專利名稱：用于將布置在襯底上的層結(jié)構(gòu)化的方法和設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于將布置在襯底上的層結(jié)構(gòu)化成多個彼此分離的區(qū)域的方法和設(shè)備。
背景技術(shù)：
布置在襯底上的層的結(jié)構(gòu)化例如在制造作為用于電子構(gòu)件的承載件的印刷電路板的情況下是必要的。襯底由電絕緣的材料制成，在其上存在銅覆層。導(dǎo)體軌跡和焊接面通過結(jié)構(gòu)化銅覆層來制造。本發(fā)明尤其是涉及在襯底上的能導(dǎo)電的層的結(jié)構(gòu)化，用于制造具有多個電地串聯(lián)的薄層熱電偶的模塊。在EP 1287566B1中公開了ー種薄層熱電偶，其由至少ー個n型摻雜 的和至少ー個P型摻雜的由熱電材料制成的半導(dǎo)體層在構(gòu)造了至少ー個沿著邊界層構(gòu)造的pn結(jié)的情況下構(gòu)成。溫度梯度可以平行于在熱電偶的熱側(cè)和冷側(cè)之間的邊界層施加。為了將熱電偶彼此互聯(lián)成ー個模塊，需要帶有多個能導(dǎo)電和導(dǎo)熱的區(qū)域的襯底，這些區(qū)域通過在這些區(qū)域之間的進(jìn)行隔離的分離縫彼此熱カ地和電地分離。尤其是在印制電路板制造時，然而也在微電子裝置中使用光刻膠用于層的結(jié)構(gòu)化。將光敏感的光刻膠的薄覆層施布到全面式地覆蓋襯底的能傳導(dǎo)的層上。在通過具有所期望的例如印刷電路板布局形式的結(jié)構(gòu)的掩膜對光刻膠曝光之后，依賴于所使用的光刻膠以顯影溶液(Entwicklerkisung)去除要么光刻膠的經(jīng)曝光的部分要么未曝光的部分。如果將這樣預(yù)處理的襯底引入合適的蝕刻溶液中，則僅能導(dǎo)電的層的裸露的部分被侵蝕，而層的由光刻膠遮蓋的部分保持不變，因為光刻膠相對蝕刻溶液是穩(wěn)定的。最后，光刻膠又必須由能導(dǎo)電的層的現(xiàn)在已分離的區(qū)域中去除。該過程稱作灰化(Veraschung)。灰化例如可以以濕化學(xué)方式進(jìn)行。已知的結(jié)構(gòu)化方法的主要缺點在于，掩膜化及其去除造成了高的成本和長的方法持續(xù)時間。只要需要化學(xué)蝕刻過程，則此外要采取措施來保護(hù)環(huán)境。用于借助切削工具將布置在襯底上的金屬層結(jié)構(gòu)化為多個彼此分離的區(qū)域的方法避免了前述缺點。DE 102008016340B3公開了ー種布置在襯底上的能導(dǎo)電的層，借助切削工具將縱向槽引入該能導(dǎo)電的層中。由此將能傳導(dǎo)的層結(jié)構(gòu)化為兩個彼此分離的區(qū)域。切削工具布置在可在不同的空間軸線上移動的加工頭上，以便將位置固定的襯底結(jié)構(gòu)化。DE 1076212A公開了ー種用于由金屬膜制造導(dǎo)電的電路連接的方法,金屬膜牢固地粘貼在絕緣材料板上。為此目的，將帶有金屬膜的絕緣材料板放置到流水線上。在流水線上向前運動的電路板首先到達(dá)具有多個打孔裝置的第一加工級。一旦電路板包含所有所需的鉆孔，則該電路板利用流水線被輸送給第一銑削裝置。銑削裝置包含多個位置固定的橋，在這些橋上安置有銑削頭。將在電路板的縱向方向上的銑削在流水線的運動期間實施。為了產(chǎn)生在金屬膜中的與由第一銑削裝置所產(chǎn)生的銑削成直角的銑削，將電路板在該電路板被輸送給第二銑削裝置之前在ー個加工級中首先轉(zhuǎn)動90度。
