熔融金屬的供給裝置以及熔融金屬的供給方法。[第5問題]在將專利文獻(xiàn)5中記載的導(dǎo)向件插入到外周間隙中來填充熔融金屬材料的情況 下，通過使熔融金屬材料在導(dǎo)向件與玻璃基板之間形成的間隙中流動填充到外周間隙中。 但是，導(dǎo)向件與玻璃基板之間的間隙變小時(shí)流體阻力變大，流過該間隙的熔融焊錫變得難 以到達(dá)導(dǎo)向件的前端。此外，由于導(dǎo)向件在相對于供給熔融金屬材料的方向垂直的方向上 移動，所以在導(dǎo)向件與玻璃基板的間隙內(nèi)流過的熔融焊錫的量變得比前端還少。由此，在外 周間隙特別狹小化的情況下，以一定的寬度穩(wěn)定地將熔融金屬材料供給到外周間隙中變得 困難。再有，本發(fā)明者獲得了以下見解，即在使導(dǎo)向件移動的情況下，按熔融焊錫隨著導(dǎo) 向件移動的程度，將導(dǎo)向件與玻璃基板的間隙狹小化，接合部與玻璃板的接合強(qiáng)度會提高， 該間隙的大小具體為0. 01-0. 005mm左右。但是，使用專利文獻(xiàn)5中的導(dǎo)向件使其與玻璃基 板的間隙為0.01-0. 005mm左右時(shí)，存在到達(dá)導(dǎo)向件的前端的熔融焊錫量少，另外其寬度也不穩(wěn)定的問題。此外，由于熔融焊錫的供給不足，還產(chǎn)生了玻璃基板與接合部的接合界面上 呈線狀或點(diǎn)狀空孔缺陷使接合強(qiáng)度降低的問題。本發(fā)明的第5目的是提供在向彼此主面隔著間隙設(shè)置的一對被接合材料即板狀 體的外周間隙中供給熔融金屬時(shí)，能夠以一定的寬度向外周間隙中穩(wěn)定地供給熔融金屬的 熔融金屬的供給筒、內(nèi)置了該供給筒的熔融金屬的供給裝置以及熔融金屬的供給方法。解決問題的手段(1)實(shí)現(xiàn)上述第1目的的權(quán)利要求1中記載的熔融金屬供給筒是熔融并供給固相 低熔點(diǎn)金屬材料的熔融金屬供給筒，其特征在于具有熔融部，其與所述低熔點(diǎn)金屬材料直 接或間接接觸生成熔融金屬；大致管狀的流通通路，其在一端具有形成在所述熔融部中的 第1開口以及在另一端具有第2開口，并使所述熔融部生成的熔融金屬流過；在所述低熔點(diǎn) 金屬材料在被所述熔融部熔融以前/時(shí)，通過氧化物除去部除去所述低熔點(diǎn)金屬材料表層 的氧化物。上述⑴的供給筒起到以下的作用。S卩，固相低熔點(diǎn)金屬材料通過與熔融部接觸 而熔融生成熔融金屬，該熔融金屬從第1開口流入流過流通通路從第2開口流出。其中，由 于流通通路除第1開口和第2開口以外被密閉，所以供給過程中熔融金屬不與大氣接觸，從 而抑制了氧化物的生成，避免氧化物混入到熔融金屬中。而且，由于低熔點(diǎn)金屬材料是在其 表層的氧化物被氧化物除去部除去了之后在熔融部中被熔融的，所以阻止了附著到低熔點(diǎn) 金屬材料表面上的氧化物進(jìn)入到流通通路內(nèi)。再有，本說明書中的“低熔點(diǎn)金屬”指的是例 如可用Sn、In, Zn, Ga等例示的在大概400°C以下的較低溫度下熔融的金屬。(2)在上述⑴的供給筒中，要想防止在除去了氧化物的低熔點(diǎn)金屬材料的表面 上再次生成氧化物，最好是氧化物除去部與熔融部鄰近設(shè)置，最好是將氧化物除去部與熔 融部一體設(shè)置，在低熔點(diǎn)金屬材料熔融時(shí)除去低熔點(diǎn)金屬材料的表層氧化物這的結(jié)構(gòu)。(3)具體地說，在上述O)的供給筒中，第1開口最好在氧化物除去部中開口，該 第1開口的面積小于低熔點(diǎn)金屬材料與熔融部接觸的面積。通過使第1開口的面積小于低 熔點(diǎn)金屬材料與熔融部接觸的面積，低熔點(diǎn)金屬材料以阻塞該第1開口的方式與熔融部接 觸，可使附著到低熔點(diǎn)金屬材料表面上的氧化物在第1開口的外周邊緣部上被除去，阻止 氧化物進(jìn)入到流通通路中。(4)為了避免已被阻止進(jìn)入流通通路中的氧化物通過移動而再次進(jìn)入流通通路 中，最好在上述( 或C3)的供給筒的第1開口的周圍設(shè)置氧化物捕捉部，捕捉氧化物使氧 化物不發(fā)生移動。(5)在上述⑵或(3)的供給筒中，被阻止進(jìn)入流通通路中的氧化物堆積在第1開 口周圍的非開口部，為了避免其再次進(jìn)入流通通路，最好具有從第1開口的周圍排出氧化 物的氧化物排出部。(6)在上述(1)的供給筒中，最好具有以下構(gòu)成氧化物除去部另外單獨(dú)設(shè)置，在 低熔點(diǎn)金屬材料的熔融前除去低熔點(diǎn)金屬材料表層的氧化物。(7)在上述(6)的供給筒中，氧化物除去部可以包括除去低熔點(diǎn)金屬材料表層的 刃部、(8)等離子體照射裝置、或者(9)噴砂裝置。(10)在上述(1)的供給筒中，為了穩(wěn)定而又順滑地供給熔融金屬，最好對流通通 路的表面進(jìn)行提高與熔融金屬的浸潤性的處理。作為該處理，在例如利用焊錫作為低熔點(diǎn)金屬的情況下，可以采用通過電鍍法、CVD、PVD或?yàn)R射法等形成Cr、Al、Mo、W、V、Nb、Ta、Ti
等金屬層的處理。(11)在上述(1)的供給筒中，為了防止熔融金屬的污染，最好對流通通路的表面 進(jìn)行對熔融金屬的防溶蝕處理，以防流通通路表面被流通的熔融金屬溶蝕后成為雜質(zhì)混入 熔融焊錫Ml中。作為該處理，在例如用鋼等構(gòu)成供給筒的情況下，可以采用對流通通路的 表面實(shí)施氮化處理、或者對流通通路的表面進(jìn)行例如TiN等陶瓷的覆蓋處理的裝置。(12)在上述⑴的供給筒中，為了將從第2開口流出的熔融金屬穩(wěn)定地供給到工 件上，最好具有對由熔融部生成的、從第2開口排出的熔融金屬進(jìn)行導(dǎo)向的導(dǎo)向部。再有，從使熔融金屬的供給寬度穩(wěn)定化的角度出發(fā)，最好將導(dǎo)向部安裝在流出熔 融金屬的供給筒的第2開口上，將所需量的熔融金屬可靠地供給到外周間隙中。而且，如在 下述實(shí)施方式中詳細(xì)說明的，在規(guī)定的情況下可抑制從第2開口向外周間隙中供給時(shí)氧化 物混入到熔融金屬中。(13)在上述(12)的供給筒中，在向板狀部件的表面或2片板狀部件的間隙中供給 熔融金屬的情況下，導(dǎo)向部最好大致呈平板狀。(14)在上述(1 的供給筒中，在向工件上形成的空孔中供給熔融金屬的情況下， 導(dǎo)向部最好大致呈柱狀或大致呈筒狀。(15)在上述(12)至(14)的供給筒中，為了使導(dǎo)向部順滑地引導(dǎo)熔融金屬而不間 隙地向工件供給，導(dǎo)向部最好呈前端細(xì)的形狀。(16)在上述(12)至(14)的供給筒中，為了使導(dǎo)向部順滑地引導(dǎo)熔融金屬而不間 隙地向工件供給，最好在導(dǎo)向部內(nèi)形成熔融金屬的導(dǎo)向槽。(17)在上述(1 至(14)的供給筒中，為了除去工件表面上的氣泡或異物，提高工 件表面的活性從而提高熔融金屬對工件表面的浸潤性，最好在導(dǎo)向部上形成與供給熔融金 屬的被供給面相接觸的接觸面。(18)在向彼此的主面隔著間隙設(shè)置的一對板狀體的外周間隙中供給熔融金屬的 上述(1 的供給筒中，為了實(shí)現(xiàn)上述第2目的，導(dǎo)向部最好具有鏝刀部，其具有與一個(gè)板 狀體的主面隔著第1間隙相對的第1平面和與另一個(gè)板狀體的主面隔著第2間隙相對的第 2平面，同時(shí)具有可以插入到一對板狀體的外周間隙中的結(jié)構(gòu)；第一接觸部，其從鏝刀部的 第1平面突起可與一個(gè)板狀體的主面接觸；和/或第2接觸部，其從鏝刀部的第2平面突起 可與另一個(gè)板狀體的主面接觸。若采用該(18)的供給筒，供給到一對板狀體的外周間隙中的熔融金屬通過插入 到該外周間隙中并沿該一對板狀體的外周緣移動的導(dǎo)向部的鏝刀部即可供給到外周間隙 中。在該熔融金屬的供給動作中，導(dǎo)入到在板狀體的各個(gè)主面與鏝刀部的第1平面以及第2 平面之間設(shè)定的第1間隙以及第2間隙中的熔融金屬，通過鏝刀部沿板狀體的外周緣的移 動，涂布到被鏝刀部按壓的板狀體的各個(gè)主面上。由于通過該涂布動作施加了流動性的熔 融金屬，在促進(jìn)主面的活性從而提高熔融金屬與主面的浸潤性的同時(shí)，除去了存在于熔融 金屬與主面的接觸界面上的氣泡或異物，所以能夠提高被接合材料即板狀體與接合部的接 合質(zhì)量。此外，在導(dǎo)向部上設(shè)置的第1接觸部從鏝刀部的第1平面突起，具有可與一個(gè)板狀 體的主面接觸的結(jié)構(gòu)，第2接觸部從鏝刀部的第2平面突起具有可與另一個(gè)板狀體的主面接觸的結(jié)構(gòu)。因此，在上述供給動作中，即使在由于例如確定一對板狀體的位置的機(jī)構(gòu)或使 導(dǎo)向部移動的機(jī)構(gòu)的動作精度的問題使得在外周間隙的厚度方向上鏝刀部相對移動的情 況下，通過使接觸部接觸板狀體的主面，也能夠避免鏝刀部與主面直接接觸，其結(jié)果是可防 止主面的損傷，能夠提高板狀體與接合部的接合質(zhì)量。再有，可以在導(dǎo)向部內(nèi)僅設(shè)置第1接 觸部或第2接觸部，也可以同時(shí)設(shè)置二者，其選擇如上述例示的那樣，可由用來使導(dǎo)向部動 作的外圍設(shè)備的動作精度或由板狀體的組合所產(chǎn)生的外周間隙的尺寸精度等確定。再有，在(18)的供給筒中，優(yōu)選上述(16)的導(dǎo)向槽最好在接觸部上形成。下面 說明其理由。即，作為向外周間隙中供給熔融金屬的方式，可以采用下述構(gòu)成例如在沿一 對板狀體的外周緣移動的導(dǎo)向部的移動方向上，在導(dǎo)向部的前方向外周間隙中供給熔融金 屬，隨后移動來的鏝刀部被供給的熔融焊錫所浸漬。但是，在采用該結(jié)構(gòu)的情況下，由于在 鏝刀部被浸漬之前熔融金屬流入到外周間隙中，所以熔融金屬的供給壓力的改變或熔融金 屬與板狀體的浸潤性的不均使得難以以一定的寬度供給熔融金屬，有可能形成的接合部的 寬度變得不均勻。另外，還存在在外周間隙變得狹窄時(shí)變得不能充分地提供熔融焊錫的情 況。另一方面，在上述優(yōu)選方式中，通過在接觸部中形成的導(dǎo)向槽熔融金屬直接順滑地流入 到鏝刀部中，而且與鏝刀部的浸潤使得熔融金屬浸潤范圍固定在鏝刀部的一定范圍內(nèi)，從 而可以以一定的寬度供給熔融金屬，并且可以使接合部的寬度更加均勻。而且，如下面所詳 細(xì)說明的，在規(guī)定的情況下，能夠起到抑制供給到外周間隙中的熔融金屬的表面上產(chǎn)生的 氧化物的夾渣、提高接合部與板狀體的接合質(zhì)量的效果。(19)在上述(18)的供給筒中，最好采用以下構(gòu)成在將導(dǎo)向部插入到外周間隙中 時(shí)，第1接觸部與一個(gè)板狀體的主面接觸，并且第2接觸部與另一個(gè)板狀體的主面接觸。若 采用該優(yōu)選結(jié)構(gòu)，由于第1接觸部和第2接觸部與一對板狀體的各個(gè)主面一直保持接觸，所 以該第1接觸部和第2接觸部使得導(dǎo)向部成為嵌入到外周間隙中的狀態(tài)。從而，將鏝刀部 的第1平面與一個(gè)板狀體的主面的第1間隙的量由第1接觸部的突起量來規(guī)范，第2平面 與另一個(gè)板狀體的主面的第2間隙的量由第2接觸部的突起量來規(guī)范。由此，由于在上述 供給動作期間，板狀體的各個(gè)主面與鏝刀部的第1間隙以及第2間隙的量一直保持恒定，從 而可一直在相同的狀態(tài)下將熔融金屬涂布到主面上，所以能夠?qū)崿F(xiàn)接合部與板狀體的接合 強(qiáng)度的均勻化，提高接合質(zhì)量。(20)在上述(18)的供給筒中，為了在防止隨著導(dǎo)向部的移動板狀體與接觸部的 滑動所產(chǎn)生的板狀體的損傷的同時(shí)，使接觸部的滑動順利，最好對接觸部的與板狀體主面 的接觸面進(jìn)行提高與板狀體的滑動性的處理。(21)另外，出于相同的目的，最好在接觸部上形成沿插入到導(dǎo)向部的外周間隙中 的方向的凹部，從而減少與板狀體的接觸面積。(22)在上述(18)的供給筒中，在板狀體的各主面上形成的接合部的內(nèi)周部上已 形成布線圖形等的情況下，為了防止接觸部的接觸對布線圖形等的損傷，最好將接觸部設(shè) 置在導(dǎo)向部的向外周間隙插入方向的后端一側(cè)。(23)另外，在板狀體的各主面上形成的接合部的外周部上形成布線圖形等的情況 下，最好將接觸部設(shè)置在導(dǎo)向部的向外周間隙插入方向上的前端一側(cè)。再有，如下述所詳細(xì) 說明的，在規(guī)定的情況下，由設(shè)置在前端側(cè)的接觸部規(guī)范熔融金屬的流動，從而可取得能夠 以高精度規(guī)范接合部寬度的效果。
(24)在上述(18)的供給筒中，最好接觸部具有能夠在外周間隙的厚度方向上彎 曲的彈性。若采用該優(yōu)選方式能夠取得下面的作用，S卩，例如在不能充分確保組裝精度而使 板狀體的外周間隙彎曲的情況下，或者呈直線狀形成外周間隙但是不能充分確保板狀體的 移動機(jī)構(gòu)的行走精度，使得在外周間隙的厚度方向上位置改變的同時(shí)導(dǎo)向部相對非水平地 移動的情況下等，有時(shí)由于導(dǎo)向部的行走路徑與外周間隙的平行度低，所以在上述填充動 作中出現(xiàn)板狀體與導(dǎo)向部接觸的狀態(tài)。但是，若采用上述結(jié)構(gòu)，板狀體首先與第1以及第2 接觸部接觸，沿外周間隙的厚度方向以規(guī)定的力按壓第1以及第2接觸部。由于被按壓的 第1以及第2接觸部通過其彈性發(fā)生彎曲，所以隨著厚度方向上外周間隙的位置改變導(dǎo)向 部上下移動。其結(jié)果是，即使出現(xiàn)上述狀態(tài)，也能夠在防止鏝刀部與板狀體的接觸的同時(shí)， 穩(wěn)定地將熔融金屬填充到外周間隙中。(25)在向彼此的主面隔著間隙設(shè)置的一對板狀體的外周間隙中供給熔融金屬的 上述(12)的供給筒中，為了實(shí)現(xiàn)上述第3目的，將導(dǎo)向部安裝為橫穿第2開口，在被該導(dǎo)向 部分成上側(cè)排出口和下側(cè)排出口的第2開口中，從下側(cè)排出口排出的熔融金屬的量最好比 從上側(cè)排出口排出的熔融金屬的量少。由此由于能夠減少暴露呈向下方開放狀態(tài)的熔融金 屬的量，所以能夠防止板狀體的端面上熔融金屬的隆起或下垂。(26)在上述05)的供給筒中，下側(cè)排出口的面積最好比上側(cè)排出口的面積小。(27)在上述05)的供給筒中，將導(dǎo)向部從第2開口插入到流路內(nèi)規(guī)定的深度， 在被該導(dǎo)向部分成上側(cè)流路和下側(cè)流路的流路中，下側(cè)流路的容積最好比上側(cè)流路的容積 小。(28)在上述05)的供給筒中，最好在從第2開口的中心向下偏置狀態(tài)下將導(dǎo)向部 插入到流通通路中。(29)在上述05)的供給筒中，導(dǎo)向部橫穿第2開口的中心附近插入到流通通路 中，最好在流通通路的比導(dǎo)向部靠下側(cè)的排出口形成面上，安裝使下側(cè)排出口的面積比上 側(cè)排出口的面積小的擋板。(30)在上述05)的供給筒中，導(dǎo)向部橫穿第2開口的中心附近插入到流通通路 中，最好在流通通路的下側(cè)流路內(nèi)形成使下側(cè)流路的容積比上側(cè)流路的容積小的擋板。(31)在向彼此的主面隔著間隙設(shè)置的一對板狀體的外周間隙中供給熔融金屬的 上述(12)的供給筒中，為了實(shí)現(xiàn)上述第4目的，導(dǎo)向部最好安裝在第2開口的下部或者比 第2開口更低處，從而使從該第2開口排出的熔融金屬從導(dǎo)向部的上面流出。這樣，由于從 第2開口排出的熔融金屬僅從導(dǎo)向部的上面流出而不沿下面流動，所以即使是設(shè)置的一對 板狀體下側(cè)呈突出的狀態(tài)，熔融金屬也幾乎不會泄漏到突出部而附著到突出部分上。另外， 即使在兩端一致的一對板狀體中，暴露在向下方開放的狀態(tài)中的熔融金屬的量少，也能夠 防止板狀體的端面上熔融金屬的隆起或下垂。(32)而且，在上述(31)的供給筒中，最好在導(dǎo)向部的前端部上形成將熔融金屬從 上面引導(dǎo)到下面一側(cè)的貫通部。(33)在上述(31)的供給筒中，導(dǎo)向部最好具有與前端部相連的傾斜部，前端部與 傾斜部是成鈍角或直角的彎曲形狀。(34)在上述(31)的供給筒中，導(dǎo)向部最好具有與前端部相連的傾斜部和與傾斜部相連的基端部，前端部與基端部平行或成鈍角，2個(gè)部位呈彎曲的階梯狀形狀。(35)在上述(31)的供給筒中，最好具有在軸向上從第2開口一側(cè)以規(guī)定長度切割 含有流通通路下部的切除面，安裝導(dǎo)向部使其上表面與該切除面接觸，在被切割的流通通 路向?qū)虿康南旅鎮(zhèn)嚷冻龅那闆r下，安裝密封間隙的部件。(36)在上述(31)的供給筒中，最好具有從第2開口一側(cè)的軸向上流通通路不向規(guī) 定長度范圍的下部露出的平面部，安裝導(dǎo)向部使上表面與該平面部接觸。(37)在上述(31)的供給筒中，最好使一對板狀材料中下側(cè)板狀材料的端部邊緣 超出上側(cè)的板狀材料的端部邊緣而突出地上下設(shè)置。(38)在向彼此的主面隔著間隙設(shè)置的一對板狀體的外周間隙中供給熔融金屬的 上述(1 的供給筒中，為了實(shí)現(xiàn)上述第5目的，熔融金屬的供給筒最好具有以下特征在導(dǎo) 向部內(nèi)，朝著該導(dǎo)向部的移動方向的側(cè)部的前端上形成切除部。通過上述結(jié)構(gòu)，能夠使熔融金屬的一部分從導(dǎo)向部的主面上進(jìn)入到切除部的側(cè)面 上，沿該側(cè)面流到導(dǎo)向部的前端，由于沿側(cè)面流動的熔融金屬是在到達(dá)導(dǎo)向部的前端之后 沿前端流動的，所以能夠通過前端的邊緣規(guī)范位置，能夠穩(wěn)定地得到由導(dǎo)向部的長度所限 定的規(guī)定寬度的接合部。另外，由于在導(dǎo)向部的前端側(cè)上熔融金屬的流量增加，所以能夠提 高接合部與板狀體的接合強(qiáng)度。(39)再有，在上述(38)的供給筒中，切除部最好具有相對于導(dǎo)向部的移動方向向 后方傾斜的面。(40)在上述(38)的供給筒中，切除部最好具有相對于導(dǎo)向部的移動方向向后方 傾斜的面；和與該傾斜面順滑連結(jié)的與導(dǎo)向部的移動方向大致平行的面。(41)在上述(38)的供給筒中，切除部最好具有相對于導(dǎo)向部的移動方向向后方 傾斜的面；和與該傾斜面順滑連結(jié)的與導(dǎo)向部的移動方向大致垂直的面。(42)在上述(38)的供給筒中，切除部最好以直線或曲線或它們的組合來形成。(43)在上述(12)至02)的供給筒中，最好對導(dǎo)向部的與熔融金屬接觸的面進(jìn)行 提高與熔融金屬的浸潤性的處理。(44)實(shí)現(xiàn)上述第1目的的權(quán)利要求44中記載的熔融金屬的供給裝置的特征在于 具有上述(1)至^幻中任何一項(xiàng)中記載的熔融金屬的供給筒。(45)再有，在上述04)的供給裝置中，供給筒最好被浮動機(jī)構(gòu)間接地或直接地支 撐。若采用該優(yōu)選方式的供給裝置，由于涂布熔融金屬的工件形狀的偏差或供給筒的姿勢 的偏差等被浮動機(jī)構(gòu)所吸收，所以可以穩(wěn)定地向工件上涂布熔融金屬。(46)實(shí)現(xiàn)上述第1目的的權(quán)利要求46中記載的熔融金屬的供給裝置是內(nèi)置了上 述(1)至(11)中任何一個(gè)的熔融金屬的供給筒的熔融金屬的供給裝置，其特征在于具有 板狀體設(shè)置裝置，將一對板狀體設(shè)置成形成了規(guī)定的間隙的狀態(tài)；和供給筒定位裝置，將供 給筒定位成第2開口與間隙大致連接的狀態(tài)。(47)該方式的供給裝置在以2片矩形的玻璃基板作為板狀體的情況為例進(jìn)行說 明時(shí)取得了下面的作用。首先，通過板狀體設(shè)置裝置將2片玻璃基板設(shè)置成形成規(guī)定間隙 的狀態(tài)。接下來，通過供給筒定位裝置確定上述供給筒的位置使其第2開口與間隙大致連 接。然后，通過供給筒的第2開口向2片玻璃基板的間隙中供給熔融金屬。其中，如上所述 由于供給筒的第2開口被設(shè)置成與2片玻璃基板的間隙大致連接的狀態(tài)，所以通過第2開口供給的熔融金屬不與大氣接觸就充滿了間隙，抑制了熔融金屬供給過程中的氧化。上述 “第2開口與間隙大致連接的狀態(tài)”意味著不僅第2開口與間隙密接的狀態(tài)，而且即使在第 2開口與2片玻璃基板的端面(相對于間隙垂直的面)之間產(chǎn)生空隙而使第2開口與間隙 不完全密接的狀態(tài)下，從第2開口流出的熔融金屬也不從該間隙漏出的程度的狀態(tài)也包含 在本發(fā)明的范圍內(nèi)。(47)實(shí)現(xiàn)上述第2-第5目的的任何一個(gè)的權(quán)利要求47中記載的熔融金屬的供 給裝置是內(nèi)置了上述(1 至^幻中任何一個(gè)的熔融金屬的供給筒的熔融金屬的供給裝 置，其特征在于具有板狀體設(shè)置裝置，將一對板狀體設(shè)置成形成了規(guī)定間隙的狀態(tài)；供給 筒定位裝置，將導(dǎo)向部插入到在一對板狀體之間形成的間隙中。若采用該供給裝置，能夠通 過導(dǎo)向部向板狀體之間的間隙順滑地供給熔融金屬。(48)再有，在上述06)或07)的供給裝置中，第2開口最好具有超過外周間隙 的厚度的口徑。若與上述相同以玻璃基板為例說明該方式的供給裝置的作用，通過第2開 口供給的熔融金屬不僅被供給到玻璃基板之間的間隙中，還涂布到間隙以外的部分，即第2 開口所包含的2片玻璃基板的端面(相對于間隙垂直的面)上。因此，在供給到間隙中的 熔融金屬的外側(cè)上還形成了由熔融金屬所構(gòu)成的毛邊部。因此，該毛邊部成為對大氣的阻 擋層，從而產(chǎn)生了抑制已經(jīng)供給到間隙中的熔融金屬與大氣接觸而發(fā)生氧化的效果。另外， 若采用該結(jié)構(gòu)，還可使熔融金屬還附著到一對板狀體的外周端面上，其結(jié)果是能夠形成具 有覆蓋外周端面的密封功能的接合部，適用于對于接合部要求耐泄漏性的情況。(49)在上述06)或07)的供給裝置中，在從例如玻璃嵌板的安裝性或美觀性方 面出發(fā)不希望在外周端面上形成密封部的情況下，第2開口最好具有小于等于外周間隙的 厚度的口徑。(50)在上述06)或07)的供給裝置中，從與G5)的供給裝置的浮動機(jī)構(gòu)同樣的 觀點(diǎn)出發(fā)，導(dǎo)向部最好由浮動機(jī)構(gòu)間接地或直接地支撐。(51)在(50)的供給裝置中，浮動機(jī)構(gòu)最好采用在與一對板狀體所形成的間隙相 平行的面內(nèi)限制導(dǎo)向部的移動的結(jié)構(gòu)。若采用該優(yōu)選方式，導(dǎo)向部是靠與一對板狀體所形成的間隙相平行的面內(nèi)限制導(dǎo) 向部的移動的浮動機(jī)構(gòu)來支撐的，換言之導(dǎo)向部能夠沿外周間隙的厚度方向或者導(dǎo)向部的 插入軸周圍移動。其結(jié)果是即使在板狀體的外周間隙的位置發(fā)生了改變的情況下，由于浮 動機(jī)構(gòu)使導(dǎo)向部隨著其改變在厚度方向上上下移動，因而能夠維持板狀體的各主面與鏝刀 部形成的間隙，能夠穩(wěn)定地向外周間隙中填充熔融金屬。(52)在上述06)或07)的供給裝置中，為了通過提高通過導(dǎo)向部供給到間隙中 的熔融金屬與板狀體的浸潤性從而提高接合可靠性，優(yōu)選除去存在于熔融金屬與板狀體的 界面上的氣泡或雜質(zhì)，優(yōu)選具有向熔融金屬與板狀體的界面上施加超聲波的超聲波施加裝置。(53)實(shí)現(xiàn)上述第1目的的權(quán)利要求53中記載的熔融金屬的供給方法是由上述 (1)至(11)中任何一個(gè)的熔融金屬的供給筒供給熔融金屬的方法，其特征在于，包括板狀 體設(shè)置工序，將一對板狀體設(shè)置成形成規(guī)定間隙的狀態(tài)；供給筒定位工序，將供給筒的位置 確定為第2開口與間隙大致連接的狀態(tài)；熔融金屬供給工序，通過第2開口將熔融金屬供給 到間隙中。
