專利名稱：太陽(yáng)能電池板激光刻劃系統(tǒng)及刻劃方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種激光刻劃系統(tǒng)及刻劃方法，尤其是一種太陽(yáng)能電池板激光刻劃系 統(tǒng)及刻劃方法，屬于激光精密加工的技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
光伏技術(shù)是一種能直接將太陽(yáng)能轉(zhuǎn)化為電能的技術(shù)，由于受到各種因素的影響和 推動(dòng)，比如能源價(jià)格和氣候變暖等，它正在全世界范圍內(nèi)以前所未有的速度快速擴(kuò)張。很多 國(guó)家都制定了非常嚴(yán)格的再生能源生產(chǎn)和使用的標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)定了再生能源在公共用電中不斷 增加的比例。而太陽(yáng)能電池發(fā)電的成本也在不斷地穩(wěn)定下降，使其逐步成為一種和常規(guī)發(fā) 電在成本上相比擬甚至更為低廉的替代產(chǎn)品。目前硅晶圓太陽(yáng)能電池占有光伏市場(chǎng)的85%以上份額，是當(dāng)今最成熟及成本最低 的一種，也是批量生產(chǎn)效率最高的一種。在這種硅晶圓電池的表面通常都有精密薄膜結(jié)構(gòu)， 構(gòu)成以硅晶圓為基板的薄膜系統(tǒng)。這種以硅晶圓為基板的薄膜系統(tǒng)內(nèi)分布著規(guī)則的導(dǎo)電 極。有關(guān)電極在傳統(tǒng)的制作過(guò)程中，其結(jié)構(gòu)的形成多數(shù)是采用了絲網(wǎng)印刷加化學(xué)刻蝕的技 術(shù)。近幾年隨著技術(shù)的發(fā)展引入了激光精密加工手段，不僅簡(jiǎn)化了生產(chǎn)程序，而且使得硅晶 圓太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率得到了較大的提高。在采用激光對(duì)硅晶圓太陽(yáng)能電池薄膜系統(tǒng)進(jìn)行刻線時(shí)，激光器的選用對(duì)加工的質(zhì) 量及最后的光電轉(zhuǎn)換效率有很大的影響。在很多應(yīng)用場(chǎng)合對(duì)刻線的要求是深度精準(zhǔn)，寬度 合適，同時(shí)希望對(duì)刻線周圍材料的熱破壞盡量小。由于這些原因，激光波長(zhǎng)通常選擇較短 的，比如在紫外波段。紫外激光能量的吸收主要發(fā)生在樣品表面，從而有可能僅對(duì)表面及其 相當(dāng)淺的深度領(lǐng)域內(nèi)進(jìn)行精密刻線。激光加工的機(jī)理隨激光器的選擇而有很大不同。當(dāng)使用連續(xù)激光或較長(zhǎng)脈沖寬度 的脈沖激光時(shí)，被加工材料的刻線機(jī)理主要是通過(guò)激光能量被材料吸收后所轉(zhuǎn)換的熱能使 材料揮發(fā)。由于以硅晶圓為基板的材料具有很好的熱導(dǎo)率和較大的熱擴(kuò)散系數(shù)，熱能的傳 播速度很快，這樣在使用連續(xù)激光或較長(zhǎng)長(zhǎng)脈沖寬度的脈沖激光時(shí)，其作用范圍遠(yuǎn)大于光 斑的尺寸，造成被加工的區(qū)域過(guò)大而難以滿足新一代太陽(yáng)能電池的需求，同時(shí)刻線邊緣因 燒結(jié)等熱破壞而造成特性不均勻、形狀不整齊。當(dāng)采用較短、特別是超快脈沖激光器時(shí)，由于激光的峰值功率很高，材料的揮發(fā)主 要是由材料分子直接在激光的強(qiáng)電磁場(chǎng)的作用下而發(fā)生。同時(shí)因?yàn)榧す庾饔脮r(shí)間短，所以 熱擴(kuò)散效應(yīng)基本可以忽略。這樣一來(lái)，激光作用的范圍基本上僅在激光的光斑以內(nèi)。這樣 加工的邊緣比較平滑，較少發(fā)生明顯的燒結(jié)等宏觀熱破壞現(xiàn)象。綜上所述，一種非常適用的技術(shù)是采用超快短波長(zhǎng)激光器作為精密加工的光源； 比如說(shuō)基于鎖模技術(shù)的綠光或紫外激光器。由于激光加工過(guò)程是用激光的能量將材料去除掉，所需要的激光功率很高，通常 對(duì)單脈沖峰值功率和平均功率都有很高要求。