專利名稱：一種用于環(huán)狀工件的夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種夾具，尤其特別涉及一種用于環(huán)狀工件的夾具。
背景技術(shù)：
濺射是一種物理氣相沉積(PVD，Physical Vapor Deposition)的鍍膜方式，通常 用于沉積半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)中所使用的薄膜，即以帶電粒子靶材表面，使靶材近表面的粒子獲得 足夠大的能量而最終逸出靶材表面，并沉積在襯底材料上。由于帶電粒子轟擊靶材的方向 是不確定的，進(jìn)而襯底表面薄膜不夠均勻，襯底表面內(nèi)接觸孔或者通孔底部和側(cè)壁覆蓋能 力差，因此通常會(huì)使用一些環(huán)件產(chǎn)品配合靶材一起使用。專利申請(qǐng)?zhí)枮?00910117304. 5的中國(guó)專利申請(qǐng)文件中公開了一種磁控濺射環(huán)， 在靶材和襯底之間設(shè)置一個(gè)磁控濺射環(huán)，所述環(huán)接地，通過其產(chǎn)生的電磁場(chǎng)對(duì)濺射出的靶 材粒子運(yùn)動(dòng)進(jìn)行約束，同時(shí)吸附濺射過程中可能出現(xiàn)的大的粒子，從而保證薄膜的均勻性。 所述磁控濺射環(huán)通常由鉭或鈮等金屬制成。圖1是一種現(xiàn)有的鉭環(huán)結(jié)構(gòu)的正視圖，所述鉭濺射環(huán)組件包括具有開口 10的環(huán)狀 本體11和位于環(huán)狀本體11外側(cè)面的固定組件12 (knob)，其中固定組件12中間設(shè)有螺紋 孔，用于將鉭環(huán)固定在濺射腔內(nèi)和作為電極引入電流。目前，在使用車床加工普通工件時(shí)，一般采用三爪自定心方式夾持工件旋轉(zhuǎn)，進(jìn)行 所需的加工操作。但是，在采用車床加工磁控濺射環(huán)，例如鉭環(huán)時(shí)，由于三爪自定心是三點(diǎn) 接觸裝夾工件，容易使環(huán)狀工件發(fā)生變形、錯(cuò)位。因此三爪自定心方式不適用于環(huán)狀工件， 尤其是有開口的鉭環(huán)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型解決的技術(shù)問題是提供一種適用于加工環(huán)狀工件的夾具，尤其是有開 口的環(huán)狀工件的夾具。為了解決上述問題，提供一種用于環(huán)狀工件的夾具，包括多個(gè)扇形夾持件，所述多 個(gè)夾持件能夠?qū)映森h(huán)狀結(jié)構(gòu)；每個(gè)夾持件包括外環(huán)和內(nèi)環(huán)，所述外環(huán)和內(nèi)環(huán)同心，所述外 環(huán)高度大于內(nèi)環(huán)；所述外環(huán)的內(nèi)側(cè)還設(shè)置有與待加工環(huán)狀工件匹配的凹槽?？蛇x的，所述待加工工件呈環(huán)狀，所述待加工工件的外側(cè)設(shè)置有固定組件，所述凹 槽與所述固定組件的數(shù)量一致。可選的，所述凹槽的尺寸與所述固定組件尺寸相匹配?？蛇x的，所述外環(huán)上設(shè)有與凹槽連通的螺紋孔，所述螺紋孔貫通外環(huán)的寬度?？蛇x的，所述每個(gè)夾持件的圓心角為90° 120°?？蛇x的，所述夾持件內(nèi)環(huán)設(shè)有至少一個(gè)固定孔，所述固定孔貫通內(nèi)環(huán)的厚度?？蛇x的，所述夾持件外環(huán)設(shè)有至少一個(gè)固定孔，所述固定孔貫通外環(huán)的厚度。可選的，所述夾具材料為金屬或合金。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供了一種夾具，根據(jù)環(huán)狀工件的特點(diǎn)，尤其是有開口的環(huán)狀工件，設(shè)計(jì)相應(yīng)的多片式環(huán)狀?yuàn)A具。不同于現(xiàn)有技術(shù)的三點(diǎn)接觸固定，而是將環(huán)狀 工件置于夾具內(nèi)環(huán)與外環(huán)相連接的臺(tái)階處，采用面接觸方式，使得環(huán)狀工件的外表面與夾 具外環(huán)的內(nèi)表面緊貼，從而固定待加工的環(huán)狀工件使得環(huán)狀工件裝夾得的更穩(wěn)固而且不容 易發(fā)生變形。解決了環(huán)狀工件車床加工時(shí)，容易變形，容易振刀的問題；并設(shè)置有匹配環(huán)狀 工件的固定組件的凹槽，通過螺絲穿過外環(huán)設(shè)置的與所述凹槽連通的螺紋孔緊固工件，解 決了有固定組件的環(huán)狀工件在夾具中可能錯(cuò)位或者切削時(shí)抖動(dòng)的問題。