若以2片矩形玻璃基板作為板狀體的情況為例說明該方式的供給方法，具有以下 作用。首先，2片玻璃基板在板狀體設(shè)置工序中被設(shè)置成形成了規(guī)定間隙的狀態(tài)。接下來，在 供給筒定位工序中將上述供給筒的位置確定為其第2開口與間隙大致連接。然后，在熔融 金屬供給工序中，通過供給筒的第2開口向2片玻璃基板的間隙中供給熔融金屬。其中，如 上所述由于設(shè)置成供給筒的第2開口與2片玻璃基板的間隙大致連接的狀態(tài)，所以通過第 2開口供給的熔融金屬不與大氣接觸就充滿了間隙，可抑制熔融金屬供給過程中的氧化。(54)實(shí)現(xiàn)上述第2 第5目的中任何一個(gè)的權(quán)利要求M中記載的熔融金屬的供 給裝置是由上述(1 至^幻中任何一個(gè)的熔融金屬供給筒供給熔融金屬的方法，其特征 在于包括板狀體設(shè)置工序，將一對板狀體設(shè)置成形成規(guī)定間隙的狀態(tài)；供給筒定位工序， 將導(dǎo)向部插入到在一對板狀體之間形成的間隙中；熔融金屬供給工序，通過第2開口將熔 融金屬供給到間隙中。若采用該供給方法，能夠通過導(dǎo)向部將熔融金屬順利地供給到板狀 體之間的間隙中。(55)再有，在上述(53)或(54)的供給方法中，為了提高通過導(dǎo)向部供給到間隙中 的熔融金屬與板狀體的浸潤性從而提高接合可靠性，優(yōu)選除去存在于熔融金屬與板狀體的 界面上的氣泡或雜質(zhì)，優(yōu)選向熔融金屬與板狀體的界面上施加超聲波。發(fā)明效果如上述的說明，若采用本發(fā)明所涉及的熔融金屬供給筒、內(nèi)置了該供給筒的熔融 金屬供給裝置和熔融金屬供給方法，可以解決本發(fā)明的問題。


圖1是含有第1-1例的熔融金屬供給裝置的玻璃嵌板生產(chǎn)線的簡要構(gòu)成圖。圖2是第1-1例的熔融金屬供給裝置的主視圖和側(cè)視圖。圖3是圖2的局部放大側(cè)視圖。圖4是圖3的局部放大圖。圖5是圖4的氧化物除去部的變形例。圖6是圖1的焊錫絲送出部的變形例。圖7是圖1的玻璃嵌板的生產(chǎn)線中含有的玻璃基板的接合裝置的主視圖和側(cè)視 圖。圖8是圖7的局部放大主視圖。圖9是第1-2例的熔融金屬供給裝置的主視圖和側(cè)視圖。圖10是圖9的局部放大圖。圖11是圖10的局部放大圖。圖12是第1-3例的熔融金屬供給裝置的局部放大主視圖。圖13是示出圖12的供給筒的變形例的圖。圖14是第2-1例的熔融金屬供給裝置的局部放大剖面圖。圖15是圖14的支撐部的局部放大剖面圖。圖16是第2-1例的熔融金屬供給裝置的主視圖和側(cè)視圖。圖17是圖14的供給筒的局部放大示意圖。圖18是圖14的E部的放大剖面圖及其側(cè)視圖。
圖19是示出圖14中示出的供給筒的另一變形例的圖。圖20是示出圖14中示出的供給筒的又一種變形例的圖。圖21是說明圖16的供給裝置的運(yùn)行狀態(tài)的圖。圖22是說明圖16的供給裝置的運(yùn)行狀態(tài)的另一圖。圖23是示出圖14中示出的供給筒的又一種變形例的圖。圖M是示出圖14中示出的供給筒的另一變形例的圖。圖25是第2-2例的熔融金屬供給裝置的局部放大平面圖和主視圖。圖沈是圖25的局部放大剖面圖。圖27是第3-1例的熔融金屬供給裝置的簡要構(gòu)成圖。圖觀是示出圖27的供給筒的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖四是示出圖27的供給筒的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖30是示出在通常狀態(tài)下由圖27的導(dǎo)向部供給熔融焊錫的供給狀態(tài)的圖。圖31是第3-2例的熔融金屬供給裝置的供給筒的局部放大剖面圖。圖32是示出圖31的供給筒的變形例的局部放大剖面圖。圖33是示出圖31的供給筒的其它另一變形例的局部放大剖面圖。圖34是第4-1例的熔融金屬供給裝置的簡要構(gòu)成圖。圖35是示出圖34的供給筒的結(jié)構(gòu)的局部放大剖面圖。圖36是示出圖35的導(dǎo)向部的結(jié)構(gòu)及其變形例的示意圖。圖37是示出圖35的導(dǎo)向部的另一變形例的示意圖。圖38是示出由圖35的導(dǎo)向部供給熔融焊錫的狀態(tài)的圖。圖39是示出圖35的供給筒的另一變形例的示意圖。圖40是示出第4-2例的熔融金屬供給裝置的供給筒的示意圖。圖41是示出第4-3例的熔融金屬供給裝置的供給筒的示意圖。圖42是示出圖36的導(dǎo)向部中的接觸部的變形例的放大剖面圖。圖43是第5例的熔融金屬供給裝置的簡要構(gòu)成圖。圖44是示出圖43的供給筒的結(jié)構(gòu)的放大剖面圖。圖45是示出圖43的導(dǎo)向部的結(jié)構(gòu)的示意圖。圖46是示出由圖43的導(dǎo)向部供給熔融焊錫的狀態(tài)的圖。圖47是示出圖43的導(dǎo)向部中熔融焊錫的流動狀態(tài)的圖。圖48是示出圖45的導(dǎo)向部的變形例的圖。圖49是示出圖45的導(dǎo)向部中的接觸部的變形例的圖。圖50是示出玻璃嵌板的結(jié)構(gòu)的圖。圖51是示出另一種玻璃嵌板的結(jié)構(gòu)的圖。
具體實(shí)施例方式下面參照附圖根據(jù)實(shí)施例說明本申請的發(fā)明。在下面的實(shí)施例的說明中，以向板 狀體即一對玻璃基板的外周間隙中供給熔融的低熔點(diǎn)金屬SnAgAl系合金的熔融焊錫、然 后接合作為被接合體的一對玻璃基板、從而制造玻璃嵌板的情況為例進(jìn)行具體說明。但是， 在將玻璃基板置換為金屬基板或陶瓷基板的情況下也能夠起到同樣的作用、效果。另外，即使在用例如含Sn、Zn、Ti等的各種組成的釬焊錫作為低熔點(diǎn)金屬的情況下，也能夠起到同 樣的作用、效果。而且，本申請的發(fā)明不受這些實(shí)施例的限定，可以在技術(shù)思想方面在與實(shí) 施例相同的范圍內(nèi)進(jìn)行變形實(shí)施。[第1方式]首先，根據(jù)下述第1-1例、1-2例、1-3例說明在上述(1)中說明的方式的熔融金屬 的供給筒、內(nèi)置了該供給筒的熔融金屬供給裝置、熔融金屬供給方法以及它們的優(yōu)選方式。[第1-1 例]參照圖1 8、50對本發(fā)明第1-1例的熔融金屬供給筒以及內(nèi)置了該供給筒的熔 融金屬供給裝置進(jìn)行說明。參照圖50說明用第1-1例的供給裝置制造的玻璃嵌板的結(jié)構(gòu)。圖50(a)、(c)中 符號W是用第1-1例的供給裝置制造的玻璃嵌板。符號Wl和W2是以尺寸為g的規(guī)定間隙 相對配置主面的一對玻璃基板。符號m是接合部，呈框狀設(shè)置在相對設(shè)置的玻璃基板wl和 w2的外周邊緣部上，具體地說是比各個(gè)玻璃基板的外周邊緣稍稍靠近內(nèi)側(cè)處，與各個(gè)玻璃 基板的主面直接接合，形成后述的氣密室。此處，如圖50(b)、(c)所示，接合部m構(gòu)成為在 玻璃基板上形成的接合部ml與在玻璃基板w2上形成的接合部m2通過各個(gè)玻璃基板的 接合面相對準(zhǔn)而接合為一體化的狀態(tài)。再有，使用與玻璃基板wl和的接合性優(yōu)異的低 熔點(diǎn)金屬即SnAgAl系合金，具體地說是按質(zhì)量％ Ag為8. 5%、Al為0. 35%、其余為Sn所 構(gòu)成的合金作為接合部m。并且，玻璃基板wl、w2以及接合部m所隔出的空間構(gòu)成氣密室， 根據(jù)玻璃嵌板W的用途，向該氣密室中封入真空氣氛、規(guī)定的氣體或液體。而玻璃嵌板的結(jié)構(gòu)不限定于上述結(jié)構(gòu)，例如不排除如圖50(d)所示的，接合部m僅 直接與一個(gè)玻璃基板接合，通過與熔融的接合部m富有浸潤性的基底層u與另一個(gè)玻璃 基板接合的方式的玻璃嵌板W、或者如圖50 (e)所示的，接合部m僅與一個(gè)基板wl直接 接合，通過用來確保玻璃基板wl與w2之間間隙的金屬或玻璃等構(gòu)成的框狀部件V以及玻 璃熔塊G與另一個(gè)玻璃基板w2接合的方式的玻璃嵌板W。S卩，第1-1例的供給裝置以及供 給方法能夠適用于接合部m與一對玻璃基板wl和w2中的至少一個(gè)直接接合的玻璃嵌板W。接下來參照圖1對制造上述玻璃嵌板W的生產(chǎn)線進(jìn)行說明。符號1是含有第1-1 例的供給裝置的玻璃嵌板W的生產(chǎn)線，由依次排列的如下部分構(gòu)成預(yù)加載室la，收容玻璃 基板wl和w2并形成規(guī)定的氣氛；前處理室lb，為了除去表面上附著的雜質(zhì)或水分等，對玻 璃基板wl和w2實(shí)施加熱處理、等離子體照射處理等；熔融焊錫供給室lc，內(nèi)置了第1-1例 的供給裝置；接合室ld，將玻璃基板wl和w2接合為玻璃嵌板；冷卻室le，冷卻玻璃嵌板； 卸載室If，對玻璃嵌板進(jìn)行出料；以及搬運(yùn)裝置，將在上述各室中處理的玻璃基板wl和w2 搬運(yùn)到各室中。在該生產(chǎn)線1中，準(zhǔn)備好的玻璃基板wl和w2裝入到預(yù)加載室Ia中，然后 按照前處理室lb、熔融焊錫供給室lc、接合室Id、冷卻室le、卸載室If的順序進(jìn)行處理，制 造玻璃嵌板W。參照圖2 6對組裝到上述熔融焊錫供給室Ic中內(nèi)置的第1-1例的供給裝置進(jìn) 行說明。圖2中符號2是供給裝置。供給裝置2由焊錫絲供給裝置加、加熱熔融裝置3、移 動裝置加、包容上述各裝置的氣密室2k、控制上述各裝置的動作的控制裝置2p、控制氣密 室業(yè)氣氛的氣氛控制裝置2s構(gòu)成。下面以向一個(gè)玻璃基板wl供給熔融焊錫的情況為例 對上述各構(gòu)成要素進(jìn)行說明。
[焊錫絲供給裝置]符號2b是卷繞由SnAgAl系合金構(gòu)成的線狀材料(下面稱為焊錫絲)M的筒管狀 的焊錫絲送出部，通過未圖示的馬達(dá)等使其旋轉(zhuǎn)定量地送出焊錫絲M。符號2c是具有可插 穿焊錫絲M的導(dǎo)向通路即貫通孔的兩端開口的大致呈管狀的焊錫絲導(dǎo)向部。在供給裝置2 中，使用的是直徑2mm左右的焊錫絲M，在初始狀態(tài)下，卷繞到焊錫絲送出部2b上的焊錫絲 M的前端部分從焊錫絲送出部2b引出，從焊錫絲導(dǎo)向部2c的上方端部開口插入到引導(dǎo)通路 內(nèi)，設(shè)置成從下方端部開口伸出的狀態(tài)(參照圖3)。再有，參照圖6對焊錫絲送出部2b的優(yōu)選例進(jìn)行說明。圖6中示出的焊錫絲送出 部5是在非氧化性氣氛中保管焊錫絲M的封裝件，由呈線圈狀卷繞的焊錫絲M的可旋轉(zhuǎn)的 卷芯5b、收容卷繞在該卷芯恥上的焊錫絲M的中空圓筒形狀的箱體fe、在箱體fe的側(cè)面 上形成的孔部5d、嵌合在孔部5d中的引出部件k所構(gòu)成。并且，在引出部件k上形成比 焊錫絲M的直徑小的引出孔，用橡膠等彈性材料形成引出部件k，從引出孔引出焊錫絲M的 自由端時(shí)引出孔的內(nèi)面與焊錫絲M的外周面貼緊，維持封裝件即焊錫絲送出部5的收容室 5c的氣密性。再有，收容室5c的氣氛例如是真空氣氛或惰性氣氛，而且優(yōu)選內(nèi)封了用來將 收容室5c的濕度保持為一定的活性炭等除水劑。圖2中的符號2d是通過由加熱熔融裝置3熔融焊錫絲M所形成的熔融焊錫Ml向 熔融焊錫Ml與玻璃基板wl的主面S的接觸界面照射超聲波的超聲波施加部(參照圖3)。 再有，為了裝置構(gòu)成的方便，將供給裝置2構(gòu)成為將超聲波施加部2d內(nèi)置到加熱熔融裝置 3中，通過加熱熔融裝置3的供給筒3a施加超聲波。[加熱熔融裝置]加熱熔融裝置3中的符號3a是向應(yīng)當(dāng)形成玻璃基板wl的接合部的表面即主面S 供給熔融焊錫Ml的供給筒。如圖3所示，供給筒3a大致呈柱狀，用熱傳導(dǎo)率高的不銹鋼形 成芯材，在該芯材的外周面上形成富有與熔融焊錫Ml的浸潤性的Cr層，除去供給筒3a的 下端面，又在Cr層上形成與熔融焊錫Ml的浸潤性低的Ni層。并且，將供給筒3a設(shè)置成第 2開口 3f開口的下端面與玻璃基板wl的主面S相對，向主面S供給熔融焊錫Ml。符號3c 是卷繞在供給筒3a的外周上的加熱器，將供給筒3a加熱到焊錫絲M的熔點(diǎn)以上的溫度。圖 2中的符號北是在固定供給筒3a的同時(shí)內(nèi)置了加熱器3c的發(fā)熱電路等的主體部。再有， 如上所述在主體部北中內(nèi)置了超聲波施加部2d的超聲波發(fā)生裝置及控制電路等。如圖3所示，在供給筒3a中，在上部(一個(gè)端部)設(shè)置與焊錫絲M接觸從而生成 熔融焊錫Ml的熔融部3g，一個(gè)開口(第1開口) 在熔融部3g中開，另一個(gè)開口(第2開 口)3f在下端面(另一個(gè)端面)開。并且在其內(nèi)部設(shè)置第1開口 :3e以及第2開口 3f以外 被密閉的大致呈圓管狀的流通通路3d。從而，通過熔融部3g生成的熔融焊錫Ml從熔融焊 錫Ml的導(dǎo)入口即第1開口 :3e流入到流通通路3d，通過流通通路3d流向下方，從排出口即 第2開口 3f流出，供給到玻璃基板wl的主面S。作為用來使熔融焊錫Ml順利流動到熔融 部3g以及流通通路3d中的優(yōu)選結(jié)構(gòu)，在其表面上形成有提高與熔融焊錫Ml的浸潤性的Cr 層。再有，代替0層也可以設(shè)置由41^0、1、￥、恥、1^構(gòu)成的層。而且，對本例的流通通路 3d實(shí)施作為防溶蝕處理的氮化處理，以防其表面被熔融焊錫Ml溶蝕從而作為雜質(zhì)混入到 熔融焊錫Ml中，上述Cr層是在氮化處理后的表面上形成的。再有，上述提高浸潤性的處理 以及防溶蝕處理可以根據(jù)作為對象的熔融金屬適當(dāng)選擇。
更詳細(xì)地對熔融部3g進(jìn)行說明。如圖4(a)所示，熔融部3g在供給筒3a的上部側(cè) 面上為凹狀，在其底部上圓環(huán)狀的氧化物除去部4與熔融部3g —體設(shè)置。再有，在圖4(a) 中為了便于理解在氧化物除去部4的部分上附加交叉影線來表示，但是氧化物除去部4與 熔融部3g不是拼接的而是一體形成的。并且，第1開口 !Be向該氧化物除去部4的上面(熔 融部3g的底面)即焊錫絲M接觸而熔融的熔融面3j開口。該第1開口 !Be的直徑Φ2小 于與熔融面3j接觸的焊錫絲M的端面的直徑Φ1。此處，焊錫絲導(dǎo)向部2c以其下方端部朝向向熔融面3j開口的氧化物除去部4的 第1開口 3e的姿勢，定位固定于移動裝置加的固定部件2j(參照圖2)上。并且，在供給 裝置2運(yùn)行時(shí)，從焊錫絲送出部2b定量送出的焊錫絲M被焊錫絲導(dǎo)向部2c的引導(dǎo)通路引 導(dǎo)，從下方端部的開口排出，其端面成閉塞第1開口 :3e的姿勢與熔融面3j接觸。再有，加 熱熔融裝置3定位固定在移動裝置2e的固定部件2j上，使得可以保持從焊錫絲導(dǎo)向部2c 排出的焊錫絲M與熔融部3g的上述位置關(guān)系(參照圖2)。若采用上述加熱熔融裝置3的結(jié)構(gòu)，從焊錫絲導(dǎo)向部2c的下方端部的開口排出的 焊錫絲M與被加熱器3c加熱的熔融面3j接觸而熔融，形成熔融焊錫Ml。其中，如圖4(a) 所示，焊錫絲M與熔融面3j接觸而熔融，以使其端面閉塞形成為比其直徑Φ 1小的直徑Φ2 的氧化物除去部4的第1開口 !Be的形態(tài)形成熔融焊錫Ml。在該熔融焊錫Ml的表面上存 在在焊錫絲M的外周面上生成的氧化物El流入到熔融部3g的氧化物E2或熔融時(shí)生成的 氧化物E2。但是，該氧化物E2與不含氧化物的中心部分的純凈的熔融焊錫Ml在氧化物除 去部4的第1開口 !Be的外周緣部分被分離，氧化物E2被除去。因而，可用第1開口 ；^的 外周緣部即熔融面3j阻止氧化物E2流入到流通通路3d中，只有沒有混入氧化物E2的純 凈的熔融焊錫Ml通過第1開口 :3e流入到流通通路3d中。而且，由于從第1開口 !Be到第 2開口 3f的流通通路3d的內(nèi)部是密閉的非氧化性氣氛，所以還抑制了供給過程中熔融焊 錫Ml的氧化的發(fā)展。再有，由于在大氣中保管的焊錫絲M的表面上生成的氧化物El的層 厚度通常為幾十μ m，所以焊錫絲M與第1開口 !Be的直徑的差即Φ1-Φ2為Imm左右就足 夠了，但是也可以根據(jù)供給對象的低熔點(diǎn)金屬材料適當(dāng)確定其尺寸。如上所述被阻止流入到流通通路3d中的氧化物E2被儲存在儲存部3k中，殘留于 第1開口 !Be的周圍。為了防止該氧化物E2在儲存部3k中流動，再次流入到流通通路3d 中，在本例中，設(shè)置為從第1開口 3e的周圍排出氧化物E2的氧化物排出部池的優(yōu)選結(jié)構(gòu)。 該氧化物排出部池具有從熔融面3 j連接到下方的傾斜面3i，構(gòu)成為儲存在第1開口 !Be周 圍的氧化物E2從下方流出。從該氧化物排出部池流出的氧化物E2可以通過適當(dāng)?shù)难b置 回收。再有，作為氧化物排出部池，只有能夠從第1開口 :3e的周圍排出氧化物E2，當(dāng)然可 以采用例如吸引氧化物E2并排出的結(jié)構(gòu)等其他裝置。而且，為了防止在第1開口 !Be的周圍殘留的氧化物E2發(fā)生流動流入到流通通路 3d中，如圖4(b)所示可以在熔融面3j上設(shè)置氧化物捕捉部3i。圖4(b)的氧化物捕捉部 3i是在熔融面3j的表面E形成的多個(gè)凹凸，通過用此種凹凸部捕捉氧化物E2可抑制氧化 物E2的流動。再有，通過組合使用上述氧化物排出部池和氧化物捕捉部3i，可以進(jìn)一步提 高防止殘留氧化物E2流入到流通通路3d中的效果。參照圖5對氧化物除去部4的變形例進(jìn)行說明。圖5(a)中示出的第1變形例涉 及的氧化物除去部如呈氧化物除去部如與供給筒3a分離設(shè)置的方式。即，大致圓環(huán)狀的氧化物除去部如具有按照比焊錫絲M的直徑Φ1小的直徑Φ3形成了上部開口的貫通孔 4b，該貫通孔4b的下部開口設(shè)置在與流通通路3d的第1開口 3e相對的位置上。并且貫通 孔4b的上部開口的外周邊緣形成切削除去焊錫絲M的外周面的刃部。從而，被供給的焊錫 絲M的外周面的氧化物El被比焊錫絲M小徑的上部開口的外周緣的刃部除去，被除去了氧 化物El的狀態(tài)的焊錫絲M被向下方運(yùn)送，與熔融部3g接觸而熔融，不含氧化物的純凈的熔 融焊錫Ml通過第1開口 !Be流入到流通通路3d中。再有，為了使被氧化物除去部如除去 了外周面的氧化物El的焊錫絲M不再生成氧化物，優(yōu)選從噴嘴如向氧化物除去部如與第 1開口 :3e之間流入惰性氣體等，使氧化物除去部如與第1開口 !Be之間成為非氧化性氣氛 的結(jié)構(gòu)。圖5 (b)是第2變形例涉及的氧化物除去部4d。該氧化物除去部4d是通過等離子 體4e除去氧化物El的例子，具有可插穿焊錫絲M的貫通孔的圓環(huán)狀的氧化物除去部4d與 未圖示的等離子體發(fā)生裝置連接，結(jié)構(gòu)為從其內(nèi)面向中心照射等離子體4e的等離子體照 射裝置。并且，氧化物除去部4d在可向供給的焊錫絲M的外周面上照射等離子體如的位 置上與供給筒3a分離設(shè)置，供給氧化物除去部4d的貫通孔的焊錫絲M的外周面的氧化物 El被等離子體4e除去，除去了氧化物El的焊錫絲M與熔融部3g接觸而熔融。圖5 (c)是第3變形例涉及的氧化物除去部4f。該氧化物除去部4f是用硬質(zhì)粒子 4g除去氧化物El的例子。即，氧化物除去部4f具有大致呈圓管狀的容器4j，形成了具有 附著了氧化物El的焊錫絲M以緊貼的狀態(tài)插入的上部開口和除去了氧化物El的焊錫絲M 以緊貼的狀態(tài)排出的下部開口的貫通孔；流通管4h，具有從該容器4j的右側(cè)面向左側(cè)面貫 通設(shè)置的粒子供給通路4i。在該流通管4h的右端例如連接按照規(guī)定的流速供給含陶瓷粒 子等硬質(zhì)粒子4g的氣體的硬質(zhì)粒子供給裝置，氧化物除去部4f構(gòu)成為從流通管4h的右側(cè) 向左側(cè)流通硬質(zhì)粒子4g的噴砂裝置。并且，氧化物除去部4f在可向被供給的焊錫絲M的 外周面上照射硬質(zhì)粒子4g的位置上與供給筒3a分離設(shè)置，向氧化物除去部4f的貫通孔中 供給的焊錫絲M的外周面的氧化物El被硬質(zhì)粒子4g除去，除去了氧化物El的焊錫絲M與 熔融部3g接觸而熔融。再有，一邊繞軸心旋轉(zhuǎn)焊錫絲M —邊向氧化物除去部4f供給焊錫 絲M的話，能夠均勻地除去氧化物E1，所以優(yōu)選。[移動裝置]如圖2所示，移動裝置2e由下面的部分構(gòu)成門型的支撐體2f ；升降部2g，固定在 支撐體2f的上邊部；水平移動部池，設(shè)置在支撐體2f的兩側(cè)邊部之間，可在相對于紙面垂 直以及水平方向上移動；載物臺2i，設(shè)置在能以形成接合部ml的主面面向上方的水平姿勢 承載玻璃基板wl的水平移動部池上。并且，如上所述焊錫絲導(dǎo)向部2c以及加熱熔融裝置 3通過固定部件2j與升降部2g的下端部連接。再有，下面如圖2(a)所示，將升降部2g的 上下移動方向設(shè)為ζ軸方向，將水平移動部池的移動方向即與紙面平行的方向設(shè)為X軸方 向，將與X軸以及Z軸同時(shí)垂直的方向設(shè)為Y軸方向。再有，也可以在載物臺2i上設(shè)置可加熱玻璃基板wl的整個(gè)面的板狀發(fā)熱體。通 過該發(fā)熱體將玻璃基板《1加熱到熔融焊錫Ml的熔融溫度范圍，從而能夠防止熔融焊錫Ml 與玻璃基板wl的溫度差所產(chǎn)生的應(yīng)力對玻璃基板wl造成損害，另外由于熔融焊錫Ml與玻 璃基板wl的浸潤性會有所提高，所以能夠提高接合部ml與玻璃基板wl的接合性。[控制裝置]
