專(zhuān)利名稱(chēng)：焊球印刷裝置以及焊球印刷方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于在半導(dǎo)體等基板的電極上通過(guò)印刷法形成焊料的印刷裝置，特別 是涉及使用焊球進(jìn)行印刷的焊球印刷裝置以及焊球印刷方法。
背景技術(shù)：
在以往的焊球印刷裝置中，提出了用于搭載將焊球向半導(dǎo)體等的基板上印刷的掩 模，將焊球向該掩模面上供給，將所供給的焊球從設(shè)置在掩模上的開(kāi)口部塞入半導(dǎo)體等的 基板面上的各種各樣的結(jié)構(gòu)。例如，如專(zhuān)利文獻(xiàn)1記載的那樣，公開(kāi)了結(jié)構(gòu)如下的印刷裝置，即，一面將向掩模 面上供給焊球的焊球供給部和為將供給到掩模面上的焊球從設(shè)置在掩模上的開(kāi)口部塞入 基板面上而將設(shè)置在轉(zhuǎn)移件上的多個(gè)線狀部件向掩模面推壓，一面使之在水平方向移動(dòng)。另外，記載了在該印刷裝置中，在掩模的左端具備焊球吸引口，由它吸引除去殘留 在掩模上面的球。另外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2中，公開(kāi)了在使涂刷器頭一面旋轉(zhuǎn)，一面水平移動(dòng)，將焊球向 掩模開(kāi)口部轉(zhuǎn)移的裝置中，從設(shè)置在涂刷器頭上部的計(jì)量部向涂刷器頭的旋轉(zhuǎn)軸部供給規(guī) 定量的焊球，從旋轉(zhuǎn)軸向掩模面上供給焊球的情況。在上述專(zhuān)利文獻(xiàn)1的結(jié)構(gòu)中，在將掩模載置在工作臺(tái)上時(shí)，在掩模的運(yùn)入側(cè)的入 口設(shè)置焊球供給裝置，一面從供給裝置向掩模面供給焊球，一面使掩模在工作臺(tái)上移動(dòng)。據(jù)此，將焊球均勻地分散配置在掩模面上。此后，水平移動(dòng)轉(zhuǎn)移件，向掩模開(kāi)口部 供給焊球。在該方式中，存在著在將焊球分散配置在掩模上時(shí)，由于掩模的移動(dòng)側(cè)的變動(dòng)、 掩模停止時(shí)的振動(dòng)，在分散配置的焊球產(chǎn)生偏倚的可能性。另外，因?yàn)槭窃趯⒀谀ＴO(shè)定在印刷機(jī)前供給焊球，所以，產(chǎn)生了每進(jìn)行一次印刷， 就要使掩模移動(dòng)的必要，存在節(jié)拍時(shí)間延長(zhǎng)的課題。另外，雖然沒(méi)有用于印刷的焊球由相對(duì)于焊球供給頭另行設(shè)置的吸引口吸引，但 是，在該情況下，在線狀的轉(zhuǎn)移件的前頭的線材沒(méi)有全部保持的情況下，是由后方的線材保 持，將焊球中的剩余的球運(yùn)送到吸引口附近，但是，存在產(chǎn)生由后方的線材保持的焊球重疊 于先供給的焊球，向掩模開(kāi)口部供給的情況的可能性。另外，在像引用文獻(xiàn)2那樣，從旋轉(zhuǎn)軸部向掩模面供給焊球的方式中，因?yàn)槭前殡S 涂刷器頭的旋轉(zhuǎn)，將焊球分散配置在掩模面，所以，焊球不一定能夠均勻地分散配置，產(chǎn)生 印刷缺陷，存在修理工序不可或缺的課題。專(zhuān)利文獻(xiàn)1日本特開(kāi)2005-101502號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)2日本特開(kāi)2008-142775號(hào)公報(bào)如上所述，在將焊球向掩模上分散配置時(shí)，由于掩模的移動(dòng)側(cè)的變動(dòng)、掩模停止時(shí) 的振動(dòng)，存在在分散配置的焊球產(chǎn)生偏倚的可能性，以及由于是伴隨著涂刷器頭的旋轉(zhuǎn)，將 焊球向掩模面分散配置，所以，焊球不能均勻地分散配置，在結(jié)構(gòu)方面以及印刷方法上存在 課題。
因此，本發(fā)明的第一目的是提供一種使焊球均勻、高精度地印刷焊球的焊球印刷 裝置以及焊球印刷方法。本發(fā)明的第二目的是提供一種縮短焊球印刷的節(jié)拍時(shí)間的焊球印刷裝置以及焊 球印刷方法。本發(fā)明的第三目的是提供一種簡(jiǎn)潔的結(jié)構(gòu)、裝置小型的焊球印刷裝置以及焊球印 刷方法。本發(fā)明的第四目的是提供一種回收沒(méi)有由填充部件填充到掩模開(kāi)口部的焊球，能 夠再利用的焊球印刷裝置以及焊球印刷方法。本發(fā)明的第五目的是提供一種在從焊球儲(chǔ)存部向焊球供給部供給焊球時(shí)，防止焊 球的飛散，切實(shí)地向焊球供給部供給焊球的焊球印刷裝置以及焊球印刷方法。本發(fā)明的第六目的是提供一種縮短焊球曝露在大氣中的時(shí)間，防止氧化的焊球印 刷裝置以及焊球印刷方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的焊球印刷裝置，是經(jīng)掩模向基板和上述基板上的電極印刷焊球的焊球印 刷裝置，具備儲(chǔ)存上述焊球的焊球儲(chǔ)存部、位于上述焊球儲(chǔ)存部的下方，從上述焊球儲(chǔ)存部 接收規(guī)定量的焊球，將接收到的上述焊球向位于上述基板上的上述掩模面上供給的焊球送 出部、使上述焊球送出部沿上述基板移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)部、向上述焊球送出部施加規(guī)定的振 動(dòng)的勵(lì)振構(gòu)件，上述焊球送出部具有接收來(lái)自上述焊球儲(chǔ)存部的焊球的焊球供給部、以包 圍上述焊球供給部的焊球送出口的方式安裝并以規(guī)定間隔排列了多個(gè)線材的凸?fàn)畹木€材、 排列在上述凸?fàn)畹木€材的前后，用于將上述焊球向上述掩模的開(kāi)口部填充的焊球填充部 件。 另外，在上述結(jié)構(gòu)中，上述焊球送出部還具有焊球旋轉(zhuǎn)回收機(jī)構(gòu)，所述焊球旋轉(zhuǎn)回 收機(jī)構(gòu)分別位于上述焊球填充部件的前后，將沒(méi)有被上述焊球填充部件填充而是分散的焊 球收集在上述焊球填充部附近。另外，在上述結(jié)構(gòu)中，上述焊球送出部以覆蓋上述焊球供給部、上述焊球填充部件 以及上述焊球旋轉(zhuǎn)回收機(jī)構(gòu)的方式設(shè)置頭外壁，將上述焊球送出部做成密封型頭構(gòu)造。