圖1是現(xiàn)有的鉭環(huán)結(jié)構(gòu)的正視圖；圖加是本實(shí)用新型實(shí)施例一個(gè)例子中的夾具的其中一個(gè)夾持件的俯視圖；圖2b是本實(shí)用新型實(shí)施例另一個(gè)例子中的夾具的其中一個(gè)夾持件的俯視圖；圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例的夾持件的沿圖2中A-A線的剖視面示意圖；圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例的完整夾具平面示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型提供了一種夾具，根據(jù)需加工的環(huán)狀工件的特點(diǎn)設(shè)計(jì)成多個(gè)夾持件組 合形成的環(huán)狀結(jié)構(gòu)，解決了有開口和有固定組件的環(huán)狀工件進(jìn)行車床加工時(shí)容易發(fā)生變 形、錯(cuò)位和抖動(dòng)振刀的問題。利用夾具可以進(jìn)行加工的工件有各種環(huán)狀工件，尤其是薄壁環(huán)狀工件、有開口的 環(huán)狀工件、外側(cè)設(shè)置有固定組件的環(huán)狀工件，在本實(shí)施例中，加工的工件為鉭環(huán)。所述夾具的夾持件的圓心角為90° 120°，即夾持件可以為三個(gè)或多個(gè)，在本 實(shí)施例中夾具的夾持件為三個(gè)。
以下結(jié)合附圖來對(duì)本實(shí)施例進(jìn)行具體說明。圖加為本實(shí)用新型實(shí)施例中夾具的一個(gè)夾持件的俯視圖，圖3是該夾持件的沿圖 加中A-A線的剖視面示意圖；結(jié)合圖加和圖3可以看出，所述夾持件為扇形，圓心角為120°，包括外環(huán)21、與 外環(huán)21相接的內(nèi)環(huán)22，所述外環(huán)21和內(nèi)環(huán)22圓心同心，所述內(nèi)環(huán)22的高度低于外環(huán)21， 兩者呈臺(tái)階狀。所述外環(huán)21包括至少一個(gè)凹槽23，所述凹槽23位于外環(huán)內(nèi)側(cè)，用于放置圖1所示 的環(huán)狀工件的固定組件12。作為一個(gè)優(yōu)選的實(shí)例，所述凹槽23的形狀及尺寸與固定組件 12匹配，更利于環(huán)狀工件的固定。所述外環(huán)21上還包括螺紋孔25，所述螺紋孔25貫通外環(huán)21的寬度且與凹槽23 連通。所述螺紋孔25與螺絲配合將環(huán)狀工件進(jìn)行固定。所述外環(huán)21還可以包括固定孔Ma，所述固定孔2 貫通外環(huán)21厚度，用于將夾 具固定于車床上。所述固定孔Ma可以是通孔或螺紋孔；如是通孔的話，可與螺絲和螺母配 合；如是螺紋孔的話，可僅與螺絲配合即可實(shí)現(xiàn)固定。圖2b是本實(shí)用新型實(shí)施例另一個(gè)例子中的夾具的其中一個(gè)夾持件的俯視圖；如 圖2b所示，所述內(nèi)環(huán)22上包括固定孔Mb，所述固定孔24b貫通內(nèi)環(huán)22厚度，用于將夾具 固定于車床上。所述固定孔24b可以是通孔或螺紋孔；如是通孔的話，可與螺絲和螺母配 合；如是螺紋孔的話，可僅與螺絲配合即可實(shí)現(xiàn)固定。[0030]在本實(shí)施例中，所述固定孔Ma、Mb的數(shù)量與車床上的固定孔相對(duì)應(yīng)，只要可以 固定各夾持件到車床上，并使各夾持件相互組合形成環(huán)狀?yuàn)A具即可。在本實(shí)施例中，所述固定孔Ma、24b可以有選擇的形成于外環(huán)21或內(nèi)環(huán)22上，只 要與車床上的固定孔對(duì)應(yīng)，并使固定后的各夾持件組合形成環(huán)狀?yuàn)A具即可。本實(shí)施例中，所述外環(huán)21與內(nèi)環(huán)22可以一體成形，也可以通過焊接工藝或連接件 將兩者固定連接。所述連接件可以是螺栓與螺孔組合，卡槽與卡塊組合等。本實(shí)施例中，凹槽的數(shù)量大于或等于鉭環(huán)的固定組件的數(shù)量；優(yōu)選的，凹槽的數(shù)量 與鉭環(huán)的固定組件的數(shù)量一致。作為本實(shí)施例中的一個(gè)的例子，如圖1所示的鉭環(huán)有五個(gè) 固定組件，而本發(fā)明的夾具的夾持件有三個(gè)，因此，每個(gè)夾持件的凹槽23的數(shù)量不同。其中 鉭環(huán)開口 10兩側(cè)分別有一個(gè)固定組件12，與之相匹配的兩個(gè)凹槽23位于同一夾持件內(nèi)。 其他三個(gè)凹槽23的位置只要與鉭環(huán)的其他固定組件12相匹配即可。圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例的完整夾具平面示意圖，所述夾持件對(duì)接組成環(huán)狀結(jié) 構(gòu)，即完整的加工夾具41。本實(shí)施例中，所述夾具41的材料為金屬或者合金，優(yōu)選是鋁6061。在本實(shí)施例中，所述夾持件通過固定孔Ma、Mb固定在機(jī)床上，同時(shí)三片夾持件 組合成一個(gè)完整的夾具41。