專利名稱：激光加工裝置的制作方法
激光加工裝置技術(shù)區(qū)域本發(fā)明涉及激光加工裝置。
背景技術(shù)：
作為現(xiàn)有的激光加工裝置，已知有以聚光點(diǎn)上的激光的強(qiáng)度超過加工閾值，并且聚光點(diǎn)上的剖面形狀成為橢圓形狀等的長條形狀的方式，將激光照射在加工對象物的裝置 (例如參照專利文獻(xiàn)1、2)。專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本特表平10-506087號公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開2007-75886號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的課題上述那樣的激光加工裝置，因?yàn)閷τ诩庸ο笪锟梢砸匝匾粋€(gè)方向延伸的方式形成加工區(qū)域，所以非常有效，期待進(jìn)一步的技術(shù)開發(fā)。本發(fā)明是有鑒于上述的課題而完成的發(fā)明，其目的在于，提供一種可以將加工區(qū)域形成為所期望的形狀的激光加工裝置。解決課題的技術(shù)手段為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明所涉及的激光加工裝置，其特征在于，具備激光光源， 射出激光；支撐臺，支撐對激光具有透過性的加工對象物；第1光學(xué)系統(tǒng)，具有使平行光在與光軸垂直的規(guī)定的方向上發(fā)散或收束的功能，使從激光光源射出的激光在規(guī)定的方向上發(fā)散或收束；第2光學(xué)系統(tǒng)，具有使平行光收束在光軸上的一點(diǎn)的功能，使從第1光學(xué)系統(tǒng)射出的激光在與光軸垂直的第1方向上收束在第1點(diǎn)，使從第1光學(xué)系統(tǒng)射出的激光在與光軸和第1方向垂直的第2方向上收束在第2點(diǎn)；第1移動機(jī)構(gòu)，使第1光學(xué)系統(tǒng)相對于第 2光學(xué)系統(tǒng)沿著光軸相對地移動；以及第2移動機(jī)構(gòu)，使支撐臺相對于第2光學(xué)系統(tǒng)沿著光軸相對地移動；通過第1移動機(jī)構(gòu)和第2移動機(jī)構(gòu)，使第1點(diǎn)位于加工對象物的外部，使第 2點(diǎn)位于加工對象物的外表面或內(nèi)部，對加工對象物照射激光。在該激光加工裝置中，激光的剖面形狀，在第1點(diǎn)成為在第2方向上延伸的長條形狀，在第2點(diǎn)成為在第1方向上延伸的長條形狀。因此，利用第1移動機(jī)構(gòu)和第2移動機(jī)構(gòu)， 使第1點(diǎn)位于加工對象物的外部，使第2點(diǎn)位于加工對象物的外表面或內(nèi)部，從而在加工對象物的外表面或內(nèi)部，在第2點(diǎn)所位于的部分，可以形成在第1方向上延伸的長條形狀的加工區(qū)域。因此，根據(jù)該激光加工裝置，可以將加工區(qū)域形成為所期望的形狀。另外，第2點(diǎn)優(yōu)選為使激光的光線束中的未被第1光學(xué)系統(tǒng)發(fā)散或收束的光線束被第2光學(xué)系統(tǒng)收束的點(diǎn)。在此情況下，與第2點(diǎn)為被第1光學(xué)系統(tǒng)發(fā)散或收束的光線束被第2光學(xué)系統(tǒng)收束的點(diǎn)的情況相比，能夠減小加工區(qū)域的第2方向的寬度。另外，第2移動機(jī)構(gòu)優(yōu)選為使支撐臺相對于第2光學(xué)系統(tǒng)在第1方向上相對地移