高功率短波長(zhǎng)激光器、特別是紫外光對(duì)光學(xué) 元件及材料的損傷很大，造成高功率短波長(zhǎng)激光器特別是紫外激光器在制造技術(shù)上有較大困難而且成本很高，其所使用的光學(xué)元器件質(zhì)量要求幾乎完美無(wú)缺，因?yàn)辄c(diǎn)滴細(xì)微的缺陷 都有可能造成對(duì)激光器本身的破壞。不僅如此，高功率紫外激光器對(duì)使用環(huán)境還有較高的 要求，無(wú)形中增加了終端客戶的使用成本。目前世界上能夠生產(chǎn)可靠且適用的高功率紫外激光器公司僅有為數(shù)不多的幾家， 其生產(chǎn)的激光器的價(jià)格很高，壽命不長(zhǎng)，經(jīng)常需要維護(hù)，在很大程度上提高了設(shè)備使用成 本，進(jìn)而增加了終端太陽(yáng)能電池產(chǎn)品的生產(chǎn)成本。在具體的刻劃技術(shù)上，一方面要求激光對(duì)材料的處理能夠高效、快速、精密、精準(zhǔn)， 一方面又要求被加工區(qū)域與未加工區(qū)域之間的熱應(yīng)力、機(jī)械應(yīng)力等盡量小，以最大限度減 少甚至避免對(duì)未加工區(qū)域的破壞，包括極細(xì)微的熱損傷、熱應(yīng)力和機(jī)械應(yīng)力破壞。圖1是一種晶體硅太陽(yáng)能電池結(jié)構(gòu)示意圖，我們以它為例對(duì)有關(guān)具體刻劃技術(shù)問(wèn) 題做一簡(jiǎn)要描述。雖然不同太陽(yáng)能電池具體結(jié)構(gòu)不同，但其對(duì)刻線要求從物理角度看是類 似的。圖1中，11是晶體硅基板，一般厚度在百微米量級(jí)，如晶體硅基板11的厚度為200微 米。12和13是以晶體硅基板11為基板的薄膜結(jié)構(gòu)，其中12表示絕緣氧化層，13表示絕緣 氮化物層；一般厚度在幾十納米量級(jí)，比如說(shuō)10納米到100納米。14是理想的激光刻線槽， 通常寬度在幾微米到幾十微米。采用超快短波長(zhǎng)激光器作為精密加工的光源可以把激光作用有效控制在被加工 材料的微觀區(qū)域，有利于高效、快速、精密、精準(zhǔn)地刻劃出接近理想形狀的線槽。但超快短波 長(zhǎng)激光同時(shí)也將在被加工微觀區(qū)域與相鄰未加工區(qū)域之間產(chǎn)生較大應(yīng)力，從而對(duì)鄰近未加 工區(qū)域產(chǎn)生不必要的破壞，包括細(xì)微的熱損傷、熱應(yīng)力和機(jī)械應(yīng)力破壞，他們都可以直接或 間接地降低太陽(yáng)能電池的最終光電轉(zhuǎn)化效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種太陽(yáng)能電池板激光刻劃系 統(tǒng)及刻劃方法，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，降低加工設(shè)備成本，延長(zhǎng)使用壽命，提高加工質(zhì)量及提高太陽(yáng) 能電池的效率。按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案，所述太陽(yáng)能電池板激光刻劃系統(tǒng)，包括激光器，所述 激光器的輸出光路上設(shè)有光束擴(kuò)散裝置，所述光束擴(kuò)散裝置對(duì)應(yīng)于與激光器相連的另一側(cè) 設(shè)有激光掃描器，所述激光掃描器的下方設(shè)有載物臺(tái)；還包括用于加熱載物臺(tái)的加熱裝置。所述載物臺(tái)上設(shè)有真空管，載物臺(tái)對(duì)應(yīng)于鄰近激光掃描器的端部設(shè)有若干定位槽 與定位孔，所述定位槽及定位孔均與真空管相連通。所述加熱裝置包括紅外加熱器，所述紅外加熱器位于載物臺(tái)的上方。所述紅外加 熱器為石英燈管或陶瓷加熱器。所述載物臺(tái)對(duì)應(yīng)于鄰近激光掃描器的另一端設(shè)有固定連接的移動(dòng)臺(tái)。所述激光掃 描器與載物臺(tái)間設(shè)有透鏡。所述激光器為鎖模激光器或調(diào)Q激光器。載物臺(tái)對(duì)應(yīng)于設(shè)置加熱裝置的端部設(shè)有 隔熱層。所述太陽(yáng)能電池板激光刻劃方法包括如下步驟a、提供載物臺(tái)，并對(duì)載物臺(tái)上對(duì)應(yīng)的加熱裝置上電；b、所述加熱裝置將載物臺(tái)對(duì) 應(yīng)于放置電池板的表面加熱到所需溫度；C、將電池板放置在載物臺(tái)上，并利用真空管將電池板與載物臺(tái)相固定，使電池板的表面達(dá)到所需溫度；d、將載物臺(tái)及電池板放置在激光掃 描器的下方，通過(guò)激光器與激光掃描器的相應(yīng)配合，在電池板上刻劃出所需圖形。