另外，在上述結(jié)構(gòu)中，還在上述頭外壁的內(nèi)側(cè)，以覆蓋上述焊球旋轉(zhuǎn)回收機(jī)構(gòu)的方 式設(shè)置涂刷器罩。另外，在上述結(jié)構(gòu)中，上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)部還具備上下移動(dòng)焊球送出部的上下驅(qū)動(dòng)機(jī) 構(gòu)，由上述上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使將設(shè)置在焊球送出部的上述凸?fàn)畹木€材以及上述焊球填充部件 向上述掩模面推壓的推壓力發(fā)揮作用，使上述凸?fàn)畹木€材以及上述焊球填充部件相對(duì)于焊 球送出部的移動(dòng)方向以規(guī)定的推壓力接觸。另外，在上述結(jié)構(gòu)中，構(gòu)成上述凸?fàn)畹木€材以及焊球填充部的線材由規(guī)定間隔的 多個(gè)線材構(gòu)成，該線材由厚度約0. 05 0. Imm左右的鋼板以上述線材的寬度為0. 1mm，線材 間隔為0. Imm 0. 3mm來(lái)構(gòu)成，上述線材以相對(duì)于與上述焊球送出部的行進(jìn)方向?yàn)橹苯堑?方向約5度 35度傾斜地設(shè)置。另外，在上述結(jié)構(gòu)中，以設(shè)置在上述焊球送出部的多個(gè)上述焊球填充部件的線材 的傾斜方向互為反方向的方式設(shè)置。
另外，在上述結(jié)構(gòu)中，還具備固定上述基板的印刷工作臺(tái)、用于在上述印刷工作臺(tái) 上，識(shí)別上述基板上的電極圖形和上述掩模的電極圖形的上下雙視野照相機(jī)、根據(jù)上述雙 視野照相機(jī)所識(shí)別的結(jié)果，用于對(duì)上述印刷工作臺(tái)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)并定位的驅(qū)動(dòng)裝置、為上述基 板與上述掩模接觸而使上述印刷工作臺(tái)上升的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。焊球印刷方法是在經(jīng)掩模向基板和上述基板上的電極印刷被保持在焊球儲(chǔ)存部 上的焊球的焊球印刷裝置中，具有從上述焊球儲(chǔ)存部將規(guī)定量的焊球接收到上述焊球儲(chǔ) 存部，并將接收到的上述焊球向上述掩模面供給的工序、將從上述焊球儲(chǔ)存部供給的焊球 向上述掩模面的開(kāi)口部分散的焊球分散工序、將在上述焊球分散工序中分散的焊球向上述 掩模面的開(kāi)口部填充的焊球填充工序、對(duì)沒(méi)有在上述焊球填充工序被填充而是被分散的焊 球進(jìn)行回收的工序。發(fā)明效果本發(fā)明能夠均勻地將焊球供給到掩模上，并且焊球的供給也只要視焊球儲(chǔ)存部的 焊球的殘留量，通過(guò)更換焊球儲(chǔ)存部或從外部向焊球儲(chǔ)存部進(jìn)行供給即可，具有沒(méi)有必要 因焊球過(guò)度、不足而中斷作業(yè)等的效果。另外，因?yàn)榕渲昧嗽O(shè)置在焊球送出口的由半螺旋狀的線材或凸?fàn)畹木€材構(gòu)成的焊 球填充部件，所以，能夠在由半螺旋狀的線材或凸?fàn)畹木€材形成的空間通過(guò)振動(dòng)向焊球施 加旋轉(zhuǎn)力，因此，具有焊球均勻分散，對(duì)掩模開(kāi)口部也能夠順暢地填充的特征。另外，由于殘 留在掩模面上的剩余焊球由設(shè)置在填充部件的前后方的焊球旋轉(zhuǎn)回收機(jī)構(gòu)向填充頭內(nèi)回 收使用，所以，具有有效利用焊球的效果。


圖1是表示焊球印刷機(jī)用焊球供給頭的一個(gè)實(shí)施例的概略結(jié)構(gòu)的圖。圖2是用于印刷焊球的焊球印刷機(jī)的概略結(jié)構(gòu)圖。圖3是表示焊球印刷機(jī)用焊球供給頭的另一個(gè)實(shí)施例的圖。圖4是表示在焊球供給部使用的半螺旋狀的線材的一個(gè)實(shí)施例的圖。圖5是說(shuō)明焊球填充的動(dòng)作的圖。圖6是表示焊球印刷方法的一個(gè)實(shí)施例的流程圖。
具體實(shí)施例方式使用下面的附圖，說(shuō)明本發(fā)明。下面記載的實(shí)施例是一個(gè)方式，能夠在本領(lǐng)域技術(shù) 人員可輕易想到的范圍內(nèi)進(jìn)行修改、變形。[實(shí)施例1]使用圖1以及圖2，說(shuō)明有關(guān)本發(fā)明的焊球印刷裝置的一個(gè)實(shí)施例。圖1是表示本 發(fā)明的焊球印刷裝置用焊球供給頭的一個(gè)實(shí)施例的概略結(jié)構(gòu)的圖。圖I(A)是表示焊球印 刷裝置用焊球供給頭的一個(gè)實(shí)施例的側(cè)面的概略結(jié)構(gòu)的圖。圖I(B)是表示圖I(A)的焊球 印刷裝置用焊球供給頭的從線段B-B看到的俯視圖的概略的圖。圖2是表示設(shè)置了焊球印 刷用頭的焊球印刷裝置的一個(gè)實(shí)施例的概略結(jié)構(gòu)的圖。圖2(A)是用于說(shuō)明進(jìn)行掩模和基 板的對(duì)位的狀態(tài)的圖，圖2(B)是表示用于說(shuō)明在基板上印刷焊球的狀態(tài)的圖。在圖2所示的焊球印刷裝置1中，焊球供給頭3經(jīng)頭移動(dòng)工作臺(tái)2可自由移動(dòng)地被安裝在焊球印刷裝置1的安裝框6和滾珠絲杠2b上，以通過(guò)馬達(dá)2g的控制，滾珠絲杠2b 旋轉(zhuǎn)，焊球供給頭3在箭頭方向移動(dòng)的方式構(gòu)成。另外，后面闡述焊球印刷裝置1的細(xì)節(jié)。首先，使用圖1，說(shuō)明焊球供給頭3的一個(gè)實(shí)施例。圖I(A)中，焊球供給頭3由焊 球送出部7、移動(dòng)焊球送出部7的移動(dòng)機(jī)構(gòu)部8、用于連接焊球送出部7以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)部8 的連接部件72構(gòu)成。