3動。在此情況下，因?yàn)榧庸^(qū)域成為在第1方向上延伸的長條形狀，所以能夠沿著與第1方向平行的加工線在加工對象物的外表面或內(nèi)部效率良好地形成加工區(qū)域?；蛘?，第2移動機(jī)構(gòu)優(yōu)選為使支撐臺相對于第2光學(xué)系統(tǒng)在第2方向上相對地移動。在此情況下，因?yàn)榧庸^(qū)域成為在第1方向上延伸的長條形狀，所以能夠沿著與第1方向垂直的加工線在加工對象物的外表面或內(nèi)部形成寬度寬的加工區(qū)域。另外，在第1光學(xué)系統(tǒng)和第2光學(xué)系統(tǒng)之間的光軸上，配置有反射激光的光學(xué)構(gòu)件，光學(xué)構(gòu)件優(yōu)選為使用于觀察加工對象物的觀察光透過。根據(jù)該構(gòu)成，不會受到第1光學(xué)系統(tǒng)的影響，經(jīng)由具有使平行光收束在光軸上的一點(diǎn)的功能的第2光學(xué)系統(tǒng)而可以觀察加工對象物。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，可以將加工區(qū)域形成為所期望的形狀。


圖1為本發(fā)明所涉及的激光加工裝置的一個(gè)實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)圖。圖2為顯示圖1的激光加工裝置中的激光的光路的圖。圖3為顯示圖1的激光加工裝置中的激光的光路的圖。圖4為顯示通過圖1的激光加工裝置形成加工區(qū)域的加工對象物的圖。圖5為顯示通過圖1的激光加工裝置形成加工區(qū)域的加工對象物的圖。圖6為顯示通過本發(fā)明所涉及的激光加工裝置的實(shí)施例形成裂紋區(qū)域的加工對象物的照片的圖。圖7為顯示本發(fā)明所涉及的激光加工裝置的其它的實(shí)施方式中的激光的光路的圖。圖8為顯示本發(fā)明所涉及的激光加工裝置的其它的實(shí)施方式中的激光的光路的圖。符號的說明1…激光加工裝置、2…激光振蕩器(激光光源)、3···支撐臺、4…柱面透鏡(第1光學(xué)系統(tǒng))、5···物鏡(第2光學(xué)系統(tǒng))、6···移動機(jī)構(gòu)(第1移動機(jī)構(gòu))、7…CTZ平臺(第2移動機(jī)構(gòu))、11…分色鏡(光學(xué)構(gòu)件)。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖，對本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)的說明。還有，在各圖中，對于相同或相當(dāng)部分標(biāo)注相同符號，省略重復(fù)的說明。圖1是本發(fā)明所涉及的激光加工裝置的一個(gè)實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)圖。如圖1所示，激光加工裝置1具備將激光Ll射出的激光振蕩器(激光光源)2、支撐對激光Ll具有透過性的加工對象物S的支撐臺3、具有通過圓柱凹面使平行光在與光軸垂直的規(guī)定的方向上發(fā)散的功能的柱面透鏡(第1光學(xué)系統(tǒng))4、具有使平行光收束在光軸上的一點(diǎn)的功能的物鏡(第2光學(xué)系統(tǒng))5、使柱面透鏡4沿著其光軸移動的移動機(jī)構(gòu)(第1移動機(jī)構(gòu))6、以及使支撐臺3沿著物鏡5的光軸移動的X^平臺(第2移動機(jī)構(gòu))7。CTZ平臺7使支撐臺3 不僅在物鏡5的光軸方向即Z軸方向上，而且在與Z軸方向垂直的X軸方向以及與Z軸方向和X軸方向垂直的Y軸方向上移動。 激光加工裝置1還具備投射用于觀察加工對象物S的觀察光L2的照明部8、以及接收由加工對象物S反射的觀察光L2的反射光并取得加工對象物S的像的攝像部9。由此，可以觀察加工對象物S的表面、內(nèi)部或背面。 在激光加工裝置1中，從激光振蕩器2射出的激光Ll，在柱面透鏡4的光軸上行進(jìn)之后，被分色鏡(光學(xué)構(gòu)件)11反射，在物鏡5的光軸上行進(jìn)并照射于支撐臺3上的加工對象物S。另一方面，由照明部8投射的觀察光L2，被分色鏡12反射之后，透過分色鏡11，在物鏡5的光軸上行進(jìn)并照射于支撐臺3上的加工對象物S。而且，被加工對象物S反射的觀察光L2的反射光，在物鏡5的光軸上行進(jìn)，透過分色鏡11、12，而由攝像部9受光。