如圖2所示，控制裝置2p由通過電通信線路2q與供給裝置2的上述各構(gòu)成元件 連接的控制部2r構(gòu)成，控制各構(gòu)成元件的動作。具體地說，控制部2r由計(jì)算機(jī)構(gòu)成，具體 構(gòu)成為通過運(yùn)算部讀出其存儲部(存儲器)中存儲的運(yùn)行程序以及指令數(shù)據(jù)進(jìn)行適當(dāng)運(yùn) 算，從而對內(nèi)置于焊錫絲送出部2b中的馬達(dá)發(fā)出指令控制焊錫絲M的供給量，對加熱器3c 發(fā)出指令控制發(fā)熱溫度，對構(gòu)成移動裝置2e的升降部2g以及水平移動部池發(fā)出指令控制 其移動線路或移動速度。[氣密室]如圖2所示，氣密室業(yè)由下面的部分構(gòu)成框體21，形成包含供給裝置2的上述 各構(gòu)成元件的氣密空間ail ；設(shè)置在框體21的兩側(cè)壁上的進(jìn)料口 2η以及出料口 20，用來向 制造裝置2中裝入、送出玻璃基板wl。再有，在進(jìn)料口 2η以及出料口 2ο上設(shè)置用來確保氣 密室業(yè)的氣密性的氣密門。[氣氛控制裝置]如圖2所示，氣氛控制裝置2s由下面的部分構(gòu)成氣體供給部2u，包括供給泵，可 在規(guī)定的壓力下供給收容的規(guī)定氣體；真空泵2v，使氣密室業(yè)的氣密空間ail成真空狀態(tài)； 供給配管2t，將氣體供給部2u和真空泵2v連接到氣密空間ail上，將氣密空間ail控制為規(guī) 定的氣氛。其中，可以在氣體供給部2U中分別收容根據(jù)玻璃基板Wl的用途等適用的多種 氣體例如惰性氣體即氬氣、氮?dú)?，還原性氣體即氫氣、一氧化碳?xì)怏w，氧化性氣體即氧氣，還 可以通過氣體供給部2u中配置的混合閥按照規(guī)定的比例混合這些氣體供給到氣密空間an 中。下面包含玻璃嵌板生產(chǎn)線1的全部動作在內(nèi)，對第1-1例的供給裝置2的操作過 程進(jìn)行說明。[難備工序]首先，如圖1所示，將準(zhǔn)備好的玻璃基板wl和w2裝入到預(yù)加載室Ia中。在裝入了 玻璃基板和《2之后，使預(yù)加載室Ia的內(nèi)部抽成真空后置換為氬氣，成為惰性氣氛。再 有，下面的前處理室lb、接合部形成室lc、接合室Id、冷卻室Ie以及卸載室If同樣成為惰 性氣氛。[清洗工序]接下來，將玻璃基板Wl和w2裝入到前處理室Ib中，在規(guī)定的溫度下進(jìn)行加熱處 理，或者通過等離子體清洗處理洗凈除去附著在玻璃基板wl和w2表面上的水分以及雜質(zhì) 等。其中，在玻璃基板wl和w2上形成了多孔玻璃等雜質(zhì)氣體的情況下，在上述加熱處理工 序中還可以同時(shí)進(jìn)行除去接合部所產(chǎn)生的雜質(zhì)氣體的脫氣處理。[熔融焊錫供給工序]將在前處理工序中洗凈等的玻璃基板Wl和w2裝入到熔融焊錫供給室Ic中，如圖 50 (b)所示，向玻璃基板wl和w2供給用來形成各個(gè)接合部ml和m2的熔融焊錫Ml和M2。 其中，由于熔融焊錫Ml和M2的熔融焊錫供給方法相同，所以下面以向玻璃基板wl供給熔 融焊錫Ml的情況為例進(jìn)行說明。如圖2所示，以將接合部ml準(zhǔn)備結(jié)合的表面即主面S面向上方的水平姿勢，將玻 璃基板wl承載在載物臺2i上。接下來，供給裝置2向X、Y、Z軸各個(gè)方向移動升降部2g以 及水平移動部2h，以使在供給筒3a的下端面與玻璃基板wl的主面S之間形成規(guī)定的間隙(參照圖3)，供給筒3a的下端面位于相對于準(zhǔn)備形成的矩形框狀的接合部ml確定為開始 點(diǎn)的角部Bl上(參照圖50(b)。供給裝置2驅(qū)動焊錫絲送出部2b的馬達(dá)，從焊錫絲導(dǎo)向部2c中送出焊錫絲M。送 出的焊錫絲M與被加熱器3c加熱了的熔融面3 j接觸并成為熔融焊錫Ml。并且，如上述說 明的，在焊錫絲M的外周面上形成的氧化物El通過氧化物除去部4的熔融面3j與熔融焊 錫Ml分離，只有沒有混入氧化物El的純凈的熔融焊錫Ml流入到流通通路3d中，從第2開 口 3f流出，供給到玻璃基板wl的主面S上。供給裝置2通過水平移動部池使玻璃基板wl移動，使供給筒3a從玻璃基板wl 的角部Bl相對水平地移動到B2。其中，通過超聲波施加裝置向被供給的熔融焊錫Ml與玻 璃基板wl的主面S的接觸界面施加超聲波，所以除去了接觸界面上存在的氣泡及雜質(zhì)，提 高熔融焊錫M對玻璃基板wl的浸潤性。其后通過水平移動部池使玻璃基板wl移動，沿著 經(jīng)過玻璃基板《1的角部B3、B4在開始點(diǎn)即角部Bl處結(jié)束的不間斷的移動路徑水平移動供 給筒3a (參照圖50 (b)，呈矩形框狀供給熔融焊錫Ml。[接合工序]將在上述的熔融焊錫供給工序中供給了熔融焊錫Ml和M2的玻璃基板wl和w2裝 到圖1中示出的接合室1 d中，用圖7、8中示出的玻璃基板的接合裝置6接合。此處，如圖7所示，接合裝置6與上述供給裝置2同樣，具有設(shè)置在通過氣氛控制 裝置2s進(jìn)行氣氛控制的氣密室業(yè)的內(nèi)部空間ail中的、由控制裝置2p進(jìn)行驅(qū)動控制的移 動裝置2e。該移動裝置2e的載物臺2i構(gòu)成為可成供給了熔融焊錫Ml的主面S面向上方 的水平姿勢承載玻璃基板wl。另外，在升降部2g中內(nèi)置了保持裝置7，以使供給了熔融焊 錫M2的主面S面向下方的水平姿勢保持玻璃基板w2。如圖8所示，保持裝置7由下面的部分構(gòu)成能以上述姿勢保持玻璃基板w2的保 持部7a ；設(shè)置在保持部7a與玻璃基板w2之間的通過通電發(fā)熱的板狀發(fā)熱部7b。再有，在 圖8中為了容易理解玻璃基板wl與w2與發(fā)熱部7b的位置關(guān)系而用剖面圖表示它們。在發(fā)熱部7b上形成與向玻璃基板w2的主面供給的熔融焊錫M2相對應(yīng)的矩形框 狀突起部7c。并且，將該突起部7c的結(jié)構(gòu)為，在將玻璃基板w2保持在保持部7a上時(shí)，在水 平面內(nèi)的與熔融焊錫M2相對應(yīng)的位置上還與供給熔融焊錫M2的面相對的面接觸，在使發(fā) 熱部7b發(fā)熱的情況下通過突起部7c僅有效地加熱熔融焊錫M2，維持熔融焊錫M2的熔融狀 態(tài)。說明上述接合裝置6的動作。首先，以形成了熔融焊錫Ml的主面S面向上方的姿 勢將玻璃基板wl承載于載物臺2i上，以形成了熔融焊錫M2的主面S面向下方的姿勢將玻 璃基板保持在保持部7a上。此時(shí)，載物臺2i的發(fā)熱體以及保持裝置觀的發(fā)熱部7b通 電發(fā)熱，熔融焊錫Ml和M2維持熔融狀態(tài)。接下來，接合裝置6以使熔融焊錫Ml和M2的各 個(gè)表面以彼此相向接觸的狀態(tài)向X、Y、Z軸各個(gè)方向移動升降部2g以及水平移動部2h，向 下方驅(qū)動升降部2g，稍微對熔融焊錫Ml和M2的接觸界面加壓。于是，熔融焊錫Ml和M2在 接觸界面上接合一體化。其后，接合裝置6停止載物臺2i的發(fā)熱體以及保持裝置7的發(fā)熱 部7b的通電，通過使一體化了的熔融焊錫Ml和M2冷卻凝固而形成接合部m。通過以上的 步驟能夠得到圖50(a)中示出的玻璃嵌板W。[冷卻工序]
將上述的在玻璃基板接合工序中形成的玻璃嵌板W裝入到冷卻室Ie中，保持到變 為常溫。[出料工序]將冷卻的玻璃嵌板W裝入到卸載室If中。將卸載室If的內(nèi)部從氬氣置換為大氣 后，將玻璃嵌板W送出到外部。[第1-2 例]參照圖9_11、51對本發(fā)明的第1-2例的供給筒以及內(nèi)置了該供給筒的熔融金屬供 給裝置進(jìn)行說明。用第1-2例的供給裝置制造的玻璃嵌板W與用第1-1例的玻璃嵌板生產(chǎn)線生產(chǎn)的 玻璃嵌板W相同，但是如圖51 (a)、(b)所示，在接合玻璃基板w3、w4的接合部η中沒有接合 界面一體地構(gòu)成的方面、以及具有用來形成玻璃基板w3、w4的間隙的間隙維持部件Q的方 面不同。再有，下面以玻璃基板w3、w4的各個(gè)部分的尺寸相同為前提進(jìn)行說明。如圖9所示，第1-2例的供給裝置8包括焊錫絲供給裝置加、加熱熔融裝置9、移 動裝置8a、氣密室8c以及控制裝置2p。而且，內(nèi)置了以規(guī)定的姿勢保持玻璃基板w3的保 持裝置8d。再有，對于焊錫絲供給裝置加、移動裝置8a、氣密室8c以及控制裝置2p等供給 裝置8的構(gòu)成要素中與上述供給裝置2具有相同結(jié)構(gòu)的元件賦予相同的符號，省略詳細(xì)的 說明。[保持裝置、移動裝置]如圖9、10所示，保持裝置8d由下面的部分構(gòu)成多個(gè)吸附部8f，能以接合部η準(zhǔn) 備接合的主面面向下方的姿勢吸附保持玻璃基板w3 ；大致平板狀的支撐部8e，其上固定有 吸附部8f。另外，供給裝置8的移動裝置8a包括第1升降部2g，固定在支撐體2f的上邊 部的左端；第2升降部8b，固定在相同上邊部的右端，上述保持裝置8d安裝在第2升降部 8b的下端。并且，上述第2升降部8b以及水平移動部池通過它們的協(xié)動構(gòu)成對玻璃基板 4確定玻璃基板w3的位置的裝置，如圖10(a)所示，在水平方向上相向設(shè)置玻璃基板w3和 w4以使各個(gè)端面大致成一條直線的同時(shí)，在垂直方向上定位使得在玻璃基板w3和w4之間 形成規(guī)定的間隙。并且，在玻璃基板《3和w4的垂直方向的定位完成了之后，解除吸附部8f 對玻璃基板《3的吸附，由間隙保持部件Q保持間隙。[氣密室]容納焊錫絲供給裝置加、加熱熔融裝置9以及移動裝置8a的氣密室8c在其內(nèi)部 是大氣氣氛(氧化性氣氛)方面與由氣氛控制裝置控制成惰性氣氛的上述供給裝置2的氣 密室業(yè)不同。如下面所說明的，這是由于供給裝置8的供給筒9a的構(gòu)造使得即使在大氣 氣氛即氧化性氣氛中的供給過程中也可以在抑制氧化進(jìn)展的同時(shí)向玻璃基板w3和w4供給 熔融焊錫Ml。[加熱熔融裝置]本例的加熱熔融裝置9的基本結(jié)構(gòu)與上述加熱熔融裝置3類似，但是供給筒的構(gòu) 造以及其相對于玻璃基板w3、w4的姿勢不同。S卩，如圖10(a)所示，在加熱熔融裝置9的供 給筒9a中，在其內(nèi)部設(shè)置了大致圓管狀的流通通路3d，與焊錫絲M接觸而生成熔融焊錫Ml 的熔融部3g設(shè)置在右端部(一個(gè)端部)，在與熔融部3g —體設(shè)置的氧化物除去部4 (交叉 影線的部分)上形成一個(gè)開口(第1開口)3e，在左端面(其它端面)開口的另一個(gè)開口(第2開口)3f。具體地說，熔融部3g在供給筒9a的右端上面呈凹狀，第1開口 !Be在焊錫 絲M接觸而熔融的熔融面3 j即熔融部3g的底面、即氧化物除去部4的上面開口。第1開 口 :3e的直徑ΦΒ小于與熔融面3j接觸的焊錫絲M的端面的直徑ΦΑ，而且第2開口 3f的 直徑Φ0為小于等于玻璃基板w3與w4的外周間隙k的尺寸g。并且構(gòu)成為將焊錫絲M從 焊錫絲導(dǎo)向部的下方端部開口送出之后，其端面呈阻塞第1開口 :3e的姿勢與熔融面3j接 觸。而且，如圖10(a)以及其C方向的視圖即圖10(c)所示，在第1_2例的供給筒9a 中設(shè)置沿流通通路3d的軸心向水平方向延伸的大致平板狀的導(dǎo)向部9b。導(dǎo)向部9b在其前 端具有從第2開口 3f僅突出規(guī)定長度L的突出部分9c。該突出部分9c的突出長度L與應(yīng) 當(dāng)準(zhǔn)備形成的接合部η的寬度相對應(yīng)，或者另外其厚度小于在玻璃基板w3、w4之間形成的 外周間隙k的大小g。如下面所詳細(xì)描述的，該導(dǎo)向部9b是實(shí)現(xiàn)了將從第2開口 3f流出的 熔融焊錫Ml平滑順利地供給到玻璃基板w3與w4的外周間隙k中的功能的工件。從而，如 圖10(a)的B-B剖面即圖10(b)所示，需要使導(dǎo)向部9b的基端包含在第2開口 3f中。另 一方面，為了防止導(dǎo)向部9b妨礙熔融焊錫Ml從第2開口 3f中流出需要在導(dǎo)向部9b與流 通通路3d之間形成可流通熔融焊錫Ml的間隙，以使9b不妨礙熔融焊錫Ml從第2開口 3f 中流出。而且，為了向外周間隙k順滑地供給熔融焊錫Ml，優(yōu)選與熔融部3g以及流通通路 3d同樣地對導(dǎo)向部9b的表面進(jìn)行提高與熔融焊錫Ml的浸潤性的處理。再有，下面是以包 括配置有導(dǎo)向部9b的供給筒9a為例說明本例的供給裝置8的，但是例如在熔融金屬的浸 潤性高的情況下、外周間隙k的尺寸g比較大的情況等熔融金屬的浸潤擴(kuò)散順利的情況下， 導(dǎo)向部并非必不可少的構(gòu)成要素。呈水平姿勢保持供給筒9a，以使突出部分9c可插入到相向設(shè)置的玻璃基板w3與 w4的外周間隙k中，在向外周間隙k供給熔融焊錫Ml時(shí)，形成了第2開口 3f的左端面與玻 璃基板w3、w4的端面同時(shí)接觸，從而由移動裝置8a將定位成第2開口 3f與外周間隙k連 接的狀態(tài)。由此，如圖10(a)所示，流通通路3d與準(zhǔn)備供給熔融焊錫Ml的玻璃基板w3與 w4的外周間隙k直接連接，流通到流通通路3d中的熔融焊錫Ml被填充到外周間隙k中而 不與周圍的大氣(氧)接觸。而且，由于設(shè)置了導(dǎo)向部％，所以從第2開口 3f流出的熔融 焊錫Ml可極順滑地填充到外周間隙k中。再有，由于供給筒9a的熔融部3g具有與上述供 給筒3a同樣的構(gòu)成，所以當(dāng)然能夠抑制在焊錫絲Ml的外周面上存在的氧化物El混入到熔 融焊錫Ml中。此處，參照圖10(d)、(e)對上述導(dǎo)向部9b的變形例進(jìn)行說明。圖10(d)的導(dǎo)向部 9d呈沿流通通路3d的軸心的前端為前端細(xì)的形狀，使從第2開口 3f中流出的熔融焊錫Ml 更順利地流入到外周間隙k中，從而使熔融焊錫的供給性提高。另外，為了相同的目的，在 圖10(e)的導(dǎo)向部9e上在導(dǎo)向部9b的表面上形成將熔融焊錫Ml導(dǎo)入到外周間隙k中的 導(dǎo)向槽U。再有，在圖10(e)中將導(dǎo)向槽u呈與流通通路3d的軸心大致平行地、呈直線狀形 成多條導(dǎo)向槽u，但是也可以呈放射狀地形成多條導(dǎo)向槽，或者以彎曲的形態(tài)形成。下面對第1-2例的供給裝置8的動作進(jìn)行說明。而裝入到供給裝置8中的玻璃基 板w3和w4是已經(jīng)結(jié)束了前處理工序、從其表面除去了水分及雜質(zhì)的基板。[基板定位工序]以接合部η接合的主面面向下方的水平姿勢，在使保持裝置8d保持玻璃基板w3的同時(shí)，以接合部η接合的主面面向上方的水平姿勢在載物臺2i上承載玻璃基板w4。供給 裝置8使第2升降部8b以及水平移動部池移動，從而在水平方向上以使各個(gè)外周端面彼 此都成一條直線的形態(tài)相向設(shè)置玻璃基板《3和w4，同時(shí)在垂直方向上定位使玻璃基板w3 和w4之間形成規(guī)定的間隙。其后，供給裝置8解除吸附部8f對玻璃基板w3的吸附，通過 使第2升降部8b上升從而從載物臺2i的上方退走保持裝置8d。[熔融焊錫供給工序]供給裝置8使內(nèi)置在載物臺2i中的發(fā)熱體發(fā)熱，將玻璃基板w3和w4加熱到熔融 焊錫Ml的熔融溫度左右。然后，移動第1升降部2g以及水平移動部池，將導(dǎo)向部9b的突 出部分9c插入到由間隙維持部件Q所保持的玻璃基板w3和w4的一個(gè)角部的外周間隙k 中，同時(shí)將供給筒9a定位于導(dǎo)向部9b的左端面與玻璃基板w3和w4的端面同時(shí)接觸的狀 態(tài)。接著，供給裝置8驅(qū)動焊錫絲送出部的馬達(dá)，從焊錫絲供給部送出焊錫絲M。送出 的焊錫絲M與被加熱器3c所加熱的熔融面3 j接觸而生成熔融焊錫Ml。在焊錫絲M的外周 面上形成的氧化物El通過氧化物除去部4與熔融焊錫Ml分離，只有沒有混入氧化物El的 純凈的熔融焊錫Ml流入到流通通路3d中。然后，流過除第1開口 !Be以及第2開口 3f外 均被密封的流通通路3d的熔融焊錫Ml從第2開口 3f流出而不與大氣接觸，然后被導(dǎo)向部 9b導(dǎo)向，在供給過程中抑制了氧化的純凈的熔融焊錫Ml被供給到玻璃基板w3與w4的外周 間隙k中。然后，在保持上述供給筒9a與玻璃基板w3和w4的垂直方向上的位置關(guān)系的同 時(shí)，水平移動部池使玻璃基板w3和w4移動以使供給筒9a繞玻璃基板w3和w4的外周一 周，從而向玻璃基板w3和w4的整個(gè)外周間隙k中供給熔融焊錫Ml，呈矩形框狀填充熔融焊 錫Ml。而通過采用在保持裝置8d中設(shè)置玻璃基板w3的加熱功能，還有第2升降部8b也 能夠向X以及Y軸方向移動的構(gòu)成，因而即使不使用間隙保持部件Q也能夠通過與上述相 同的動作向玻璃基板《3與w4的外周間隙k中供給熔融焊錫Ml。[接合工序]關(guān)閉載物臺2i的發(fā)熱體的通電從而冷卻玻璃基板w3和w4，使熔融焊錫Ml凝固形 成接合部η。如上所述，由于抑制了在焊錫絲M的氧化物El以及供給過程中生成的氧化物 的混入的純凈的熔融焊錫Ml被供給到外周間隙k中，所以難以在玻璃基板w3和w4與接合 部η的接合界面上產(chǎn)生接合不良，能夠得到氣密性或接合強(qiáng)度優(yōu)異的玻璃嵌板W。上面為了容易理解使玻璃基板w3和w4的尺寸相同，但是即使尺寸不同也可以通 過適當(dāng)設(shè)計(jì)供給筒9a的構(gòu)造而構(gòu)成接合裝置。即，在玻璃基板w3和w4的平面尺寸不同、 對位一致情況下、在二者的端面不一致形成階差的情況下，可以使供給筒9a的左端面具有 與該階差相對應(yīng)的形狀。參照圖11對第1-2例的供給筒9a的優(yōu)選例進(jìn)行說明。圖11 (a)的供給筒9f是 形成圖51 (b)的例子的、即具有不但在玻璃基板w3與w4的外周間隙k中，而且從端面溢出 部分具有毛邊部nl的接合部η的玻璃嵌板W的情況的例子。圖11(a)中示出的供給筒9f 具有比玻璃基板w3與w4的外周間隙k的尺寸g大的直徑Φ3的第2開口 9h，換句話說具 有形成了可包含外周間隙k的第2開口 9h，第2開口 9h中比外周間隙k大的部分形成毛邊部nl。該毛邊部nl成為對大氣的壁壘，抑制供給到外周間隙k中的熔融焊錫Ml由于與大 氣接觸而造成的供給后的氧化進(jìn)展。另外，圖11(b)的供給筒9i是為了除去玻璃基板w3和w4的主面上存在的氣泡及 雜質(zhì)，以及通過提高其表面的活性從而提高熔融焊錫Ml對玻璃基板的浸潤性，而設(shè)置了與 玻璃基板w3和w4的主面中供給熔融焊錫Ml的供給面相接觸的接觸面91的例子。而圖 11 (b)中的接觸面91成多彎折狀構(gòu)成導(dǎo)向部9 j的突出部分9k，使得可與玻璃基板w3和w4 的主面接觸，但是也可以適當(dāng)構(gòu)成以使接觸面91不損害外周間隙k中熔融焊錫Ml的流動。[第1-3 例]參照圖12、13對本發(fā)明第1-3例即熔融金屬的供給筒以及內(nèi)置了該供給筒的熔融 金屬供給裝置進(jìn)行說明。由于此處的供給裝置的基本結(jié)構(gòu)與圖9相同，所以省略關(guān)于供給 裝置整體結(jié)構(gòu)和動作的說明。與上述第1-2例的供給裝置水平地向玻璃基板w3與w4的外周間隙k供給熔融焊 錫Ml相對應(yīng)，圖12中示出的第1-3例的供給裝置在采用利用重力垂直地供給熔融焊錫Ml 的方式，沒有導(dǎo)向部的方面與第1-2例的供給裝置不同。圖12(a)中示出的供給筒10呈上方開口的有底的圓形容器狀。用來使焊錫絲M 熔融的加熱器IOd卷繞在供給筒10的外周上。形成在供給筒10的中央、上面成為熔融面 IOb的環(huán)狀突起是生成熔融焊錫Ml的熔融部10a，氧化物除去部IOi與熔融部IOa的上部 一體設(shè)置。另外，第1開口 IOf在熔融面IOb上開口，第2開口 IOg在下面開口，在中央設(shè) 置以連結(jié)第1開口 IOf和第2開口 IOg形態(tài)形成的流通通路10e。并且，與圖10中示出的 供給筒9a相同，第1開口 IOf的直徑ΦΒ小于焊錫絲M的直徑ΦΑ，第2開口 IOg的直徑 OC為小于等于玻璃基板w3與w4的外周間隙k的尺寸g。而且，在供給筒10中，儲存被除 去的氧化物E2的儲存部IOc在熔融部IOa的周圍呈圓環(huán)槽狀形成，構(gòu)成為通過未圖示的氧 化物排出部排出儲存在該儲存部IOc中的氧化物E2。供給筒10以準(zhǔn)備形成接合部η的主面在垂直方向站立的姿勢相對于相向設(shè)置的 玻璃基板w3與w4的外周間隙k，保持著與第2開口 IOg連接、外周間隙k和流通通路IOe 可連接的姿勢。向外周間隙k供給熔融焊錫Ml時(shí)，形成了第2開口 IOg的下面與玻璃基板 w3與w4的端面同時(shí)接觸，以第2開口 IOg成與外周間隙k連接的狀態(tài)定位。若采用上述供給裝置10的結(jié)構(gòu)，從焊錫絲供給部送出的焊錫絲M與熔融面IOb接 觸從而生成熔融焊錫Ml。并且，利用重力將熔融焊錫Ml快速地供給到玻璃基板w3與w4的 外周間隙k中。而由于供給筒10的構(gòu)造以及玻璃基板w3與w4的位置關(guān)系與上述供給筒 9a具有同樣的構(gòu)成，所以能夠抑制在焊錫絲Ml的外周面上存在的氧化物El混入到熔融焊 錫Ml中，而且當(dāng)然能夠抑制供給過程中熔融焊錫Ml氧化。圖12(b)中示出的供給筒IOj與上述供給筒10結(jié)構(gòu)基本相同，僅在第2開口 101 的直徑φ(比外周間隙k的尺寸g大的方面不同。通過這樣結(jié)構(gòu)的供給筒10j，能夠形成具 有與上述圖11(a)中說明的供給筒9a相同的毛邊部nl的玻璃嵌板W。而且，圖13中示出的供給筒IOm與供給筒10結(jié)構(gòu)基本相同，僅在具有與第2開口 IOg的下方連接的管狀的導(dǎo)向部IOn的方面不同。若采用此種結(jié)構(gòu)的供給筒10m，更順滑地 向玻璃基板《3與w4的外周間隙k中供給熔融焊錫Ml。[第2方式]
下面根據(jù)其第2-1例、第2-2例，對上述(18)中說明的方式的熔融金屬供給筒、 以及內(nèi)置了該供給筒的熔融金屬供給裝置、熔融金屬供給方法以及它們的優(yōu)選方法進(jìn)行說 明。[第2-1 例]參照圖14 M對本發(fā)明的第2-1例即熔融金屬供給筒、內(nèi)置了該供給筒的熔融 金屬供給裝置進(jìn)行說明。再有，對表示圖14的變形例的圖19、20、23、24中相同的構(gòu)成要素 標(biāo)注相同的標(biāo)號，省略相同要素的重復(fù)說明。第2-1例的供給裝置11用來制造參照圖51 (a)、(b)說明過的玻璃嵌板W的裝置， 如圖16所示，作為適于自動化的結(jié)構(gòu)，由承載裝置11a、焊錫絲供給裝置lid、熔融焊錫供給 裝置12、移動裝置llg、控制裝置llo、氣密室IlI以及氣氛控制裝置Ilr構(gòu)成。下面對各構(gòu) 成要素進(jìn)行說明。[承載裝置]在承載裝置Ila中，標(biāo)號lib是可成水平姿勢承載未接合體WO的載物臺，未接合 體WO由玻璃基板W3和W4構(gòu)成，第1玻璃基板(下面在第2-1例中稱為第1基板，在第2-2 例中也一樣)w3和第2玻璃基板(下面在第2-1例中稱為第2基板，在第2-2例中也一樣) w4的定位為隔著間隙保持部件彼此相對，將玻璃基板w3和w4設(shè)置成在各個(gè)主面S之間形 成規(guī)定的間隙。作為優(yōu)選的結(jié)構(gòu)，在該載物臺lib中內(nèi)置了可加熱未接合體WO的板狀的發(fā) 熱體，利用該發(fā)熱體將玻璃基板w3和w4加熱到熔融焊錫的熔融溫度左右，從而能夠防止熔 融焊錫與玻璃基板《3和w4的溫度差所產(chǎn)生的應(yīng)力對玻璃基板w3、w4造成的損害，而且由 于熔融焊錫與玻璃基板《3、w4的浸潤性高，所以能夠提高接合部與玻璃基板w3和w4的接 合性。符號Ilc是移動部，載物臺lib設(shè)置在其上部，所述移動部Ilc使載物臺lib在圖 面的垂直以及水平方向上移動。再有，如圖16(a)所示，以載物臺移動部Ilc的移動方向及 與圖面平行的軸為X軸，與圖面垂直的軸為Y軸，與X、Y軸同時(shí)正交的垂直的軸為Z軸。并 且，構(gòu)成未接合體WO的玻璃基板w3、w4的各個(gè)主面S與含X軸以及Y軸的平面大致平行， 未接合體WO的外周端面與Z軸大致平行地承載于載物臺lib上。[焊錫絲供給裝置]在作為供給用來形成熔融焊錫的原料的結(jié)構(gòu)的一例的焊錫絲供給裝置Ild中，符 號lie是卷繞由SnAgAl系合金構(gòu)成的線狀材料(下面稱為焊錫絲)M的筒管狀的焊錫絲送 出部，用未圖示的馬達(dá)等使其旋轉(zhuǎn)，定量地送出焊錫絲M。符號Ilf是具有可插穿焊錫絲M 的導(dǎo)向通路即貫通孔的兩端開口的大致呈管狀的焊錫絲導(dǎo)向部，定位固定在移動裝置Ilg 的固定部件Ilk上。在本例的供給裝置11中，使用成形為直徑2mm左右的焊錫絲M，在初期 狀態(tài)，卷繞在焊錫絲送出部lie上的焊錫絲M的前端部從焊錫絲送出部lie引出，從焊錫絲 導(dǎo)向部Ilf的導(dǎo)入開口插入到導(dǎo)向通路內(nèi)，從供給開口突出，設(shè)置成面向供給筒14的流入 口 14a的姿勢(參照圖14)。[熔融焊錫供給裝置]在熔融焊錫供給裝置12中符號13是熔融焊錫供給部。熔融焊錫供給部13由如 圖14所示的供給筒14、安裝在供給筒14的前端的導(dǎo)向部16以及支撐供給筒14的浮動機(jī) 構(gòu)即支撐部15構(gòu)成。