焊球送出部7具備下述部件，即，將焊球24向掩模20上供給的焊球供給部64、以 覆蓋焊球供給部64的方式設(shè)置的頭外壁73、焊球旋轉(zhuǎn)回收機(jī)構(gòu)(旋轉(zhuǎn)涂刷器)75-1、75-2、 覆蓋焊球旋轉(zhuǎn)回收機(jī)構(gòu)75的外周的涂刷器罩74-1、74-2、氮?dú)鈿怏w供給口 77_1、77_2、將 適當(dāng)?shù)牧康暮盖?4向掩模20上供給的半螺旋狀或凸?fàn)畹木€材62 (對(duì)此也在后面闡述。) 以及用于將焊球24向掩模20的開(kāi)口部填充的焊球填充部件63-1、63-2(對(duì)此也在后面闡 述。) ο焊球供給部64被安裝固定在頭外壁73的兩端部的內(nèi)側(cè)。在頭外壁73的與焊球 供給部64的開(kāi)口部83對(duì)應(yīng)的部分，設(shè)置開(kāi)口部81，以便能夠從焊球儲(chǔ)存部(對(duì)此也在后面 闡述。)向焊球供給部64供給焊球24。另外，因?yàn)轭^外壁73的內(nèi)部為了像后述那樣充滿 氮?dú)鈿怏w而有必要保持為密閉狀態(tài)，所以，在頭外壁73的開(kāi)口部81設(shè)置開(kāi)閉蓋82，除向焊 球供給部64供給焊球24時(shí)以外，通過(guò)開(kāi)閉蓋82使頭外壁73的內(nèi)部為密閉狀態(tài)。接著，說(shuō)明移動(dòng)機(jī)構(gòu)部8。移動(dòng)機(jī)構(gòu)部8由安裝在連接部件72上的頭安裝框71、 頭移動(dòng)工作臺(tái)2、頭上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)4、與頭移動(dòng)工作臺(tái)2結(jié)合的焊球供給工作臺(tái)61以及焊球 儲(chǔ)存部60構(gòu)成。頭上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)4由缸和活塞構(gòu)成，被安裝在頭移動(dòng)工作臺(tái)2上。然后， 在上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)4的活塞軸上安裝頭安裝框71。因此，以通過(guò)活塞軸上下(運(yùn)動(dòng))，經(jīng)連接 部件72與頭安裝框71連接的焊球送出部7上下移動(dòng)的方式構(gòu)成。這在經(jīng)掩模20將焊球 向基板上印刷的情況下進(jìn)行下述動(dòng)作，即，在使焊球送出部7與掩模20接觸的情況下向下 方移動(dòng)，在印刷結(jié)束返回原來(lái)的位置(例如，原位置)的情況下，向上方移動(dòng)。另外，頭移動(dòng) 工作臺(tái)2也像前面說(shuō)明那樣，與設(shè)置在裝置主體側(cè)的由馬達(dá)2g和滾珠絲杠2b構(gòu)成的水平 方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)的滾珠絲杠部連接，通過(guò)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)2g，在水平方向移動(dòng)。另外，在頭移動(dòng)工作臺(tái)2上設(shè)置安裝了焊球儲(chǔ)存部60的焊球供給工作臺(tái)61。焊球 儲(chǔ)存部60以相對(duì)于焊球供給工作臺(tái)61能夠像箭頭所示那樣旋轉(zhuǎn)的方式安裝。然后，焊球 儲(chǔ)存部60能夠通過(guò)線性驅(qū)動(dòng)部76上下移動(dòng)。這是在將焊球24向焊球供給部64供給時(shí)， 焊球儲(chǔ)存部60向下方移動(dòng)，同時(shí)，以焊球儲(chǔ)存部60的開(kāi)口部向下的方式旋轉(zhuǎn)，從構(gòu)成焊球 儲(chǔ)存部60的容器(噴射缸)內(nèi)經(jīng)頭外壁73的開(kāi)口部81、設(shè)置在焊球供給部64的上部的開(kāi) 口部83，將焊球24抖落在焊球供給部64內(nèi)。更詳細(xì)地說(shuō)，用于將從焊球儲(chǔ)存部60抖落的焊球24向焊球供給部64內(nèi)供給的焊 球供給部64以位于焊球儲(chǔ)存部60的大致下側(cè)的方式配置。另外，掩模面20的位置、焊球 送出部7的位置、焊球供給部64的位置、焊球送出部7的頭外壁73的開(kāi)口部81以及開(kāi)閉 蓋82的位置、連接部件72的位置關(guān)系如圖1 (B)的俯視圖所示。另外，通過(guò)初期供給預(yù)先向焊球供給部64供給一次的量的焊球。即，焊球送出部7 如圖I(A)所示，沿箭頭方向移動(dòng)，與移動(dòng)相應(yīng)地將焊球24送出到掩模20上，但是，例如在 圖2的焊球印刷裝置中，若以焊球供給頭3從右端到左端的移動(dòng)為一個(gè)行程，則有必要將在 該一個(gè)行程中將足夠的焊球24向掩模20供給的焊球24向焊球供給部64供給。這例如是一次的量的焊球供給。因此，在該一次的量，即，一個(gè)行程期間，開(kāi)閉蓋82被關(guān)閉，使頭外壁 73的內(nèi)部為密閉狀態(tài)，充滿氮?dú)鈿怏w，防止焊球24的氧化。因此，一次的量的焊球是指將 焊球向掩模面供給時(shí)的一個(gè)行程所必須的焊球的量，表示預(yù)測(cè)該量，并向焊球供給部64供 給。但是，因?yàn)殡y以正確地預(yù)測(cè)該量，所以，當(dāng)然要適宜地在焊球的量不足的情況下，從焊球 儲(chǔ)存部60補(bǔ)充不足的量的焊球，在量多的情況下，回收剩余的焊球。另外，雖然未圖示出細(xì)節(jié)，但是，焊球供給工作臺(tái)61能夠在與焊球供給頭3的移動(dòng) 方向呈直角的方向移動(dòng)，一面使焊球儲(chǔ)存部60移動(dòng)，一面向焊球供給部64供給焊球24。頭 外壁73因作為印刷對(duì)象的基板的大小而不同，作為一個(gè)例子，如圖I(B)所示，其大小為，寬 度W:100mm，長(zhǎng)度(進(jìn)深)D:450mm。另外，焊球供給部64的大小形成與掩模20的寬度(相 對(duì)于頭行進(jìn)方向?yàn)橹苯欠较?大致相同的長(zhǎng)度或稍短。另外，在本實(shí)施例中，可使用印刷的焊球的直徑與掩模開(kāi)口的大小大致相等， 20μπι 80μπι的范圍的焊球。