專利名稱：利用分束器進行激光剝離方法的方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
提供一種用于激光剝離方法的裝置。另外還提供一種激光剝離方法。

發(fā)明內(nèi)容
要解決的任務(wù)在于，提供一種用于激光剝離方法的裝置，利用它能有效和可靠地從載體上分離一個層。要解決的任務(wù)尤其在于，提供一種激光剝離方法，其中半導(dǎo)體層序列能可靠地從載體被去除。根據(jù)該裝置的至少一種實施方式，其適合于激光剝離方法，尤其是用以分離在外延襯底上外延生長的半導(dǎo)體層或半導(dǎo)體層序列。所述的層或半導(dǎo)體層是優(yōu)選地基于含氮化物或含氧化物的材料，尤其是含氮化物的半導(dǎo)體材料。例如所述半導(dǎo)體層序列是基于GaN、 InGaN 和 / 或 AlGaN。根據(jù)該裝置的至少一種實施方式，其包括用于生成優(yōu)選為脈沖式的激光束的激光器。激光束的波長例如是短波的，使得光子能量大于要從所述載體分離的半導(dǎo)體材料的帶隙。例如激光束的波長位于紫外光譜范圍，尤其波長小于400nm或小于360nm。根據(jù)該裝置的至少一種實施方式，其包括至少一個分束器，優(yōu)選至少兩個分束器。所述至少一個分束器被設(shè)置用于把激光器產(chǎn)生的尤其為脈沖式的激光束劃分為至少兩個子束。所述分束器也可以尤其是介電的、部分穿透的分束器或反射鏡，也可以是棱鏡和/或依賴于偏振的反射元件。這意味著，在裝置工作時激光束通過至少一個分束器被劃分為至少兩個子束。根據(jù)該裝置的至少一種實施方式，所述至少兩個子束在照射面上疊加。換句話說，激光束被劃分為多個子束，然后再在照射面上疊加。子束在照射面上疊加可意味著，子束在照射面上的截面部分地或完全地是等覆蓋的。等覆蓋可以包含所述截面中的一個完全被所述截面中的另一個包括或涵蓋。根據(jù)該裝置的至少一種實施方式，所述照射面被設(shè)置成所述載體的背朝所述要從載體分離開的層的主面被布置在該照射面上。為此，該裝置可以具有支撐裝置，利用該支撐裝置能支撐該載體連同所述的層。該支撐裝置優(yōu)選能在橫向上定位和行駛。根據(jù)該裝置的至少一種實施方式，在所述照射面上所述至少兩個子束之間的角度至少為1.0°。優(yōu)選地，該角度至少為5.0°。換句話說，子束的射束軸如此地與照射面相交，使得子束的射束軸之間的角度尤其成對地為至少1.0°，優(yōu)選至少為5.0°。在該裝置的至少一種實施方式中，該裝置被設(shè)立用于激光剝離方法以便從載體分離至少一個層。該裝置包括用于生成例如脈沖式的激光束的激光器以及至少一個分束器。所述激光束借助于至少一個分束器被劃分為至少兩個子束。所述子束在照射面上疊加，其中所述照射面被設(shè)置成所述載體的背朝所述層的主面被布置在該照射面上。在所述照射面上所述至少兩個子束之間的角度至少為1.0°。如果在激光剝離方法(英文被稱為Laer-Lift-Off)中使用相干的定向激光束，那么在穿透譬如一個載體的尤其粗糙的入射面時可能在其例如幾百微米以下的界面上產(chǎn)生干涉圖樣。該干涉圖樣具有穿透的激光束的統(tǒng)計分布的、位置固定的強度調(diào)制。但是，在使用成本較便宜的、帶有非拋光的粗糙入射面的載體時，通過具有干涉能力的激光束可能在激光剝離時對外延生長的半導(dǎo)體層序列產(chǎn)生損害。為了保證從載體均勻地分離例如半導(dǎo)體層序列，現(xiàn)在提出避免或減小這種強度調(diào)制是有利的。通過把激光束劃分為至少兩個子束并接著以某個大于臨界角的角度疊加所述的子束，激光束的干涉能力被降低，由此可以降低干涉圖樣的強度調(diào)制和避免或減小對半導(dǎo)體層序列的損害。根據(jù)該裝置的至少一種實施方式，所述子束中的至少兩個和/或所有子束具有相同的強度，容差最高為20%，尤其容差最高為1 0%。