所述加熱裝置包括電加熱器，所述電加熱器位于載物臺(tái)內(nèi)對(duì)應(yīng)于鄰近激光掃描器 的端部。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)載物臺(tái)上對(duì)應(yīng)于設(shè)置加熱裝置的端部放置電池板，通過(guò)電加熱器 對(duì)載物臺(tái)加熱，加熱后將電池板放置在載物臺(tái)上，使電池板升高到一定溫度；或通過(guò)紅外加 熱器對(duì)電池板的表面進(jìn)行加熱，從而提高電池板的預(yù)加熱溫度，降低了激光器的功率要求， 提高了激光器加工的速度，降低了加工成本，提高了刻線精度。


圖1為一種晶體管太陽(yáng)能電池晶圓的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本發(fā)明實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合具體附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。實(shí)施例1如圖2所示本發(fā)明包括激光器21、激光掃描器22、透鏡23、載物臺(tái)24、真空管25、 移動(dòng)臺(tái)26、電加熱器27、電池板28、加熱裝置29、溫控儀30、激光光束31及光束擴(kuò)散裝置 32。如圖2所示所述激光器21用于產(chǎn)生激光光源，激光器21的輸出端產(chǎn)生激光光束 31，所述激光光束31通過(guò)光束擴(kuò)散裝置32后進(jìn)入激光掃描器22內(nèi)；所述激光掃描器22位 于光束擴(kuò)散裝置32對(duì)應(yīng)于與激光器21相連的另一側(cè)。激光掃描器22根據(jù)設(shè)定的圖形對(duì) 載物臺(tái)24上的電池板28進(jìn)行掃描，從而在電池板28上得到設(shè)定的形狀。激光掃描器22 的下方設(shè)有載物臺(tái)24，所述載物臺(tái)24與激光掃描器22間設(shè)有透鏡23，所述透鏡23用于保 持激光的焦點(diǎn)一直位于電池板28的表面，同時(shí)矯正激光掃描器22的角度和光斑在電池板 28表面移動(dòng)位置之間的線性關(guān)系。載物臺(tái)24對(duì)應(yīng)于鄰近激光掃描器22的端部設(shè)有若干定位孔及定位槽，電池板28 通過(guò)定位孔及定位槽放置在載物臺(tái)24的表面上。載物臺(tái)24上設(shè)有真空管25，所述真空管 25與載物臺(tái)24上的定位孔及定位槽相連通；所述真空管25對(duì)應(yīng)于與定位孔或定位槽相連 的另一端與負(fù)壓設(shè)備相連；所述負(fù)壓設(shè)備產(chǎn)生的負(fù)壓能夠?qū)㈦姵匕?8與載物臺(tái)24保持固 定。載物臺(tái)24對(duì)應(yīng)于放置電池板28的另一端設(shè)有固定連接的移動(dòng)臺(tái)26，所述移動(dòng)臺(tái)26能 夠帶動(dòng)載物臺(tái)24移動(dòng)，移動(dòng)方便。所述載物臺(tái)24對(duì)應(yīng)于放置電池板28的端部設(shè)有加熱裝 置29，所述加熱裝置29包括電加熱器27，所述電加熱器27位于載物臺(tái)24對(duì)應(yīng)于放置電池 板28的端部；電加熱器27上設(shè)有溫控儀30，能夠?qū)d物臺(tái)24的表面實(shí)現(xiàn)精確加熱。