由GB 1，135，982A公開了一種用于將布置在柔性襯底上的能導(dǎo)電的金屬膜結(jié)構(gòu)化為多個彼此分離的區(qū)域的方法和設(shè)備，其中，金屬膜借助切削工具來切除。襯底在此引導(dǎo)經(jīng)過與切削工具對置的支撐面。

發(fā)明內(nèi)容
由根據(jù)DE 1076212A的現(xiàn)有技術(shù)出發(fā)，本發(fā)明所基于的任務(wù)是提出一種開頭所提到的類型的方法，該方法成本低廉地并且以更短的方法持續(xù)時間使得將布置在襯底上的層即在襯底的縱向方向上也橫向于此地結(jié)構(gòu)化為多個彼此分離的區(qū)域成為可能，該方法尤其是可以作為連續(xù)的過程來自動化，其中，在該結(jié)構(gòu)化期間不需要中斷襯底的給進(jìn)。此外，應(yīng)當(dāng)說明一種用于執(zhí)行該方法的設(shè)備。該任務(wù)在具有權(quán)利要求I的特征的方法的情況下通過如下方式來解決切削工具中的至少一個在待切除的層的平面中的相對運動借助定位系統(tǒng)以如下方式來產(chǎn)生，即，至少一個切削工具橫向于襯底的運動方向來運動，其中，橫向于襯底的運動方向運動的切削工具由定位系統(tǒng)以如襯底那樣一致的速度和運動方向來運動并且去除已切除的材料。
能導(dǎo)電的、尤其金屬的層具有在從0. Iiim到IOOOiim的范圍中的厚度。尤其是由電絕緣的材料構(gòu)成的襯底具有在從10 ii m到10000 u m的范圍中的厚度。在彼此待分離的區(qū)域之間的能導(dǎo)電的層機(jī)械地借助切削工具來切除，而在此不切斷襯底。為了實現(xiàn)這些，襯底在與每個切削工具對置的側(cè)上放在如下的表面上，該表面用作針對定位切削工具的參考面。將每個切削工具在如下程度上向該參考表面方向運動，即，使得在彼此待分離的區(qū)域之間的能導(dǎo)電的層始終完全地被切除。由制造造成地，該襯底始終具有與額定厚度的一定公差。如果每個切削工具相對于參考表面的間距小于襯底的最小厚度地來選擇，則始終保證了能導(dǎo)電的層的完全切除。切削工具距參考表面的間距優(yōu)選這樣地來選擇，即，使得該間距僅略微小于襯底的最小厚度(下邊界規(guī)格)。由此，保證了由進(jìn)行承載的襯底切除盡可能少的材料并且因此襯底的承載功能不受影響。依賴于切削工具的寬度，在彼此分離的區(qū)域之間形成進(jìn)行隔離的接片，這些接片相應(yīng)于切削工具的寬度。該寬度可以通過切削工具例如在lOOym和數(shù)毫米之間的范圍中進(jìn)行選擇。該方法的自動化能夠通過將襯底放在參考表面上來成為可能。由此可以借助本身已知的定位系統(tǒng)將切削工具相對參考表面取向。切削工具在待切除的層的平面中的相對運動同樣借助定位系統(tǒng)和通過尤其是呈幅帶形的襯底的定向的運動來自動化。在能導(dǎo)電的層的切除期間和/或之后需要將已切除的材料從襯底去除。為此，可以使用超聲波清潔方法或機(jī)械清潔方法例如借助旋轉(zhuǎn)刷。為了檢驗所制造的結(jié)構(gòu)的無缺陷的功能，可以給該制造方法后置光學(xué)的或觸覺的檢查，利用該檢查來檢驗在能導(dǎo)電的層中的區(qū)域的無缺陷的分離。根據(jù)本發(fā)明的方法尤其適于切除具有在直至100 的范圍中的相對大的厚度的層，這些層利用傳統(tǒng)的蝕刻技術(shù)不能去除或只能以非常緩慢的過程去除。