換句話說，對于每激光脈沖，兩個子束和/或所有子束具有基本相同的能量。但隨著子束數(shù)量的增加，每脈沖的能量容差也可以變得更大。譬如每增加一個額外的子束，脈沖能量容差就增加5個百分點，但容差最大為50%。根據(jù)該裝置的至少一種實施方式，所述激光束的脈沖時延最大為50ns。例如，激光束是脈沖時延為Ins和15ns之間(包括端值)的納秒脈沖，尤其是3ns和IOns之間(包括端值)。也可以使用皮秒脈沖或毫微微秒脈沖，其脈沖時延尤其為2fs和lOOOps之間(包括端值)，或脈沖時延為60fs和20ps之間(包括端值)。根據(jù)該裝置的至少一種實施方式，所述子束之間的光學(xué)路徑長度差至多為所述激光束的平均脈沖時延的0. 05倍，或至多為其0. 15倍，尤其至多為其0. 025倍。換句話說，子束的光脈沖被設(shè)置成基本同時地入射到載體上。優(yōu)選地，所述路徑長度差至多如此地大，使得所有子束每脈沖的總能量的至少80%或至少90%在一個時窗內(nèi)到達照射面，該時窗具有的長度至多為平均脈沖時延的I. 22倍或I. 15倍，優(yōu)選至多為該平均脈沖時延。該脈沖時延優(yōu)選地是參照強度下降到脈沖時間曲線的最大強度的1/e。根據(jù)該裝置的至少一種實施方式，所述子束之間的路徑長度差至少為所述激光束的平均脈沖時延的0. 025倍，至多為所述平均脈沖時延的0. 3倍。換句話說，子束的光脈沖在輕微不同的時間達到照射面。根據(jù)該裝置的至少一種實施方式，所述子束之間的路徑長度差至多為所述子束的平均射束外徑的0. 22倍或0. 15倍。所述射束外徑尤其是參照空間上的橫向強度分布下降到射束輪廓的最大強度的1/e2。根據(jù)該裝置的至少一種實施方式，所述子束之間的角度優(yōu)選成對地分別位于7.5°和50°之間，包括端值。替代地或附加地，所述子束與所述照射面的法線之間的角度分別位于0°和80°之間，包括端值，尤其位于0°和30°之間，包括端值。根據(jù)該裝置的至少一種實施方式，所述激光束被劃分為N個子束且該裝置包括N-I個分束器。這里N是整數(shù)，優(yōu)選在3和8之間(包括端值)。對于第N個分束器的反射率R適用關(guān)系R(N)=1/(N+1)。這里參照激光束或子束的光程，具有最高反射率的分束器處于最接近于照射面的位置，具有次高反射率的分束器處于其次接近于照射面的位置，依此類推。根據(jù)該裝置的至少一種實施方式，在分別被分配的分束器和所述照射面之間的所述子束的光程中，不存在為透過射束而設(shè)立的光學(xué)器件。優(yōu)選地，在子束的光程中于是沒有透鏡或偏振光學(xué)裝置。換句話說，子束從所分配的分束器開始直到照射面優(yōu)選地不再穿過聚光材料。
根據(jù)該裝置的至少一種實施方式，所述子束在所述照射面內(nèi)分別具有相同的截面面積和/或相同的橫向延伸，容差最高為15%，尤其容差最高為10%。換句話說，子束在照射面上的截面基本為相同大小，并基本為相同形狀。
根據(jù)該裝置的至少一種實施方式，所有子束在所述照射面內(nèi)的總能量密度位于每激光束脈沖200mJ/cm2和850mJ/cm2之間，包括端值。另外還提供一種用于從載體、尤其從生長襯底分離外延生長的半導(dǎo)體層序列的激光剝離方法。該剝離方法可以利用結(jié)合上述實施方式中的至少一種所講述的裝置來執(zhí)行。因此，激光剝離方法的特征也是針對這里講述的裝置而公開的，反之亦然。在所述激光剝離方法的至少一個實施方式中，該方法包括步驟
-提供在所述載體上外延生長的半導(dǎo)體層序列，
-把尤其脈沖式的激光束劃分為至少兩個子束，以及
