專利名稱：一種大面積激光熔覆高硬度鎳基合金材料的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于材料表面工程領(lǐng)域，特別是涉及一種應(yīng)用激光熔覆技術(shù)在金屬基體上大面積熔覆高硬度耐磨耐蝕鎳基合金材料的方法。
背景技術(shù)：
材料表面處理是材料表面改性和新材料制備的重要手段，世界各國(guó)對(duì)此都十分重視?，F(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展對(duì)材料表面改性和優(yōu)化的要求日益提高。國(guó)家863高技術(shù)計(jì)劃從一開(kāi)始就把發(fā)展材料表面處理新技術(shù)作為未來(lái)發(fā)展的一個(gè)重要領(lǐng)域。在眾多的表面處理技術(shù)中，激光熔覆技術(shù)是一門(mén)新興的先進(jìn)的材料表面處理技術(shù)，并且隨著該技術(shù)的不斷完善發(fā)展，已愈加廣泛地應(yīng)用于現(xiàn)代加工制造業(yè)中，尤其在航天、冶金、電力、石化、汽車、軍工等重要領(lǐng)域的應(yīng)用愈加寬廣，在產(chǎn)品的制造及再制造過(guò)程中發(fā)揮了重要作用。與傳統(tǒng)表面處理技術(shù)如火焰(等離子)噴涂、堆焊、電鍍等相比，激光熔覆技術(shù)具有涂層組織細(xì)化致密、基體熱影響區(qū)和變形小，涂層與基體能夠?qū)崿F(xiàn)牢固的冶金結(jié)合，易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制，涂層成形美觀可控等優(yōu)點(diǎn)。激光熔覆技術(shù)涉及激光加工工藝、金屬材料科學(xué)、程序編制模擬、機(jī)械加工及加工控制方法(如加工順序、熱處理等)等方面的內(nèi)容，所涉及的各個(gè)方面必須科學(xué)合理、有序協(xié)調(diào)地統(tǒng)一在一起才能達(dá)到理想的熔覆效果，不然便會(huì)導(dǎo)致熔覆層開(kāi)裂、氣孔、夾雜、咬邊等質(zhì)量缺陷的產(chǎn)生，甚至使工件報(bào)廢，發(fā)生停產(chǎn)、安全事故等嚴(yán)重后果。為了保證核電設(shè)施的連續(xù)、安全、穩(wěn)定運(yùn)行，對(duì)各部件在加工制造過(guò)程中所涉及的材料性能、加工方法及處理工藝提出了更加嚴(yán)格苛刻的要求。如對(duì)于核電水泵軸套，其材質(zhì)為lCrl8Ni9Ti，尺寸為C 240X200mm，壁厚25mm，雖然基體具有一定的耐蝕性能，但硬度很低，耐磨性差，不能直接應(yīng)用。陳強(qiáng)、尤清照等人對(duì)增強(qiáng)高比重合金表面的硬度及耐磨性進(jìn)行了研究{見(jiàn)《鋼鐵研究學(xué)報(bào)》2000Vol. 12 No. 2 P. 33-3 ，其選用Ν 60Α及WC、WC-Co超硬粉末，采用等離子噴涂及真空燒結(jié)的兩種處理方法，在金屬基體表面獲得了高硬度的耐磨涂層。但是上述兩種方法制備的涂層都存在很大的缺陷，如孔隙率高、非冶金結(jié)合、涂層易剝落、存在裂紋等。任愛(ài)國(guó)等人對(duì)激光熔覆止裂技術(shù)進(jìn)行了研究{見(jiàn)《表面技術(shù)》第35卷第二期}，試驗(yàn)選用lCrl8Ni9Ti、45鋼、40Cr等七種基體材質(zhì)及不同的熔覆粉末材料，結(jié)果表明，當(dāng)熔覆材料為Ni60、M45、M35時(shí)，熔覆層裂紋很難控制，特別是M60熔覆粉末裂紋無(wú)法控制。