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首先，對供給筒14進(jìn)行說明。在供給筒14中，符號14h是呈左端縮徑的大致圓筒 形狀的筒體。筒體14h具有設(shè)置于筒體14h的右上部的一面(以下第2-1例、2-2例中稱為 熔融面)14e，和設(shè)置在左端部上的另一個(gè)面(以下第2-1例、2-2例中稱為吐出面)14f，構(gòu) 成吐出面14f的位置被確定為隔著微少的間隙相對于未接合體WO的外周端面平行。而在 本例的供給筒14中，隔著熔融面He在兩側(cè)形成圓環(huán)狀的擋板14g，該兩個(gè)擋板14g所包圍 的凹狀部的底面成為熔融面14e。筒體14h優(yōu)選由熱傳導(dǎo)率高的不銹鋼等形成，而且為了使 熔融焊錫M更加順利地流動，優(yōu)選在熔融面He和吐出面14f上形成富有與熔融焊錫Ml的 浸潤性的Cr層等。符號14d是沿熔融面14e和吐出面14f之間的筒體14h的外周面卷繞成線圈狀， 將筒體14h加熱到焊錫絲M的熔融溫度以上的加熱部件。在加熱部件14d上連接著控制其 發(fā)熱溫度或發(fā)熱模式的加熱控制部12a。符號Hc是貫通筒體14h的內(nèi)部的流路，具有在熔融面He上開口的第1開口(下 面第2-1例、2-2例中稱為流入口)14a、和在吐出面14f上開口的第2開口(下面第2_1例、 2-2例中稱為吐出口)14b，流入口 14a的直徑ΦΒ小于焊錫絲M的直徑ΦΑ。而流路14c的 剖面形狀不限定于圓形，例如也可以是矩形等。優(yōu)選在上述流路Hc中，在其表面上形成用來使熔融焊錫Ml順利地流動的與熔融 焊錫Ml的浸潤性高的Cr層。也可以設(shè)置由Al、Mo、W、V、Nb、Ta、Ag或Ni構(gòu)成的層取代Cr 層。此外，優(yōu)選對流路14c實(shí)施作為防溶蝕處理的氮化處理，以使其表面不被熔融焊錫Ml 所溶蝕而作為雜質(zhì)混入熔融焊錫Ml中。吐出口 14b如為了便于理解而省略了熔融焊錫Ml的圖示的圖18(a)所示，其口徑 即直徑Dl為超過外周間隙k的尺寸的大小，到達(dá)了吐出口 14b的熔融焊錫Ml不僅供給到 用來與第1基板w3以及第2基板w4的各個(gè)外周端面接觸的外周間隙k，而且供給到玻璃基 板w3和w4的外周端面。從而，如圖51(b)所示，在使用該例的吐出口 14b制造的玻璃嵌板 W中，在外周間隙中形成含有與外周端面緊貼的突起部分nl的接合部η。另一方面，如為了便于理解省略了熔融焊錫Ml的圖示的圖19(a)中示出的供給筒 17，能夠使吐出口 17a的口徑Dl小于等于外周間隙k的尺寸g。在該例子的情況下，由于 吐出口 17a僅向外周間隙k內(nèi)開口，所以到達(dá)吐出口 17a的熔融焊錫Ml僅被填充到外周間 隙k內(nèi)。因此，如圖51(c)所示，在使用該例子的供給筒17制造的玻璃嵌板W中僅形成與 外周間隙k接合的接合部η。在該吐出口 17a那樣的方式的情況下，在流路Hc的整個(gè)長度 內(nèi)都與吐出口 17a的直徑為相同的直徑Dl時(shí)，恐怕流動阻力變大，熔融焊錫Ml的流動性降 低。因此，優(yōu)選流路14c的終端部的形狀是朝向吐出面14f縮徑的大致圓錐形狀，從而使得 在實(shí)際吐出熔融焊錫Ml的吐出面14f上，吐出口 17a都小于等于周間隙k的尺寸g。如圖14所示，焊錫絲M的前端以朝向供給筒14的流入口 14a的方式設(shè)置在焊錫 絲導(dǎo)向部Ilf中。從而從焊錫絲送出部lie定量送出的焊錫絲M呈其前端面阻塞流入口 14a的姿勢與熔融面He接觸。被加熱部件14d加熱的熔融面He觸及的焊錫絲M熔融從 而形成熔融焊錫Ml。該熔融焊錫Ml從流入口 1 流入，在流路Hc中朝左端流動，從吐出 口 14b中吐出。再有，筒體14h定位固定在固定部件Ilk上，以便可以保持從焊錫絲導(dǎo)向部 Ilf送出的焊錫絲M與熔融面14e的上述位置關(guān)系。如上所述，本例的供給裝置11是由供給筒14其自身將焊錫絲供給裝置Ild所供給的固狀焊錫絲M熔融以形成熔融焊錫Ml的例子，但是可以在供給裝置11中組裝例如從 可收容熔融狀態(tài)的焊錫的容器中通過自重或加壓力排出熔融焊錫并供給到供給筒中的結(jié) 構(gòu)，也可以組裝不與本發(fā)明的其它目的相反的其它供給機(jī)構(gòu)。接下來，對導(dǎo)向部16進(jìn)行說明。導(dǎo)向部16的構(gòu)成為，如圖14中的箭頭Yl所示， 在沿水平面從未接合體WO的外周端面朝向內(nèi)部的方向(下面稱為插入方向)上插入到未 接合體WO的外周間隙k中，將從上述供給筒14的吐出口 14b中吐出的熔融焊錫Ml引導(dǎo)到 外周間隙k內(nèi)進(jìn)行供給。因此，導(dǎo)向部16以在安裝槽中橫切吐出口 14b在Z軸方向在突出 面14f的大致中央部的形態(tài)配合安裝。在圖示導(dǎo)向部16的細(xì)節(jié)的圖17、18中，符號16h是厚度相對外周間隙k的尺寸g 較薄，為T2，從供給筒14的突出面14f吐出長度L2的薄板狀的鏝刀部。鏝刀部16具有與 設(shè)置在承載裝置Ila上的未接合體WO的第1基板w3的主面Sl隔著規(guī)定的第1間隙Gl相 對的上表面(第1平面)16i、與第2基板w4的主面S2隔著規(guī)定的第2間隙G2相對的下表 面(第2平面)16j。再有，本例中第1間隙Gl與第2間隙G2具有相同程度的尺寸。通過 這樣結(jié)構(gòu)的鏝刀部16h，通過吐出口 14b供給到外周間隙k中的熔融焊錫Ml被導(dǎo)入到鏝刀 部16的上表面16i以及下表面16j上，浸潤擴(kuò)展到間隙Gl與G2之間。但是，熔融焊錫Ml 的浸潤擴(kuò)展停留在鏝刀部16h的前端(圖17中的前端，圖18(a)中的左端)。因此，從被供 給的熔融焊錫Ml的未接合體WO的外緣的寬度受到了鏝刀部16h的長度L2的限制。并且， 在向間隙Gl和G2中填充了熔融焊錫Ml的狀態(tài)下使熔融焊錫供給部13沿未接合體WO的 外緣水平移動時(shí)，該水平移動使得供給到間隙Gl和G2中的熔融焊錫Ml發(fā)生流動，該熔融 焊錫Ml的流動使得熔融焊錫Ml涂布到玻璃基板w3和w4上，隨未接合體WO的外緣以一定 的寬度將熔融焊錫Ml填充到外周間隙k中。作為優(yōu)選的結(jié)構(gòu)，如圖14、16所示，在本例的供給裝置11中裝有向鏝刀部16h傳 送超聲波的超聲波發(fā)生部12b，通過鏝刀部16h向填充到間隙Gl和G2中的熔融焊錫Ml與 玻璃基板w3和w4的接觸界面上施加超聲波，使其活化并使焊錫融合到接觸界面上的同時(shí)， 可除去存在于接觸界面上的氣泡或雜質(zhì)。再有，進(jìn)一步優(yōu)選施加超聲波以使鏝刀部1 !沿 導(dǎo)向部16的插入方向振動。再有，為了提高熔融焊錫Ml與鏝刀部16h的至少上表面16i以及下表面16 j的浸 潤性，優(yōu)選設(shè)置由Cr、Al、Mo、W、V、Nb、Ag、Ni或者Ta所構(gòu)成的層，而且優(yōu)選實(shí)施作為防溶 蝕處理的氮化處理等，以使鏝刀部1 不被熔融焊錫Ml所溶蝕從而在熔融焊錫Ml中混入 雜質(zhì)。而且，為了提高熔融焊錫Ml的追隨性，優(yōu)選在鏝刀部1 的上表面16i和下表面16j 上事先形成與鏝刀部16h的相對移動方向交叉的凹凸。在圖17、18中示出的導(dǎo)向部16中，符號16a是第1接觸部，符號16f是第2接觸 部。第1接觸部16a由從鏝刀部16h的上表面16i突出的一對突起部16b和16c構(gòu)成。突 起部16b和16c具有在向外周間隙k中插入導(dǎo)向部16的狀態(tài)下與第1基板w3的主面Sl 接觸的第1接觸面16d，其X軸方向的長度以供給筒14的吐出面14f為基準(zhǔn)是Li，其Z軸 方向的高度與第1間隙Gl大小大致相同。第2接觸部16f也與上述第1接觸部16a相同，由從鏝刀部16h的下表面16j突 出的一對突起部16m和161構(gòu)成。各突起部16m、161具有在將導(dǎo)向部16插入到外周間隙 k中的狀態(tài)下與第2基板w4的主面S2接觸的第2接觸面16g，與上述第1接觸部16a相同其長度為Li，其高度與第2間隙G2大小大致相同。再有，第1接觸面16d以及第2接觸面 16g由于與后述的浮動機(jī)構(gòu)的關(guān)系，在導(dǎo)向部16的寬度方向(水平面中與導(dǎo)向部16的插入 方向垂直的方向)形成為凸?fàn)畹膱A筒面。對上述結(jié)構(gòu)的接觸部16a、16f進(jìn)行詳細(xì)說明。如圖18所示，形成接觸部16a、16f 的部分的導(dǎo)向部16的厚度是在鏝刀部16h的厚度T2上加上接觸部16a以及16f的高度 (從鏝刀部16h的上表面16i到第1接觸面16d的高度，鏝刀部16h的下表面16 j到第2接 觸面16g的高度)的厚度Tl。并且，其厚度Tl是與外周間隙k的尺寸g同等或稍小的尺 寸，以使接觸部16a和16f分別與各個(gè)玻璃基板的主面Sl和S2接觸，同時(shí)可在外周間隙k 中滑動。因此，在外周間隙k中插入導(dǎo)向部16時(shí)，接觸面16d和16g與主面Sl和S2接觸， 成為導(dǎo)向部16嵌合配合在外周間隙k中的狀態(tài)。另外，第1接觸部16a的高度即從鏝刀部1 的上表面16i到第1接觸面16d的高 度與間隙Gl相同，第2接觸部16f的高度即從鏝刀部16h的下表面16j到第2接觸面16g 的高度與間隙G2相同。其結(jié)果是，在外周間隙k中插入鏝刀部16h時(shí)，在Z軸方向確定鏝 刀部1 的位置，以使形成第1間隙Gl和第2間隙G2。并且，為了向外周間隙k供給熔融 焊錫M1，使熔融焊錫供給部13沿未接合體WO的外周端面水平移動時(shí)，在接觸部16a和16f 與主面Si、S2隨時(shí)滑動的同時(shí)導(dǎo)向部16移動，所以間隙Gl和G2的大小經(jīng)常維持為恒定。再有，在本例中，第1接觸部16a和第2接觸部16f的高度，也就是第1間隙Gl和 第2間隙G2的尺寸相同，但是該尺寸可以根據(jù)熔融焊錫Ml的特性適當(dāng)設(shè)定，二者的尺寸也 可以不同來構(gòu)成。在該情況下，由于被供給的焊錫Ml因重力而流下，所以優(yōu)選第1間隙Gl 比第2間隙G2大。優(yōu)選對第1接觸面16d以及第2接觸面16g實(shí)施用來提高與玻璃基板w3和w4之 間的滑動性的處理即M疏水鍍處理或表面平滑處理。另外，如圖示了圖14的導(dǎo)向部的變 形例的圖19(a)所示，可以在接觸部16a和16f中沿導(dǎo)向部16的圖示插入方向Yl在其中 間部分別形成凹部17c和17d。通過在接觸部16a和16f中設(shè)置這樣的凹部17c和17d，減 小玻璃基板w3和w4的接觸面積，降低滑動阻力，從而能夠使熔融焊錫供給部13順利地移 動，此外能夠進(jìn)一步抑制玻璃基板w3和w4的損傷。再有，在必要的情況下也可以構(gòu)成為各 個(gè)接觸部16a和16f與主面Sl和S2點(diǎn)接觸。而且，為了容易插入到未接合體WO的外周間隙k中，優(yōu)選在接觸部16a和16f中， 在圖17中示出的插入方向Yl上與未接合體WO的外周端面相對的面Cl以及側(cè)面C2的角 部上事先形成C面或R面。該C面或R面可以通過對面Cl以及C2的角部實(shí)施切削加工、 磨粒加工、蝕刻等來形成。而且，第2-2例的供給裝置的說明中所詳述的，為了與未接合體WO的外周間隙k 的位置或大小的變化相對應(yīng)，優(yōu)選接觸部16a和16f具有在Z軸方向上可彎曲一定量的彈 性。圖17、18中的符號16e表示在鏝刀部16h的上部設(shè)置的第1導(dǎo)向槽，符號1 表示 在下部設(shè)置的第2導(dǎo)向槽。為了在鏝刀部16h中順利地引導(dǎo)從供給筒14的吐出口 14b吐 出的熔融焊錫Ml，在導(dǎo)向部16的寬度方向上，在接觸部16a和16f的各突起部16b和16c 以及16m和161形成呈矩形槽狀的導(dǎo)向槽16e和16k。換句話說，導(dǎo)向槽16e和1 設(shè)置為 截?cái)嘟佑|部16a和16f的各個(gè)中央部位，通過導(dǎo)向槽16e和16k直接連接鏝刀部16h和吐出口 14b。導(dǎo)向槽16e和16k的形態(tài)即其剖面形狀或?qū)挾群蜕疃鹊瓤梢耘c熔融焊錫Ml的流 動性相匹配適當(dāng)確定，但是為了將熔融焊錫Ml順利地引導(dǎo)到鏝刀部16h內(nèi)，優(yōu)選分別在與 鏝刀部16h的上表面16i相同的平面內(nèi)形成導(dǎo)向槽16e的底面，在與鏝刀部16h的下表面 16 j相同的平面內(nèi)形成導(dǎo)向槽16k的底面，在導(dǎo)向槽16e和1 與鏝刀部16h的連接部分上 優(yōu)選沒有高度差。而且，為了提高導(dǎo)向槽16e和16k的內(nèi)表面上熔融焊錫Ml的浸潤性，優(yōu) 選設(shè)置由Cr、Al、Mo、W、V、Nb、Ta、Ag或Ni構(gòu)成的層，而且優(yōu)選實(shí)施作為防溶蝕處理的氮化 處理等，以不被熔融焊錫Ml所溶蝕從而混入雜質(zhì)。而且，導(dǎo)向槽的結(jié)構(gòu)不限于圖17、18的方式，如圖19(b)中示出的導(dǎo)向部18，優(yōu)選 構(gòu)成為將接觸部18a和18d設(shè)置在寬度方向上鏝刀部16h的中央部，在接觸部18a和18d 的兩側(cè)設(shè)置從吐出口 14b通到上表面16i和下表面16j的上下各兩條導(dǎo)向槽18b和18c以 及 18e 和 18f0上述鏝刀部與接觸部可為一體結(jié)構(gòu)，但是鏝刀部與接觸部的功能不同，所要求的 特性也彼此不同。因此，例如如圖20中示出的導(dǎo)向部19，用與熔融焊錫Ml的浸潤性高的材 料形成鏝刀部19f，用與玻璃基板的滑動性優(yōu)異的難磨損的材料形成接觸部19a和19c，能 夠通過粘結(jié)或螺旋夾等適當(dāng)?shù)姆椒ńM裝該分離的鏝刀部19f與接觸部19a及19c，構(gòu)成導(dǎo)向 部。而且，在供給筒的吐出面上鏝刀部或接觸部、或者二者都可以一體形成。接下來，參照圖14、15對作為優(yōu)選結(jié)構(gòu)的組裝到本例的供給裝置11中的支撐部 15進(jìn)行說明。本例的支撐部15在通過供給筒14間接地支撐導(dǎo)向部16的同時(shí)，構(gòu)成僅在Z 軸方向(外周間隙k的厚度方向)以及供給筒14的軸心(導(dǎo)向部16的插入軸)周圍隨著 作用到導(dǎo)向部16上的力使導(dǎo)向部16搖動(即不在水平面內(nèi)移動)的浮動機(jī)構(gòu)。在該支撐 部15中，符號15g表示與供給筒14的右端面連接的圓柱形狀的支撐部件，在右端的小徑部 15 上，在軸心方向上，與小徑部15i鄰接形成大徑部15h。該小徑部15i受在軸承部件15f 上設(shè)置的軸承15j所支撐，在供給筒14的軸心周圍支持部件15g自由旋轉(zhuǎn)。另外，如從左 側(cè)面看圖14的支撐部件15g和軸承部件15f的放大剖面圖即圖15所示，大徑部1 呈下 方被切口的大致扇形形狀，在其大徑部15h的切口和軸承部件15f的內(nèi)面上設(shè)置的突起部 151的兩側(cè)面之間插入左右一對、壓縮狀態(tài)的線圈狀的壓縮彈簧15K。將該一對壓縮彈簧調(diào) 整為在無負(fù)荷狀態(tài)時(shí)導(dǎo)向部16呈水平姿勢。符號1 是左側(cè)開口的二字狀的移動部件，在內(nèi)側(cè)面上安裝上述軸承部件15f。符 號1 是作為直線驅(qū)動部件的線性導(dǎo)引器，在移動部件1 的外側(cè)面上安裝移動子，使移動 部件15e僅在Z軸方向移動。符號1 是在比移動部件1 大一圈的左側(cè)開口的二字狀的 套筒，在內(nèi)側(cè)面上安裝線性引導(dǎo)器15b的軌道，而且套筒1 位置確定地固定在移動裝置 Ilg的固定部件Ilk上(參照圖16)。符號15c表示在移動部件1 的上臂外面和套筒1 的上臂內(nèi)面之間以及移動部件1 的下臂外面和套筒1 的下臂內(nèi)面之間呈壓縮狀態(tài)組裝 的一對彈性部件，即線圈狀的壓縮彈簧，符號15d表示一端部在套筒1 的上臂以及下臂上 設(shè)置的未圖示的貫通孔以及壓縮彈簧15c中可游動地插通的同時(shí)，另一個(gè)端部固定在移動 部件15e的上臂以及下臂上，限制壓縮彈簧15c的直徑方向的移動的限制軸。這樣構(gòu)造的支撐部15進(jìn)行下面的動作。S卩，如圖22所示，例如由于玻璃基板w3 以及w4的組合精度的不足或載物臺移動部Ilc的行走精度的不完備，使得未接合體WO的外周間隙k沿Z軸的位置發(fā)生變化的情況下，通過與玻璃基板w3和w4接觸的接觸部16a 和16f，在沿供給筒14的軸心周圍或Z軸方向向?qū)虿?6作用一定的力。該供給筒14的 軸心周圍的力通過供給筒14傳送到支撐部件15g。支撐部件15g被軸承部件15f將移動 方向僅限制在旋轉(zhuǎn)方向上，由于其大徑部1 被一對壓縮彈簧1 支撐，所以對應(yīng)作用的力 僅在供給筒14的軸心周圍移動。另外，作用在導(dǎo)向部16上的Z軸方向的力通過供給筒14 等傳送到移動部件15e。移動部件1 被直線移動部件15b限制移動方向，使其僅可能在Z 軸方向上移動，由于被壓縮彈簧15c支撐，所以根據(jù)作用的力僅在Z軸方向上移動。[移動裝置]如圖16所示，移動裝置Ilg由門型支撐體llh、固定在支撐體Ilh上邊部的升降 部Ili構(gòu)成，在升降部Ili的底部設(shè)有在圖示的Z軸方向上升降并且在θ軸方向上旋轉(zhuǎn)的 升降軸llj。并且，如上所述，焊錫絲導(dǎo)向部Ilf以及熔融焊錫供給部13通過固定部件Ilk 與升降軸Ilj的下端部連接。[控制裝置]如圖16所示，控制裝置Ilo由通過電信線路Ilp連接供給裝置11的上述各構(gòu)成元 件的控制部Ilq構(gòu)成，控制各構(gòu)成元件的運(yùn)行。具體地說，控制部Ilq由計(jì)算機(jī)構(gòu)成，運(yùn)算 部(CPU)讀出存儲在其存儲部(存儲器)中的程序以及各種數(shù)據(jù)并進(jìn)行適當(dāng)?shù)倪\(yùn)算，從而 向焊錫絲送出部lie中組裝的馬達(dá)發(fā)出指令，控制焊錫絲M的供給量，向加熱控制裝置1 發(fā)出指令，控制加熱部件14d的發(fā)熱溫度，向超聲波振動部12b發(fā)出指令，控制向鏝刀部16h 施加的超聲波的輸出或施加模式，向構(gòu)成移動裝置Ilg的升降部Ili以及載物臺移動部Ilc 發(fā)出指令，控制其移動路徑或移動速度。[氣密室]如圖I6所示，氣密室ill由形成內(nèi)部包括供給裝置11的上述各構(gòu)成元件的氣密 空間Iln的框體Ilm構(gòu)成。[氣氛控制裝置]如圖16所示，氣氛控制裝置Ilr由下面的部分構(gòu)成包括供給泵的可在規(guī)定的壓 力下供給所收容的規(guī)定氣體的氣體供給部lit使氣密室111的氣密空間Iln成為真空狀態(tài) 的真空泵1 Iu將氣體供給部lit和真空泵1 Iu連接到氣密空間1 In上的配管1 ls，將氣密空 間Iln控制為規(guī)定的氣氛。其中，可在氣體供給部lit中對應(yīng)惰性玻璃嵌板用途等來分隔 收容多種氣體，例如氬氣、氮?dú)猓€原性氣體即氫氣、一氧化碳，氧化性氣體即氧氣，而且可 以通過氣體供給部lit中包括的混合閥按照規(guī)定的比例混合這些氣體并供給到氣密空間 lln。下面說明上述結(jié)構(gòu)的供給裝置11的運(yùn)行過程。首先是準(zhǔn)備工序。如圖16所示， 由間隙保持部件Q通過規(guī)定的間隙將主面Sl和S2呈相對狀態(tài)的未接合體WO以水平的姿 勢承載于載物臺lib上的規(guī)定位置上。接下來，啟動供給裝置11，供給裝置11使氣密空間 Iln氣密，由真空泵Ilu排出空氣，使氣密空間Iln的內(nèi)部成為真空狀態(tài)。然后，供給裝置 11將含規(guī)定比例氧氣的氣體從氣體供給部lit供給到氣密空間Iln中，成為由含易氧化元 素的SnAgAl系焊錫所構(gòu)成的熔融焊錫Ml容易與玻璃基板w3和w4接合的氣氛。另外，供 給裝置11使載物臺lib中內(nèi)置的發(fā)熱體發(fā)熱，將未接合體WO加熱到熔融焊錫Ml的熔融溫 度左右，而且為了向鏝刀部1 傳送應(yīng)該施加給熔融焊錫Ml的超聲波，使超聲波振動部12b振動。接下來是供給筒的定位工序。升降部Ili使升降軸Ilj下降，而且在必要的情況 下旋轉(zhuǎn)，供給裝置11將熔融焊錫供給部13的定位在規(guī)定的位置上。該熔融焊錫供給部13 的位置被確定時(shí)，如圖14所示，熔融焊錫供給部13設(shè)置在Z軸方向上的該導(dǎo)向部16的鏝 刀部1 可插入到未接合體WO的外周間隙k中的位置上，并在θ軸方向上的該供給筒14 的吐出面14f與未接合體WO的外周端面平行的位置上。接下來，供給裝置11使載物臺移 動部Ilc水平移動，將未接合體WO定位在規(guī)定的位置上，以使供給筒14的吐出面14f和未 接合體WO的外周端面成為僅隔著微小的間隙相對的狀態(tài)。在該未接合體WO的位置被確定 在水平面內(nèi)的過程中，將導(dǎo)向部16插入到未接合體WO的外周間隙k中，由于導(dǎo)向部16的 接觸部16a和16f的角部上形成如上所述的C面或R面，所以接觸部16a和16f被順利地 插入到外周間隙k中。但是，由于導(dǎo)向部16被浮動機(jī)構(gòu)即支撐部15所支撐，所以即使在例 如Z軸方向上外周間隙k與導(dǎo)向部16的中心不同的情況下，追隨該不同而上下移動的接觸 部16a和16f被插入到外周間隙k中。并且，上述未接合體WO的定位動作一結(jié)束，由于接 觸部16a和16f與玻璃基板w3和w4的各個(gè)主面Sl和S2都接觸，所以導(dǎo)向部16成為與外 周間隙k嵌合的狀態(tài)，鏝刀部16h的位置被確定在Z軸方向上外周間隙k的大致中央處，在 玻璃基板w3和w4與鏝刀部IMi之間形成間隙Gl和G2。接下來是熔融焊錫的供給工序。供給裝置11驅(qū)動圖16中示出的焊錫絲送出部 lie的馬達(dá)，從焊錫絲導(dǎo)向部Ilf的下端送出焊錫絲M。如圖14所示，被送出的焊錫絲M與 被加熱部件14d加熱到焊錫絲M的熔融溫度以上的供給筒14的熔融面He接觸，形成熔融 焊錫Ml。其中，由于在熔融面He上開口的流入口 1 的直徑ΦB比焊錫絲M的直徑ΦA(chǔ) 小，所以即使在焊錫絲M的外周面上形成了氧化物，該氧化物也被流入口 1 的外周緣部即 熔融面14e分離除去。其結(jié)果是，阻止了氧化物混入到流路Hc中，幾乎沒有混入氧化物的 潔凈的熔融焊錫Ml流入到流路14c中。而后，供給裝置11以一定的速度連續(xù)地送出焊錫 絲M直到填充作業(yè)結(jié)束，向流路Hc供給熔融焊錫Ml。再有，由于在大氣中保管的焊錫絲M 的表面上生成的氧化物層的厚度通常是幾十ym，所以焊錫絲M與流入口 1 的直徑的差 (ΦΑ-ΦΒ)為Imm左右即可。在上述供給工序中，由熔融面14e被除去的氧化物在被堰14g限制了流動的同時(shí) 堆積在流入口 14a的周圍，之后被后續(xù)的氧化物推壓流動到供給筒14的下面，在那里被未 圖示的回收裝置回收。如上所述，流入到流路Hc中的熔融焊錫Ml從吐出口 14b吐出，如圖18所示，在導(dǎo) 向部16的上下導(dǎo)向槽16e和16k中流動，被導(dǎo)入到第1間隙Gl和第2間隙G2中。其中， 從供給筒14供給的熔融焊錫Ml在被玻璃基板w3和w4以及吐出面14f幾乎密閉、不與氧 接觸的狀態(tài)下，通過導(dǎo)向槽16e和16k，被供給到間隙Gl和G2中。而且，由于在熔融焊錫 Ml表面的氧化被抑制的狀態(tài)下，涂入到玻璃基板w3和w4的主面Sl和S2上，所以能夠提高 玻璃嵌板中的密封質(zhì)量。并且，如圖16所示，供給裝置11使載物臺移動部Ilc在X軸或Y軸方向上以一定 的速度行走，水平移動未接合體W0，使得在維持上述熔融焊錫供給部13和未接合體WO的水 平方向的位置關(guān)系的同時(shí)，導(dǎo)向部16呈矩形框狀繞未接合體WO的外周緣的周邊一周。于 是，被供給到間隙Gl和G2中的熔融焊錫Ml浸潤到玻璃基板w3和w4的各個(gè)主面Sl和S2上，而且在涂入的同時(shí)以導(dǎo)向部16的長度L2的寬度填充到外周間隙k中。再有，如圖16 的局部放大平面圖即圖21所示，在未接合體WO的四個(gè)角部上，供給裝置11將載物臺移動 部Ilc進(jìn)行的未接合體WO的X和Y軸方向的移動控制與升降軸Ilj進(jìn)行的熔融焊錫供給 部13的θ軸方向的移動控制結(jié)合起來，按圓弧狀的路徑水平移動導(dǎo)向部16，將熔融焊錫 Ml填充到四個(gè)角部的外周間隙k中。其中，在上述供給工序中導(dǎo)向部16水平移動期間，如圖18所示，接觸部16a和16b 分別隨時(shí)處于與玻璃基板w3和w4的主面Sl和S2接觸的狀態(tài)，Z軸方向上鏝刀部IMi的移 動被接觸部16a和16f所限制。其結(jié)果是，鏝刀部16h不與玻璃基板w3和w4接觸，其主面 Sl和S2上不產(chǎn)生損害與接合部η的接合性的損傷。而且，為了將熔融焊錫Ml良好地涂入 到玻璃基板w3和w4上的一個(gè)條件是玻璃基板w3以及w4與鏝刀部IMi之間的間隙Gl和 G2的大小，在供給工序期間，被從鏝刀部1 突起的接觸部16a和16f維持在與該間隙Gl 和G2相對應(yīng)的高度上。其結(jié)果是，能夠?qū)崿F(xiàn)接合部η與玻璃基板w3以及w4的接合強(qiáng)度的 均勻化。此外，由于導(dǎo)向部16被浮動機(jī)構(gòu)即支撐部15所支撐，所以即使在如圖22(a)所示 的未接合體WO的外周間隙k中存在彎曲的情況下，或者如該圖(b)所示載物臺移動部Ilc 的行走路徑相對于外周間隙k僅傾斜角度ρ的情況下等，隨著在未接合體WO的移動時(shí)所產(chǎn) 生的外周間隙k的上下位置變化，導(dǎo)向部16上下移動。其結(jié)果是，導(dǎo)向部16與玻璃基板w3 和w4的間隙Gl和G2被維持為一定。而且，如圖14所示，由于通過導(dǎo)向部16向填滿了間隙Gl和G2的熔融金屬M(fèi)l與 玻璃基板w3和w4的接觸界面上施加超聲波，所以玻璃基板w3和w4與熔融焊錫Ml的浸潤 性提高了，熔融焊錫Ml被充分地供給到狹小的間隙Gl和G2中。而且，由于在接觸界面上 存在的氣泡或氧化膜等雜質(zhì)被超聲波振動除去了，所以能夠提高作為制品的玻璃嵌板的接 合部與玻璃基板的接合強(qiáng)度。上述供給工序結(jié)束，向未接合體WO的整個(gè)四邊的外周間隙k填充了熔融焊錫Ml 之后，經(jīng)過對填充的熔融焊錫Ml進(jìn)行冷卻固化的熔融焊錫的冷卻工序形成接合部，接合玻 璃基板w3和w4，形成玻璃嵌板W。