-把所述子束在照射面上疊加，所述載體的背朝所述半導(dǎo)體層序列的主面處于該照射面內(nèi)。在所述照射面上所述至少兩個子束相互之間的角度這里至少為1.0°。根據(jù)該激光剝離方法的至少一種實施方式，所述載體的背朝所述半導(dǎo)體層序列的主面的平均粗糙度為0. I ii m和5. 0 ii m之間，包括端值，尤其為0. 25 y m和2. 5 y m之間，包括端值。例如在半導(dǎo)體層序列外延生長的情況下，可以設(shè)置一個具有拋光的和粗糙的表面的襯底。由此可以使用成本更便宜的襯底。根據(jù)該激光剝離方法的至少一種實施方式，所述載體包括藍寶石或由藍寶石構(gòu)成。替代地，載體可以由另一種對于激光束清楚可見或透明的材料構(gòu)成。透明可以意味著，在激光束和子束的波長情況下，載體具有的吸收作用最高為20%或最高為1%，優(yōu)選最高為0. 2%。根據(jù)該激光剝離方法的至少一種實施方式，所述半導(dǎo)體層序列是基于GaN、InGaN和/或AlGaN。替代地，要分離的層可以具有另一種尤其含氧化物或含氮化物的材料，如氮化硅，其在激光束的波長情況下具有高的吸收作用。另外，給出一種尤其基于氮化鎵的氮化物半導(dǎo)體層序列。半導(dǎo)體層序列例如利用結(jié)合上述實施方式中的一種或多種所給出的裝置或方法來制造。因此半導(dǎo)體層序列的特征也是針對所述的方法和裝置而公開的，反之亦然。除了激光剝離方法外，本文講述的裝置以及本文講述的方法的變型還可以被用來穿過一個粗糙表面而在顯微刻度尺上均勻地照射一個層，其中所述的層與所述的粗糙表面間隔開。譬如，穿過粗糙表面可以在光刻術(shù)中實現(xiàn)膠片漆的均勻曝光，或可以在結(jié)合劑(如UV變硬的粘結(jié)劑)的輻射感應(yīng)的硬化中實現(xiàn)均勻照射。下面參考附圖借助實施例來詳細闡述本文所述的激光剝離方法、本文所述的半導(dǎo)體層序列以及本文所述的裝置。這里，各個附圖中相同的附圖標(biāo)記說明相同的元件。但這里沒有描繪比例關(guān)系，而是夸大地描繪了各個元件以便于更好的理解。


圖1、2、4、7和8表示本文描述的裝置的示意實施例，在所述裝置上能執(zhí)行本文描述的激光剝離方法，圖3和5表示本文描述的半導(dǎo)體層序列的示意實施例，以及 圖6表示在本文描述的激光剝離方法中載體主面的示意俯視圖。
具體實施例方式圖1中描繪了被用于執(zhí)行激光剝離方法的裝置100的實施例。圖1未示出的激光 器發(fā)出脈沖式激光束L。借助于兩個分束器4a、4b將激光束劃分為三個子束PI、P2、P3，其 中子束P3是被減除掉子束P1、P2后的激光束L。子束P1、P2、P3以及激光束L譬如具有近 似高斯形狀的射束輪廓，參照射束在橫向上的強度降到最大強度的1/e2，該射束輪廓具有 位于2mm和8mm之間(包括端值)、尤其約4mm的外徑。波長例如為大約343nm或大約355nm。子束P1、P2通過反射鏡5與沒有被偏轉(zhuǎn)的子束P3在照射面10上疊加。子束P1、 P3之間以及P2、P3之間的角度al、a2分別為約30°。角度a 1、a 2還等于相對于照射 面10的法線11的角度。法線11與子束P3以及激光束L的射束軸重合。照射面10被設(shè)置用來借助于圖1未示出的支撐裝置，具有層2或具有半導(dǎo)體層 序列2的載體2利用該載體3的背朝層2的主面30被放置到照射面10上。載體3的主面 30優(yōu)選具有位于0. 5 y m與1. 5 y m之間(包括端值)的粗糙度，例如粗糙度為約1 U m。分別從分束器4a開始算起直到照射面10，子束P1、P2、P3的射束路徑在其長度上 是互不相同的。例如，子束P2的射束路徑比子束P3的射束路徑長約15cm。子束P1的射束 路徑例如比子束P3的射束路徑長約30cm。如果激光束L的脈沖時延為約5ns，那么在子束 P1、P3之間的光學(xué)路徑長度差相當(dāng)于約0. 2倍脈沖時延。換句話說，子束P1、P2、P3的脈沖 在不同的時間入射到載體3上。