例如，若掩模20的開(kāi)口為50 μ m，則使用印刷的焊球的直徑 比50 μ m稍小的焊球。另外，在本實(shí)施例中，以焊球的直徑為20 μ m 80 μ m的范圍的焊球 進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明當(dāng)然并不限定于此。 另外，后述的圖5所示的掩模開(kāi)口部94為了收納焊球24而比焊球24的直徑稍大。 另外，焊球送出口 84也與掩模開(kāi)口部94大致相等，比焊球24的直徑稍大。這是為了不從 焊球送出口 84 —次大量排出焊球24而使之大致相等或稍大。另外，在安裝于該焊球供給部64的焊球送出口 84的附近的半螺旋狀或凸?fàn)畹木€ 材62的前后方向(頭移動(dòng)方向的前后方向)，設(shè)置用于將焊球24向掩模20的開(kāi)口部填充 的焊球填充部件63-1、63-2(對(duì)此也在后面闡述。)。另外，在代表焊球填充部件63-1、63-2 的情況下，稱(chēng)為焊球填充部件63。該焊球填充部件63也由與設(shè)置在焊球供給部64的焊球 送出口 84的附近的線材62形狀相同的線材形成。這里，進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明焊球送出部7。焊球送出部7做成勵(lì)振構(gòu)造，以便為了將焊 球24大致均勻地送出到掩模20上而施加規(guī)定的振動(dòng)。詳細(xì)說(shuō)明該勵(lì)振構(gòu)造。連接部件72 被安裝在勵(lì)振框70上。在勵(lì)振框70上設(shè)置在焊球送出部7的移動(dòng)方向的前后方向?qū)盖?送出部7進(jìn)行高頻勵(lì)振，例如以約220 250Hz的頻率勵(lì)振的勵(lì)振器65。另外，在勵(lì)振框 71的上部設(shè)置滑塊67。該滑塊67被安裝于在設(shè)置在勵(lì)振框上部的頭安裝框71上所設(shè)置 的線性引導(dǎo)器67R上。做成下述結(jié)構(gòu)，即，在勵(lì)振框70的一端部設(shè)置凸輪66，通過(guò)由設(shè)置在 頭安裝框71上的凸輪軸驅(qū)動(dòng)馬達(dá)68進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，以比前面敘述的勵(lì)振器65的頻率低的 頻率，例如約1 IOHz左右的頻率，使勵(lì)振框70在水平方向(線性引導(dǎo)器的方向)擺動(dòng)。這樣，通過(guò)設(shè)置兩個(gè)不同的勵(lì)振構(gòu)件，能夠擴(kuò)大使焊球送出部7振動(dòng)的頻率的選 擇幅度，從焊球供給部64向掩模面有效地供給從以覆蓋焊球送出口 84的方式設(shè)置的半螺 旋狀或凸?fàn)畹木€材62通過(guò)振動(dòng)送出的焊球。再有，焊球送出部7做成通過(guò)頭外壁73，在設(shè)置于焊球供給部64的半螺旋狀或凸 狀的線材62以及焊球填充機(jī)構(gòu)63接觸到掩模24時(shí)形成密閉狀態(tài)的所謂密閉型的頭結(jié)構(gòu)。 該結(jié)構(gòu)是用于空氣浸入焊球供給部64內(nèi)，焊球24不會(huì)氧化的結(jié)構(gòu)。這樣，作為密閉型結(jié)構(gòu)，通過(guò)從氮?dú)鈿怏w供給口 77-1、77_2將氮?dú)鈿怏w導(dǎo)入頭內(nèi) 來(lái)防止焊球的氧化等，抑制焊球連接不良的產(chǎn)生。另外，在焊球供給部64的焊球送出口 84 設(shè)置閥(未圖示出。)，使多余的焊球24不會(huì)落到半螺旋狀或凸?fàn)畹木€材62上。該閥例如是通過(guò)阻尼器機(jī)構(gòu)，使蓋狀態(tài)(閘板)旋轉(zhuǎn)90度來(lái)開(kāi)閉的閥。圖5是表示焊球送出部7的局部的放大圖。使用該圖5，詳細(xì)說(shuō)明印刷焊球24的 狀態(tài)。圖5中，助焊劑22被提前印刷在基板21上的電極部23上。然后，在掩模20的開(kāi) 口部94的附近的里面?zhèn)仍O(shè)置微小突起20a，做成掩模20不與助焊劑等直接接觸的結(jié)構(gòu)。也 可以替代微小突起20a，設(shè)置薄膜等微小的階梯差。另外，如圖5所示，在焊球供給部64的 焊球送出口 84的附近以覆蓋焊球送出口 84的方式安裝半螺旋狀或凸?fàn)畹木€材62。該半螺旋狀或凸?fàn)畹木€材62由于被上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)4推壓成焊球送出部7以規(guī)定 的推壓力與掩模20接觸的程度，所以，以略微變形的狀態(tài)與掩模20接觸。這里，將半螺旋 狀或凸?fàn)畹木€材62略微變形的狀態(tài)稱(chēng)為大致螺旋形(或大致半圓形)的狀態(tài)。另外，該大 致螺旋形(或大致半圓形)的狀態(tài)當(dāng)然可以提前使本發(fā)明的焊球印刷裝置實(shí)驗(yàn)性地動(dòng)作， 調(diào)節(jié)推壓力，還有選定勵(lì)振的頻率，使焊球24大致均勻地從焊球供給部64被送出到掩模20 上。接著，說(shuō)明焊球24為了從焊球供給部64大致均勻地向掩模20上送出的動(dòng)作。設(shè) 置在焊球供給部64的焊球送出口 84的附近的半螺旋狀或凸?fàn)畹木€材62在上下方向形成 大致螺旋形(或大致半圓形)的空間，在該空間內(nèi)，如圖所示，在焊球24上與頭的行進(jìn)方向 相應(yīng)地產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)力。焊球24的旋轉(zhuǎn)力雖然也通過(guò)線材62以及掩模20的雙方的摩擦力產(chǎn) 生，但是如上所述，使焊球送出部7勵(lì)振的擺動(dòng)動(dòng)作有效地使旋轉(zhuǎn)力產(chǎn)生。另外，圖1所示 的勵(lì)振器65具有給與球微振動(dòng)，避免球分散和范德華力造成的球間的附著，有效地進(jìn)行將 焊球24向掩模20上轉(zhuǎn)移的效果。據(jù)此，焊球24被分散，向一個(gè)掩模開(kāi)口部94供給一個(gè)焊 球24。