時(shí)至今日，高硬度耐磨鎳基合金激光熔覆的開(kāi)裂問(wèn)題仍是一個(gè)棘手的問(wèn)題，尤其在大面積熔覆、厚度在Imm以上時(shí)而不產(chǎn)生裂紋、氣孔等缺陷問(wèn)題的至今還未見(jiàn)報(bào)道。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種大面積激光熔覆高硬度耐磨鎳基合金材料的方法，用以解決傳統(tǒng)表面處理技術(shù)所存在的一系列問(wèn)題以及現(xiàn)有激光熔覆高硬度鎳基合金的開(kāi)裂問(wèn)題，尤其在大面積熔覆、厚度在Imm以上時(shí)，極易產(chǎn)生裂紋、氣孔等缺陷問(wèn)題。本發(fā)明的技術(shù)方案是一種大面積激光熔覆高硬度鎳基合金材料的方法，應(yīng)用激光熔覆技術(shù)，采用送粉系統(tǒng)將高硬度粉末材料熔覆于金屬基體表面，形成高硬度耐磨耐蝕無(wú)缺欠的鎳基合金材料涂層。其中(1)激光加工工藝參數(shù)為激光功率2. 5-6. 0KW、掃描速度180-800mm/min、光斑直徑 3. 0-5. 0mm、搭接率 30-40%、熔覆厚度 1. 0-2. Omm ；(2)熱處理方法為工件前期預(yù)熱溫度200-300°C，加熱時(shí)間1_2小時(shí)；激光熔覆過(guò)程中加熱保溫溫度300°C 士20°C ；加工結(jié)束后續(xù)200°C 士20°C保溫3_5小時(shí)并隨爐緩冷
至室溫。所述的大面積激光熔覆高硬度鎳基合金材料的方法，加工流程如下(1)工件表面清理在熔覆之前，用砂紙或拋光機(jī)將工件表面的污物、氧化膜去除，再用丙酮將工件表面油污清除干凈；(2)工件預(yù)熱處理在工件表面清理完后，采用加熱保溫裝置對(duì)工件進(jìn)行預(yù)熱處理，預(yù)熱溫度200-300°C，加熱時(shí)間1-2小時(shí)；(3)熔覆加工在工件基體溫度達(dá)到預(yù)熱溫度后，對(duì)其進(jìn)行激光熔覆加工；(4)加熱保溫處理在熔覆加工過(guò)程中，始終采用加熱保溫裝置對(duì)工件進(jìn)行加熱保溫處理，將溫度控制在300°C 士20°C ；(5)后續(xù)保溫緩冷處理在工件熔覆結(jié)束后，立即將其放入200°C 士20°C爐溫的電阻爐中保溫3-5小時(shí)，并隨爐緩冷至室溫。所述的大面積激光熔覆高硬度鎳基合金材料的方法，高硬度粉末材料是鎳基、 鐵基或鈷基合金粉末，粒度在80-500目，并且該粉末材料經(jīng)激光熔覆后涂層硬度高達(dá) 58-63HRC，且熔覆層無(wú)熔覆缺欠。所述的大面積激光熔覆高硬度鎳基合金材料的方法，高硬度粉末材料為Ni60A鎳基自熔性合金粉末，合金粉末粒度140-320目，熔點(diǎn)960-1040°C。所述的大面積激光熔覆高硬度鎳基合金材料的方法，按重量百分比計(jì)，Ni60A鎳基自熔性合金成分及含量為:C1. 0%, Si4. 0%, B3. 5%, Crl7. 0%,Fe < 5%, Ni余量。所述的大面積激光熔覆高硬度鎳基合金材料的方法，采用熔池溫度檢測(cè)裝置對(duì)激光熔池溫度進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)、調(diào)節(jié)；采用加熱保溫裝置對(duì)工件進(jìn)行預(yù)熱及熔覆過(guò)程加熱保溫處理。所述的大面積激光熔覆高硬度鎳基合金材料的方法，送粉系統(tǒng)采用氣載式送粉器或刮板重力式送粉器，送粉方式為側(cè)向同步、預(yù)置送粉或同軸送粉，送粉系統(tǒng)采用氬氣輸送粉末并保護(hù)熔池。