切削工具中的至少一個切削工具與能導(dǎo)電的層之間相對運動的一種簡單可能性在于，將呈幅帶形的襯底引導(dǎo)經(jīng)過用作參考的表面。例如可以是呈板形的支承的表面或呈柱體形的輥的表面。以限定的間距相對該表面定位的切削工具沿著襯底的運動方向在能導(dǎo)電的層的彼此待分離的區(qū)域之間產(chǎn)生分離縫。在襯底優(yōu)選直線運動經(jīng)過表面時，分離縫具有以切削工具寬度的接片形狀。對橫向于襯底的運動方向待引入能導(dǎo)電的層中的分離縫而言，切削工具中的至少ー個切削工具橫向于運動方向在導(dǎo)電的層的平面中運動。為了將該方法以卷到卷運行方式自動化，在本發(fā)明的有利的設(shè)計方案中使用了呈幅帶形的柔性襯底。該襯底優(yōu)選由具有厚度在從10 i! m到10000 u m的范圍中的承載膜構(gòu)成。為了保證所期望的隔離特性，承載膜例如由如聚酰亞胺、聚丙烯、特氟龍、聚酰胺或聚酯那樣的合成材料構(gòu)成。在承載膜上將能導(dǎo)電的層在其結(jié)構(gòu)化之前作為牢固粘貼的覆層尤其是整面式地施布。覆層例如可以以等離子體沉積過程的途徑電鍍地或以印刷方法的途徑來施布。然而能導(dǎo)電的層也可以作為能導(dǎo)電的膜被層壓到承載膜上。在這兩種情況下，待結(jié)構(gòu)化的尤其是呈幅帶形的帶有金屬層的襯底可以大量成本低廉地制造并且儲存在卷上。為了制造在呈幅帶形的襯底的縱向方向和橫向方向上分布的分離縫尤其合適的是旋轉(zhuǎn)的銑削工具或鋸割工具。旋轉(zhuǎn)的銑削工具的刀具可以在襯底的運動方向上或逆著襯底的運動方向運動。為了保證無缺陷的切除，襯底的給進(jìn)速度與旋轉(zhuǎn)銑削工具的刀具的運動速度偏離。優(yōu)選地，刀具的運動速度顯著高于襯底的給進(jìn)速度。這以相同的方式適用于旋轉(zhuǎn)的鋸片。用于執(zhí)行本方法的設(shè)備由權(quán)利要求7的特征得到。每個切削工具布置在ー個定位系統(tǒng)上，切削工具可以借助定位系統(tǒng)至少向位置固定的定位裝置方向或由其表面遠(yuǎn)離地運動。切削工具中的至少ー個切削工具布置在如下的定位系統(tǒng)上，該定位系統(tǒng)是多軸線的線性系統(tǒng)，該至少ー個切削工具沿著該線性系統(tǒng)的軸線不僅可以向定位裝置的表面方向或由該定位裝置的表面遠(yuǎn)離地運動而且可以平行于該定位裝置的表面地運動。借助多軸線的線性系統(tǒng)，該至少ー個切削工具可以橫向于襯底的運動方向運動，其中，橫向于襯底的運動方向運動的切削工具由定位系統(tǒng)同時以如襯底那樣一致的速度和運動方向來運動。用于執(zhí)行本方法的有利的、具有從卷到卷引導(dǎo)的呈幅帶形的襯底的設(shè)備具有至少ー個帶有如下表面的位置固定的定位設(shè)備，襯底在運動方向上被引導(dǎo)經(jīng)過該表面。對于橫向于襯底的運 動方向的結(jié)構(gòu)化而言，附加地必須將至少ー個能橫向于運動方向運動的切削工具激活。襯底的給進(jìn)運動例如可以通過驅(qū)動輥來進(jìn)行，這些驅(qū)動輥貼靠在襯底上。柔性襯底例如可以卷繞到經(jīng)驅(qū)動的卷芯上并且在此引導(dǎo)經(jīng)過定位裝置并且由對置的切削工具在此來結(jié)構(gòu)化。為了同時將多個沿著襯底的運動方向或者說橫向于襯底的運動方向分布的分離縫在能導(dǎo)電的區(qū)域中結(jié)構(gòu)化，在本發(fā)明的有利的設(shè)計方案中設(shè)置如下，即，多個旋轉(zhuǎn)的切削工具彼此間距地布置在共同的驅(qū)動軸上。通過共同的驅(qū)動軸，多個旋轉(zhuǎn)的切削工具不僅共享驅(qū)動裝置而且此外被同步，從而使得在一致的切削工具的情況下也同時由布置在ー個驅(qū)動軸上的切削工具來產(chǎn)生一致的分離縫。