另外，設(shè)置在半螺旋狀或凸?fàn)畹木€材62的前后的焊球填充部件63-1、63_2是發(fā)揮 下述作用的部件，即，接收從焊球送出口 84送出的焊球24中的沒(méi)有被半螺旋狀或凸?fàn)畹木€ 材62填充到掩模開(kāi)口部94的焊球24，在掩模20的開(kāi)口部94的沒(méi)有被供給焊球的部分，與 半螺旋狀或凸?fàn)畹木€材62同樣地給與焊球24旋轉(zhuǎn)力，進(jìn)行轉(zhuǎn)移。另外，焊球填充部件63也由與設(shè)置在焊球送出口 84的半螺旋狀或凸?fàn)畹木€材62 同樣的線材構(gòu)成。另外，雖然半螺旋狀或凸?fàn)畹木€材62以及焊球填充部件63的細(xì)節(jié)將在 后面闡述，但是，做成構(gòu)成半螺旋狀或凸?fàn)畹木€材62的線材的線間隔比所使用的焊球24的 直徑小，例如約小5 μ m左右的結(jié)構(gòu)。這樣，通過(guò)使線間隔比所使用的焊球24的直徑約小 5 μ m左右，具有防止大量的焊球一次落到掩模上的效果，能夠?qū)⒑盖?4均勻地抖落在掩模 20上。另外，即使使構(gòu)成半螺旋狀或凸?fàn)畹木€材62的線材的線間隔比焊球24的直徑小約 5 μ m左右，也因?yàn)楹盖?4旋轉(zhuǎn)，所以，擠出線材的間隙，向掩模20上供給。接著，使用圖2，更詳細(xì)地說(shuō)明焊球印刷裝置的一個(gè)實(shí)施例。如圖2㈧所示，焊球 印刷裝置1具備搭載了印刷焊球24的基板21的印刷工作臺(tái)10和以能夠上下移動(dòng)的方式 驅(qū)動(dòng)該印刷工作臺(tái)10的驅(qū)動(dòng)部11。驅(qū)動(dòng)設(shè)置在未圖示出的印刷工作臺(tái)10的下側(cè)的作為水 平方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)的XY工作臺(tái)，使用照相機(jī)15，對(duì)搭載在該印刷工作臺(tái)10上的基板21和掩 模20的面進(jìn)行對(duì)位。即，照相機(jī)15例如對(duì)設(shè)置在基板21上的對(duì)位標(biāo)記和設(shè)置在掩模20 上的對(duì)位標(biāo)記同時(shí)攝像，以各自的圖像的標(biāo)記一致的方式移動(dòng)XY工作臺(tái)，進(jìn)行對(duì)位。此后，使對(duì)位用的照相機(jī)15退避，如圖2 (B)所示，使印刷工作臺(tái)10上升，使設(shè)置在工作臺(tái)上部的掩模20面接觸基板21的面，驅(qū)動(dòng)頭上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4，上下移動(dòng)球供給頭3， 使焊球供給用的半螺旋狀或凸?fàn)畹木€材62以及焊球填充部件63接觸掩模面。這樣，通過(guò) 頭上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4，使線材62、焊球填充部件63產(chǎn)生推壓力，據(jù)此，產(chǎn)生將焊球24塞入掩模 開(kāi)口部94的所謂的印刷壓力。然后，通過(guò)驅(qū)動(dòng)頭驅(qū)動(dòng)部2g來(lái)使?jié)L珠絲杠2b旋轉(zhuǎn)，使焊球供給頭3在水平方向 (箭頭所示方向)移動(dòng)。在焊球供給頭3移動(dòng)時(shí)，由勵(lì)振器65使焊球供給部64在水平方向 (頭移動(dòng)方向)振動(dòng)，同時(shí)，通過(guò)驅(qū)動(dòng)凸輪軸驅(qū)動(dòng)馬達(dá)68，使凸輪66也旋轉(zhuǎn)，而使之在水平 方向振動(dòng)，有效地送出半螺旋狀或凸?fàn)畹木€材62內(nèi)的焊球24。另外，在本實(shí)施例中，說(shuō)明了通過(guò)同時(shí)驅(qū)動(dòng)勵(lì)振器65和凸輪66來(lái)進(jìn)行焊球24的 送出的情況，但是，也可以通過(guò)驅(qū)動(dòng)任意一個(gè)進(jìn)行焊球的送出。另外，在焊球的送出的同時(shí)， 通過(guò)夾著焊球供給部64的半螺旋狀或凸?fàn)畹木€材62，設(shè)置在焊球供給頭3的移動(dòng)方向的焊 球填充部件63，向設(shè)置在掩模20上的開(kāi)口部填充焊球。另外，在填充焊球時(shí)，通過(guò)在箭頭方向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)配置在填充部件63-1、63_2的附 近的焊球旋轉(zhuǎn)回收機(jī)構(gòu)75-1、75-2，將殘留在掩模上的焊球收集在焊球供給部64的附近， 使剩余的焊球不會(huì)到焊球送出部7之外。另外，在本裝置中，用于清掃掩模里面的清掃機(jī)構(gòu) 45設(shè)置在照像機(jī)移動(dòng)框架上，與照像機(jī)15同樣，一面在水平方向移動(dòng)，一面清掃掩模。該清 掃機(jī)構(gòu)45通過(guò)使夾裝了卷對(duì)卷式清潔擦拭器的吸引嘴接觸移動(dòng)到掩模里面來(lái)執(zhí)行清掃。接著，使用圖4，詳細(xì)說(shuō)明設(shè)置在焊球送出部7的焊球送出口 84附近的半螺旋狀或 凸?fàn)畹木€材62。另外，針對(duì)半螺旋狀或凸?fàn)畹木€材62，在圖4中，例如詳細(xì)說(shuō)明了半螺旋狀 線材62，但是，與之類(lèi)似的結(jié)構(gòu)當(dāng)然也可以由凸?fàn)畹木€材構(gòu)成。另外，雖然圖4中說(shuō)明了半 螺旋狀或凸?fàn)畹木€材62，但是因?yàn)楹盖蛱畛洳考?3也與半螺旋狀或凸?fàn)畹木€材62是同樣 地構(gòu)成，所以，省略對(duì)焊球填充部件63的說(shuō)明。圖4(A)是表示將半螺旋狀線材62安裝到焊球供給部64之前的俯視圖，圖4(B)是 表示圖4(A)的B-B剖面的圖，圖4(C)是表示圖4(A)的B部的放大圖。圖4(D)是將半螺 旋狀線材62彎曲成凸?fàn)?，安裝在焊球供給部64的焊球送出口 84的附近的狀態(tài)的剖視圖。