與圖1所示的不同，可以尤其如此地引導(dǎo)子束P2和P3，使得子束P1、P2、P3的各 個脈沖基本上同時到達照射面10。但是，通過子束PI、P2、P3的脈沖在適當(dāng)不同的時間到 達照射面10，可以在照射面10上減小激光束L或子束P1、P2、P3的干涉能力。在圖2中三維地描繪了能用于執(zhí)行激光剝離方法的裝置100的另一實施例。激光 束L被劃分為四個子束PI、P2、P3、P4。子束PI、P2、P3圍繞未被偏轉(zhuǎn)的子束P4被旋轉(zhuǎn)對 稱地布置。子束P2、P3、P4入射到載體3的主面30上的角度例如是成對地相互不同的。在圖3A中用截面圖描繪了半導(dǎo)體器件。在載體3上優(yōu)選外延生長的半導(dǎo)體層序 列2在外延生長之后進一步被設(shè)置在襯底9上。在襯底9和半導(dǎo)體層序列2之間的連接層 在圖中未示出。載體3例如由藍寶石構(gòu)成并具有優(yōu)選位于250 iim與1. 5_之間(包括端值) 的厚度，尤其厚度為約650 u m。半導(dǎo)體層序列2的分解區(qū)20在載體3的朝向襯底9的主面35上吸收子束P。半 導(dǎo)體層序列2的厚度總共例如最大為20 u m,尤其為約6 ii m。通過吸收子束P，分解區(qū)20的 材料產(chǎn)生熱解。通過在橫向上用子束P1、P2、P3、P4掃描半導(dǎo)體層序列2以及載體3，可以 從載體3分離半導(dǎo)體層序列2。所有子束PI、P2、P3、P4每脈沖的能量密度總共例如為約 400mJ/cm2,并優(yōu)選稍低于分解區(qū)20的材料的破壞閾值。在圖3B和3C中，在橫向上示意地繪出了子束P的強度I。根據(jù)圖3B，子束P具有 子束P的實際射束輪廓8的矩形包絡(luò)7，根據(jù)圖3C，包絡(luò)7為高斯形狀。實際射束輪廓8由 于干涉效應(yīng)與包絡(luò)7是有偏差的。這種偏差可能導(dǎo)致半導(dǎo)體層序列2從載體不均勻地剝離， 并由此導(dǎo)致?lián)p壞半導(dǎo)體層序列2。通過把激光束L劃分成至少兩個子束P，能減小圍繞包絡(luò)7的實際射束輪廓8的強度調(diào)制，從而能實現(xiàn)借助于該裝置和借助于該方法從載體3有效地和可靠地剝離半導(dǎo)體層序列2。譬如，包絡(luò)7與實際射束輪廓8的偏差最高為20%，優(yōu)選最聞為10% O實際射束輪廓8相對于包絡(luò)7的強度調(diào)制的大小可以例如通過在從載體3分離之后的半導(dǎo)體層序列2的粗糙度來驗證。如果分解區(qū)20例如通過腐蝕半導(dǎo)體層序列2在從載體3分離之后被去除，那么實際射束輪廓8的強度調(diào)制可以通過腐蝕之后在背向襯底9的面上所產(chǎn)生的半導(dǎo)體層序列2的結(jié)構(gòu)而得到驗證。在按照圖4的實施例中，子束P2、P3分別穿過光器件6。光器件6例如是柱形透鏡，利用它可以將照射面10內(nèi)的子束P2、P3的截面與垂直入射到照射面10的子束Pl的截面進行匹配，也參見圖6B。除了被設(shè)置用于射束校正的光器件6，子束PU P2、P3在分別所分配的分束器4a、4b之后直到照射面10，優(yōu)選地均沒有穿過其它聚光材料。
根據(jù)圖5，半導(dǎo)體層序列2并不是直接在載體3的朝向襯底9的主面35上具有分解區(qū)20。換句話說，可以利用這里描述的方法實現(xiàn)半導(dǎo)體層序列2的部分剝離。與此不同的是，也可以替代地或額外地，使載體3具有一個未示出的子層或一個對子束P具有更高吸收作用的區(qū)域，使得在分離之后載體3還有一部分留在半導(dǎo)體層序列2上。半導(dǎo)體層序列2例如是基于氮化鎵。也可以使分解區(qū)20具有另一種含有氮化物的材料。例如分解區(qū)20由氮化硅組成或具有氮化硅。在圖6A和6B中示出了照射面10以及主面30的俯視圖。