該冷卻工序可以通過在圖16中示出的載物臺lib上承 載有未接合體WO的的情況下停止加熱體的發(fā)熱來進(jìn)行，也可以從載物臺lib上卸下未接合 體W0，在別處進(jìn)行。再有，為了玻璃嵌板制造的自動化，例如優(yōu)選具有從載物臺移動部Ilc 上自由裝卸載物臺lib的構(gòu)造，具有在每個(gè)供給工序中可更換承載了未接合體WO的載物臺 lib本身的結(jié)構(gòu)。上述供給裝置11中，如圖17、18所示，說明了在導(dǎo)向部16的插入方向Yl中鏝刀 部16h的后端側(cè)上設(shè)置了接觸部16a和16f的例子。該例的導(dǎo)向部16是例如組裝入平面 型圖像顯示裝置中的布線圖形為在比接合部更靠內(nèi)側(cè)形成的玻璃嵌板那樣，有必要為了保 護(hù)布線圖形而使接觸部在接合部的外側(cè)滑動時(shí)的合適結(jié)構(gòu)。另一方面，存在于玻璃基板w3 和w4中接觸部16a和16f的滑動部分上的接合部的接合性，由于接觸部16a和16f的滑動 而比非滑動部分差，所以存在于滑動部分上的接合部在某種意義上說成為多余部分，使接 合部的寬度不得不加寬。于是，在有必要形成比較窄的接合部的情況下，優(yōu)選采用圖23中示出的導(dǎo)向部 20。在圖23中示出的導(dǎo)向部20中，接觸部20a和20c被設(shè)置在導(dǎo)向部20的插入方向Yl上鏝刀部20e的前端。再有，在該例子中，不設(shè)置用來將從供給筒14的吐出口 14b中吐出 的熔融焊錫Ml直接供給到鏝刀部20e的導(dǎo)向槽。通過該導(dǎo)向部20，與上述導(dǎo)向部16相同， 鏝刀部20e不與玻璃基板w3和w4接觸，被供給的熔融焊錫Ml浸潤擴(kuò)展到鏝刀部20e的上 表面和下表面，填充到與玻璃基板之間的間隙中，但是由于用接觸部20a和20c來限制該熔 融焊錫Ml的浸潤范圍，所以能夠在從未接合體的外緣的比較狹窄的寬度內(nèi)填充熔融焊錫。 另外，通過用接觸部20a和20c來限制該熔融焊錫Ml的浸潤范圍，能夠沿未接合體的外緣 大致一定的寬度上向外周間隙中填充熔融焊錫。而且，在上述例子的供給裝置11中，如圖17、18所示，具有向外周間隙k中插入 導(dǎo)向部16時(shí)，第1接觸部16a與第1基板w3的主面Si、第2接觸部16f與第2基板w4的 主面S2雙方同時(shí)接觸的結(jié)構(gòu)，但是如圖M中示出的導(dǎo)向部21那樣，也可以構(gòu)成為接觸部 21a和21b平時(shí)不與主面Sl和S2接觸，在必要的情況下與玻璃基板w3和w4接觸。S卩，導(dǎo) 向部21的基本構(gòu)造與導(dǎo)向部16相同，鏝刀部1 具有從鏝刀部16h的上表面突起的第1 接觸部21a和從鏝刀部16h的下表面突起的第2接觸部21b，但是如圖M (a)所示，在接觸 部21a和21b的部分中的導(dǎo)向部21部分的厚度Tl小于外周間隙k的尺寸g。從而，將該導(dǎo) 向部21插入到外周間隙k中時(shí)，第1接觸部21a隔著第1空隙與第1基板w3的主面Sl相 對，同樣第2接觸部21b隔著第2空隙與第2基板w4的主面S2相對，在插入導(dǎo)向部21的 時(shí)點(diǎn)上接觸部21a和21b不與主面Sl和S2接觸。通過這樣的導(dǎo)向部21，如圖M(b)所示， 在熔融金屬的供給工序中，即使在沿Z軸圖示箭頭Zl方向上相對改變導(dǎo)向部21的位置的 情況下，由于接觸部21a和21b的限制，鏝刀部IMi也不與玻璃基板w3和w4接觸，能夠防 止玻璃基板《3和w4的損傷，從而提高接合部的接合質(zhì)量。再有，組裝在上述支撐部中的浮動機(jī)構(gòu)并非必不可少，另外即使在導(dǎo)向部的接觸 部上形成的各個(gè)接觸面成為平坦面也沒關(guān)系，而且也可以僅在鏝刀部的一個(gè)面上僅形成一 個(gè)接觸部。即使是這樣的結(jié)構(gòu)，在未接合體的外周間隙的尺寸精度高的情況或載物臺移動 部的行走精度高的情況等規(guī)定的情況下，通過避免玻璃基板的主面與鏝刀部的接觸這樣的 接觸部所起的作用可防止玻璃基板的損傷，并且能夠發(fā)揮提高玻璃嵌板中與接合部的密封 性的效果。[第2-2 例]參照圖25以及圖沈?qū)Ω鶕?jù)本發(fā)明的第2-2例的熔融金屬供給筒以及內(nèi)置了該供 給筒的熔融金屬供給裝置進(jìn)行說明。再有，第2-2例的供給裝置基本與參照圖16說明的供 給裝置11具有同樣的構(gòu)成，僅熔融焊錫供給部不同，所以在圖25、26中都僅圖示與熔融焊 錫供給部相關(guān)聯(lián)的部分，省略其他構(gòu)成元件的圖示。另外，對于與供給裝置11相同的構(gòu)成 元件標(biāo)記相同的符號，省略對其構(gòu)造已及動作的詳細(xì)說明。如圖25所示，第2-2例的供給裝置的熔融焊錫供給部22具有與供給筒14大致 相同結(jié)構(gòu)的供給筒23和在與不構(gòu)成浮動機(jī)構(gòu)僅僅是與支撐部相關(guān)聯(lián)的支持部件22d的前 端設(shè)置的導(dǎo)向部22a，在圖示箭頭Xl中示出的供給工序中熔融焊錫供給部22的移動方向 上，在導(dǎo)向部22a的前方、在與導(dǎo)向部2 分離的狀態(tài)下設(shè)置供給筒23。在該供給筒23的 前端部上設(shè)置可插入到未接合體WO的外周間隙k中的外徑的供給管23a，在移動方向上向 導(dǎo)向部22a的前方的外周間隙k中供給熔融焊錫Ml。也可以設(shè)置多根該供給管23a，也可 以采用橢圓形剖面或矩形剖面的供給管。供給管23a的插入深度可以根據(jù)應(yīng)該形成的接合部的寬度確定，在要形成特別寬的接合部的情況下，構(gòu)成為改變多根供給管各個(gè)的插入深 度的結(jié)構(gòu)是有效的。而且，優(yōu)選供給管23a例如由用樹脂覆蓋表面的軟質(zhì)材料構(gòu)成，以在接 觸的情況下不損傷玻璃基板w3和w4。本例的導(dǎo)向部2 替換如第2-1例的供給裝置那樣的浮動機(jī)構(gòu)，成為具有在外周 間隙k的厚度方向即Z軸方向或者供給筒23的軸心周圍，其自身能夠彎曲的彈性的結(jié)構(gòu)。 具體地說，導(dǎo)向部2 被構(gòu)成為如圖25所示，用彈性的某種金屬或樹脂以及其他的彈性部 件形成上下接觸部22b和22c，通過使接觸部22b和22c具備彎曲性，即使在外周間隙k的 位置發(fā)生了變化的情況下，接觸部22b和22c也可彎曲從而可跟隨該變化。再有，可不用彈 性部件構(gòu)成整個(gè)接觸部22b和22c，例如可以在接觸部22b和22c的與玻璃基板w3和w4的 各主面Sl和S2的接觸面上設(shè)置彈性層。這樣的結(jié)構(gòu)具有能夠簡化供給裝置構(gòu)造的優(yōu)點(diǎn)， 在未接合體WO的外周間隙k的Z軸方向上位置改變比較小的情況下特別有利。圖沈仏)中示出的導(dǎo)向部2 是上述導(dǎo)向部22a的第1變形例。導(dǎo)向部22e具有 在插入方向Yl上、在導(dǎo)向部22e的后方接觸部16a和16f的表面上重疊形成的彈性層22f 和22g，成為前端被割下的支撐部件22d從上下夾持彈性層22f和22g的構(gòu)造。并且，在供 給焊錫的供給工序中，導(dǎo)向部22e的沒有形成該彈性層22f和22g的露出的接觸部16a和 16f的接觸面不和與玻璃基板w3和w4接觸的彈性層22f和22g直接接觸。從而，能夠通過 彈性層22f和22g與上述同樣地與外周間隙k的位置變化相對應(yīng)，而且還具有能夠用單個(gè) 部件構(gòu)成適于實(shí)現(xiàn)接觸部16a、16f、彈性層22f和22g的各個(gè)功能的優(yōu)點(diǎn)。圖沈…)中示出的導(dǎo)向部2 是上述導(dǎo)向部22a的第2變形例。在該導(dǎo)向部22h 中，在插入到未接合體WO的外周間隙k中的鏝刀部16h以及接觸部16a和16f和支持部件 22d之間設(shè)置彈性部22i。該彈性部22i形成為從支撐部件22d的端面突出長度L3的薄板 狀，以便易于在Z軸方向彎曲。圖沈⑷中示出的導(dǎo)向部22j是上述導(dǎo)向部22a的第3變形例。在該導(dǎo)向部22j 中，在插入到未接合體WO的外周間隙k中的鏝刀部16h以及接觸部16a和16f和支持部件 22d之間設(shè)置上下一對彈性部2 和221。并且彈性部2 在接觸部16a的后方，彈性部 221在接觸部16f的后方，形成為從各個(gè)支撐部件22d的端面突出長度L3的薄板狀。通過 該導(dǎo)向部22j，在Z軸方向上外周間隙k的位置改變的情況下，由于以鏝刀部16h以及接觸 部16a和16f為一體的支點(diǎn)，彈性部2 和221變位為環(huán)狀，所以具有能夠在相對于外周間 隙k的變動保持水平姿勢的同時(shí)，鏝刀部16h以及接觸部16a和16f可追隨變形的優(yōu)點(diǎn)。在上述第2-2例的供給裝置中，替換浮動機(jī)構(gòu)內(nèi)置了上述導(dǎo)向部22a 22j，但是 即使根據(jù)應(yīng)當(dāng)填充的對象物而在具有浮動機(jī)構(gòu)的第2-1例的供給裝置中組裝上述導(dǎo)向部 22a 22j，當(dāng)然也沒問題。另外，在上述說明中為了容易理解以正面圖示大小相同的玻璃基板w3和w4所構(gòu) 成的未接合體WO為對象，但是即使是大小不同的玻璃基板也可以對應(yīng)。即，在將大小不同 的2片玻璃基板位置對準(zhǔn)的未接合體的端部不一致而形成階差時(shí)，可以使供給筒的吐出面 的形狀成為與該階差相對應(yīng)的形狀。[第3方式]下面根據(jù)第3-1例、第3-2例，對上述0 中說明的方式的熔融金屬供給筒、內(nèi)置 了該供給筒的熔融金屬供給裝置、熔融金屬的供給方法以及它們的優(yōu)選方式進(jìn)行說明。
[第3-1 例]參照圖27-30對本發(fā)明的第3-1例即熔融金屬的供給筒以及內(nèi)置了該供給筒的熔 融金屬供給裝置進(jìn)行說明。圖27是示出本例中熔融金屬供給裝置的主要部分的局部剖面 圖，圖28、圖四是本例中供給筒M的剖面圖以及局部立體圖。首先，對熔融金屬的供給裝置進(jìn)行說明。供給裝置用來制造參照圖51 (a)、(b)說 明的玻璃嵌板W，包括供給筒M、安裝供給筒M的夾具M(jìn)a、以夾具2 為主使其上下浮動 的浮動機(jī)構(gòu)Mb、和支撐浮動機(jī)構(gòu)24b的套管Me。浮動機(jī)構(gòu)24b能夠用上下設(shè)置了具有適 度柔軟性的橡膠或彈簧的構(gòu)造來實(shí)現(xiàn)，能夠保持供給筒M的姿勢，而不會向玻璃基板《3、 w4或者供給筒M作用過度的力。再有，通過軸部件24d將安裝在夾具2 上的超聲波振動 體2 與供給筒M接合，優(yōu)選向供給筒M的長度方向施加超聲波振動。如圖觀所示，供給筒M在內(nèi)部具有在一面2 !和另一面2 開口的流通熔融焊 錫Ml的圓形截面的流路Mi，包括橫切與另一面2 正交的第2開口 24h并僅插入到流路 24i中LO深度來安裝的導(dǎo)向部25，從第2開口 24h排出的熔融焊錫Ml通過導(dǎo)向部25供給 到外周間隙中。供給裝置使供給筒M移動，以在另一面2 與玻璃基板w3和w4的外周端面隔著 規(guī)定的間隙s的狀態(tài)下，將導(dǎo)向部25插入到玻璃基板w3、w4的外周間隙k中，同時(shí)能夠沿 著外周間隙k以一定的速度旋轉(zhuǎn)一周。再有，該移動動作不必由供給裝置全部進(jìn)行，也可以 由承載玻璃基板《3和w4的載物臺等分擔(dān)，相對地進(jìn)行。這樣，供給裝置能夠配合移動方式 具有各種構(gòu)造。根據(jù)移動方式的構(gòu)造是哪一種，玻璃基板w3和w4的移動構(gòu)造和供給裝置 的移動構(gòu)造可以組合公知技術(shù)，例如直線移動時(shí)馬達(dá)和滾珠絲杠或直線導(dǎo)軌等，旋轉(zhuǎn)移動 時(shí)馬達(dá)或氣缸與軸承來實(shí)現(xiàn)。上述套管2 可以通過在上下方向上調(diào)節(jié)位置的夾具等安裝 在移動機(jī)構(gòu)上。通過這樣的結(jié)構(gòu)，可以事先相對于玻璃基板w3和w4的外周間隙k調(diào)節(jié)導(dǎo) 向部25的高度，以與玻璃基板w4的厚度或間隙保持部件Q的高度相匹配。 對導(dǎo)向部25進(jìn)行說明。導(dǎo)向部25插入到玻璃基板w3和w4的外周間隙k中，將 從供給筒M的第2開口(下面在第3-1例、第3-2例中稱為排出口)24h中排出的熔融焊 錫Ml供給到外周間隙k中。使該導(dǎo)向部25沿著外周間隙k移動時(shí)，使熔融焊錫Ml在玻璃 基板w3和w4的主面上滑動，也就是在涂入的同時(shí)供給到玻璃基板w3和w4的外緣間隙k 中。并且，和本例中的導(dǎo)向部類似的專利文獻(xiàn)4中記載的導(dǎo)入板設(shè)置在熔融焊錫排出口的 中心部上，且被排出口的導(dǎo)入板分割的上下排出口的面積相同的結(jié)構(gòu)不同，如圖30所示， 在垂直方向上從排出口 24h的中心向下方偏移的狀態(tài)下設(shè)置導(dǎo)向部25。從而，被導(dǎo)向部25 隔開的上側(cè)的排出口 24j的面積比下側(cè)的排出口 24k的面積大。如圖四所示，導(dǎo)向部25包括比玻璃基板w3和w4的外周間隙k的尺寸g小的厚 度0 的板狀體25c ；及從板狀體25c的上下表面突出的、與外周間隙k的尺寸g大致相同 厚度(Tl)的突起部25a。該板狀體25c插入到外周間隙k中，將熔融焊錫Ml導(dǎo)入到與板狀 體25c的表面相對的玻璃基板w3和w4的間隙中，涂入到玻璃基板w3和w4的主面上，下面 將插入到外周間隙k中的L2的部分稱為鏝刀部25d。另外，在板狀體25c的上下表面上形 成的突起部2 形成為從排出口 24h僅突出Ll。突起部2 具有插入到外周間隙k中可相 對玻璃基板《3和w4的主面滑動的接觸面，下面將形成了該接觸面的部分稱為接觸部25b。將導(dǎo)向部25插入到外周間隙k中時(shí)，通過將接觸部2 嵌合在外周間隙k中，以外周間隙k限制鏝刀部25d的上下方向的位置。即，如圖30所示，能夠?qū)㈢N刀部25d的上 表面和玻璃基板《3之間的第1間隙Gu、鏝刀部25d的下表面與玻璃基板w4之間的第2間 隙Gd位置維持一定。再有，優(yōu)選對接觸部2 實(shí)施用來使與玻璃基板w3和w4的主面的滑 動性更好的表面處理，例如M疏水電鍍。另外，為了容易地嵌入到外周間隙k中，優(yōu)選對接 觸部2 在其側(cè)面或與鏝刀部25d的階差面的角上實(shí)施倒角C。該倒角c可以通過切削加 工、噴砂加工、蝕刻等，通過將角部倒成直線狀或曲線狀來形成。再有，上述板狀體25c和突起部2 可以通過一體構(gòu)造來形成，也可以是通過粘結(jié) 或疊層工序等固定了其他部件的組裝構(gòu)造。為組裝構(gòu)造時(shí)，可以使板狀體25c為玻璃，使突 起部2 為金屬等，與要求的功能相適應(yīng)選擇適當(dāng)?shù)牟牧线M(jìn)行組合。如圖四(a)所示，在板狀體25c的上下表面上形成的突起部25a，形成為左右夾著 可從流路24i流入熔融焊錫Ml的導(dǎo)向槽2&、2釙的形式。導(dǎo)向槽2 和2 可以通過進(jìn)行 槽加工來形成，以便分隔例如一體形成的突起部25a。導(dǎo)向槽2 和25h的寬度、深度可以 與熔融焊錫Ml的導(dǎo)通性相適應(yīng)適當(dāng)確定，但是對于導(dǎo)通性來說優(yōu)選尺寸較大，如圖29(b) 所示，也可以是掘入板狀體25c達(dá)到鏝刀部25d的方式。如前所述，在鏝刀部25d通過導(dǎo)向槽25e、2^!將供給的熔融焊錫Ml導(dǎo)入到間隙 Gu、Gd中的同時(shí)，牢固地與玻璃基板w3、w4接合。從而，隨著鏝刀部25d的移動，熔融焊錫 Ml從間隙Gu、Gd流入填充到其移動方向上鏝刀部25d的后方的外周間隙k中，接合部η的 寬度由鏝刀部25d的長度L2確定。鏝刀部25d的厚度T2根據(jù)第1間隙Gu以及第2間隙 Gd的尺寸設(shè)定，以使用均勻的面壓力接觸玻璃基板w3和w4的主面的同時(shí)，涂入熔融焊錫 Ml。為了使熔融焊錫Ml隨著鏝刀部25d —起移動、良好地涂入到玻璃基板w3和w4中，優(yōu) 選間隙Gu、Gd狹窄。另外，為了提高熔融焊錫Ml的跟隨性，也可以在鏝刀部25d的表面上 形成與移動方向交叉的槽。對供給筒M進(jìn)行說明。供給筒M從在一面2 !上形成的第1開口 24g中供給熔 融焊錫M1，從在另一面2 上形成的第2開口即排出口 24h中排出。向該第1開口 24g供 給的熔融焊錫Ml例如以規(guī)定的速度將焊錫絲M送入到第1開口 24g中的同時(shí)被供給筒M 熔融，根據(jù)應(yīng)當(dāng)充分填滿玻璃基板w3和w4的外周間隙k的供給量進(jìn)行流量供給控制。如圖觀所示，供給筒M具有如上所述熔融焊錫絲M形成的熔融焊錫Ml流通的 流路Mi、形成流路24i的第1開口 24g并熔融焊錫絲M的熔融面2 !、以及形成排出口 Mh 的另一面即排出面Mh，在其外周面上卷繞用來熔融焊錫絲M的加熱器Ml。通過這樣結(jié)構(gòu) 的供給筒對，控制為以閉塞第1開口 24g的姿勢使下端面與熔融面2細(xì)接觸的速度送出焊 錫絲M，將其按壓到熔融面2細(xì)上而熔融。于是，熔融焊錫Ml流過流路24i從排出口 24h連 續(xù)地排出。第1開口 24g所開口的熔融面2 !是例如對供給筒M的表面進(jìn)行锪孔加工形成 的凹狀部的底面。第1開口 Mg的直徑ΦΒ小于與熔融面2 !接觸的焊錫絲M的端面直徑 ΦΑ，流路24i形成為至少在熔融面2 !的附近是直徑ΦΒ的管狀。由此，即使在焊錫絲M的 外周面上生成了氧化物E，氧化物E向流路Mi的流入也被第1開口 Mg的外周緣部，即熔 融面2細(xì)所阻止，只有幾乎沒有混入氧化物E的潔凈的熔融焊錫Ml流入到流路24i中。再 有，由于在大氣中保管的限制焊錫M的表面上生成的氧化物E層的厚度通常為幾十μ m左 右，所以焊錫絲M與第1開口 Mg的直徑的差，SP ΦΑ-ΦΒ為Imm左右就足夠了。
再有，優(yōu)選在供給筒M的周圍形成周壁Mo以包圍熔融面2細(xì)。被阻止流入到流 路Mi中的氧化物E儲存在熔融面2 !的凹狀的底部上，但是也可以通過吸引或切開周壁 24ο的一部分使其流出而適當(dāng)回收。另外，排出面2 附近的流路24i的末端部優(yōu)選形成為 與排出面2 大致正交。由此，確定供給筒M的位置以使隔著間隙s排出面2 與玻璃基 板w3和w4的外周端面相對時(shí)，排出面Mn的附近的流路24i相對于外周間隙k呈平行的 狀態(tài)。對上述供給筒M進(jìn)行的熔融焊錫Ml的供給動作進(jìn)行說明。在供給熔融焊錫Ml 時(shí)，將供給裝置構(gòu)成為供給筒M中平穩(wěn)熔融焊錫Ml的流通狀態(tài)處于平穩(wěn)狀態(tài)時(shí)沿玻璃基 板w3和w4的外周間隙k移動。所謂平穩(wěn)狀態(tài)指可以將熔融焊錫Ml從導(dǎo)向部25的導(dǎo)向槽 25e和25h中導(dǎo)入到間隙Gu和Gd中的狀態(tài)，如圖30所示，是到達(dá)了排出口 24h的熔融焊錫 Ml處于比導(dǎo)向槽2 高水平的狀態(tài)。其中，優(yōu)選開始從第1開口 24g供給熔融焊錫Ml到達(dá) 該平穩(wěn)狀態(tài)的時(shí)間盡可能短。因此，控制熔融焊錫Ml的供給量，以成為能夠在非平穩(wěn)狀態(tài) 即熔融焊錫Ml的供給開始時(shí)，熔融焊錫Ml迅速地填滿流路24i，在平穩(wěn)狀態(tài)下充分地填滿 外周間隙k的流量。由于在平穩(wěn)狀態(tài)下，在被導(dǎo)向部25上下分離的流路Mi中，下側(cè)的流路24q被熔 融焊錫Ml填滿，所以在下側(cè)的流路24q開口的下側(cè)的排出口 24k與玻璃基板w4的端面之 間的間隙s中也填滿了熔融焊錫Ml。在該狀態(tài)下，熔融焊錫Ml被導(dǎo)入到第2間隙Gd中，但 是從排出口 Mk與玻璃基板w4的端面之間的間隙s中溢出多余的熔融焊錫Ml。供給到流 路Mi中的熔融焊錫Ml流量被控制，排出口 24k與玻璃基板w4的端面之間的間隙s中存 在的熔融焊錫Ml上供給壓力并不大，但是該間隙s的重力方向(下方)開放，所以漏出的 熔融焊錫Ml變?yōu)榇瓜?。由于從該下?cè)流路Mq中的漏出從熔融金屬M(fèi)l的供給開始到達(dá)到 平穩(wěn)狀態(tài)時(shí)一直都在發(fā)生，所以優(yōu)選漏出量少。另一方面，即使與上側(cè)流路24p相連的上側(cè) 排出口 24j與玻璃基板w3的端面的間隙s被熔融焊錫Ml填滿，該間隙中存在的熔融焊錫 Ml也由于導(dǎo)向部25的存在不易漏出。從而，為了減少從排出口 24h與玻璃基板w3以及w4 的端面的間隙s中漏出的熔融焊錫Ml的量，也可以減少從下側(cè)流路24q中排出的熔融焊錫 Ml的量。由于供給筒M被安裝在導(dǎo)向部25從排出口 24h的中心向下方偏移的位置上，所 以下側(cè)排出口 Mk的面積比上側(cè)排出口 24j的面積小。另外，下側(cè)流路Mq的容積也比上 側(cè)流路Mp的容積小。從而，從下側(cè)排出口 Mk中排出的量比從上側(cè)排出口 24j中排出的 量少。即，在供給筒24中從下側(cè)流路24q中排出的熔融焊錫Ml的量少，能夠減少從排出口 24h與玻璃基板w3以及w4的端面的間隙s中的漏出量，而且能夠縮短達(dá)到平穩(wěn)狀態(tài)的時(shí) 間。導(dǎo)向部25的偏移量F可以根據(jù)熔融焊錫Ml的供給量、排出面2 與玻璃基板w3以及 w4的端面的間隙s的大小以及導(dǎo)向槽2 和25h的大小等適當(dāng)設(shè)定，但是由于越大時(shí)填滿 下側(cè)流路24q的熔融焊錫Ml的量越少，所以能夠在進(jìn)一步減少漏出量的同時(shí)還能夠縮短達(dá) 到平穩(wěn)狀態(tài)的時(shí)間。采用上述供給筒M時(shí)，被供給的潔凈的熔融焊錫Ml在排出面2 和玻璃基板w3 以及《4的端面的間隙s以及間隙Gu和Gd中，僅稍與外部氣氛接觸，即被供給到玻璃基板 w3和w4的外周間隙k中。從而，被供給的潔凈的熔融焊錫Ml即使在大氣氣氛下，也能夠 在氧化被抑制的狀態(tài)下與玻璃基板w3和w4的主面接觸。從而，本例的供給裝置適用于使用SnAgAl系合金焊錫，該SnAgAl系合金焊錫借助適當(dāng)量的氧具有與玻璃的優(yōu)異的接合性。 再有，為了提高熔融焊錫Ml的填充性，優(yōu)選對導(dǎo)向部25的表面的至少接觸熔融焊錫Ml的 面進(jìn)行提高與熔融焊錫Ml的浸潤性的處理，例如覆蓋Ag、Cr、Al、Mo、W、V、Nb、Ta等，另外， 優(yōu)選實(shí)施作為防溶蝕處理的氮化處理等，以使導(dǎo)向部25的表面不被熔融焊錫Ml所溶蝕，在 熔融焊錫Ml中混入雜質(zhì)。另外，優(yōu)選也對流路24i的表面進(jìn)行所述處理。接下來，說明本例的供給裝置進(jìn)行的向外周間隙k供給熔融焊錫Ml的動作。在內(nèi) 置有發(fā)熱體的、可在XY兩軸方向上移動的載物臺上，通過規(guī)定尺寸的間隙保持部件Q，確定 上下配置的玻璃基板《3和w4的位置，將玻璃基板w3和w4加熱到熔融焊錫Ml的熔融溫度 的程度。供給筒M的導(dǎo)向部25被插入到玻璃基板w3和w4的外周間隙k中一邊端部的規(guī) 定位置上，移動供給筒M以在玻璃基板w3和w4的端面和排出面2 中形成規(guī)定的間隙S。 此時(shí)，預(yù)先調(diào)節(jié)安裝位置，以使鏝刀部25d來到外周間隙k的上下方向的中心附近，卻難以 精確地調(diào)整到外周間隙k的中央。但是，如不良好地進(jìn)行該調(diào)節(jié)，即使將鏝刀部25d插入到 外周間隙k中，也有接觸部2 接觸上下任意一個(gè)玻璃基板w3或w4的端面的可能性。其 中，供給筒M在上下方向上被浮動機(jī)構(gòu)支撐，另外由于對接觸部2 實(shí)施倒角c，所以容易 將接觸部2 嵌入到外周間隙k中。由此，將鏝刀部25d的位置確定在外周間隙k的上下 方向上的大致中央處，鏝刀部25d與玻璃基板w3以及w4的間隙Gu和Gd上下大致相同。規(guī)定流量的潔凈的熔融焊錫Ml被供給到流路Mi中，開始從排出口 24h中排出。 