所述的大面積激光熔覆高硬度鎳基合金材料的方法，激光設(shè)備是(X)2氣體激光器、 YAG激光器、半導(dǎo)體激光器、或者是光纖激光器。本發(fā)明的設(shè)計(jì)思想是本發(fā)明在應(yīng)用先進(jìn)的激光熔覆技術(shù)的基礎(chǔ)上，并配以科學(xué)合理的工藝、材料及方法，在反復(fù)試驗(yàn)、分析的基礎(chǔ)上，發(fā)明了一種大面積激光無(wú)裂熔覆高硬度鎳基合金材料的方法。本發(fā)明激光加工工藝參數(shù)為激光功率2. 5-6. 0KW，掃描速度180-800mm/min，光斑直徑 3. 0-5. Omm左右，搭接率30-40%左右，熔覆厚度1. 0-2. Omm ；本發(fā)明熱處理方法為預(yù)熱、保溫及后續(xù)的保溫緩冷措施，即先對(duì)工件進(jìn)行200-300°C的預(yù)熱處理，然后進(jìn)行熔覆加工，在熔覆過(guò)程中通過(guò)加熱保溫裝置將工件溫度始終控制在設(shè)定的300°C 士20°C內(nèi)，在加工過(guò)程結(jié)束后，立即將工件送入爐溫為200°C 士20°C的電阻爐中保溫3-5小時(shí)并隨爐緩冷至室溫。 優(yōu)化的激光工藝參數(shù)以及對(duì)熔池溫度的調(diào)控，可以保證熔覆質(zhì)量的穩(wěn)定、一致，避免裂紋、 氣孔等熔覆缺陷的產(chǎn)生，并最大程度地減少基體材料對(duì)涂層材料的稀釋作用，從而保證涂層材料成分及其高硬度和耐磨耐蝕的性能。從工件預(yù)熱、熔覆加工到最后的后續(xù)保溫緩冷處理，對(duì)工件基體溫度的監(jiān)測(cè)及調(diào)控至關(guān)重要，而且溫度要在工藝允許的范圍內(nèi)，這樣也能從根本上防止工件在熔覆過(guò)程中或熔覆過(guò)程結(jié)束冷卻過(guò)程中產(chǎn)生裂紋。采用本發(fā)明，可以大面積熔覆具有極高硬度，耐磨、耐蝕性能優(yōu)良的鎳基合金粉末材料，獲得低稀釋率(10% 以下)牢固冶金結(jié)合的熔覆層，而且值得關(guān)注的是，熔覆層及基體無(wú)裂紋、氣孔、夾雜、咬邊等質(zhì)量缺陷。這些都是傳統(tǒng)表面處理技術(shù)以及通常的激光熔覆技術(shù)所不能達(dá)到或全部達(dá)到的。本發(fā)明可以帶來(lái)以下有益效果1)本發(fā)明制備的熔覆層硬度能達(dá)到58-63HRC，耐磨耐蝕性能優(yōu)良；2)本發(fā)明可以獲得大面積的熔覆厚度在l_2mm的無(wú)裂紋、氣孔、夾雜、咬邊等質(zhì)量缺陷的熔覆層，熔覆層的面積達(dá)到1500cm2左右，且熔覆層組織致密，晶粒細(xì)化，耐蝕等性能進(jìn)步增強(qiáng)；3)本發(fā)明能實(shí)現(xiàn)涂層與基體牢固的冶金結(jié)合，涂層不會(huì)剝落，且能有效降低基體的稀釋率，一般在10%以下；4)本發(fā)明能顯著提高工件的使用壽命，社會(huì)、經(jīng)濟(jì)效益顯著。在采用本發(fā)明對(duì)核電軸套處理使用后，壽命已提高2倍以上，且至今仍在良好運(yùn)轉(zhuǎn)；5)本發(fā)明各設(shè)備、裝置操作簡(jiǎn)單易行，工藝及方法適應(yīng)性強(qiáng)，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制；6)本發(fā)明的方法具有廣泛的外延性和擴(kuò)展性，對(duì)激光熔覆技術(shù)在其它領(lǐng)域的拓展、應(yīng)用具有一定的指導(dǎo)借鑒意義。