還有，在激光加工裝置1中，激光振蕩器2、柱面透鏡4、物鏡5、移動機(jī)構(gòu)6、照明部 8、攝像部9、分色鏡11以及分色鏡12被配置于框體內(nèi)，從而構(gòu)成激光照射裝置10。另外， 在激光加工裝置1中，設(shè)置有控制激光振蕩器2、移動機(jī)構(gòu)6、照明部8、攝像部9以及CTZ平臺7等的裝置整體的控制部20?？刂撇?0為了使柱面透鏡4相對于物鏡5沿著光軸相對地移動而控制移動機(jī)構(gòu)6，或者，為了使支撐臺3(即加工對象物幻相對于物鏡5沿著光軸相對地移動而控制XH平臺7。物鏡5與支撐臺3的距離(即物鏡5與加工對象物S的距離)的調(diào)節(jié)也可以以使支撐臺3在Z軸方向(光軸方向)上移動的方式進(jìn)行控制，也可以以使物鏡5或者包含物鏡5的激光照射裝置10在Z軸方向上移動的方式進(jìn)行控制，也可以以使該兩者移動的方式進(jìn)行控制。進(jìn)一步，控制部20控制激光振蕩器2和照明部8，或者， 基于由攝像部9取得的圖像使XYZ平臺7動作而控制相對于加工對象物S的激光Ll的焦點(diǎn)位置。圖2以及3是顯示圖1的激光加工裝置中的激光的光路的圖。還有，在圖2以及 3中，為了方便說明，省略分色鏡11的圖示。如圖2以及3所示，柱面透鏡4，使從激光振蕩器2射出的激光Li，在Y軸方向(規(guī)定的方向)(即^平面內(nèi))上發(fā)散，在X軸方向(即 ZX平面內(nèi))上不發(fā)散且不收束。而且，物鏡5，使從柱面透鏡4射出的激光Li，在Y軸方向 (第1方向)(即^平面內(nèi))上收束于第1點(diǎn)P1，在X軸方向(第2方向)(即ZX平面內(nèi)) 上收束于第2點(diǎn)P2。由此，激光Ll的剖面形狀，在點(diǎn)Pl成為在X軸方向上延伸的長條形狀，在點(diǎn)P2成為在Y軸方向上延伸的長條形狀。在此，使柱面透鏡4的焦點(diǎn)距離為A，發(fā)散點(diǎn)距離(柱面透鏡4的焦點(diǎn)和物鏡5的主點(diǎn)之間的距離)為B，物鏡5的焦點(diǎn)距離為C，加工對象物S的折射率為n，加工對象物S 的厚度為d，此時(shí)JZ平面內(nèi)的聚光點(diǎn)距離(物鏡5的主點(diǎn)和第1點(diǎn)Pl的距離)Z1以及ZX 平面內(nèi)的聚光點(diǎn)距離(物鏡5的主點(diǎn)和第2點(diǎn)P2的距離)Z2，分別由下述式(1)以及⑵表不。Zl= (G-H) +d+ (nH_d) /n... (1)Z2 = (C-E)+nE— (2)還有，在式(1)以及O)中，G= 1/((1/C)_(1/B))，H是η = 1的情況下的加工對象物S的表面和聚光點(diǎn)αζ平面內(nèi)的激光Ll的聚光點(diǎn))的距離，E是η = 1的情況下的加工對象物S的表面和聚光點(diǎn)(ZX平面內(nèi)的激光Ll的聚光點(diǎn))的距離。在加工對象物S的上側(cè)(即加工對象物S和物鏡5之間)和加工對象物的下側(cè)的空氣中，η = 1。從上述的式(1)以及⑵可知，YZ平面內(nèi)的聚光點(diǎn)距離Zl依賴于發(fā)散點(diǎn)距離B，ZX平面內(nèi)的聚光點(diǎn)距離Z2不依賴于發(fā)散點(diǎn)距離B。即，如果通過移動機(jī)構(gòu)6使柱面透鏡4 沿著光軸進(jìn)退，那么ZX平面內(nèi)的聚光點(diǎn)距離Z2不變化AZ平面內(nèi)的聚光點(diǎn)距離Zl進(jìn)而非點(diǎn)距離τ認(rèn)=Ζ1-Ζ2)發(fā)生變化。接著，說明上述的激光加工裝置1的動作的一個(gè)例子。圖4以及5是顯示通過圖 1的激光加工裝置形成加工區(qū)域的加工對象物的圖。還有，如圖4以及5所示，該一個(gè)例子是沿著作為玻璃基板的加工對象物S的加工線PL，照射作為脈沖波的激光Li，將成為切斷的起點(diǎn)的裂紋區(qū)域CR作為加工區(qū)域而形成于加工對象物S的內(nèi)部的例子。首先，基于加工對象物S的折射率η，以第2點(diǎn)Ρ2位于加工對象物S的內(nèi)部(距加工對象物S的表面僅規(guī)定的距離的內(nèi)側(cè))的方式，通過XH平臺7使支撐臺3在Z軸方向上移動(參照上述式( )。