由于將導(dǎo)向部25偏移，并安裝在排出口 24h的下側(cè)上，所以短時(shí)間內(nèi)達(dá)到平穩(wěn)狀態(tài)，為了向 外周間隙k的一邊供給熔融焊錫M1，能夠使玻璃基板w3和w4呈直線以規(guī)定的速度向一個(gè) 方向(X方向)移動。期間，熔融焊錫Ml被導(dǎo)入到間隙Gu和Gd中，填充到外周間隙k中， 但是由于從導(dǎo)向部25的下部的排出口 24k與玻璃基板w4的間隙s中漏出的熔融焊錫Ml 較少，所以幾乎不發(fā)生垂下或滴下。另外，由于接觸部2 嵌入到位置間隙k中并且處于浮 動狀態(tài)，所以會追隨玻璃基板《4的厚度偏差或向X方向的載物臺的上下方向的彎曲等，在 玻璃基板w3和w4的移動時(shí)產(chǎn)生的外周間隙k的上下方向的位置變化，間隙Gu和Gd維持 各自的尺寸。由此，由于沿鏝刀部25d的上下表面導(dǎo)入幾乎相同量的熔融焊錫M1，所以隨著 鏝刀部25d的移動而移動的熔融焊錫Ml流動狀態(tài)在間隙Gu和Gd中幾乎相同，對玻璃基板 w3的主面、玻璃基板w4的主面相同地供給熔融焊錫Ml。另外，在填充中使超聲波動作，向?qū)虿?5施加超聲波振動時(shí)，熔融焊錫Ml與導(dǎo) 向部25、以及熔融焊錫Ml與玻璃基板w3以及w4的浸潤性提高，即使在間隙Gu和Gd狹窄 的情況下也順利地供給熔融焊錫Ml。該超聲波振動通過熔融焊錫Ml還作用在玻璃基板w3 和w4的主面上，除去熔融焊錫Ml與玻璃基板w3以及w4的接觸界面上存在的氣泡或氧化 膜等雜質(zhì)。從而，能夠提高熔融焊錫Ml對玻璃基板w3和w4的接合性，對于提高玻璃嵌板 W的接合強(qiáng)度是有效的。如上所述，在外周間隙k 一邊的熔融焊錫Ml的供給結(jié)束時(shí)，安裝了供給筒M的套 筒2 在水平方向上旋轉(zhuǎn)90度，接著，玻璃基板w3和w4沿著與上述一邊垂直的另一邊水 平移動。并且，即使在另一邊也與上述一邊相同，向外周間隙k供給熔融金屬M(fèi)1，而在玻璃 基板w3和w4的外周端面上熔融焊錫Ml幾乎不垂下。對各邊依次進(jìn)行該動作，向玻璃基板 w3和w4的整個(gè)外周間隙k中供給熔融焊錫M1，供給熔融焊錫Ml而不會在玻璃基板w3和 w4外緣端面上大量堆積或垂下。向該玻璃基板w3和w4的供給動作結(jié)束時(shí)，承載了玻璃基板w3和w4的載物臺向外部轉(zhuǎn)移。并且有，從搬到外部的載物臺上取下玻璃基板w3和w4， 但是由于熔融焊錫Ml沒有附著在載物臺上，所以不必進(jìn)行從載物臺上除去焊錫的動作。接著，重新裝載承載其他玻璃基板w3和w4并進(jìn)行了加熱準(zhǔn)備的其他載物臺，與 上述供給動作相同地進(jìn)行向新的玻璃基板w3和w4的外周間隙k中供給熔融焊錫Ml的動 作。其中，由于玻璃基板w4的厚度精度不同或玻璃基板w3和w4安裝到載物臺上的狀態(tài)不 同，新的玻璃基板w3和w4在上下方向上的外周間隙k的位置會有不同的可能性。即使在 該情況下，通過本例的供給裝置，由于在上下方向上由浮動機(jī)構(gòu)支撐供給筒對，另外對接觸 部2 實(shí)施了倒角Tc，所以能夠在上下方向上將鏝刀部25d插入到外周間隙k的中心位置 上，能夠在維持間隙Gu和Gd的尺寸的狀態(tài)下填充熔融焊錫Ml。再有，導(dǎo)向部25沿著外周間隙k移動時(shí)，由于毛細(xì)管現(xiàn)象，熔融焊錫Ml滲透到接 觸部2 與玻璃基板w3以及w4的主面之間。熔融焊錫Ml從鏝刀部25d迂回地供給到受 滲透的熔融焊錫Ml的吸引、接觸部2 接觸并且通過后的接觸區(qū)域上。但是，在接觸部25b 的長度Ll較長的情況下，由于恐怕不能向整個(gè)接觸區(qū)域部分供給熔融焊錫M1，所以優(yōu)選圖 29中示出的接觸部25b的長度Ll較短，優(yōu)選為接合部η的寬度的10-20%左右。再有，接 觸部25b的上下表面不限于如圖四所示的平坦平面，也可以是形成了槽的平面，另外也可 以是曲面。[第3-2 例]參照圖31-33對本發(fā)明的第3-2例即熔融金屬供給筒以及內(nèi)置了該供給筒的熔融 金屬供給裝置進(jìn)行說明。第3-1例的供給筒M是從排出口 24h的中心向下方偏移地安裝導(dǎo)向部25，但是本 例中的供給筒的構(gòu)成是將導(dǎo)向部25安裝在排出口 24h的中心或中心附近，另 一方面，從排出口 24h的下側(cè)排出口 24k中排出的熔融焊錫Ml的量比從上側(cè)排出口 24j中 排出的量少。在圖31(a)中示出了在下側(cè)流路Mq的端部上安裝了擋板^b的供給筒^a。隔 著間隙在導(dǎo)向部25的下表面設(shè)置該擋板^b，該間隙形成下側(cè)排出口 Mk。在圖31(b)中示 出的供給筒26c與上述同樣設(shè)置擋板沈山但是在與導(dǎo)向部25之間不設(shè)置間隙，在擋板 的上方形成使小剖面的熔融焊錫Ml通過的通過孔，以該孔為下側(cè)排出口 Mk。圖31 (c)的 供給筒^e由于在下側(cè)流路Mq內(nèi)安裝擋板部件^f，所以下側(cè)流路Mq的容積比上部流路 24p的容積小。上述第3-1例、第3-2例的供給裝置是為了將鏝刀部25d與玻璃基板w3以及w4 的間隙Gu和Gd維持為恒定，而在導(dǎo)向部25上設(shè)置構(gòu)成接觸部2 的突起部25a，將突起部 2 插入到供給筒M中進(jìn)行設(shè)置為例的供給裝置。但是，如圖32(a)中示出的供給筒^g 那樣，能夠不將突起部2 插入到供給筒M中，僅在從供給筒M的端面剛剛伸出的部分上 形成突起部2 而構(gòu)成接觸部25b。另外，如圖32(b)的供給筒2 所示，還可以在板狀體 25c的前端部上形成突起部2 而構(gòu)成接觸部25b。再有，導(dǎo)向部25中的板狀體25c以及 突起部2 可以是金屬、玻璃、陶瓷等相同的材料或其他材料。另外，如圖32(c)中示出的供給筒26p所示，還可以僅采用沒有突起部的厚度相同 的板狀體26q。這也適用于玻璃基板的厚度偏差或玻璃基板的移動機(jī)構(gòu)的引導(dǎo)振動等極小， 只會在可忽略間隙的程度上變化，例如一邊為幾到十幾cm左右的小尺寸玻璃基板的情況。再有，在該情況下作為供給裝置不一定由浮動機(jī)構(gòu)支撐供給筒。上面的說明中為了容易理解，玻璃基板w3和w4的平面尺寸相同，但是即使它們是 不同的尺寸也能夠?qū)?yīng)。即，在玻璃基板w3和w4的平面尺寸不同、位置對應(yīng)的情況下，在 雙方的外緣端面不齊而形成階梯的情況下，如圖33的供給筒26ι 所示，可以通過使排出口 24h開口的排出面2 為與該階梯相對應(yīng)的形狀來解決。[第4方式]下面根據(jù)其第4-1例、第4-2例、第4_3例對上述(31)的熔融金屬供給筒、組裝了 該供給筒的熔融金屬供給裝置、熔融金屬供給方法以及它們的優(yōu)選方式進(jìn)行說明。[第4-1 例]參照圖34 圖39對本發(fā)明的第4_1例即熔融金屬供給筒以及組裝了該供給筒的 熔融金屬供給裝置進(jìn)行說明。圖34是示出第4-1例的供給裝置的主要部分的局部剖面圖， 圖35是示出本例供給筒的剖面圖，圖36以及圖37是示出本例的導(dǎo)向部以及其變形例的立 體圖，圖38是示出將圖36的導(dǎo)向部插入到玻璃基板的外周間隙中供給熔融焊錫時(shí)的狀態(tài) 示意圖，圖39是示出圖36的導(dǎo)向部的變形例的示意圖。首先對本例的供給裝置進(jìn)行說明。該供給裝置是制造參照圖51(d)說明的、玻璃 基板w3和w4的平面尺寸不同、下側(cè)的玻璃基板w4的端緣超出上側(cè)的玻璃基板w3的端緣 而突出的玻璃嵌板W的供給裝置，包括供給筒27、安裝供給筒27的夾持器27a、以夾持器 27a為主上下浮動的浮動機(jī)構(gòu)27b、支撐浮動機(jī)構(gòu)27b的套管27e。浮動機(jī)構(gòu)27b可以通過 上下設(shè)置了具有適度柔軟性的橡膠或彈簧的構(gòu)造來實(shí)現(xiàn)，能夠保持供給筒27的姿勢而不 向玻璃基板w3和w4或供給筒27作用過度的力。再有，優(yōu)選通過軸部件27d使安裝在夾持 器27a上的超聲波振動體27c與供給筒27接合，向供給筒27的長度方向施加超聲波振動。供給筒27在內(nèi)部具有在側(cè)面上的一面2 和端面?zhèn)鹊牧硪幻?71上開口的圓形 剖面的流過熔融焊錫Ml的流路27i，包括安裝在另一面271側(cè)上的導(dǎo)向部觀，將導(dǎo)向部觀 的前端部插入到玻璃基板w3和w4的外周間隙k中，通過導(dǎo)向部28將從另一面271側(cè)的第 2開口(下面稱為第4-1例、第4-2例、第4-3例的排出口)2 排出的熔融焊錫Ml供給到 向外周間隙k中。如圖34所示，供給筒27在向玻璃基板w3和w4的外周間隙k中供給熔融焊錫Ml 時(shí)，位置確定在相對于外周間隙k僅向上方偏離規(guī)定高度的位置上，以不與相對于上側(cè)的 玻璃基板w3突出的下側(cè)的玻璃基板w4的突出部分發(fā)生干擾。從而本例的導(dǎo)向部觀是具 有與上下方向上供給筒27的排出口 2 和外周間隙k的高度的差相對應(yīng)的階梯形狀。供給裝置在該另一面271與上側(cè)玻璃基板w3的端面僅隔著規(guī)定間隙s的狀態(tài)下， 將導(dǎo)向部觀的前端部插入到玻璃基板w3和w4的外周間隙k中的同時(shí)，可使供給筒27沿 著外周間隙以規(guī)定的速度移動一周。再有，該移動動作不必全部由供給裝置進(jìn)行，也可以由載置了玻璃基板w3和w4的 載物臺等分擔(dān)相對進(jìn)行。這樣一來供給裝置可以與移動方式相對應(yīng)具有各種構(gòu)造?；谝?動方式的構(gòu)造是哪一種，玻璃基板《3和w4的移動機(jī)構(gòu)或供給裝置的移動機(jī)構(gòu)可以通過組 合公知技術(shù)，例如直線移動時(shí)組合馬達(dá)和滾珠絲杠或線性導(dǎo)軌等，旋轉(zhuǎn)移動時(shí)組合馬達(dá)或 氣缸與軸承來實(shí)現(xiàn)。上述套管27e可以通過在上下方向上調(diào)節(jié)位置的工具等安裝在移動機(jī) 構(gòu)上。通過這樣的結(jié)構(gòu)，可以事先相對于玻璃基板w3和w4的外周間隙k調(diào)節(jié)導(dǎo)向部25的高度，以與玻璃基板《4的厚度或間隙保持部件P的高度相匹配。參照圖36 38說明本例的導(dǎo)向部28。如圖36(a)以及圖38所示，將導(dǎo)向部28 構(gòu)成為安裝在排出口 2 的下部以僅使其上表面面對流路27i，從排出口 Wh中排出的熔融 焊錫Ml基本上僅在上表面上流動，不在下表面上流動。如圖36和37所示，導(dǎo)向部28包括一段階梯狀的板狀體28c和在板狀體^c的表 面上形成的突起部^a。板狀體28c具有安裝在供給筒27上的基端部^e、插入到外周間隙 中的前端部^cU和連結(jié)其間的傾斜部^f?；瞬?8e被設(shè)置為與前端部28d大致平行， 傾斜部28f被設(shè)置為相對于前端部28d呈規(guī)定的角度θ。該角度θ是由傾斜部^f的水 平方向的突出尺寸L、高度方向的階梯高度F所決定的角度。該尺寸L、F根據(jù)供給筒27的 另一面271與玻璃基板w3的間隙S、供給筒27以及流路27i的外徑尺寸等決定。角度θ 通常是鈍角，但是還存在突出尺寸L為零的情況，在該情況下角度θ為90°。上述板狀體 28c可以在兩個(gè)部位彎曲板材來形成，也可以由塊狀體通過切削加工切削而形成。如圖38所示，導(dǎo)向部28的板狀體^c的前端部28d被插入到玻璃基板w3和w4 的外周間隙k中，將從供給筒27的排出口 2 中排出的熔融焊錫Ml供給到外周間隙k中。 使該導(dǎo)向部觀沿著外周間隙k移動時(shí)，使熔融焊錫Ml在玻璃基板w3和w4的主面上滑動， 即在涂布的同時(shí)供給到玻璃基板w3和w4的外周間隙k中。從而，板狀體28c的前端部28d 的厚度T2比玻璃基板w3和w4的外周間隙k的尺寸g小。以下將距離前端部^d的前端 距離為L2的范圍稱為鏝刀部^g。鏝刀部^g的上下表面被設(shè)置為與玻璃基板w3和w4的 主面隔著一定的間隙Gu和Gd相對。即使有時(shí)將導(dǎo)向部28插入到玻璃基板w3和w4的外周間隙k中移動時(shí)、上下方 向上外周間隙k的位置發(fā)生變化等，突起部^a也將間隙Gu和Gd維持為恒定。將突起部 28a設(shè)置在前端部28d上，但是為了后述的其他目的有時(shí)也在前端部^d以外處形成。下 面將設(shè)置在前端部28d上的突起部28a稱為接觸部^b。接觸部28b從前端部^d的上下 表面突出，其厚度Tl與外周間隙k的尺寸g大致相同，具有插入到外周間隙k中可與玻璃 基板w3和w4的各個(gè)主面之間可滑動的接觸面。再有，突起部接觸部^b)可以在板 狀體前端部^d)上通過粘結(jié)或疊層工藝等形成。由此，板狀體28c中采用的例如金 屬、玻璃、陶瓷等可以不必與突起部28a是相同的材料，可以與滑動性或耐磨損性等要求的 功能相適應(yīng)采用適當(dāng)?shù)牟牧?。再有，突起?8a與板狀體28c可以一體形成。根據(jù)上述導(dǎo)向部觀，將導(dǎo)向部28插入到外周間隙k中時(shí)，將接觸部28b嵌合到外 周間隙k中，從而限制了外周間隙k中鏝刀部28g上下方向的位置。即能夠?qū)㈢N刀部28g 的上表面和玻璃基板w3間的第1間隙Gu、鏝刀部^g的下表面與玻璃基板w4間的第2間 隙Gd維持為恒定。優(yōu)選對接觸部^b實(shí)施用來提高與玻璃基板w3和w4之間的滑動性的 表面處理，例如M疏水電鍍。另外，為了易于嵌入到外周間隙k中，優(yōu)選對接觸部28b實(shí)施 嵌入方向上存在角部的倒角。該倒角可以通過使角部修整成直線狀或者曲線狀的部位，通 過切削加工、磨粒加工、蝕刻等來形成。來自排出口 2 的熔融焊錫Ml被排出到導(dǎo)向部觀的上表面上。作為優(yōu)選的方式， 在本例的導(dǎo)向部觀的上表面上設(shè)置用來將熔融焊錫Ml平滑地導(dǎo)入到前端部28d中的導(dǎo)向 槽觀11。沿著熔融焊錫Ml的排出方向即排出口 27h附近的流路27i的軸心，在基端部^e、 傾斜部^f、前端部28d的上表面上連續(xù)地形成多條線狀的導(dǎo)向槽^h。再有，不受圖36 (a)中示出的方式的限定，導(dǎo)向槽例如像圖36(b)中示出的導(dǎo)向部四那樣，可以成為在板狀體 28c上設(shè)置的規(guī)定寬度、深度的一條導(dǎo)向槽^a的方式，也可以如圖37(a)中示出的導(dǎo)向部 30那樣，成為將突起部28a延伸設(shè)置到傾斜部^f以及基端部28e上，并設(shè)置了以該突起部 28a為側(cè)壁的導(dǎo)向槽30a的方式。導(dǎo)向槽的結(jié)構(gòu)可以與熔融焊錫Ml的流通性或外周間隙k 的尺寸g等相適應(yīng)，適當(dāng)?shù)赜脝为?dú)的或復(fù)合的構(gòu)造來形成。熔融焊錫Ml流過導(dǎo)向部觀的上表面被供給到第1間隙Gu中。作為優(yōu)選的方式， 在本例的供給筒中，為了將供給到該第1間隙Gu中的熔融焊錫Ml導(dǎo)入到第2間隙Gd中， 如圖36和37 (a)所示，在前端部28d上設(shè)置在厚度方向上貫通前端部^d的貫通孔29b或 者切口 28j所構(gòu)成的貫通部觀1。再有，如圖37(b)中示出的導(dǎo)向部31那樣，在與將導(dǎo)向 部洲插入到外周間隙k中移動時(shí)的箭頭所表示的移動方向相對的前端部的側(cè)面上設(shè)置切 除部31a，將導(dǎo)入到第1間隙Gu中的熔融焊錫Ml導(dǎo)入到第2間隙Gd中。該切除部31a也 與貫通部的方式相同。通過設(shè)置上述的貫通部^i，隨著插入到外周間隙k中的導(dǎo)向部28沿著外周間隙 k移動，被導(dǎo)入到第1間隙Gu中的熔融焊錫Ml被良好地導(dǎo)入到第2間隙Gd。其結(jié)果是，從 間隙Gu和Gd向?qū)虿坑^的移動方向上對導(dǎo)向部觀后方的外周間隙k中迂回供給熔融焊 錫M1，由鏝刀部28g涂布到玻璃基板w3和w4的主面上。其中，熔融金屬M(fèi)l的供給寬度由 鏝刀部^g的長度L2大致限定，能夠得到穩(wěn)定的供給寬度。再有，鏝刀部^g的厚度T2根 據(jù)在均勻的面壓力下使熔融焊錫Ml與玻璃基板w3和w4接觸時(shí)涂入的間隙Gu和Gd的尺寸 來設(shè)定。熔融焊錫Ml隨著鏝刀部28g —起移動，為了良好地涂布到玻璃基板w3和w4上， 優(yōu)選間隙Gu和Gd較窄。另外，為了提高熔融焊錫Ml的追隨性，優(yōu)選在鏝刀部^g的表面 上形成與移動方向交叉的細(xì)微的槽。下面對供給筒27進(jìn)行說明。供給筒27從在一個(gè)面2 上形成的第1開口 27g中 供給熔融焊錫M1，從另一面271上形成的第2開口即排出口 Wh中排出。被供給到該第1 開口 27g中的熔融焊錫Ml，例如在以規(guī)定的速度將錫焊絲M送入到第1開口 27g中的同時(shí) 被供給筒27熔融，按照應(yīng)該充分地填滿玻璃基板w3和w4的外周間隙k的供給量進(jìn)行控制 的流量進(jìn)行供給。如圖35所示，供給筒27具有熔融錫焊絲M形成的熔融焊錫Ml流通的流路27i ； 形成流路27i的第1開口 27g、并熔融錫焊絲M的熔融面27k ；形成了排出口 2 的排出面 271，在其外周面上卷繞用來熔融錫焊絲M的加熱器27j。通過這樣結(jié)構(gòu)的供給筒27，按照 被控制為以通過下端面阻塞第1開口 27g的方式與熔融面2 接觸的速度送出錫焊絲M，將 其按壓到熔融面27k上進(jìn)行熔融。于是，熔融焊錫Ml流過流路27i，從排出口 Wh連續(xù)地 排出。第1開口 27g所開口的熔融面2 是例如對供給筒27的側(cè)面進(jìn)行锪孔加工形成 的凹狀部的底面。第1開口 27g的直徑ΦΒ不大于與熔融面2 接觸的錫焊絲M端面的直 徑ΦΑ，流路27i形成為在熔融面27k的附近直徑ΦΒ的管狀。由此，即使在錫焊絲M的外 周面上生成了氧化物E，氧化物E向流路27i的流入也被第1開口 27g的外周緣部，即熔融 面2 所阻止，只有幾乎沒有混入氧化物E的潔凈的熔融焊錫Ml流入到流路27i中。再有， 由于在大氣中保管的焊錫M的表面上生成氧化物E層的厚度通常為幾十μ m左右，所以錫 焊絲M與第1開口 Mg的直徑的差，即ΦΑ-ΦΒ為Imm左右就足夠了。
再有，優(yōu)選在供給筒27的周圍形成周壁27m以包圍熔融面27k。被阻止流入到流 路27i中的氧化物E儲留在熔融面27k的凹狀的底部上，但是也可以通過吸引或切開周壁 27m的一部分使其流出而適當(dāng)回收。另外，排出面271附近的流路27i的末端部優(yōu)選形成為 與排出面271大致垂直。由此，確定供給筒27的位置以使排出面271與玻璃基板w3的外 周端面隔著間隙s相對時(shí)，排出面Mn附近的流路24i相對于外周間隙k呈平行的狀態(tài)。再有，在圖36(a)的供給筒27中，在排出面27的下部設(shè)置切槽，通過將基端部^e 插入到切槽中以形成基端部28e露出于流路27i的狀態(tài)，在供給筒27中組裝導(dǎo)向部觀。但 是，也可以構(gòu)成為即使導(dǎo)向部觀的上表面不露出于流路27i，從排出口 2 排出的熔融焊 錫Ml也僅流過上表面的結(jié)構(gòu)。如圖39(a)中示出的供給筒32所示，也可以形成為從排出 面271以規(guī)定的長度沿軸向上對供給筒27的下部進(jìn)行切割形成切除部，其中切除部包含流 路27i,并緊貼基端部28θ的上表面以閉塞該切除部，從而對它們講行接合的方式。在該切 除部與基端部^e的接合部間產(chǎn)生了間隙的情況下，設(shè)置密封該間隙的密封板32a。另外，如圖39 (b)中示出的供給筒32那樣，形成為在軸向上形成供給筒27的下部 不露出流路27i的安裝面，該安裝面緊貼基端部^e的上表面，從而對它們進(jìn)行接合的方 式。另外，也可以在圖36(a)中示出的供給筒27中，在供給筒27的筒體部分上設(shè)置從排出 面271的插入孔以不露出流路27i，在該插入孔中插入導(dǎo)向部28進(jìn)行組裝。另外，在圖36(a)的供給筒27中，平行地設(shè)置導(dǎo)向部觀的前端部28d和基端部 ^e，但是也可以設(shè)置為前端部28d和基端部^e以規(guī)定的角度交叉。對上述供給筒M進(jìn)行的熔融焊錫Ml的供給操作進(jìn)行說明。在供給熔融焊錫Ml 時(shí)，將供給裝置構(gòu)成為熔融焊錫Ml對供給筒27的流通狀態(tài)處于穩(wěn)定狀態(tài)時(shí)沿玻璃基板w3 和w4的外周間隙k移動。所謂穩(wěn)定狀態(tài)指可以將熔融焊錫Ml從排出口 Wh排出到導(dǎo)向部 28的上表面上并導(dǎo)入到外周間隙k中的狀態(tài)，如圖38所示，是排出口 2 基本上被熔融焊 錫Ml填滿的狀態(tài)。其中，優(yōu)選開始從第1開口 27g供給熔融焊錫Ml到達(dá)該穩(wěn)定狀態(tài)的時(shí) 間盡可能短。因此，控制熔融焊錫Ml的供給量，以成為能夠在非穩(wěn)定狀態(tài)下即熔融焊錫Ml 的供給開始時(shí)，熔融焊錫Ml迅速地填滿流路27i，并且在穩(wěn)定狀態(tài)下充分地填滿外周間隙k 的流量。由于如圖38所示，在穩(wěn)定狀態(tài)下，從排出口 Wh排出的熔融焊錫Ml僅從導(dǎo)向部觀 的上表面供給到外周間隙k中，所以首先被導(dǎo)入到第1間隙Gu中之后，經(jīng)過第1間隙Gu被 導(dǎo)入到第2間隙Gd中。此時(shí)，熔融焊錫Ml在填滿傾斜部^f的上表面與玻璃基板w3之間 的間隙s的同時(shí)被導(dǎo)入到第1間隙Gu中。其中，由于熔融焊錫Ml從傾斜部28f流下，并且 在導(dǎo)向部觀中沿熔融焊錫Ml的流下方向形成了導(dǎo)向槽^h，所以熔融焊錫Ml非常順利地 被導(dǎo)入到第1間隙Gu中。另一方面，由于在傾斜部^f的上表面與玻璃基板w3之間的間 隙s中存在的熔融焊錫Ml存在于前端部28d上，所以幾乎不從傾斜部28f上漏出。從而， 如圖51(e)所示，能夠在下側(cè)的玻璃基板w4的突出部分上形成不漏出熔融焊錫Ml的接合 部η。采用上述供給筒27時(shí)，通過排出面271與玻璃基板w3的端面之間的間隙s以及 間隙Gu和Gd，僅稍與外部氣氛接觸地將供給的潔凈熔融焊錫Ml填充到玻璃基板w3和w4 的外周間隙k中。從而，即使是在大氣氣氛中，也可在抑制了氧化的狀態(tài)下使供給的潔凈熔 融焊錫Ml與玻璃基板w3和w4的主面接觸。從而，本例的供給裝置適用于使用借助適量的氧而與玻璃具有優(yōu)異的接合性的SnAgAl系合金焊料的情形。再有，為了提高熔融焊錫Ml 的填充性，優(yōu)選至少對導(dǎo)向部27的表面、至少是與熔融焊錫Ml接觸的面進(jìn)行提高與熔融焊 錫Ml的浸潤性的處理，例如被覆Ag、Cr、Al、Mo、W、V、Nb、Ta等，另外，優(yōu)選實(shí)施作為防溶蝕 處理的氮化處理，以使導(dǎo)向部27的表面不被熔融焊錫Ml溶蝕而使雜質(zhì)混入到熔融焊錫Ml 中。再有，優(yōu)選對流路27i的表面也進(jìn)行這些處理。接下來說明由本例的供給裝置進(jìn)行的向外周間隙k中供給熔融焊錫Ml的操作。在 內(nèi)置了發(fā)熱體的、可在XY兩軸方向上移動的載物臺上，通過規(guī)定尺寸的間隙保持部件P，確 定上下設(shè)置的玻璃基板《3和w4的位置，將玻璃基板w3和w4加熱到熔融焊錫Ml的熔融溫 度的程度。供給筒27中，導(dǎo)向部觀的鏝刀部28g被插入到玻璃基板w3和w4的外周間隙k 中一邊端部的規(guī)定位置上，移動供給筒27以在玻璃基板w3的端面和排出面271間形成規(guī) 定的間隙S。此時(shí)，預(yù)先調(diào)節(jié)安裝位置，以使鏝刀部28g來到外周間隙k的上下方向的中心 附近，但是難以精確地調(diào)整到外周間隙k的中央。但是，不良好地進(jìn)行該調(diào)節(jié)時(shí)，即使將鏝 刀部28g插入到外周間隙k中，也有接觸部28b接觸上下任意一個(gè)玻璃基板w3或w4的端 面的可能性。其中，供給筒27在上下方向上被浮動機(jī)構(gòu)支撐，另外由于對接觸部^b實(shí)施 倒角，所以容易將接觸部28b嵌入到外周間隙k中。由此，將鏝刀部^g的位置確定在外周 間隙k的上下方向上的大致中央處，鏝刀部^g與玻璃基板w3以及w4的間隙Gu和Gd上 下大致相同。由于被控制的規(guī)定流量的熔融焊錫Ml被供給到流路27i中，所以為了短時(shí)間達(dá)到 穩(wěn)定狀態(tài)，向外周間隙k的一邊供給熔融焊錫Ml，可以使玻璃基板w3和w4呈直線以規(guī)定的 速度向一個(gè)方向(X方向)移動。