圖1為本發(fā)明激光熔覆加工流程圖。圖2為本發(fā)明激光熔覆加工裝置示意圖。圖中，1激光設(shè)備；2熔池溫度檢測(cè)裝置； 3送粉系統(tǒng)；4卡盤(pán)；5加熱保溫裝置；6工件；7熔覆層；8電阻爐；9側(cè)向送粉頭。圖3為實(shí)施例1的金相圖。圖4為實(shí)施例2的金相圖。
具體實(shí)施例方式如圖1所示，本發(fā)明應(yīng)用激光熔覆技術(shù)，采用送粉系統(tǒng)將高硬度粉末材料大面積熔覆于金屬基體表面，形成高硬度耐磨耐蝕鎳基合金涂層材料，實(shí)現(xiàn)熔覆層與基體牢固的、 低稀釋率的冶金結(jié)合，并且能夠保證熔覆層無(wú)裂紋、氣孔、夾雜等質(zhì)量缺陷。工件激光熔覆加工流程，具體步驟如下1、工件表面清理在熔覆之前，用砂紙或拋光機(jī)將工件表面的污物、氧化膜等去除，再用丙酮將工件表面油污等清除干凈；2、工件預(yù)熱處理在工件表面清理完后，采用加熱保溫裝置對(duì)工件進(jìn)行預(yù)熱處理， 預(yù)熱溫度200-300°C，加熱時(shí)間1-2小時(shí)，減少基體與熔覆層間的溫差，防止開(kāi)裂；
3、熔覆加工在工件基體溫度達(dá)到預(yù)熱溫度后，對(duì)其進(jìn)行激光熔覆加工(1)激光熔覆加工的工藝參數(shù)為激光功率2. 5-6. OKff,掃描速度180-800mm/min， 光斑直徑3. 0-5. 0mm，搭接率30-40 %，熔覆厚度1. 0-2. 0mm。(2)高硬度熔覆粉末材料采用鎳基、鐵基或鈷基合金粉末，粒度在80-500目，并且該粉末材料經(jīng)激光熔覆后涂層硬度高達(dá)58-63HRC，且涂層無(wú)熔覆缺欠。(3)送粉系統(tǒng)采用氣載式送粉器或刮板重力式送粉器，送粉方式為側(cè)向同步、預(yù)置送粉或同軸送粉，送粉系統(tǒng)采用氬氣輸送粉末并保護(hù)熔池。(4)激光設(shè)備是(X)2氣體激光器、YAG激光器、半導(dǎo)體激光器、或者是光纖激光器。4、加熱保溫處理在熔覆過(guò)程中，始終采用加熱保溫裝置對(duì)工件進(jìn)行加熱保溫處理，將溫度控制在300°C 士20°C。5、后續(xù)保溫緩冷處理熔覆結(jié)束后，立即將工件放入200°C 士20°C爐溫的電阻爐中保溫3-5小時(shí)，并隨爐緩冷至室溫，消除應(yīng)力，防止變形及開(kāi)裂。如圖2所示，激光熔覆加工裝置主要包括激光設(shè)備1、熔池溫度檢測(cè)裝置2、送粉系統(tǒng)3、卡盤(pán)4、加熱保溫裝置5、工件6、側(cè)向送粉頭9等。送粉系統(tǒng)3的側(cè)向送粉頭9與工件6對(duì)應(yīng)，激光設(shè)備1的激光輸出端和熔池溫度檢測(cè)裝置2分別與工件6對(duì)應(yīng)，工件6安裝于卡盤(pán)4上，加熱保溫裝置5設(shè)置于工件6底部。本發(fā)明加工過(guò)程具體步驟說(shuō)明如下(1)啟用加熱保溫裝置5對(duì)工件6進(jìn)行預(yù)熱處理；(2)啟用激光設(shè)備1及送粉系統(tǒng)3，高硬度粉末材料從送粉系統(tǒng)3的側(cè)向送粉頭9 處輸出并送入工件6表面的激光熔池，完成對(duì)卡盤(pán)4上工件6的大面積熔覆加工，形成熔覆層7 ；(3)啟用熔池溫度檢測(cè)裝置2對(duì)熔池溫度進(jìn)行檢測(cè)、調(diào)節(jié)；采用加熱保溫裝置5對(duì)工件6進(jìn)行加熱保溫處理，將溫度控制在規(guī)定范圍內(nèi)；(4)在熔覆加工結(jié)束后，利用箱式電阻爐8對(duì)工件6立即進(jìn)行后續(xù)保溫緩冷處理。