另外還描繪了例如通過圖2所示的裝置100而施加在照射面10上的子束P1、P2、P3、P4的射束輪廓8a、8b、8c、8d。通過使子束P1、P2、P3以相對于照射面10的法線11為較大的角度入射到該照射面上，子束P1、P2、P3在照射面10上具有不同的截面。在圖6B中示出了照射面10上的截面具有相同的或基本相同的截面面積和橫向延伸。這可以尤其通過子束P1、P2、P3的光程中的反射光學(xué)裝置、例如通過相應(yīng)成形的反射鏡5或通過光學(xué)器件6來實現(xiàn)。優(yōu)選地，參照強度下降到1/e2，子束PU P2、P3的總能量的至少80%或至少90%位于半徑為子束PU P2、P3的射束外徑平均值或最小值的圓內(nèi)。在圖7A和7B中示出了裝置100的其它實施例。根據(jù)圖7B，三個反射鏡5a可以圍繞水平軸旋轉(zhuǎn)，使得子束P1、P2、P3入射到主面30的角度可以被調(diào)節(jié)。同樣，具有半導(dǎo)體層序列2的載體3可以選擇性地在垂直方向上移動。通過可移動的反射鏡5b，子束P2、P3的射束路徑是可調(diào)節(jié)的，使得子束P1、P2、P3之間的時間延遲能被調(diào)節(jié)。在圖8所示的實施例中，分束器4a、4b通過例如由石英玻璃構(gòu)成的棱鏡12a、12b、12c來實現(xiàn)。棱鏡12a、12b、12c要么相互粘合，要么優(yōu)選地通過薄的氣隙相互隔開。于是分束器4a、4b是棱鏡12a、12b的部分反射的界面。分束器4a具有反射率約為33%，分束器4b的反射率約為50%。該反射率例如可以通過在棱鏡12a、12b的相應(yīng)界面上的鍍膜、通過棱鏡12a、12b、12c的相應(yīng)界面的角度、通過射束的偏振、和/或通過相鄰棱鏡12a、12b、12c之間空隙的厚度來調(diào)節(jié)。被構(gòu)造為柱形透鏡的光學(xué)器件6可選擇性地要么設(shè)置在棱鏡12a、12c上，要么已經(jīng)整體地與棱鏡12a、12c—起被制造。通過柱形透鏡實現(xiàn)了 照射面10上的子束PU P2、P3具有相同的射束截面，也參見圖6B。反射鏡5可以通過棱鏡12c的全反射界面或通過高反射的鍍膜來構(gòu)成。棱鏡12a優(yōu)選在射束入射面上具有抗反射鍍膜13。在圖8中，在使用毫微微秒脈沖或皮(兆分之一)秒脈沖的情況下，可以設(shè)置未示出的裝置來校正子束P1、P2、P3的脈沖中的時間顏色曲線，英語中也稱為Chirp
這里講述的發(fā)明不受說明書而按實施例進行限制。具體說，本發(fā)明包括每個新的特征以及特征的每種組合，這尤其包括權(quán)利要求書中特征的每種組合，即便該特征或該組合本身沒有明確在權(quán)利要求書或?qū)嵤├斜唤o出。本專利申請要求德國專利申請102009057566. 9的優(yōu)先權(quán)，其公開內(nèi)容在此通過援引而被加入。
權(quán)利要求
1.用于激光剝離方法的裝置(100)，用以從載體(3)分離至少一個層(2)，具有 -用于生成激光束(L)的激光器，以及 -至少一個分束器(4)， 其中 -所述激光束(L)借助于至少一個分束器(4)被劃分為至少兩個子束(P)， -所述至少兩個子束(P)在照射面(10)上疊加， -所述照射面(10 )被設(shè)置成所述載體(3 )的背朝所述層(2 )的主面(30 )被布置在該照射面上，以及 -在所述照射面(10)上所述至少兩個子束(P)相互之間的角度(a )至少為1.0°。
2.如上述權(quán)利要求所述的裝置(100)，其中所有子束(P)具有相同的強度，容差最高為20%。
3.如上述權(quán)利要求之一所述的裝置(100)，其中所述激光束是脈沖式激光束(L)，所述激光束(L)的脈沖時延最大為50ns，而且其中所述子束(P)之間的光學(xué)路徑長度差至少為所述脈沖時延的O. 025倍，至多為所述脈沖時延的O. 25倍。