采用上述結(jié)構(gòu)的太陽(yáng)能電池板激光刻劃系統(tǒng)，對(duì)電池板激光刻劃方法包括如下步 驟a、提供載物臺(tái)24，并對(duì)載物臺(tái)24上對(duì)應(yīng)的加熱裝置29上電；b、所述加熱裝置29將載物臺(tái)24對(duì)應(yīng)于放置電池板28的表面加熱到所需溫度；所述加熱裝置29與溫控儀30相對(duì)應(yīng)配合，使載物臺(tái)24加熱到500 1000°C，載物臺(tái)24的溫 度要位于電池板28的熔點(diǎn)下；C、將電池板28放置在載物臺(tái)24上，并利用真空管25將電池板28與載物臺(tái)24相 固定，使電池板28的表面達(dá)到所需溫度；電池板28通過(guò)真空管25吸附在載物臺(tái)24上，并 將載物臺(tái)24上的熱量傳導(dǎo)到電池板28上，使電池板28的溫度升高，減小電池板28刻劃 時(shí)，需要吸收激光器21的能量，降低激光器21的功率；所述電池板28的溫度也為500 1000°C，提高了電池板28內(nèi)分子的內(nèi)能；d、將載物臺(tái)24及電池板28放置在激光掃描器22的下方，通過(guò)激光器21與激光 掃描器22的相應(yīng)配合，在電池板28上刻劃出所需圖形；由于載物臺(tái)24與電池板28在加熱 過(guò)程中溫度較高，載物臺(tái)24加熱完成后，通過(guò)移動(dòng)臺(tái)26移動(dòng)到激光掃描器22的下方。在利用激光器21的加工過(guò)程中，電池板28的刻蝕源于其分子動(dòng)能達(dá)到或超過(guò)了 一定閾值。所述電池板28的分子刻蝕閾值和刻蝕速率都和電池板28的材料溫度有關(guān)。所 述刻蝕閾值的實(shí)現(xiàn)以及局部材料溫度的提高主要是通過(guò)電池板28對(duì)光子能量的吸收。目 前，激光器21對(duì)電池板28的加工通常都是在室溫下運(yùn)行。這樣一來(lái)，必須使用高功率激光 器才能使電池板28對(duì)光子能量的吸收達(dá)到或超過(guò)一定閾值，從而實(shí)現(xiàn)有效刻劃。如果在激光刻蝕之前電池板28能被預(yù)先加熱到一定溫度后，電池板28刻蝕在固 定的刻蝕速率下對(duì)激光功率的要求將顯著下降。這一方面是源于電池板28的材料在高溫 下對(duì)光子吸收效率得到提高，另一方面是電池板28的材料在高溫下其分子動(dòng)能本來(lái)就更 接近于有關(guān)刻蝕速率。這樣一來(lái)，就可以采用相對(duì)較低功率激光器來(lái)獲得同樣加工速度，或 者使用同樣激光器而較大幅度提高有關(guān)加工速度，從而大大降低有關(guān)加工成本。因此，在通過(guò)激光器21對(duì)電池板28刻線前，先通過(guò)電加熱器27對(duì)載物臺(tái)24的表 面加熱，將載物臺(tái)24的表面加熱到一定溫度后，同時(shí)將電池板28放置在載物臺(tái)24上，電池 板28通過(guò)真空管25的負(fù)壓與載物臺(tái)24相固定；由于電池板28的厚度很薄，且熱容量很 小，當(dāng)電池板28放置在加熱后的載物臺(tái)24上后，電池板28能夠很快升高到一定溫度；然后 在通過(guò)激光器21與激光掃描器22相配合，在電池板28上按照設(shè)定的形狀刻線；采用本技 術(shù)方案除了降低激光刻線的成本及刻線效率外，在被整體預(yù)先加熱的電池板28上，進(jìn)行激 光劃線可以大大減少局部被加工區(qū)域與相鄰未被加工區(qū)域之間的溫度差異和應(yīng)力差異，從 而大大減少局部微觀損傷和破壞，有利于提高太陽(yáng)能電池的效率。所述電加熱器27可以為電阻絲，功率在300-2000瓦左右，激光器21為鎖模激光 器或調(diào)Q激光器；激光器21輸出的脈沖寬度小于數(shù)十納秒，以有利于對(duì)電池板28的精密加 工。由于載物臺(tái)24加熱過(guò)程中是一個(gè)高溫過(guò)程，載物臺(tái)24可以通過(guò)移動(dòng)臺(tái)26移動(dòng)到加熱 環(huán)境中加熱，加熱完成后，再通過(guò)移動(dòng)臺(tái)26將載物臺(tái)24放置在激光掃描器22的下方。所 述電池板28與載物臺(tái)24間設(shè)置隔熱層，以避免高溫對(duì)周邊部件的影響。實(shí)施例2如圖3所示本發(fā)明包括激光器21、激光掃描器22、透鏡23、載物臺(tái)24、真空管25、 移動(dòng)臺(tái)26、電池板28、激光光束31、光束擴(kuò)散裝置32及紅外加熱器33。如圖3所示所述激光器21產(chǎn)生的激光光束31通過(guò)光束擴(kuò)散裝置32輸入到激光 掃描器22，所述激光掃描器22的下方設(shè)有透鏡23及載物臺(tái)24。所述載物臺(tái)24上設(shè)有若 干定位孔及定位槽，所述定位孔及定位槽均與載物臺(tái)24上的真空管25相連通。載物臺(tái)24