夾具41工作時(shí)，將需要加工的鉭環(huán)置于所述內(nèi)環(huán)22與外環(huán)21連接處，與外環(huán)21 的內(nèi)側(cè)表面接觸；所述夾持件內(nèi)環(huán)22半徑為需加工鉭環(huán)的外徑。鉭環(huán)固定組件12與外環(huán) 21內(nèi)側(cè)的凹槽23相匹配，通過螺絲穿過外環(huán)21外側(cè)螺紋孔23及鉭環(huán)固定組件12內(nèi)螺紋 來緊固鉭環(huán)；利用螺絲通過固定孔Ma、24b將所述夾具41固定于車床上，從而保證了鉭環(huán) 加工時(shí)不會(huì)變形、錯(cuò)位，也不易出現(xiàn)振刀或抖動(dòng)。綜上所述，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了一種環(huán)狀?yuàn)A具，通過夾持件的夾持，凹槽的配合，螺 絲的固定，緊固了有開口的薄壁環(huán)狀鉭環(huán)，有效防止了鉭環(huán)加工過程中可能發(fā)生的變形、振 刀現(xiàn)象，并保證鉭環(huán)不會(huì)錯(cuò)位或者抖動(dòng)，順利完成所需加工。本實(shí)用新型雖然以較佳實(shí)施例公開如下，但其并不是用來限定本實(shí)用新型。任何 熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的 方法和技術(shù)內(nèi)容對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案作出許多可能的變動(dòng)和修飾，或修改為等同變化的 等效實(shí)施例。因此，凡是未脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì) 對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案保護(hù) 的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種用于環(huán)狀工件的夾具，其特征在于，包括 多個(gè)扇形夾持件，所述多個(gè)夾持件能夠?qū)映森h(huán)狀結(jié)構(gòu)；每個(gè)夾持件包括外環(huán)和內(nèi)環(huán)，所述外環(huán)和內(nèi)環(huán)同心，所述外環(huán)高度大于內(nèi)環(huán)；所述外環(huán) 的內(nèi)側(cè)還設(shè)置有與待加工環(huán)狀工件匹配的凹槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，所述環(huán)狀工件包括固定組件，所述凹槽的 數(shù)量與固定組件一致。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的夾具，其特征在于，所述凹槽形狀與固定組件匹配。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，所述外環(huán)上設(shè)有與凹槽連通的螺紋孔，所 述螺紋孔貫通外環(huán)寬度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，每個(gè)夾持件的圓心角為90° 120°。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，所述夾持件內(nèi)環(huán)上設(shè)有至少一個(gè)固定孔， 所述固定孔貫通內(nèi)環(huán)厚度。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，所述夾持件外環(huán)上設(shè)有至少一個(gè)固定孔， 所述固定孔貫通外環(huán)厚度。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，所述夾具材料為金屬或合金。
專利摘要一種用于環(huán)狀工件的夾具，包括多個(gè)扇形夾持件，所述夾持件對(duì)接成環(huán)狀結(jié)構(gòu)；每個(gè)夾持件包括外環(huán)和內(nèi)環(huán)，所述外環(huán)高于內(nèi)環(huán)；所述外環(huán)的內(nèi)側(cè)還設(shè)置有與待加工工件的固定組件相匹配的凹槽。解決了環(huán)狀薄壁工件，尤其是有開口工件加工容易變形、發(fā)生錯(cuò)位、容易振刀的問題。
文檔編號(hào)B23Q3/00GK201922266SQ20102069257
公開日2011年8月10日 申請(qǐng)日期2010年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月30日
發(fā)明者姚力軍, 汪濤, 潘杰, 王學(xué)澤 申請(qǐng)人:寧波江豐電子材料有限公司