4.如上述權(quán)利要求之一所述的裝置(100)，其中所述子束(P)之間的角度(a)分別位于7. 5°和50°之間，包括端值，所述子束(P)與所述照射面(10)的法線(11)之間的角度分別位于0°和50°之間，包括端值。
5.如上述權(quán)利要求之一所述的裝置(100)，其中所述激光束(L)通過N-I個分束器(4)被劃分為N個子束(P)，其中對于第N個分束器(4)的反射率R (N)適用R(N)=1/(N+1)，其中N為3和8之間的整數(shù)，包括端值，所述分束器(4)沿著光程向所述照射面(10)以遞增的反射率被布置。
6.如上述權(quán)利要求之一所述的裝置(100)，其中所述子束(P)在分別被分配的分束器(4)和所述照射面(10)之間不穿過為透過射束而設(shè)立的光學(xué)器件(6)。
7.如上述權(quán)利要求之一所述的裝置(100)，其中所述子束(P)在所述照射面(10)內(nèi)分別具有相同的截面面積和相同的橫向延伸，容差最高為15%。
8.如上述權(quán)利要求之一所述的裝置(100)，其中所有子束(P)—起在所述照射面(10)內(nèi)的能量密度位于每脈沖200mJ/cm2和850mJ/cm2之間，包括端值。
9.用于從載體(3)分離外延生長的半導(dǎo)體層序列(2)的激光剝離方法，具有步驟 -提供在所述載體(3)上外延生長的半導(dǎo)體層(2)或半導(dǎo)體層序列(2)， -把激光束(L)劃分為至少兩個子束(P)，以及 -把所述子束(P)在照射面(10)上疊加，所述載體(3)的背朝所述半導(dǎo)體層序列(2)的主面(30)處于該照射面內(nèi)， 其中在所述照射面(10)上所述至少兩個子束(P)相互之間的角度(a )至少為I. 0°。
10.如上述權(quán)利要求所述的激光剝離方法，其中所述載體(3)的背朝所述半導(dǎo)體層序列(2)的主面(30)的平均粗糙度為O. I μ m和5. O μ m之間，包括端值。
11.如權(quán)利要求9或10所述的激光剝離方法，其中所述載體(3)包括藍寶石或由藍寶石構(gòu)成，而且所述半導(dǎo)體層序列(2)是基于GaN, InGaN和/或AlGaN。
12.如權(quán)利要求9至11之一所述的激光剝離方法，其中所述載體(3)具有位于250μ m和I. 5mm之間的厚度(T)，包括端值，而且，參照疊加的子束(P)的射束輪廓(8)的局部包絡(luò)(7)，在所述載體(3)的朝向半導(dǎo)體層序列(2)的生長面(35)上的疊加的子束(P)的強度調(diào)制最高為20%。
13.如權(quán)利要求9至12之一所述的激光剝離方法，其利用權(quán)利要求1-8之一所述的裝置(100)來執(zhí)行。
全文摘要
在裝置(100)的實施方式中，該裝置被設(shè)立用于激光剝離方法以從載體(3)分離至少一個層(2)。該裝置(100)包括用于生成例如脈沖式激光束(L)的激光器以及至少一個分束器(4a，4b)。所述激光束(L)借助于至少一個分束器(4a，4b)被劃分為至少兩個子束(P1，P2)。所述子束(P1，P2)在照射面(10)上疊加，其中所述照射面(10)被設(shè)置成所述載體(3)的背朝所述層(2)的主面(30)被布置在該照射面上。在所述照射面(10)上所述至少兩個子束(P1，P2)之間的角度(α)至少為1.0°。
文檔編號B23K26/36GK102639281SQ201080055854
公開日2012年8月15日 申請日期2010年10月21日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月9日
發(fā)明者R.瓦格納 申請人:奧斯蘭姆奧普托半導(dǎo)體有限責(zé)任公司