圖4(A)中，半螺旋狀線材62如圖所示，由平行設(shè)置的、具有規(guī)定的間隔(本實(shí)施 例中約35mm)的兩個(gè)安裝部62P_1、62P_2 (安裝部的寬度約為5mm)(在代表安裝部的情況 下，稱(chēng)為安裝部62P。)和在上述安裝部62P之間，相對(duì)于安裝部62P具有規(guī)定角度的多個(gè)線 材62L構(gòu)成。更詳細(xì)地闡述，如圖4(C)所示，半螺旋狀線材62由安裝部62P和相對(duì)于安裝 部62P具有規(guī)定角度θ，例如約5度 35度，優(yōu)選約10度的多個(gè)線材62L構(gòu)成，線材62L 的粗度例如約為0. Imm,以規(guī)定的間隔62S，例如約0. Imm 0. 3mm間隔形成該線材62L。另 外，這里所示的各尺寸是一個(gè)實(shí)施例，但并不限定于此。例如，寬度約為0. Imm的規(guī)定的間 隔62S是根據(jù)焊球的直徑而變更。但是，實(shí)驗(yàn)性地確認(rèn)寬度約為0. Imm的間隔62S相對(duì)于 20 80 μ m的大小的焊球能夠共用。另外，本實(shí)施例中，是作為半螺旋狀線材62進(jìn)行說(shuō)明， 這是由于若如圖4(A)所示，將平面狀的半螺旋狀線材62向圖4(D)所示那樣彎曲，安裝到 焊球供給部64，則該線材62L的形狀成為半螺旋狀，所以，作為半螺旋狀線材62進(jìn)行說(shuō)明。 但是，并不局限于半螺旋狀線材62，也可以做成凸?fàn)畹木€材62。因此，這里包括半螺旋狀的 線材62，稱(chēng)為凸?fàn)畹木€材62。接著，說(shuō)明半螺旋狀的線材62的制作方法。半螺旋狀的線材62是經(jīng)規(guī)定形狀的掩模，通過(guò)蝕刻對(duì)厚度為0. Imm的鋼板進(jìn)行加工，做成圖4(A)那樣的形狀的部件。因此，半螺旋狀的線材62的長(zhǎng)度為焊球供給頭7的寬度的長(zhǎng)度。以跨過(guò)該焊球供 給部64的焊球送出口 84的形式安裝半螺旋狀的線材62。即，是安裝時(shí)在焊球供給頭的上 下方向?qū)⒙菪尉€圈的上半部切掉的安裝形狀。這是一個(gè)例子，也可以像圖4(D)那樣彎曲 地形成。另外，頭安裝框71能夠由作為驅(qū)動(dòng)構(gòu)件的馬達(dá)4上下移動(dòng)。另外，雖然在本實(shí)施 例中記載了由馬達(dá)4進(jìn)行頭安裝框71的上下驅(qū)動(dòng)，但是，也可以替代馬達(dá)4使用空氣缸。進(jìn)一步，在頭外壁73的內(nèi)側(cè)，設(shè)置用于將焊球回收到焊球送出部7的移動(dòng)方向的 前端側(cè)以及后端側(cè)的焊球旋轉(zhuǎn)回收機(jī)構(gòu)75-1，75-2 (旋轉(zhuǎn)涂刷器)。該焊球旋轉(zhuǎn)回收機(jī)構(gòu)75-1、75_2的旋轉(zhuǎn)方向像箭頭所示那樣旋轉(zhuǎn)。即，焊球旋轉(zhuǎn) 回收機(jī)構(gòu)75-1、75-2以互為反方向旋轉(zhuǎn)的方式構(gòu)成。該焊球旋轉(zhuǎn)回收機(jī)構(gòu)75如圖3(B)所 示，做成在刮離部以螺旋形狀且圓筒狀形成線材90，在旋轉(zhuǎn)軸的長(zhǎng)度方向多級(jí)安裝的結(jié)構(gòu)。 該焊球旋轉(zhuǎn)回收機(jī)構(gòu)75是在將焊球24向掩模20上送出的情況下，若焊球送出部7在箭頭 方向行進(jìn)，則旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)焊球旋轉(zhuǎn)回收機(jī)構(gòu)75，將焊球24向焊球供給部64的周?chē)稚⒌暮盖?24阻擋在焊球供給部64的下部?jī)?nèi)，切實(shí)地將焊球24向掩模開(kāi)口 94填充的部件。再有，做成通過(guò)將覆蓋焊球旋轉(zhuǎn)回收機(jī)構(gòu)75的外周的涂刷器罩74安裝在頭外壁 73的內(nèi)側(cè)，將剩余的焊球收集在焊球填充部件63側(cè)，使焊球不會(huì)散亂在焊球供給部64的周 圍的結(jié)構(gòu)。[實(shí)施例2]接著，使用圖3，說(shuō)明有關(guān)本發(fā)明的焊球印刷裝置的另一個(gè)實(shí)施例。圖3是表示作 為圖1所示的焊球送出部7的另一個(gè)實(shí)施例的焊球送出部9的結(jié)構(gòu)。另外，對(duì)與圖I(A)相 同的布局標(biāo)注相同的符號(hào)。圖3所示的有關(guān)本實(shí)施例的焊球送出部9的結(jié)構(gòu)中，與有關(guān)圖 1所示的實(shí)施例1的焊球的不同之處在于，將焊球儲(chǔ)存部60S的供給口部插入設(shè)置在頭外 壁73上的開(kāi)口部91，能夠在頭長(zhǎng)度方向，S卩，相對(duì)于箭頭所示的方向?yàn)橹苯堑姆较蛞苿?dòng)焊 球儲(chǔ)存部60S整體。例如，作為移動(dòng)機(jī)構(gòu)，是通過(guò)替代圖1所示的焊球儲(chǔ)存部60，將焊球儲(chǔ) 存部60S安裝在焊球供給工作臺(tái)61，使線性驅(qū)動(dòng)部76能夠在長(zhǎng)度方向移動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)的。另 外，雖未圖示出，但是，安裝了焊球儲(chǔ)存部60S的焊球供給工作臺(tái)以與圖1所示的焊球供給 工作臺(tái)61相比一直到頭外壁73的附近，能夠通過(guò)線性驅(qū)動(dòng)部76上下移動(dòng)的方式構(gòu)成。通 過(guò)這樣構(gòu)成，與有關(guān)實(shí)施例1的圖1的裝置相比，在焊球24向從焊球儲(chǔ)存部60S向焊球供 給部64供給時(shí)，能夠防止焊球的飛散，切實(shí)地向焊球供給部64供給焊球24。另外，若這樣 構(gòu)成，則焊球24曝露在大氣的時(shí)間縮短，防止氧化。另外，圖3(B)是表示焊球旋轉(zhuǎn)回收機(jī)構(gòu)75-1、75_2(在代表焊球旋轉(zhuǎn)回收機(jī)構(gòu)的 情況下，稱(chēng)為焊球旋轉(zhuǎn)回收機(jī)構(gòu)75。)的外觀。如圖所示，做成在旋轉(zhuǎn)軸92上螺旋形狀、多 級(jí)安裝由線材構(gòu)成的圓盤(pán)形狀的刮離部90的結(jié)構(gòu)。該圓盤(pán)形狀的刮離部90中，與掩模20 接觸的部分相對(duì)于與焊球送出部7的移動(dòng)方向?yàn)橹苯堑姆较?，以?guī)定角度θ，例如5度 35度左右傾斜地安裝。另外，該圖3(B)的焊球旋轉(zhuǎn)回收機(jī)構(gòu)75是與圖1的結(jié)構(gòu)大致相同 的結(jié)構(gòu)。另外，本圖中是表示用圓筒容器構(gòu)成焊球儲(chǔ)存部60S。然后，使焊球儲(chǔ)存部60S的 前端長(zhǎng)，形成倒圓錐狀引導(dǎo)器93，一直插入到頭外壁73的開(kāi)口部91。通過(guò)做成這樣的結(jié)構(gòu)， 能夠從焊球儲(chǔ)存部60S不會(huì)向周邊飛散地、將焊球24有效地向焊球供給部64供給。