6對(duì)應(yīng)于鄰近激光器22的另一端設(shè)有固定連接的移動(dòng)臺(tái)26。載物臺(tái)24的上方設(shè)有紅外加熱 器33，所述紅外加熱器33為石英燈管或陶瓷加熱器。所述電池板28放置在載物臺(tái)24對(duì) 應(yīng)于鄰近紅外加熱器33的端部，電池板28與載物臺(tái)24間設(shè)有隔熱層；所述隔熱層具有較 好的熱絕緣；當(dāng)紅外加熱器33對(duì)電池板28加熱時(shí)，能夠防止熱能的損失。由于采用晶體硅 太陽(yáng)能電池晶圓的電池板28表面經(jīng)過(guò)特殊處理，具有很強(qiáng)的光吸收能力，所以紅外加熱器 33也可以選在某些特定的波長(zhǎng)范圍以提高加熱效率；紅外加熱器33對(duì)電池板28的表面進(jìn) 行加熱；在電池板28裝載于載物臺(tái)24上后開(kāi)始加熱，激光器21及激光掃描器22在電池板 28上刻線完畢后停止加熱，以達(dá)到節(jié)省能源的目的。如圖2和圖3所示工作時(shí)，需要對(duì)電池板28進(jìn)行預(yù)熱，使電池板28的溫度達(dá)到 500°C左右。對(duì)電池板28加熱時(shí)，可以采用圖2的加熱方式或圖3的加熱方式。當(dāng)采用圖 2的加熱方式時(shí)，先利用電加熱器27與溫控儀30間的相互配合，使載物臺(tái)24的表面溫度 加熱到設(shè)定的溫度，然后再將電池板28裝載在載物臺(tái)24上；由于電池板28的特性，使電池 板28能夠迅速升高到設(shè)定的溫度；然后通過(guò)移動(dòng)臺(tái)26將載物臺(tái)24及電池板28定位到加 工位，并在通過(guò)激光器21及激光掃描器22將設(shè)定的形狀在電池板28上刻線。當(dāng)采用圖3 所示的加熱方式時(shí)，需要先將電池板28裝載在載物臺(tái)24上，并通過(guò)真空管25內(nèi)的負(fù)壓使 電池板28與載物臺(tái)24保持固定。電池板28與載物臺(tái)24定位到加工位置后，利用紅外加 熱器33對(duì)電池板28的表面加熱。隨著紅外加熱器33不斷對(duì)電池板28的加熱，降低了激 光器21的功率要求。本發(fā)明載物臺(tái)24上對(duì)應(yīng)于設(shè)置加熱裝置的端部放置電池板28，通過(guò)電加熱器27 對(duì)載物臺(tái)24加熱，加熱后將電池板28放置在載物臺(tái)24上，使電池板28升高到一定溫度， 溫度達(dá)到500°C左右。或通過(guò)紅外加熱器33對(duì)電池板28的表面進(jìn)行加熱，從而提高電池板 28的預(yù)加熱溫度，降低了激光器21的功率要求，提高了激光器21加工的速度，降低了加工 成本，提高了刻線精度。本發(fā)明可以最大限度地減少激光在電池板28精密劃線過(guò)程中對(duì)與 劃線區(qū)域相鄰的未加工區(qū)域的破壞，包括極細(xì)微的熱損傷、熱應(yīng)力和機(jī)械應(yīng)力破壞。
權(quán)利要求
一種太陽(yáng)能電池板激光刻劃系統(tǒng)，包括激光器(21)，所述激光器(21)的輸出光路上設(shè)有光束擴(kuò)散裝置(32)，所述光束擴(kuò)散裝置(32)對(duì)應(yīng)于與激光器(21)相連的另一側(cè)設(shè)有激光掃描器(22)，所述激光掃描器(22)的下方設(shè)有載物臺(tái)(24)；其特征是還包括用于加熱載物臺(tái)(24)的加熱裝置(29)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池板激光刻劃系統(tǒng)，其特征是所述載物臺(tái)(24)上 設(shè)有真空管(25)，載物臺(tái)(24)對(duì)應(yīng)于鄰近激光掃描器(21)的端部設(shè)有若干定位槽與定位 孔，所述定位槽及定位孔均與真空管(25)相連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池板激光刻劃系統(tǒng)，其特征是所述加熱裝置(29) 包括紅外加熱器(33)，所述紅外加熱器(33)位于載物臺(tái)(24)的上方。