期間，熔融焊錫Ml被導(dǎo)入到間隙Gu和Gd中，填充到玻璃 基板w3和w4的外周間隙k中，但是由于不從導(dǎo)向部觀的下面供給熔融焊錫Ml，所以在下 側(cè)的玻璃基板《4的突出部分上不會漏出熔融焊錫Ml。另外，由于接觸部28b嵌入到位置間 隙k中并且處于浮動狀態(tài)，所以對隨著玻璃基板w4的厚度偏差或向X方向的載物臺的上下 方向的彎曲等，在玻璃基板w3和w4的移動時(shí)產(chǎn)生的外周間隙k的上下方向的位置變化也 可進(jìn)行追隨，從而，間隙Gu和Gd也可維持各自的尺寸。由此，由于沿鏝刀部^g的上下表 面導(dǎo)入幾乎相同量的熔融焊錫M1，所以隨著鏝刀部觀8的移動而移動的熔融焊錫Ml的流動 狀態(tài)在間隙Gu和Gd中幾乎相同，對玻璃基板w3的主面、對玻璃基板w4的主面同樣地供給 熔融焊錫Ml。另外，在填充中使超聲波振動，并向?qū)虿坑^施加超聲波振動時(shí)，熔融焊錫Ml與 導(dǎo)向部28、以及熔融焊錫Ml與玻璃基板w3以及w4的浸潤性提高，即使在間隙Gu和Gd較 窄的情況下也平滑地供給熔融焊錫Ml。該超聲波振動通過熔融焊錫Ml還作用在玻璃基板 w3和w4的主面上，除去熔融焊錫Ml與玻璃基板w3以及w4的接觸界面上存在的氣泡或氧 化膜等雜質(zhì)。從而，能夠提高熔融焊錫Ml對玻璃基板w3和w4的接合性，對于玻璃嵌板W 的接合強(qiáng)度的提高是有效的。如上所述，在外周間隙k的一邊的熔融焊錫Ml的供給結(jié)束時(shí)，安裝有供給筒27的 套筒27e在水平方向上旋轉(zhuǎn)90度，接著，玻璃基板w3和w4沿著與上述一邊正交的另一邊 水平移動。并且，即使在另一邊也與上述一邊相同，向外周間隙k供給熔融金屬M(fèi)1，同時(shí)在 玻璃基板w4的突出部分上熔融焊錫Ml不會漏出。對各邊依次進(jìn)行該操作，向玻璃基板w3 和w4的整個(gè)外周間隙k中供給熔融焊錫Ml，且被供給的熔融焊錫Ml不會在玻璃基板w4的突出部分漏出。向該玻璃基板《3和w4的供給操作結(jié)束時(shí)，載置了玻璃基板w3和w4的載 物臺被轉(zhuǎn)移到外部。再有，從搬出到外部的載物臺上取下玻璃基板w3和w4，但是由于熔融 焊錫Ml沒有附著在載物臺上，所以沒有必要進(jìn)行從載物臺上除去焊錫的操作。接著，重新裝載載置有其他的玻璃基板w3和w4并進(jìn)行了加熱準(zhǔn)備的其他載物臺， 與上述供給操作同樣地進(jìn)行向新的玻璃基板w3和w4的外周間隙k中供給熔融焊錫Ml的 操作。其中，由于玻璃基板w4的厚度精度不同或玻璃基板w3和w4安裝到載物臺上的狀態(tài) 不同，存在新的玻璃基板w3和w4在上下方向上的外周間隙k的位置不同的可能性。即使 在該情況下，通過本例的供給裝置，由于在上下方向上由浮動機(jī)構(gòu)支撐供給筒觀，另外對接 觸部^b實(shí)施了倒角，所以能夠在上下方向上將鏝刀部28g插入到外周間隙k的中心位置 上，能夠在維持間隙Gu和Gd的尺寸的狀態(tài)下填充熔融焊錫Ml。再有，導(dǎo)向部觀沿著外周間隙k移動時(shí)，由于毛細(xì)管現(xiàn)象，熔融焊錫Ml浸透到接 觸部28b與玻璃基板w3和w4的主面之間。被該浸透了的熔融焊錫Ml所引領(lǐng)，接觸部28b 接觸并且通過后的接觸區(qū)域上，從鏝刀部28g向該接觸區(qū)域迂回供給熔融焊錫Ml。但是，在 接觸部^b的長度較長的情況下，由于恐怕不能向整個(gè)接觸區(qū)域部分供給熔融焊錫M1，所 以優(yōu)選接觸部^b的長度較短，為接合部η的寬度的10-20%左右更為合適。再有，接觸部 ^b的上下表面不限于如圖36或37所示的平坦平面，也可以是形成了溝槽的平面，另外也 可以是曲面。[第4-2 例]參照圖40對本發(fā)明的第4-2例即熔融金屬供給筒以及組裝了該供給筒的熔融金 屬供給裝置進(jìn)行說明。在第4-1例中，以具有前端部^cU基端部28e和連結(jié)它們的傾斜部^f的在兩個(gè) 位置彎曲的具有階梯形狀的板狀體28c作為導(dǎo)向部觀的元件為例，對供給筒27進(jìn)行了說 明。另一方面，如圖40所示，本例中的供給筒33以僅打開規(guī)定角度θ的L字形狀的板狀 體33c為導(dǎo)向部的元件。即，板狀體33c是在一個(gè)位置彎曲的形狀，具有前端部33d和傾斜 部33e，呈相對于流路27i平行的姿勢，將傾斜部3 安裝到排出口 3 的底部上。本例的 供給筒33與上述供給筒27 —樣，能夠使熔融焊錫Ml僅在板狀體33c的上表面上流動，將 熔融焊錫Ml供給到外周間隙k中，與上述供給筒27相比可簡化板狀體33c的形狀。此外， 在本例的供給筒33中，向外周間隙k中供給熔融焊錫Ml時(shí)，將供給筒33設(shè)置為流路27i 相對于外周間隙k僅傾斜規(guī)定的角度θ，流路27i向下方傾斜。從而，位于流路27i中的熔 融焊錫Ml容易向下方流出，流路27i中的熔融焊錫Ml的流動性高。因此，能夠向外周間隙 k中良好地供給熔融焊錫Ml。[第4-3 例]參照圖41對本發(fā)明的第4-3例即熔融金屬供給筒以及組裝了該供給筒的熔融金 屬供給裝置進(jìn)行說明。第4-1例、第4-2例的供給筒27、33采用在一個(gè)位置或兩個(gè)位置彎曲的板狀體，本 例的供給筒34、35在以前端部和基端部直接連結(jié)成一條直線狀的筆直的板狀體為導(dǎo)向部 的元件的方面有所不同。圖41 (a)中示出的供給筒34是這樣構(gòu)成的，從排出面271在軸向 上僅按規(guī)定的長度切割供給筒34的下部，形成切除部以包含流路27i，密封地接合板狀體 34c的基端部34的上表面以閉塞該切除部，僅在板狀體3 的上表面上流過熔融焊錫M1，通過插入到外周間隙k中的前端部3 供給熔融焊錫Ml。再有，切除部的長度大于下側(cè)玻 璃基板w4的突出部分的長度，在切除部與基端部34d的接合部中產(chǎn)生間隙的情況下，設(shè)置 密封該間隙的密封板32a。由此，即使在供給熔融焊錫Ml時(shí)不將供給筒34設(shè)置在玻璃基板 w4的上方，也能夠避免玻璃基板w4的突出部分與供給筒34發(fā)生干擾。另外，如圖41 (b)所示，也可以采用安裝基端部35d的底面是平面即四角形剖面的 供給筒35。在該情況下，也可以將熔融焊錫Ml從在排出面271上開口的排出口 2 的整 個(gè)面上排出到導(dǎo)向部35d的上表面上。但是，從防止熔融焊錫Ml氧化的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選在 排出面271上安裝具有僅在排出口 Wh的下部開口的排出口 35c、并閉塞上部的蓋35b。再 有，閉塞該排出面271的蓋3 也可以適用于上沭第4-1例以及第4-2例的供給筒。上面在第4-1例、第4-2例、第4_3例中說明了在板狀體的后端側(cè)設(shè)置用來將鏝刀 部與玻璃基板的主面的間隙維持為恒定的接觸部的供給筒的例子，但是如圖42(a)所示， 也可以成為在前端部^d的前端設(shè)置接觸部^b的導(dǎo)向部36。在該情況下，可以形成更寬 的穩(wěn)定的接合部。另外，也可以成為如圖42(b)中示出的導(dǎo)向部37那樣的不具有接觸部的構(gòu)造。玻 璃基板的厚度偏差或玻璃基板移動機(jī)構(gòu)的引導(dǎo)振動等極小，這也適用于玻璃基板的厚度偏 差或玻璃基板的移動機(jī)構(gòu)的引導(dǎo)振動等極小，只在可忽略間隙的程度上變化，例如對于一 邊為幾到十幾cm左右的小尺寸玻璃基板的情況。再有，在該情況下作為供給裝置未必由浮 動機(jī)構(gòu)支撐供給筒。另外，本例中以玻璃基板w3和w4的平面尺寸是不同的尺寸、下側(cè)玻璃基板w4相 對于上側(cè)玻璃基板w3突出的玻璃嵌板W為例進(jìn)行了說明。但是，對于采用相同尺寸的玻璃 基板w3和w4、端面一致的玻璃嵌板W，上述例子也可以適用。[第5方式]下面根據(jù)其第5例對上述(38)的熔融金屬供給筒、組裝了該供給筒的熔融金屬供 給裝置、熔融金屬供給方法以及它們的優(yōu)選方式進(jìn)行說明。[第5 例]參照圖43 圖49對本發(fā)明的第5例即熔融金屬供給筒以及組裝了該供給筒的熔 融金屬供給裝置進(jìn)行說明。首先對供給裝置進(jìn)行說明。供給裝置是制造參照圖51(a)、(b)說明的玻璃嵌板W 的供給裝置，包括供給筒38 ；安裝供給筒38的夾持器38a ；以夾持器38a為主上下浮動的 浮動機(jī)構(gòu)38b ；支撐浮動機(jī)構(gòu)38b的套管38e。浮動機(jī)構(gòu)38b可以通過上下設(shè)置了具有適度 柔軟性的橡膠或彈簧的構(gòu)造來實(shí)現(xiàn)，能夠保持供給筒38的姿勢而不向玻璃基板w3和w4或 供給筒38作用過度的力。再有，在夾持器38a上安裝超聲波振動體38c，優(yōu)選通過軸部件 38d與供給筒38接合，向供給筒38的長度方向施加超聲波振動。如圖43和44所示，供給筒M在內(nèi)部具有一面3 和另一面381上開口的流過熔 融焊錫Ml的圓形剖面的流路38i，和橫切與另一面381正交的第2開口(下面稱為第5例 的排出口)38h、僅插入安裝到流路38i中深度LO的導(dǎo)向部39，通過導(dǎo)向部39將從一面3 的開口(下面稱為第5例的第1開口)38g供給的、從第2開口 3 排出的熔融焊錫Ml供 給到外周間隙k中。供給裝置在另一面381與玻璃基板w3和w4的端面隔著規(guī)定間隙s的狀態(tài)下，在將導(dǎo)向部39插入到玻璃基板w3、w4的外周間隙k中的同時(shí)，使供給筒38可沿著外周間隙 k以規(guī)定的速度移動一周。再有，該移動動作沒有必要全部由供給裝置進(jìn)行，也可以由載置 了玻璃基板w3和w4的載物臺等分擔(dān)而相對進(jìn)行。這樣一來供給裝置可以與移動方式相對 應(yīng)具有各種構(gòu)造?；谝苿臃绞降臉?gòu)造是哪一種，玻璃基板w3和w4的移動機(jī)構(gòu)或供給裝 置的移動機(jī)構(gòu)可以通過組合公知的技術(shù)，例如直線移動時(shí)組合馬達(dá)和絲杠或線性導(dǎo)軌等， 旋轉(zhuǎn)移動時(shí)組合馬達(dá)或氣缸與軸承來實(shí)現(xiàn)。上述套管2 可以通過在上下方向上調(diào)節(jié)位置 的工具等安裝在移動機(jī)構(gòu)上。通過這樣的結(jié)構(gòu)，可以事先相對于玻璃基板w3和w4的外周 間隙k調(diào)節(jié)導(dǎo)向部25的高度，以與玻璃基板w4的厚度或間隙保持部件Q的高度相匹配。如圖45所示，導(dǎo)向部39包括比玻璃基板w3和w4的外周間隙k的尺寸g小的厚 度(T2)的板狀體39c;從板狀體39c的上下表面突出的、與外周間隙的尺寸大致相同厚度 (Tl)的突起部39a。再有，本例的突起部39a設(shè)置在板狀體39c的后端側(cè)的左右，在插入到 供給筒38中的狀態(tài)下安裝導(dǎo)向部39，以在上下方向上橫切排出口 3 的大致中央部分。如圖46所示，導(dǎo)向部39被插入到玻璃基板w3和w4的外周間隙k中，將從供給筒 38的排出口 3 中排出的熔融焊錫Ml供給到外周間隙k中。使該導(dǎo)向部39沿著外周間隙 k移動時(shí)，使熔融焊錫Ml在玻璃基板w3和w4的主面上滑動，即在涂布的同時(shí)供給到玻璃 基板w3和w4的外周間隙k中。其中，如圖45所示，下面將板狀體39c中插入到外周間隙 k中的L2部分稱為鏝刀部39d。另外，在板狀體39c的上下表面上形成的突起部39a被形 成為從排出口 3 僅突出Li。突起部39a具有插入到外周間隙k中、與玻璃基板w3和w4 的主面可滑動地接觸的面，下面將形成了該接觸面的部分稱為接觸部39b。如圖46所示，鏝刀部39d將從排出口 3 供給的熔融焊錫Ml導(dǎo)入到鏝刀部39d 的上表面與玻璃基板w3的第1間隙Gu、鏝刀部39d的下表面與玻璃基板w4的第2間隙Gd 中，涂布到玻璃基板w3和w4的主面上。從而，為了使熔融焊錫Ml良好地涂布到玻璃基板 w3和w4的主面上，優(yōu)選間隙Gu和Gd較窄，以使熔融焊錫Ml追隨鏝刀部39d —起移動。但 是，由于流體阻力，被導(dǎo)入到狹窄的間隙Gu和Gd中的熔融焊錫Ml難以到達(dá)鏝刀部39d的 前端。 下面，參照圖47 (a)對被導(dǎo)入到間隙Gu和Gd中的熔融焊錫Ml的流動狀態(tài)進(jìn)行說 明。再有，圖47 (a)中示出的鏝刀部40c是平面視圖為矩形形狀的板狀體的前端部分，鏝刀 部40c向箭頭F方向移動。圖中，由供給筒38供給的熔融焊錫Ml難以在間隙Gu和Gd內(nèi)流向鏝刀部40c的前 端40g。其中，由于流體阻力，熔融焊錫Ml的流動速度越向前端40g越低，而且鏝刀部40c 向箭頭F的方向移動，所以流過間隙Gu和Gd的熔融焊錫Ml的流動方向越向鏝刀部40c的 前端前進(jìn)越相對于移動方向F向后方偏離。其中，在間隙Gu和Gd中流動的熔融焊錫Ml的 流線隨熔融焊錫Ml的供給量、在間隙Gu和Gd的入口處的流速、玻璃基板與鏝刀部的摩擦 系數(shù)、玻璃基板以及鏝刀部與熔融焊錫Ml的浸潤性、鏝刀部40c的移動速度等供給條件而 不同，但是在間隙Gu和Gd的大小狹小的情況下，流過間隙Gu和Gd的熔融焊錫Ml的外周 r成為沒有到達(dá)鏝刀部40c的前端40g的狀態(tài)。其中，最終形成的接合部η的寬度由流過了間隙Gu和Gd的熔融焊錫Ml從鏝刀部 40c的后表面40i離開后合流，然后填充到外周間隙中時(shí)的涂布寬度來限定。該涂布寬度由 后表面40i上熔融金屬M(fèi)l的外周r的位置來限定。并且，在流過了間隙Gu和Gd的熔融焊錫Ml的外周r沒有到達(dá)鏝刀部40c的前端40g的情況下，熔融焊錫Ml在沒有任何限制的 不穩(wěn)定狀態(tài)下在間隙Gu和Gd中流動。從而，在上述說明的供給條件變化時(shí)，熔融焊錫Ml 的流動狀態(tài)也會變化，在第1間隙Gu和第2間隙Gd中外周r不同的位置處，熔融焊錫Ml 從后表面40i離開，其結(jié)果是，涂布寬度變得不均勻。而且，在鏝刀部40c的前端側(cè)上，由于 伴隨鏝刀部40c的移動同時(shí)移動的熔融焊錫Ml的量較少，所以在熔融焊錫Ml與玻璃基板 的接觸界面上產(chǎn)生空孔等缺陷，接合部與玻璃基板的接合強(qiáng)度和密封性降低。再有，將供給 壓力提高到熔融焊錫Ml達(dá)到鏝刀部40c的前端的程度以增加熔融焊錫Ml的供給量，則由 于熔融焊錫Ml的流動狀態(tài)被前端40g所限制所以涂布寬度穩(wěn)定，但是在該情況下，從供給 筒38與玻璃基板的端面的間隙s中流出熔融焊錫M1，導(dǎo)致玻璃嵌板的外觀質(zhì)量等變差的問 題。第5例的導(dǎo)向部39解決了上述問題。如圖45所示，導(dǎo)向部39的鏝刀部39d在朝 向移動方向F的側(cè)部即朝向突出方向的其前端部上具有切除部39m。具體地說，鏝刀部39d 的形狀具有相對于移動方向F正交的前表面39f ；在鏝刀部39d的突出方向上，在前端形 成的、相對于鏝刀部39d的移動方向F平行的前端面39g ；相對于鏝刀部39d的移動方向F 向后方傾斜的、將前表面39f和前端面39g連結(jié)為倒角狀的傾斜面39h ；后表面39i，前表面 39f和前端面39g的延長線和傾斜面39h所構(gòu)成的區(qū)域是切除部39m。通過具有上述切除部39m的鏝刀部39d起到下面的作用。S卩，如圖47(b)所示，流 過第1間隙Gu的熔融焊錫Ml中存在于移動方向F前部的熔融焊錫Ml到達(dá)鏝刀部39d的 傾斜面39h，沿著該傾斜面39h流動到前端面39g。另外，到達(dá)了傾斜面39h的熔融焊錫Ml 的一部分越過傾斜面39h進(jìn)入到切除部39m中，然后與流過第2間隙Gd的熔融焊錫Ml合 流，沿著傾斜面39h流動到前端面39g。其結(jié)果是，流過間隙Gu和Gd的熔融焊錫Ml的外 周r的位置受前端面39g的限制經(jīng)常為恒定，從后表面39i離開合流的熔融焊錫Ml的寬度 穩(wěn)定。而且，由于鏝刀部36d的前端部分中熔融焊錫Ml的流量增加，所以在熔融焊錫Ml與 玻璃基板的接觸界面上不易產(chǎn)生空孔等缺陷，能夠得到希望的接合質(zhì)量的接合部。如上所 述，本例的鏝刀部39d即使不過剩地供給用來填充到玻璃基板之間的外周間隙中的熔融焊 錫M1，也能夠使流過間隙Gu和Gd的熔融焊錫Ml的外周r與切除部39m的傾斜面39h交叉 而導(dǎo)入到前端面39g上，從而按照希望的寬度供給熔融焊錫Ml。參照圖48對上述鏝刀部39d的變形例進(jìn)行說明。安裝在圖48 (a)中示出的供給 筒41上的鏝刀部41d除了與鏝刀部39d —樣在鏝刀部41d的前端形成的傾斜面(第1傾 斜面)39h，還具有相對于鏝刀部41d的移動方向F向后方傾斜、形成在鏝刀部41d的基端側(cè) 上的第2傾斜面41a，第2傾斜面41a與第1傾斜面39h的端部之間由R面平滑地連結(jié)，前 端面39g、前表面39f的延長線以及第1傾斜面39h、第2傾斜面41a構(gòu)成切除部41m。安裝在圖48(b)中示出的供給筒43上的鏝刀部42d除了與鏝刀部39d —樣形成 在鏝刀部42d的前端的傾斜面39h，還具有相對于鏝刀部42d的移動方向F平行的、形成在 鏝刀部42d的基端側(cè)上的平行面42a，平行面4 與傾斜面39h的端部之間由R面平滑地連 結(jié)，前端面39g、前表面39f的延長線以及傾斜面39h、平行面4 構(gòu)成切除部42m。安裝在圖48(c)中示出的供給筒43上的鏝刀部43d除了具有相對于鏝刀部43d 的移動方向F向后方傾斜、形成在鏝刀部43d的基端側(cè)上的傾斜面43b，和相對于移動方向 F正交、形成在鏝刀部43d的前端的正交面43a，傾斜面4 與正交面43a的端部之間由R面平滑地連結(jié)，前端面39g、前表面39f的延長線以及傾斜面43b、正交面43a構(gòu)成出切除部 43m。再有，在上述例子中，在平面視圖為直線狀的面上形成了切除部39m、41m 43m， 但是這些面也可以是曲線狀，也可以是直線與曲線組合的形狀。另外，鏝刀部的前端也可以 不是具有一定長度的前端面，例如也可以是前端尖的形狀。而且，傾斜面等的傾斜角度和形 狀可以根據(jù)熔融焊錫的供給量、玻璃基板與鏝刀部之間的間隙入口處熔融焊錫的流速、玻 璃基板與鏝刀部的摩擦系數(shù)、玻璃基板以及鏝刀部與熔融焊錫的浸潤性、鏝刀部的移動速 度等供給條件適當(dāng)確定。另外，如安裝在圖48(d)中示出的供給筒44上的鏝刀部44d那樣， 后表面4 也可以形成為與傾斜面39h大致平行。該鏝刀部44d沿鏝刀部44d的移動方向 F的鏝刀部44d的長度從基端到前端面39g大致恒定，能夠使與移動方向F垂直的方向(寬 度方向)上熔融焊錫Ml涂布到玻璃基板主面上的效果均勻。對接觸部39b進(jìn)行說明。如圖45和46所示，將導(dǎo)向部39插入到外周間隙k中時(shí)， 觸部39b嵌合到外周間隙k中，由此#外周間隙k限穿锝刀部39d的h.TTf ^^W0
即，能夠?qū)㈢N刀部39d的上表面與玻璃基板w3之間的第1間隙Gu、鏝刀部39d的下表面與 玻璃基板《4之間的第2間隙Gd維持為恒定。再有，優(yōu)選對接觸部39b進(jìn)行用來使與玻璃 基板w3和w4的主面的滑動性更好的表面處理，例如Ni疏水鍍。再有，構(gòu)成鏝刀部39d的 板狀體39c和構(gòu)成接觸部39b的突起部39a可以由一體構(gòu)造來形成，也可以是通過粘結(jié)或 疊層工藝等固著了其它部件的組裝構(gòu)造，是組裝構(gòu)造時(shí)，可以使板狀體39c為玻璃，使突起 部39a為金屬等，與要求的功能相適應(yīng)選擇適當(dāng)?shù)牟牧线M(jìn)行組合。另外，為了容易嵌入到外 周間隙k中，優(yōu)選對接觸部39b的側(cè)面或與鏝刀部39d的階梯面的角上實(shí)施倒角C。該倒角 c可以通過切削加工、噴砂加工、蝕刻等，通過將角部倒成直線狀或曲線狀來形成。對在導(dǎo)向部上形成的導(dǎo)向槽進(jìn)行說明。如圖45(a)所示，在導(dǎo)向部39的上下表面 的基端上形成以左右的突起部39a為側(cè)壁的導(dǎo)向槽39e。由于導(dǎo)向槽39e通過排出口 3 與流路38i連通，所以流過流路38i從排出口 3 中排出的熔融焊錫Ml通過導(dǎo)向槽39e流 入到鏝刀部39d中。該導(dǎo)向槽39e的寬度、深度及形狀可以與熔融焊錫Ml的流動性相匹配 適當(dāng)確定。例如，如圖45(b)所示，可以設(shè)置掘入到板狀體39c的上下表面、到達(dá)傾斜面39h 的導(dǎo)向槽。供給筒38從在一個(gè)面3 上形成的第1開口 38g中供給熔融焊錫Ml，從另一面 381上形成的排出口 3 中排出。被供給到該第1開口 38g中的熔融焊錫Ml例如在以規(guī)定 的速度將錫焊絲M送入到第1開口 38g中的同時(shí)被供給筒38熔融，按照應(yīng)該充分地填滿玻 璃基板w3和w4的外周間隙k的供給量進(jìn)行控制的流量進(jìn)行供給。如圖44所示，供給筒M具有如上所述熔融錫焊絲M形成的熔融焊錫Ml流通的 流路38i ；形成流路38i的第1開口 38g、熔融錫焊絲M的熔融面38k ；形成了排出口 3 的 排出面381，在其外周面上卷繞用來熔融錫焊絲M的加熱器38j。通過這樣結(jié)構(gòu)的供給筒 38，按照被控制為成下端面閉塞第1開口 38g的姿勢與熔融面3 搭接的速度送出錫焊絲 M，并將其按壓到熔融面3 上進(jìn)行熔融。于是，熔融焊錫Ml流過流路38i，從排出口 3 連 續(xù)地排出。第1開口 38g所開口的熔融面3 是例如對供給筒38的表面進(jìn)行锪孔加工形成 的凹狀部的底面。第1開口 38g的直徑ΦΒ不大于與熔融面3 搭接的錫焊絲M的端面直徑ΦΑ，流路38i形成為至少在熔融面3 的附近為直徑ΦΒ的管狀。由此，即使在錫焊絲M 的外周面上生成了氧化物E，氧化物E向流路38i的流入也被第1開口 38g的外周緣部，即 熔融面3 所阻止，只有幾乎沒有混入氧化物E的潔凈的熔融焊錫Ml流入到流路38i中。 再有，由于在大氣中保管的限制焊錫M的表面上生成的氧化物E的層的厚度通常為幾十μπι 左右，所以錫焊絲M與第1開口 38g的直徑的差，SP ΦΑ-ΦΒ為Imm左右就足夠了。再有，優(yōu)選在供給筒38的周圍形成周壁38m以包圍熔融面38k。被阻止流入到流 路38i中的氧化物E儲留在熔融面38k的凹狀的底部上，但是也可以通過吸引或切開周壁 38m的一部分使其流出而適當(dāng)回收。另外，排出面381附近的流路38i的末端部優(yōu)選形成為 與排出面381大致正交。由此，確定供給筒38的位置以使排出面381與玻璃基板w3和w4 的外周端面隔著間隙s相對時(shí)，排出面381附近的流路38i相對于外周間隙k呈平行的狀 態(tài)。對上述供給筒38進(jìn)行的熔融焊錫Ml的供給操作進(jìn)行說明。在供給熔融焊錫Ml 時(shí)，將供給裝置構(gòu)成為熔融焊錫Ml對供給筒38的流通狀態(tài)處于穩(wěn)定狀態(tài)時(shí)沿玻璃基板w3 和w4的外周間隙k移動。所謂穩(wěn)定狀態(tài)指可以將熔融焊錫Ml從排出口 3 排出到導(dǎo)向部 39的上表面上并導(dǎo)入到外周間隙k中的狀態(tài)，如圖46所示，是排出口 3 基本上被熔融焊 錫Ml填滿的狀態(tài)。其中，優(yōu)選開始從第1開口 38g供給熔融焊錫Ml到達(dá)該穩(wěn)定狀態(tài)的時(shí) 間盡可能短。因此，控制熔融焊錫Ml的供給量，以成為能夠在非穩(wěn)定狀態(tài)即熔融焊錫Ml的 供給開始時(shí)，熔融焊錫Ml迅速地填滿流路38i，在穩(wěn)定狀態(tài)下充分地填滿外周間隙k的流