但是，并不限定于該構(gòu)造，也可以替代該焊球儲(chǔ)存部60S，在頭外壁73的開(kāi)口部91 設(shè)置具備焊球供給用的口的碟狀的焊球支承件，將計(jì)量的焊球載置在該焊球支承件，然后， 使焊球支承件相對(duì)于焊球送出部7的移動(dòng)方向在長(zhǎng)度方向移動(dòng)，以此，能夠向焊球供給部 64供給規(guī)定量的焊球。另外，與焊球供給部64的開(kāi)口部91相吻合地設(shè)置的頭外壁73的開(kāi) 口部91由在焊球送出部7的長(zhǎng)大方向一剖為二的橡膠部件覆蓋，焊球儲(chǔ)存部60S的倒圓錐 狀引導(dǎo)器93從該一分為二部插入。接著，使用圖6，說(shuō)明焊球印刷的一系列的動(dòng)作。首先，將在電極部23印刷了助焊劑22的基板21，例如半導(dǎo)體晶片21 (下面的說(shuō)明 中作為基板21進(jìn)行說(shuō)明。)運(yùn)入焊球印刷載置，并載置在印刷工作臺(tái)10上(步驟S101)。 在印刷工作臺(tái)10上設(shè)置供給負(fù)壓的多個(gè)吸附口，通過(guò)向這里供給負(fù)壓，基板21被保持為不 會(huì)在印刷工作臺(tái)面上移動(dòng)。接著，使用對(duì)位用的照像機(jī)15，對(duì)設(shè)置在基板21面上的對(duì)位標(biāo)記和設(shè)置在掩模20 上的對(duì)位標(biāo)記進(jìn)行攝像。攝像的數(shù)據(jù)被傳輸?shù)轿磮D示出的控制部，在這里進(jìn)行圖像處理，求 出位置偏移量。根據(jù)其結(jié)果，通過(guò)未圖示出的水平方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，向校正偏移的方向移動(dòng)印 刷工作臺(tái)(步驟S102)。若對(duì)位結(jié)束，則使印刷工作臺(tái)10上升，使晶片21的印刷面接觸掩模20里面(步 驟 S103)。接著，向印刷開(kāi)始位置水平移動(dòng)焊球供給頭3，然后，使焊球供給頭3下降到掩模 面上，以便規(guī)定的印刷壓力(推壓力)作用在掩模面上。接著，從氮?dú)鈿怏w供給口 77向頭 內(nèi)供給氮?dú)鈿怏w，使頭內(nèi)為氮?dú)猸h(huán)境(步驟S104)。接著，檢查焊球供給部64內(nèi)的焊球的 量，在不到印刷所必要的量的情況下，使焊球儲(chǔ)存部60動(dòng)作，向焊球供給部64供給必要量 的焊球(步驟S105)。然后，驅(qū)動(dòng)勵(lì)振器65以及凸輪軸驅(qū)動(dòng)馬達(dá)68，將收納在焊球供給部64的焊球24 從設(shè)置在焊球供給部64上的焊球送出口 84經(jīng)凸?fàn)畹木€材62向掩模面供給。一面使焊球供給頭3在水平方向移動(dòng)，一面通過(guò)焊球填充部件63的凸?fàn)畹木€材 的彈簧作用，將焊球24塞入掩模開(kāi)口部94，使之附著在基板21上的助焊劑22上(步驟 S106)。此時(shí)，使焊球旋轉(zhuǎn)回收機(jī)構(gòu)75旋轉(zhuǎn)，由焊球旋轉(zhuǎn)回收機(jī)構(gòu)部75回收未被塞入到掩 模開(kāi)口部94的焊球24，使之不會(huì)從焊球送出部7內(nèi)向外泄漏。若焊球供給頭3在掩模面上的移動(dòng)結(jié)束，暫時(shí)停止，對(duì)在向設(shè)置在焊球供給頭內(nèi) 的氮?dú)鈿怏w供給口 77供給氮?dú)鈿怏w的氮?dú)鈿怏w供給系統(tǒng)上所設(shè)置的切換閥進(jìn)行切換，連 接到負(fù)壓供給系統(tǒng)。據(jù)此，替代氮?dú)鈿怏w，向氮?dú)鈿怏w供給口 77供給負(fù)壓，回收剩余焊球 24(步驟S107)。接著，使焊球供給頭3以離開(kāi)掩模面20的方式上升，然后，使焊球供給頭 3返回到原點(diǎn)位置(原位置)。另外，這里通過(guò)向氮?dú)鈿怏w供給口供給負(fù)壓來(lái)進(jìn)行了說(shuō)明， 但是也可以通過(guò)人工，對(duì)匯集在掩模面上的一方側(cè)的焊球進(jìn)行回收。接著，使印刷工作臺(tái)10下降，使掩模離開(kāi)印刷工作臺(tái)。由照相機(jī)10對(duì)被印刷的基 板21的印刷狀態(tài)進(jìn)行攝像，調(diào)查有無(wú)缺陷。然后，若有缺陷，則向修理部運(yùn)送基板，在這里 修復(fù)缺陷部。在缺陷部被修復(fù)后將基板21向回流部運(yùn)送，使焊球24熔融，固定在電極部 23。上面闡述了大致的焊球的印刷方法的工序，但是，就上述步驟S107以后的缺陷部
12的修理的方法、缺陷部被修復(fù)后的回流的方法而言，是以往就被很好地公知的方法，因此， 在這里省略詳細(xì)的說(shuō)明。如上面詳細(xì)地闡述那樣，通過(guò)使用本發(fā)明的焊球印刷裝置，能夠?qū)⑽⑿≈睆降暮?球一個(gè)個(gè)地切實(shí)地從掩模開(kāi)口部向基板的助焊劑上供給。上面對(duì)本實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，但是，本發(fā)明并不限于這里記載的焊球印刷裝 置以及焊球印刷方法的實(shí)施例，當(dāng)然也可以輕易地適用于其它的焊球印刷裝置以及焊球印 刷方法。符號(hào)說(shuō)明1 焊球印刷機(jī)；2 頭移動(dòng)框架；3 焊球供給頭；4 頭上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；10 印刷工作 臺(tái)；11 印刷工作臺(tái)上升機(jī)構(gòu)；15 照像機(jī)；20 遮蔽物；21 晶片；24 焊球；45 清掃機(jī)構(gòu)； 60 焊球儲(chǔ)存部；62 線材；63-1、63-2 焊球填充部件；64 焊球供給部；65 勵(lì)振器；66 凸 輪；73 頭外壁；74-1、74-2 涂刷器罩；75_1、75_2 旋轉(zhuǎn)回收機(jī)構(gòu)；77_1、77_2 氮?dú)鈿怏w供給口。