而且，基于加工對象物S的折射率η以及厚度d，以第1點(diǎn)Pl位于加工對象物S的外部(下側(cè))的方式，通過移動機(jī)構(gòu)6使柱面透鏡4沿著光軸移動(參照上述的式⑴)。接著，以位于加工對象物S的內(nèi)部的第2點(diǎn)P2上的激光Ll的峰值功率密度超過加工閾值(例如可以產(chǎn)生多光子吸收、其它的光吸收的閾值)的方式，從激光振蕩器2射出激光Ll，并且通過XH平臺7使支撐臺3在Y軸方向上移動，沿著加工線PL照射激光Ll。由此，在加工對象物S的內(nèi)部，在點(diǎn)P2所位于的部分，在每照射1脈沖的激光Ll時(shí)形成1個(gè)裂紋區(qū)域CR。此時(shí)，各裂紋區(qū)域CR的形狀，因?yàn)榧す釲l的剖面形狀在點(diǎn)P2成為在Y軸方向上延伸的長條形狀，所以在從相對于加工對象物S的激光Ll的入射方向觀察的情況下， 成為沿著加工線PL延伸的長條形狀。這樣，如果沿著加工線PL在加工對象物S的內(nèi)部形成裂紋區(qū)域CR，那么因?yàn)榱鸭y區(qū)域CR成為切斷的起點(diǎn)，所以可以沿著加工線PL精度良好地切斷加工對象物S。進(jìn)而，因?yàn)榱鸭y區(qū)域CR是沿著加工線PL延伸的長條形狀，所以能夠使沿著加工線PL切斷的加工對象物S的切斷面平滑。如以上所說明的那樣，在激光加工裝置1中，激光Ll的剖面形狀在第1點(diǎn)Pl成為在X軸方向上延伸的長條形狀，在第2點(diǎn)P2成為在Y軸方向上延伸的長條形狀。因此，通過移動機(jī)構(gòu)6以及CTZ平臺7，使點(diǎn)Pl位于加工對象物S的外部，使點(diǎn)P2位于加工對象物 S的內(nèi)部，從而在加工對象物S的內(nèi)部，在點(diǎn)P2所位于的部分，可以形成在Y軸方向上延伸的長條形狀的加工區(qū)域。因此，根據(jù)激光加工裝置1，可以將加工區(qū)域形成為所期望的形狀。另外，在激光加工裝置1中，將激光Ll的光線束中的未被柱面透鏡4發(fā)散的)(Z平面內(nèi)的光線束被物鏡5收束的點(diǎn)作為第2點(diǎn)P2，在該點(diǎn)P2進(jìn)行加工(參照圖3(b))。因此， 與將被柱面透鏡4發(fā)散的TL平面內(nèi)的光線束被物鏡5收束的點(diǎn)作為點(diǎn)P2并在該點(diǎn)P2進(jìn)行加工的情況相比，可以減小加工區(qū)域的X軸方向的寬度。還有，在為了增大加工區(qū)域的X 軸方向的寬度的情況等下，也可以將被柱面透鏡4發(fā)散的TL平面內(nèi)的光線束被物鏡5收束的點(diǎn)作為點(diǎn)P2，在該點(diǎn)P2進(jìn)行加工。另外，在激光加工裝置1中，XH平臺7使支撐臺3相對于物鏡5在Y軸方向上移動。在此情況下，因?yàn)榧庸^(qū)域成為在Y軸方向上延伸的長條形狀，所以可以沿著與Y軸方向平行的加工線PL在加工對象物S的內(nèi)部效率良好地形成加工區(qū)域。還有，如果XYZ平臺 7使支撐臺3相對于物鏡5在X軸方向上移動，那么因?yàn)榧庸^(qū)域成為在Y軸方向上延伸的長條形狀，所以可以沿著與X軸方向平行的加工線PL在加工對象物S的內(nèi)部形成寬度寬的
6加工區(qū)域。另外，在激光加工裝置1中，在柱面透鏡4和物鏡5之間的光軸上，配置有反射激光Ll并且使觀察光L2透過的分色鏡11。由此，不會受到柱面透鏡4的影響，可以經(jīng)由具有使平行光收束在光軸上的一點(diǎn)的功能的物鏡5，觀察加工對象物S的表面、內(nèi)部或背面。接著，說明本發(fā)明所涉及的激光加工裝置的實(shí)施例。圖6是顯示通過本發(fā)明所涉及的激光加工裝置的實(shí)施例形成裂紋區(qū)域的加工對象物的照片的圖。還有，在圖6中，(a) 是沿著加工線的加工對象物的剖面照片，(b)是使觀察光的焦點(diǎn)對準(zhǔn)加工對象物的表面時(shí)的照片，(c)是使觀察光的焦點(diǎn)對準(zhǔn)加工對象物的內(nèi)部的第2點(diǎn)P2所位于的部分時(shí)的照片， (d)是使觀察光的焦點(diǎn)對準(zhǔn)加工對象物的內(nèi)部的第1點(diǎn)Pl所位于的部分時(shí)的照片。