Mo采用上述供給筒38時(shí)，在排出面381與玻璃基板w3以及w4的端面的間隙s以及 間隙Gu和Gd中，僅稍與外部氣氛接觸地將供給的潔凈熔融焊錫Ml填充到玻璃基板w3和 w4的外周間隙k中。從而，即使是大氣氣氛，也可在抑制了氧化的狀態(tài)下使供給的潔凈的熔 融焊錫Ml與玻璃基板w3和w4的主面接觸。從而，本例的供給裝置適用于使用通過適量的 氧而與玻璃具有優(yōu)異的接合性的SnAgAl系合金焊料的情形。再有，為了提高熔融焊錫Ml 的填充性，優(yōu)選至少對導(dǎo)向部39的表面中至少與熔融焊錫Ml接觸的面進(jìn)行提高與熔融焊 錫Ml的浸潤性的處理，例如被覆Ag、Cr、Al、Mo、W、V、Nb、Ta等，另外，優(yōu)選實(shí)施作為防溶蝕 處理的氮化處理，以使導(dǎo)向部39的表面不被熔融焊錫Ml溶蝕而使雜質(zhì)混入到熔融焊錫Ml 中。再有，優(yōu)選對流路38i的表面也進(jìn)行上述處理。接下來說明由本例的供給裝置進(jìn)行的向外周間隙k中供給熔融焊錫Ml的操作。在 內(nèi)置了發(fā)熱體的、可在XY兩個(gè)軸向上移動的載物臺上，通過規(guī)定尺寸的間隙保持部件Q確 定上下設(shè)置的玻璃基板《3和w4的位置，將玻璃基板w3和w4加熱到熔融焊錫Ml的熔融溫 度的程度。供給筒38中，導(dǎo)向部39的鏝刀部39d被插入到玻璃基板w3和w4的外周間隙 k中一邊端部的規(guī)定位置上，移動供給筒38以在玻璃基板w3和w4的端面與排出面381間 形成規(guī)定的間隙s。此時(shí)，預(yù)先調(diào)節(jié)安裝位置，以使鏝刀部39d來到外周間隙k的上下方向 的中心附近，但是難以精確地調(diào)整到外周間隙k的中央。但是，不良好地進(jìn)行該調(diào)節(jié)時(shí)，即 使將鏝刀部39d插入到外周間隙k中，也有接觸部39b接觸上下任意一個(gè)玻璃基板w3或w4 的端面的可能性。其中，供給筒38在上下方向上被浮動機(jī)構(gòu)支撐，另外由于對接觸部39b 實(shí)施倒角c，所以容易將接觸部39b嵌入到外周間隙k中。由此，將鏝刀部39d的位置確定 在外周間隙k的上下方向上的大致中央處，鏝刀部39d與玻璃基板w3以及w4的間隙Gu和Gd上下大致相同。為了從規(guī)定流量的熔融焊錫Ml被供給到流路38i中、從排出口 38h中排出開始， 短時(shí)間達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)，向外周間隙k的一邊供給熔融焊錫Ml，可以使玻璃基板w3和w4呈直 線以規(guī)定的速度向一個(gè)方向(X方向)移動。期間，熔融焊錫Ml被導(dǎo)入到間隙Gu和Gd中， 逐漸供給到玻璃基板《3和w4的外周間隙k中，但是由于接觸部39b嵌入到外周間隙k中 并且處于浮動狀態(tài)，所以39b也會追隨玻璃基板w4的厚度偏差或向X方向的載物臺的上下 方向的彎曲等，在玻璃基板w3和w4的移動時(shí)產(chǎn)生的外周間隙k的上下方向的位置變化，使 間隙Gu和Gd維持各自的尺寸。由此，由于沿鏝刀部39d的上下表面導(dǎo)入幾乎相同量的熔 融焊錫Ml，所以隨著鏝刀部39d的移動而移動的熔融焊錫Ml的流動狀態(tài)在間隙Gu和Gd中 幾乎相同，對玻璃基板《3的主面、對玻璃基板w4的主面同樣地供給熔融焊錫Ml。另外，在填充中啟動超聲波振動，向?qū)虿?9施加超聲波振動時(shí)，熔融焊錫Ml與 導(dǎo)向部39、以及熔融焊錫Ml與玻璃基板w3以及w4的浸潤性提高，即使在間隙Gu和Gd較 窄的情況下也平滑地供給熔融焊錫Ml。該超聲波振動通過熔融焊錫Ml還作用在玻璃基板 w3和w4的主面上，除去熔融焊錫Ml與玻璃基板w3以及w4的接觸界面上存在的氣泡或氧 化膜等雜質(zhì)。從而，能夠提高熔融焊錫Ml對玻璃基板w3和w4的接合性，對于玻璃嵌板W 的接合強(qiáng)度的提高是有效的。如上所述，在外周間隙k的一邊的熔融焊錫Ml的供給結(jié)束時(shí)，安裝了供給筒38的 套筒38e在水平方向上旋轉(zhuǎn)90度，接著，玻璃基板w3和w4沿著與上述一邊正交的另一邊 水平移動。并且，即使在另一邊也與上述一邊相同，向外周間隙k中供給熔融金屬M(fèi)l。對各 邊依次進(jìn)行該操作，向玻璃基板w3和w4的整個(gè)外周間隙k中供給熔融焊錫Ml。向該玻璃 基板w3和w4的供給操作結(jié)束時(shí)，載置了玻璃基板w3和w4的載物臺被轉(zhuǎn)移到外部。再有， 從搬出到外部的載物臺上取下玻璃基板w3和w4，但是由于熔融焊錫Ml沒有附著在載物臺 上，所以沒有必要進(jìn)行從載物臺上除去焊錫的操作。接著，重新裝載載置有其他的玻璃基板w3和w4并進(jìn)行了加熱準(zhǔn)備的其他載物臺， 與上述供給操作同樣地進(jìn)行向新的玻璃基板w3和w4的外周間隙k中供給熔融焊錫Ml的 操作。其中，存在由于玻璃基板w4的厚度精度不同或玻璃基板w3和w4安裝到載物臺上的 狀態(tài)不同，而使玻璃基板w3和w4在上下方向上的外周間隙k的位置不同的可能性。即使 在該情況下，通過本例的供給裝置，由于在上下方向上由浮動機(jī)構(gòu)支撐供給筒38，另外對接 觸部39b實(shí)施了倒角c，所以能夠在上下方向上將鏝刀部39d插入到外周間隙k的中心位置 上，能夠在維持間隙Gu和Gd的尺寸的狀態(tài)下填充熔融焊錫Ml。再有，導(dǎo)向部39沿著外周間隙k移動時(shí)，由于毛細(xì)管現(xiàn)象，熔融焊錫Ml浸透到接 觸部39b與玻璃基板w3以及w4的主面之間。被該浸透的熔融焊錫Ml所引領(lǐng)，從鏝刀部 39d向接觸部39b接觸并且通過后的接觸區(qū)域迂回供給熔融焊錫Ml。但是，在接觸部39b 的長度較長的情況下，由于恐怕不能向整個(gè)接觸區(qū)域部分供給熔融焊錫Ml，所以優(yōu)選接觸 部39b的長度較短，為接合部η的寬度的10-20%左右最佳。再有，接觸部39b的上下表面 不限于如圖45所示的平坦平面，也可以是形成了槽的平面，另外也可以是曲面。上面，第5例的供給裝置是為了將鏝刀部39d與玻璃基板w3以及w4的間隙Gu和 Gd維持為恒定，在導(dǎo)向部39上設(shè)置構(gòu)成接觸部39b的突起部39a，并將突起部39a插入到 供給筒38中的例子的供給裝置。但是，如圖49(a)中示出的供給筒45那樣，也可以不將突起部39a插入到供給筒45中，而僅在從供給筒45的端面伸出的鄰近部分上形成突起部39a 來構(gòu)成接觸部39b。另外，如圖49(b)的供給筒46所示，也可在板狀體39c的前端部上形成 突起部39a來構(gòu)成接觸部39b。另外，如圖49(c)中示出的供給筒47那樣，也可以僅采用沒 有突起部的厚度相同的板狀體47a。這也適用于玻璃基板的厚度偏差或玻璃基板的移動機(jī) 構(gòu)的引導(dǎo)振動等極小，僅在可忽略間隙的程度上變化，例如一邊為幾到十幾cm左右的小尺 寸玻璃基板的情況。再有，在該情況下對于供給裝置也未必由浮動機(jī)構(gòu)支撐供給筒。另外，導(dǎo)向部39可以橫切排出口 3 安裝在供給筒上，不限定于安裝在上下方向 的大致中心部上，也可以安裝在向上方向或下方向錯(cuò)開的適當(dāng)位置上。例如，向下方向錯(cuò)開 時(shí)，可以減少從供給筒的排出面與玻璃基板的間隙中流向重力方向的熔融焊錫的漏出量， 也可以安裝在來自于排出口的熔融焊錫不從導(dǎo)向部的下側(cè)漏出的位置上。在該情況下，可 以在導(dǎo)向部上設(shè)置適當(dāng)?shù)呢炌谆蜇炌ú?，以使熔融焊錫從上面?zhèn)攘飨蛳旅鎮(zhèn)?。附圖標(biāo)記說明2、8、11 熔融焊錫供給裝置2a、lid:錫焊絲供給裝置3、9 加熱熔融裝置3a、9a、10、14、17、24、23、26a、26c、26e、27、32、32b、33、34、35、38 供給筒4、4a、4d、4f、10i 氧化物除去部2e、8a 移動裝置8d 保持裝置Ila:載置裝置12 熔融焊錫供給裝置13、22 熔融焊錫供給部15 支撐部16、18、19、20、21、22a、22a、22e、22h、22j、25、28、39 導(dǎo)向部Ml，nl，n2 熔融焊錫W 玻璃嵌板wl、w2、w3、w4 玻璃基板S、Si、S2 玻璃基板的主面k:外周間隙kn, m 接合部
權(quán)利要求
1.一種熔融金屬供給筒，為對固相低熔點(diǎn)金屬材料進(jìn)行熔融然后供給的熔融金屬供 給筒，其特征在于，具有熔融部，其與所述低熔點(diǎn)金屬材料直接或間接接觸生成熔融金屬； 大致管狀的流通通路，其在一端具有形成在所述熔融部中的第1開口以及在另一端具有第 2開口，并使所述熔融部生成的熔融金屬流過；在所述低熔點(diǎn)金屬材料在所述熔融部中被 熔融以前/時(shí)，通過氧化物除去部除去所述低熔點(diǎn)金屬材料表層的氧化物。
2.如權(quán)利要求1所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，其結(jié)構(gòu)為所述氧化物除去部與 所述熔融部一體設(shè)置，所述低熔點(diǎn)金屬材料熔融時(shí)，除去所述低熔點(diǎn)金屬材料表層的氧化 物。
3.如權(quán)利要求2所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，所述第1開口在所述氧化物除去 部上開口，該第1開口的面積小于所述低熔點(diǎn)金屬材料與所述熔融部接觸的面積。
4.如權(quán)利要求2或3所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，在所述第1開口的周圍設(shè)置 氧化物捕捉部。
5.如權(quán)利要求2或3所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，具有從所述第1開口的周圍 排出氧化物的氧化物排出部。
6.如權(quán)利要求1所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，所述氧化物除去部另外單獨(dú)設(shè) 置，在低熔點(diǎn)金屬材料熔融前除去所述低熔點(diǎn)金屬材料表層的氧化物。
7.如權(quán)利要求6所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，所述氧化物除去部包括除去所 述低熔點(diǎn)金屬材料表層的刃部。
8.如權(quán)利要求6所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，所述氧化物除去部包括等離子 體照射裝置。
9.如權(quán)利要求6所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，所述氧化物除去部包括噴砂裝置。
10.如權(quán)利要求1所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，對所述流通通路的表面實(shí)施提 高與熔融金屬的浸潤性的處理。
11.如權(quán)利要求1所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，對所述流通通路的表面進(jìn)行相 對于熔融金屬的防溶蝕處理。
12.如權(quán)利要求1所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，具有引導(dǎo)所述熔融部所生成 的、從所述第2開口排出的熔融金屬導(dǎo)向部。
13.如權(quán)利要求12所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，所述導(dǎo)向部呈大致平板狀。
14.如權(quán)利要求12所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，所述導(dǎo)向部呈大致柱狀或呈 大致筒狀。
15.如權(quán)利要求12至14中任一項(xiàng)所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，所述導(dǎo)向部呈 前端較細(xì)的形狀。
16.如權(quán)利要求12至14中任一項(xiàng)所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，在所述導(dǎo)向部 中形成熔融金屬的導(dǎo)向槽。
17.如權(quán)利要求12至14中任一項(xiàng)所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，在所述導(dǎo)向部 中形成與供給熔融金屬的被供給面接觸的接觸面。
18.一種熔融金屬供給筒，是向彼此的主面通過間隙相對設(shè)置的一對板狀體的外周間 隙中供給熔融金屬的權(quán)利要求12記載的熔融金屬供給筒，其特征在于，所述導(dǎo)向部具有鏝刀部，其結(jié)構(gòu)為具有與一個(gè)板狀體的主面隔著第1間隙相對的第1平面和與另一個(gè)板狀體 的主面隔著第2間隙相對的第2平面，同時(shí)可以插入到所述一對板狀體的外周間隙中；從所 述鏝刀部的第1平面突起并可與一個(gè)板狀體的主面接觸的第1接觸部和/或從所述鏝刀部 的第2平面突起并可與另一個(gè)板狀體的主面接觸的第2接觸部。
19.如權(quán)利要求18所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，其結(jié)構(gòu)為將所述導(dǎo)向部插入 到所述外周間隙中時(shí)，所述第1接觸部與一個(gè)板狀體的主面接觸，并且所述第2接觸部與另 一個(gè)板狀體的主面接觸。
20.如權(quán)利要求18所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，對所述接觸部的與所述板狀 體的主面接觸的面實(shí)施提高與該板狀體的滑動性的處理。
21.如權(quán)利要求18所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，在所述接觸部中沿著所述導(dǎo) 向部插入到外周間隙中的方向形成凹部。
22.如權(quán)利要求18所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，所述接觸部設(shè)置在所述導(dǎo)向 部插入到外周間隙中的方向上的后端側(cè)。
23.如權(quán)利要求18所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，所述接觸部設(shè)置在所述導(dǎo)向 部插入到外周間隙中的方向上的前端側(cè)。
24.如權(quán)利要求18所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，所述接觸部具有可以在所述 外周間隙的厚度方向上彎曲的彈性。
25.一種熔融金屬供給筒，是向彼此相對的主面隔著間隙設(shè)置的一對板狀體的外周間 隙中供給熔融金屬的如權(quán)利要求12所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，將所述導(dǎo)向部安 裝為橫切所述第2開口，在被該導(dǎo)向部分成上側(cè)排出口和下側(cè)排出口的所述第2開口中，從 下側(cè)排出口排出的熔融金屬的量少于從上側(cè)排出口排出的熔融金屬的量。
26.如權(quán)利要求25所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，所述下側(cè)排出口的面積比所 述上排出口的面積小。
27.如權(quán)利要求25所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，將所述導(dǎo)向部從第2開口插入 到流路內(nèi)規(guī)定的深度，在被該導(dǎo)向部分成上側(cè)流路和下側(cè)流路的流路中，下側(cè)流路的容積 比上側(cè)流路的容積小。
28.如權(quán)利要求25所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，所述導(dǎo)向部在比所述第2開口 的中心向下方偏置的狀態(tài)下被插入到所述流通通路中。
29.如權(quán)利要求25所述的熔融金屬供給筒，將所述導(dǎo)向部橫切所述第2開口的中心附 近插入到所述流通通路中，在比所述流通通路的所述導(dǎo)向部下側(cè)排出口形成面上安裝使下 側(cè)排出口的面積比上側(cè)排出口的面積減小的擋板。
30.如權(quán)利要求25所述的熔融金屬供給筒，將前述導(dǎo)向部橫穿第2開口的中心附近插 入到所述流通通路中，在所述流通通路的下側(cè)流路內(nèi)形成使下側(cè)流路的容積比上側(cè)流路的 容積減小的擋板部件。
31.一種熔融金屬供給筒，是向彼此相對的主面隔著間隙設(shè)置的一對板狀體的外周間 隙中供給熔融金屬的權(quán)利要求12所述的熔融金屬供給筒，其特征在于在所述第2開口的 下部或者比第2開口更低處安裝所述導(dǎo)向部，使從該第2開口排出的熔融金屬從所述導(dǎo)向 部的上表面疏出。
32.如權(quán)利要求31所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，在所述導(dǎo)向部的前端部上形成將熔融金屬從上表面導(dǎo)入到下表面一側(cè)的貫通部。
33.如權(quán)利要求31所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，所述導(dǎo)向部具有與前端部相 連的傾斜部，前端部與傾斜部是呈鈍角或直角的彎曲形狀。
34.如權(quán)利要求31所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，所述導(dǎo)向部具有與前端部相 連的傾斜部和與傾斜部相連的基端部，前端部與基端部是平行或成鈍角，2個(gè)部位彎曲的階 梯狀形狀。
35.如權(quán)利要求31所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，具有在軸向上從所述第2開口 一側(cè)以規(guī)定長度切割含有所述流通通路下部的切除面，安裝所述導(dǎo)向部使其上表面與所述 切除面接觸，在被切割的所述流通通路向所述導(dǎo)向部的下面?zhèn)嚷冻龅那闆r下，安裝密封間 隙的部件。
36.如權(quán)利要求31所述的熔融金屬供給筒，具有從所述第2開口一側(cè)的軸向上，所述流 通通路不向規(guī)定長度范圍的下部露出的平面部，安裝所述導(dǎo)向部使上表面與所述平面部接 觸。
37.如權(quán)利要求31所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，使所述一對板對板狀體配置 為下側(cè)板狀材料的端部邊緣超出上側(cè)的板狀材料的端部邊緣而突出地上下設(shè)置。
38.一種熔融金屬供給筒，是在向彼此的主面隔著間隙設(shè)置的一對板狀體的外周間隙 中供給熔融金屬的權(quán)利要求12所述的熔融金屬供給筒，其特征在于在所述導(dǎo)向部內(nèi)，在 朝著該導(dǎo)向部的移動方向的側(cè)部的前端部上形成切除部。
39.如權(quán)利要求38所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，所述切除部具有相對于所述 導(dǎo)向部的移動方向向后方傾斜的面。
40.如權(quán)利要求38所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，所述切除部具有相對于所述 導(dǎo)向部的移動方向向后方傾斜的面；和與該傾斜面平滑連結(jié)的與所述導(dǎo)向部的移動方向大 致平行的面。
41.如權(quán)利要求38所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，所述切除部具有相對于所述 導(dǎo)向部的移動方向向后方傾斜的面；和與該傾斜面平滑連結(jié)的與所述導(dǎo)向部的移動方向大 致正交的面。
42.如權(quán)利要求38所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，以直線或曲線或直線與曲線 的組合來形成所述切除部。
43.如權(quán)利要求12至42中任一項(xiàng)所述的熔融金屬供給筒，其特征在于，對所述導(dǎo)向部 的與熔融金屬接觸的面實(shí)施提高與熔融金屬的浸潤性的處理。
44.一種具有權(quán)利要求1至43中任一項(xiàng)所述的熔融金屬供給筒的熔融金屬供給裝置。
45.如權(quán)利要求44所述的熔融金屬供給裝置，其特征在于，所述供給筒被浮動機(jī)構(gòu)間 接地或直接地支撐。
46.一種熔融金屬供給裝置，內(nèi)置了權(quán)利要求1至11中任意一項(xiàng)所述的熔融金屬供 給筒，其特征在于，具有板狀體設(shè)置裝置，將一對板狀體設(shè)置成形成了規(guī)定的間隙的狀態(tài)； 和供給筒定位裝置，將供給筒的位置確定成所述第2開口與所述間隙大致連接的狀態(tài)。
47.一種熔融金屬供給裝置，內(nèi)置了權(quán)利要求12至43中任意一項(xiàng)所述的熔融金屬供 給筒，其特征在于，具有板狀體設(shè)置裝置，將一對板狀體設(shè)置成形成了規(guī)定的間隙的狀態(tài)； 和供給筒定位裝置，將所述導(dǎo)向部插入到在所述一對板狀體之間形成的間隙中。
48.如權(quán)利要求46或47所述的熔融金屬供給裝置，其特征在于，所述第2開口具有超 過所述外周間隙厚度的口徑。
49.如權(quán)利要求46或47所述的熔融金屬供給裝置，其特征在于，所述第2開口具有所 述外周間隙的厚度以下的口徑。
50.如權(quán)利要求46或47所述的熔融金屬供給裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向部被浮動機(jī) 構(gòu)間接地或直接地支撐。
51.如權(quán)利要求50所述的熔融金屬供給裝置，其特征在于，所述浮動機(jī)構(gòu)在與所述一 對板狀體所形成的間隙相平行的面內(nèi)限制所述導(dǎo)向部的移動。
52.如權(quán)利要求46或47所述的熔融金屬供給裝置，其特征在于，具有向所述熔融金屬 與所述板狀體的界面上施加超聲波的超聲波施加裝置。
53.一種熔融金屬供給方法，由權(quán)利要求1至11中任意一項(xiàng)所述的熔融金屬供給筒供 給熔融金屬，其特征在于，包括板狀體設(shè)置工序，將一對板狀體設(shè)置成為形成規(guī)定間隙的 狀態(tài)；供給筒定位工序，將供給筒的位置確定為所述第2開口與間隙大致連接的狀態(tài)；熔融 金屬供給工序，通過所述第2開口將熔融金屬供給到間隙中。
54.一種熔融金屬供給方法，由權(quán)利要求12至43中任意一項(xiàng)所述的熔融金屬供給筒供 給熔融金屬，其特征在于，包括板狀體設(shè)置工序，將一對板狀體設(shè)置為形成規(guī)定間隙的狀 態(tài)；供給筒定位工序，將所述導(dǎo)向部插入到在一對板狀體之間形成的間隙中；熔融金屬供 給工序，通過所述第2開口將熔融金屬供給到間隙中。
55.權(quán)利要求53或M所述的熔融金屬供給方法，其特征在于，在所述熔融金屬供給工 序中，向熔融金屬與板狀體的界面上施加超聲波。
全文摘要
本發(fā)明的目的是通過比現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)更簡單的結(jié)構(gòu)，提供一種能夠抑制在固相低熔點(diǎn)金屬材料表面上生成的氧化物混入到熔融金屬中的熔融金屬供給筒。本發(fā)明是一種熔融金屬供給筒，是對固相低熔點(diǎn)金屬材料進(jìn)行熔融并供給的熔融金屬供給筒，具有熔融部，其與所述低熔點(diǎn)金屬材料直接或間接接觸生成熔融金屬；大致管狀的流通通路，其在一端具有形成在所述熔融部中的第1開口以及在另一端具有第2開口，并使所述熔融部生成的熔融金屬流過；在所述低熔點(diǎn)金屬材料在被所述熔融部熔融以前/時(shí)，通過氧化物除去部除去所述低熔點(diǎn)金屬材料表層的氧化物。
文檔編號B23K3/06GK102123811SQ200980131470
公開日2011年7月13日 申請日期2009年8月7日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月14日
發(fā)明者久保賢一, 伊藤元通 申請人:日立金屬株式會社