本發(fā)明中，加熱保溫裝置5具有如下特點(diǎn)1)可以對(duì)工件進(jìn)行加熱，且加熱溫度可達(dá)600°C ；2)裝置帶有耐火磚、石棉等絕熱保溫層，對(duì)工件具有保溫功能；3)該加熱裝置帶有溫控調(diào)節(jié)功能，可對(duì)溫度進(jìn)行設(shè)定、檢測(cè)、調(diào)節(jié)。實(shí)施例1 為解決某核電站泵軸套(材質(zhì)lCrl8Ni9Ti，尺寸為C 240 X 200mm，壁厚25mm)的磨損腐蝕問(wèn)題，決定采用本發(fā)明在軸套外圓周表面進(jìn)行高硬度耐磨耐蝕鎳基合金涂層的加工處理，具體如下1)激光加工工藝為激光功率2. 5KW，掃描速度180mm/min，光斑直徑3. Omm,搭接率40%，熔覆厚度2. 0mm，熔覆粉末材料為Ni60A。2)熱處理方法為工件預(yù)熱溫度300°C，加熱時(shí)間2小時(shí)，熔覆過(guò)程中加熱保溫溫度300°C 士20°C、加工結(jié)束即刻放入爐溫200°C 士20°C的電阻爐中進(jìn)行5小時(shí)保溫并隨爐
緩冷至室溫。本實(shí)施例中，采用氣載式同步側(cè)向自動(dòng)送粉系統(tǒng)輸送粉末，以氬氣為載氣，將粉末連續(xù)、穩(wěn)定、均勻地送入激光熔池，所用氬氣對(duì)熔池也起到一定的保護(hù)作用；
本實(shí)施例中，采用6KW大功率橫流(X)2激光設(shè)備作為熔覆熱源，輸出激光光束模式為多模，熔覆過(guò)程中對(duì)激光熔池溫度進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，并通過(guò)調(diào)節(jié)激光功率來(lái)保持熔池溫度的穩(wěn)定性；本實(shí)施例中，采用鎳基高硬度耐磨耐蝕合金粉末Ni60A作為激光熔覆材料，如圖 3所示，熔覆層是先共晶組織(強(qiáng)化相)以樹(shù)枝晶形態(tài)生長(zhǎng)，組織主要由!^Ni3、Ni2Si和 Y (Fe-Ni)等相組成，涂層中還含有Cr6. 5Ν 2. 5Si、Cr2Ni3B6Cr3Ni2等金屬間化合物和 Ni3Si2CrB2,Cr3C2CrB等化合物，這些化合物硬度很高彌散分布在涂層上，這種組織特點(diǎn)使得涂層具有優(yōu)良的耐磨耐蝕性能，能夠很好地滿足軸套的工況要求； 本實(shí)施例中，激光熔覆材料為Ni60A鎳基自熔性合金粉末，其具有如下特點(diǎn)1)該自熔性合金耐磨耐蝕性能優(yōu)良，硬度極高，可達(dá)HRC58-63 ；2)該合金粉末粒度140-320目；熔點(diǎn)960_1040°C ；3)合金成分及含量(重量百分比)為
權(quán)利要求
1.一種大面積激光熔覆高硬度鎳基合金材料的方法，其特征在于應(yīng)用激光熔覆技術(shù)，采用送粉系統(tǒng)將高硬度粉末材料熔覆于金屬基體表面，形成高硬度耐磨耐蝕無(wú)缺欠的鎳基合金材料涂層。其中(1)激光加工工藝參數(shù)為激光功率2.5-6. 0KW、掃描速度180-800mm/min、光斑直徑 3. 0-5. 0mm、搭接率 30-40%、熔覆厚度 1. 0-2. Omm ；(2)熱處理方法為工件前期預(yù)熱溫度200-300°C，加熱時(shí)間1-2小時(shí)；激光熔覆過(guò)程中加熱保溫溫度300°C 士20°C ；加工結(jié)束后續(xù)200°C 士20°C保溫3_5小時(shí)并隨爐緩冷至室ilm ο