權(quán)利要求
一種焊球印刷裝置，是經(jīng)掩模向基板和上述基板上的電極印刷焊球的焊球印刷裝置，其特征在于，具備儲(chǔ)存上述焊球的焊球儲(chǔ)存部、位于上述焊球儲(chǔ)存部的下方，從上述焊球儲(chǔ)存部接收規(guī)定量的焊球，將接收到的上述焊球向位于上述基板上的上述掩模面上供給的焊球送出部、使上述焊球送出部沿上述基板移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)部、向上述焊球送出部施加規(guī)定的振動(dòng)的勵(lì)振構(gòu)件，上述焊球送出部具有接收來(lái)自上述焊球儲(chǔ)存部的焊球的焊球供給部、以包圍上述焊球供給部的焊球送出口的方式安裝并以規(guī)定間隔排列了多個(gè)線材的凸?fàn)畹木€材、排列在上述凸?fàn)畹木€材的前后，用于將上述焊球向上述掩模的開(kāi)口部填充的焊球填充部件。
2.如權(quán)利要求1所述的焊球印刷裝置，其特征在于，上述焊球送出部還具有焊球旋轉(zhuǎn)回收機(jī)構(gòu)，所述焊球旋轉(zhuǎn)回收機(jī)構(gòu)分別位于上述焊球 填充部件的前后，將沒(méi)有被上述焊球填充部件填充而是分散的焊球收集在上述焊球填充部 附近。
3.如權(quán)利要求2所述的焊球印刷裝置，其特征在于，上述焊球送出部以覆蓋上述焊球供給部、上述焊球填充部件以及上述焊球旋轉(zhuǎn)回收機(jī) 構(gòu)的方式設(shè)置頭外壁，將上述焊球送出部做成密封型頭構(gòu)造。
4.如權(quán)利要求3所述的焊球印刷裝置，其特征在于，還在上述頭外壁的內(nèi)側(cè)，以覆蓋上述焊球旋轉(zhuǎn)回收機(jī)構(gòu)的方式設(shè)置涂刷器罩。
5.如權(quán)利要求1所述的焊球印刷裝置，其特征在于，上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)部還具備上下移動(dòng)焊球送出部的上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，由上述上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使 將設(shè)置在焊球送出部的上述凸?fàn)畹木€材以及上述焊球填充部件向上述掩模面推壓的推壓 力發(fā)揮作用，使上述凸?fàn)畹木€材以及上述焊球填充部件相對(duì)于焊球送出部的移動(dòng)方向以規(guī) 定的推壓力接觸。
6.如權(quán)利要求1所述的焊球印刷裝置，其特征在于，構(gòu)成上述凸?fàn)畹木€材以及焊球填 充部的線材由規(guī)定間隔的多個(gè)線材構(gòu)成，該線材由厚度0. 05 0. Imm的鋼板以上述線材的 寬度為0. 1mm，線材間隔為0. Imm 0. 3mm來(lái)構(gòu)成，上述線材以相對(duì)于與上述焊球送出部的 行進(jìn)方向?yàn)橹苯堑姆较蚣s5度 35度傾斜地設(shè)置。
7.如權(quán)利要求6所述的焊球印刷裝置，其特征在于，以設(shè)置在上述焊球送出部的多個(gè) 上述焊球填充部件的線材的傾斜方向互為反方向的方式設(shè)置。
8.如權(quán)利要求1至7所述的焊球印刷裝置，其特征在于，還具備固定上述基板的印刷工作臺(tái)、用于在上述印刷工作臺(tái)上，識(shí)別上述基板上的電 極圖形和上述掩模的電極圖形的上下雙視野照相機(jī)、根據(jù)上述雙視野照相機(jī)所識(shí)別的結(jié) 果，用于對(duì)上述印刷工作臺(tái)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)并定位的驅(qū)動(dòng)裝置、為上述基板與上述掩模接觸而使 上述印刷工作臺(tái)上升的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
9.一種焊球印刷方法，在經(jīng)掩模向基板和上述基板上的電極印刷被保持在焊球儲(chǔ)存部 中的焊球的焊球印刷裝置中，其特征在于，具有從上述焊球儲(chǔ)存部將規(guī)定量的焊球接收到上述焊球儲(chǔ)存部，并將接收到的上述焊球向 上述掩模面供給的工序、將從上述焊球儲(chǔ)存部供給的焊球向上述掩模面的開(kāi)口部分散的焊球分散工序、 將在上述焊球分散工序中分散的焊球向上述掩模面的開(kāi)口部填充的焊球填充工序、 對(duì)沒(méi)有在上述焊球填充工序被填充而是被分散的焊球進(jìn)行回收的工序。
全文摘要
本發(fā)明提供一種使焊球均勻分散在掩模面上，向掩模開(kāi)口部填充的焊球印刷裝置以及焊球印刷方法。本發(fā)明中，焊球送出部具有接收來(lái)自焊球儲(chǔ)存部的焊球的焊球供給部、以包圍焊球供給部的焊球送出口的方式安裝并以規(guī)定間隔排列了多個(gè)線材的凸?fàn)畹木€材、排列在凸?fàn)畹木€材的前后，用于將焊球向上述掩模的開(kāi)口部填充的焊球填充部件。
文檔編號(hào)B23K3/06GK101879642SQ201010164288
公開(kāi)日2010年11月10日 申請(qǐng)日期2010年4月14日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月23日
發(fā)明者五十嵐章雄, 向井范昭, 本間真, 橋本尚明 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立工業(yè)設(shè)備技術(shù)