該實(shí)施例中的加工條件如下所述。(A)加工對象物Pyrex (注冊商標(biāo))玻璃(厚度700 μ m)(B)激光 光源 =KGff超短脈沖激光波長1030nm振蕩形態(tài)再生放大反復(fù)頻率3kHz脈沖寬度3ps射出激光能量100 μ J/脈沖射出激光品質(zhì)=TEMqq偏振光特性直線偏振光(C)物鏡數(shù)值孔徑(NA)0. 55相對于激光的透過率70%(D)照射條件第2點(diǎn)P2上的激光的剖面形狀100 μ m(Y軸方向的最大長度)X5 μ m(X軸方向的最大長度)第2點(diǎn)P2上的激光的剖面積5 X lO^cm2第2點(diǎn)P2上的激光的峰值功率密度5. 1 X 1012ff/cm2第1點(diǎn)Pl上的激光的剖面形狀7 μ m(Y軸方向的最大長度)X50 μ m(X軸方向的最大長度)第1點(diǎn)Pl上的激光的剖面積3. 5 X lO-W第1點(diǎn)Pl上的激光的峰值功率密度1 X 1012ff/cm2(E)相對于物鏡的支撐臺的移動速度300mm/s如圖6(c)所示，在加工對象物的內(nèi)部的第2點(diǎn)P2所位于的部分，形成有在Y軸方向上延伸的長條形狀的裂紋區(qū)域CR2。另一方面，如圖6(d)所示，在加工對象物的內(nèi)部的第 1點(diǎn)Pl所位于的部分，形成有在X軸方向上延伸的長條形狀的裂紋區(qū)域CR1。在上述實(shí)施方式中，點(diǎn)Pl位于加工對象物的外部，點(diǎn)P2位于加工對象物的內(nèi)部，從而防止點(diǎn)Pl上的加工對象物的加工，但是，通過使點(diǎn)PI、P2位于加工對象物的外表面和內(nèi)部，從而能夠在加工對象物同時(shí)地形成延伸的方向垂直的長條形狀的加工區(qū)域。
本發(fā)明并不限定于上述的實(shí)施方式。例如，如圖7以及8所示，也可以使用具有通過圓柱凸面使平行光在與光軸垂直的規(guī)定的方向上收束的功能的柱面透鏡4。而且，如圖7所示，也可以在發(fā)散的狀態(tài)下使激光 Ll入射至物鏡5，如圖8所示，也可以在收束的狀態(tài)下使激光Ll入射至物鏡5。在此情況下，第1點(diǎn)Pl位于加工對象物S的上側(cè)，Zl = G0另外，也可以應(yīng)用以下方式取代移動機(jī)構(gòu)6而使物鏡5移動或與移動機(jī)構(gòu)6 —起使物鏡5移動，或者，使柱面透鏡4以及物鏡5的兩者移動等；使柱面透鏡4相對于物鏡5 沿著光軸相對地移動。同樣地，也可以應(yīng)用以下方式取代MZ平臺7而使物鏡5 (或者包含物鏡5的激光照射裝置10)移動或與X^平臺7 —起使物鏡5 (或者包含物鏡5的激光照射裝置10)移動，或者，使支撐臺3以及物鏡5 (或者包含物鏡5的激光照射裝置10)的兩者移動等；使支撐臺3相對于物鏡5沿著光軸相對地移動。另外，如果具有使平行光在與光軸垂直的規(guī)定的方向上發(fā)散或收束的功能，那么也可以取代柱面透鏡4而應(yīng)用由多個(gè)透鏡所構(gòu)成的光學(xué)系統(tǒng)等的其它的光學(xué)系統(tǒng)。同樣地，如果具有使平行光收束在光軸上的一點(diǎn)的功能，那么也可以取代物鏡5而應(yīng)用由多個(gè)透鏡所構(gòu)成的光學(xué)系統(tǒng)等的其它的光學(xué)系統(tǒng)。另外，裂紋區(qū)域的用途并不限定于成為切斷的起點(diǎn)。作為其它的用途，具有多個(gè)裂紋區(qū)域連續(xù)地構(gòu)成的光導(dǎo)波路、微流路、微TAS (Total Analysis Systems)等。另外，也存在通過使第2點(diǎn)P2位于加工對象物S的外表面(例如表面和背面)從而加工區(qū)域形成于加工對象物S的外表面的情況。進(jìn)一步，加工區(qū)域并不限定于裂紋區(qū)域。 加工區(qū)域除了裂紋區(qū)域、絕緣破壞區(qū)域(例如加工對象物由玻璃或LiTaO3等的壓電材料所構(gòu)成的情況)以外，也有熔融處理區(qū)域(例如加工對象物由硅等的半導(dǎo)體材料所構(gòu)成的情況)、折射率變化區(qū)域(例如加工對象物由玻璃所構(gòu)成的情況)等，也有這些區(qū)域混合存在的區(qū)域。產(chǎn)業(yè)上的利用可能性能夠提供一種可以將加工區(qū)域形成為所期望的形狀的激光加工裝置。