2.按照權(quán)利要求1所述的大面積激光熔覆高硬度鎳基合金材料的方法，其特征在于， 加工流程如下(1)工件表面清理在熔覆之前，用砂紙或拋光機(jī)將工件表面的污物、氧化膜去除，再用丙酮將工件表面油污清除干凈；(2)工件預(yù)熱處理在工件表面清理完后，采用加熱保溫裝置對(duì)工件進(jìn)行預(yù)熱處理，預(yù)熱溫度200-300°C，加熱時(shí)間1-2小時(shí)；(3)熔覆加工在工件基體溫度達(dá)到預(yù)熱溫度后，對(duì)其進(jìn)行激光熔覆加工；(4)加熱保溫處理在熔覆加工過(guò)程中，始終采用加熱保溫裝置對(duì)工件進(jìn)行加熱保溫處理，將溫度控制在300°C 士20°C ；(5)后續(xù)保溫緩冷處理在工件熔覆結(jié)束后，立即將其放入200°C士20°C爐溫的電阻爐中保溫3-5小時(shí)，并隨爐緩冷至室溫。
3.按照權(quán)利要求1所述的大面積激光熔覆高硬度鎳基合金材料的方法，其特征在于， 高硬度粉末材料是鎳基、鐵基或鈷基合金粉末，粒度在80-500目，并且該粉末材料經(jīng)激光熔覆后涂層硬度高達(dá)58-63HRC，且涂層無(wú)熔覆缺欠。
4.按照權(quán)利要求1所述的大面積激光熔覆高硬度鎳基合金材料的方法，其特征在于，高硬度粉末材料為Ni60A鎳基自熔性合金粉末，合金粉末粒度140-320目，熔點(diǎn) 960-1040 "C。
5.按照權(quán)利要求4所述的大面積激光熔覆高硬度鎳基合金材料的方法，其特征在于，按重量百分比計(jì)，Ni60A鎳基自熔性合金成分及含量為α.0%，Si4.0%, B3.5%, Cr 17. 0%, Fe < 5%, Ni 余量。
6.按照權(quán)利要求1所述的大面積激光熔覆高硬度鎳基合金材料的方法，其特征在于， 采用熔池溫度檢測(cè)裝置對(duì)激光熔池溫度進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)、調(diào)節(jié)；采用加熱保溫裝置對(duì)工件進(jìn)行預(yù)熱及熔覆過(guò)程加熱保溫處理。
7.按照權(quán)利要求1所述的大面積激光熔覆高硬度鎳基合金材料的方法，其特征在于， 送粉系統(tǒng)采用氣載式送粉器或刮板重力式送粉器，送粉方式為側(cè)向同步、預(yù)置送粉或同軸送粉，送粉系統(tǒng)采用氬氣輸送粉末并保護(hù)熔池。
8.按照權(quán)利要求1所述的大面積激光熔覆高硬度鎳基合金材料的方法，其特征在于， 激光設(shè)備是(X)2氣體激光器、YAG激光器、半導(dǎo)體激光器、或者是光纖激光器。
全文摘要
本發(fā)明屬于材料表面工程領(lǐng)域，特別是涉及一種應(yīng)用激光熔覆技術(shù)在金屬基體E大面積熔覆高硬度耐磨耐蝕鎳基合金材料的方法，解決了高硬度耐磨鎳基合金激光熔覆的開(kāi)裂問(wèn)題，特別是在大面積熔覆、厚度在1mm以上時(shí)的裂紋、氣孔等熔覆缺欠問(wèn)題。本發(fā)明應(yīng)用激光熔覆技術(shù)，采用科學(xué)合理的工藝方法，將高硬度鎳基合金粉末材料大面積熔覆于金屬基體表面，形成高硬度耐磨耐蝕鎳基合金涂層。本發(fā)明能從根本上保證激光熔覆的穩(wěn)定性、一致性，避免裂紋、氣孔及夾雜等缺陷的產(chǎn)生，減少基體熱影響區(qū)，降低稀釋率，獲得牢固冶金結(jié)合的晶粒細(xì)化致密的高耐磨、耐蝕鎳基合金涂層，硬度達(dá)到58-63HRC，工件經(jīng)處理后使用壽命可以提高1-2倍以上。
文檔編號(hào)B23K26/34GK102465294SQ20101054712
公開(kāi)日2012年5月23日 申請(qǐng)日期2010年11月17日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月17日
發(fā)明者于恩洪, 曲玉華, 曲道奎, 殷德洋, 邢飛 申請(qǐng)人:杭州中科新松光電有限公司