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的太陽(yáng)能電池板激光刻劃系統(tǒng)，其特征是所述紅外加熱器 (33)為石英燈管或陶瓷加熱器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池板激光刻劃系統(tǒng)，其特征是所述載物臺(tái)(24)對(duì) 應(yīng)于鄰近激光掃描器(22)的另一端設(shè)有固定連接的移動(dòng)臺(tái)(26)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池板激光刻劃系統(tǒng)，其特征是所述激光掃描器 (22)與載物臺(tái)(24)間設(shè)有透鏡(23)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池板激光刻劃系統(tǒng)，其特征是所述激光器(21)為 鎖模激光器或調(diào)Q激光器。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池板激光刻劃系統(tǒng)，其特征是載物臺(tái)(24)對(duì)應(yīng)于 設(shè)置加熱裝置(29)的端部設(shè)有隔熱層。
9.一種太陽(yáng)能電池板激光刻劃方法，其特征是，所述刻劃方法包括如下步驟(a)、提供載物臺(tái)(24)，并對(duì)載物臺(tái)(24)上對(duì)應(yīng)的加熱裝置(29)上電；(b)、所述加熱裝置(29)將載物臺(tái)(24)對(duì)應(yīng)于放置電池板(28)的表面加熱到所需溫 度；載物臺(tái)(24)加熱到500 1000°C ；(c)、將電池板(28)放置在載物臺(tái)(24)上，并利用真空管(25)將電池板(28)與載物 臺(tái)(24)相固定，使電池板(28)的表面達(dá)到所需溫度；所述電池板(28)的溫度也為500 1000 °c ；(d)、將載物臺(tái)(24)及電池板(28)放置在激光掃描器(22)的下方，通過(guò)激光器(21) 與激光掃描器(22)的相應(yīng)配合，在電池板(28)上刻劃出所需圖形。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的太陽(yáng)能電池板激光刻劃方法，其特征是所述加熱裝置(29) 包括電加熱器(27)，所述電加熱器(27)位于載物臺(tái)(24)內(nèi)對(duì)應(yīng)于鄰近激光掃描器(22)的端部。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種太陽(yáng)能電池板激光刻劃系統(tǒng)，其包括激光器，激光器的輸出光路上設(shè)有光束擴(kuò)散裝置，光束擴(kuò)散裝置對(duì)應(yīng)于與激光器相連的另一側(cè)設(shè)有激光掃描器，激光掃描器的下方設(shè)有載物臺(tái)；載物臺(tái)上設(shè)有加熱裝置。本發(fā)明載物臺(tái)上對(duì)應(yīng)于設(shè)置加熱裝置的端部放置電池板，通過(guò)電加熱器對(duì)載物臺(tái)加熱，加熱后將電池板放置在載物臺(tái)上，使電池板升高到一定溫度；或通過(guò)紅外加熱器對(duì)電池板的表面進(jìn)行加熱，從而提高電池板的預(yù)加熱溫度，降低了激光器的功率要求，提高了激光器加工的速度，降低了加工成本，提高了刻線精度；可以最大限度地減少激光在電池板精密劃線過(guò)程中對(duì)與劃線區(qū)域相鄰的未加工區(qū)域的破壞，包括極細(xì)微的熱損傷、熱應(yīng)力和機(jī)械應(yīng)力破壞。
文檔編號(hào)B23K26/42GK101982285SQ201010284698
公開(kāi)日2011年3月2日 申請(qǐng)日期2010年9月17日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月17日
發(fā)明者吳周令, 陳力 申請(qǐng)人:無(wú)錫榮興科技有限公司