權(quán)利要求
1.一種激光加工裝置，其特征在于， 具備激光光源，射出激光；支撐臺，支撐對所述激光具有透過性的加工對象物；第1光學(xué)系統(tǒng)，具有使平行光在與光軸垂直的規(guī)定的方向上發(fā)散或收束的功能，使從所述激光光源射出的所述激光在所述規(guī)定的方向上發(fā)散或收束；第2光學(xué)系統(tǒng)，具有使平行光收束在光軸上的一點(diǎn)的功能，使從所述第1光學(xué)系統(tǒng)射出的所述激光在與光軸垂直的第1方向上收束在第1點(diǎn)，使從所述第1光學(xué)系統(tǒng)射出的所述激光在與光軸以及所述第1方向垂直的第2方向上收束在第2點(diǎn)；第1移動機(jī)構(gòu)，使所述第1光學(xué)系統(tǒng)相對于所述第2光學(xué)系統(tǒng)沿著光軸相對地移動；以及第2移動機(jī)構(gòu)，使所述支撐臺相對于所述第2光學(xué)系統(tǒng)沿著光軸相對地移動， 利用所述第1移動機(jī)構(gòu)以及所述第2移動機(jī)構(gòu)，使所述第1點(diǎn)位于所述加工對象物的外部，使所述第2點(diǎn)位于所述加工對象物的外表面或內(nèi)部，對所述加工對象物照射所述激光。
2.如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述第2點(diǎn)為所述激光的光線束中的未被所述第1光學(xué)系統(tǒng)發(fā)散或收束的光線束被所述第2光學(xué)系統(tǒng)收束的點(diǎn)。
3.如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述第2移動機(jī)構(gòu)使所述支撐臺相對于所述第2光學(xué)系統(tǒng)在所述第1方向上相對地移動。
4.如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述第2移動機(jī)構(gòu)使所述支撐臺相對于所述第2光學(xué)系統(tǒng)在所述第2方向上相對地移動。
5.如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，在所述第1光學(xué)系統(tǒng)和所述第2光學(xué)系統(tǒng)之間的光軸上，配置有反射所述激光的光學(xué)構(gòu)件，所述光學(xué)構(gòu)件使用于觀察所述加工對象物的觀察光透過。
全文摘要
本發(fā)明涉及激光加工裝置。柱面透鏡(4)使激光(L1)在Y軸方向(即YZ平面內(nèi))上發(fā)散，在X軸方向(即在ZX平面內(nèi))上不發(fā)散且不收束。而且，物鏡(5)使從柱面透鏡(4)射出的激光(L1)在Y軸方向上收束在點(diǎn)(P1)，在X軸方向上收束在點(diǎn)(P2)。由此，激光(L1)的剖面形狀，在點(diǎn)(P1)成為在X軸方向上延伸的長條形狀，在點(diǎn)(P2)成為在Y軸方向上延伸的長條形狀。因此，通過使點(diǎn)(P1)位于加工對象物(S)的外部，使點(diǎn)(P2)位于加工對象物(S)的內(nèi)部，從而在加工對象物(S)的內(nèi)部的點(diǎn)(P2)所位于的部分，可以形成在Y軸方向上延伸的長條形狀的加工區(qū)域。
文檔編號B23K26/38GK102271859SQ20098015347
公開日2011年12月7日 申請日期2009年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月9日
發(fā)明者大石真吾, 福滿憲志, 青島紳一郎 申請人:浜松光子學(xué)株式會社