以下參照附圖更為詳細(xì)地闡述根據(jù)本發(fā)明的方法以及用于其執(zhí)行的設(shè)備。其中圖Ia示出了襯底的側(cè)視圖Ib示出了帶有金屬層的襯底的側(cè)視圖；圖Ic示出了帶有設(shè)計為能導(dǎo)電的膜的由膜制成的襯底的側(cè)視圖；圖Id示出了到根據(jù)圖Ib的襯底上的俯視圖；圖Ie示出了襯底的利用在圖Ie中所示的切削工具來結(jié)構(gòu)化的能導(dǎo)電的層；圖If在側(cè)視圖中示出了在縱向方向和橫向方向上經(jīng)結(jié)構(gòu)化的能導(dǎo)電的層；以及圖Ig在俯視圖中示出了在縱向方向和橫向方向上經(jīng)結(jié)構(gòu)化的能導(dǎo)電的層；圖2a示出了用于在襯底的運動方向上結(jié)構(gòu)化呈幅帶形的襯底的能導(dǎo)電的層的設(shè)備的第一實施例；圖2b示出了根據(jù)圖2a的設(shè)備的前視圖； 圖3a示出了用于在襯底的運動方向上結(jié)構(gòu)化呈幅帶形的襯底的能導(dǎo)電的層的設(shè)備的第二實施例；圖3b示出了根據(jù)圖3a的設(shè)備的前視圖；圖3c示出了具有下降的切削工具的根據(jù)圖3a的設(shè)備；圖3d示出了到根據(jù)圖3c的設(shè)備上的俯視圖；圖4a示出了用于利用多個切削工具結(jié)構(gòu)化呈幅帶形的襯底的能導(dǎo)電的層的設(shè)備的第三實施例；圖4b示出了到根據(jù)圖4a的設(shè)備上的俯視圖；圖5示出了到利用其它的、布置在單獨的定位系統(tǒng)上的切削工具來執(zhí)行根據(jù)本發(fā)明的方法的設(shè)備的實施例上的俯視圖，該切削工具可橫向于襯底的運動方向和在襯底的運動方向上運動；圖6a示出了到具有經(jīng)結(jié)構(gòu)化的層和熱電偶的襯底上的俯視圖；以及圖6b示出了由從根據(jù)圖6a的結(jié)構(gòu)中摘出的條。
具體實施例方式根據(jù)本發(fā)明的方法用于將布置在尤其是由合成材料制成的襯底(I)上的尤其是由能導(dǎo)電和導(dǎo)熱的材料制成的層(2)結(jié)構(gòu)化。層(2)可以如在圖Ib中所示的那樣以覆層過程的途徑被沉積在襯底(I)上。備選地存在如下可能性，即，不僅襯底(I)而且層(2)由膜形成，其借助粘合層(3)彼此連接(圖lc)。在制造技術(shù)上有利的是，襯底(I)在縱向邊緣處略微突出于層(2)，如在圖Id中可看到的那樣。為了將層(2)劃分成多個彼此分離的區(qū)域(4)，該層借助示意性在圖Ie中所示的旋轉(zhuǎn)的切削工具(5)在彼此待分離的區(qū)域(4)之間來完全切除，但不切斷襯底(I)。襯底(I)在與切削工具(5)對置的側(cè)上放在表面(6)上。該表面(6)形成針對切削工具(5)的參考表面，該切削工具向表面(6)方向如下程度地運動，S卩，使得層(2)不依賴于襯底(I)的厚度的可能的公差地始終被完全切除。為了能夠在經(jīng)覆層的襯底(I)上放置熱電偶，將層(2 )平行于并且橫向于層(2 )的縱向方向借助一個或多個切削工具(5)來結(jié)構(gòu)化，從而獲得在所有側(cè)彼此分離的區(qū)域(4)。通過層(2)在區(qū)域(4)之間的完全切除在區(qū)域(4)之間獲得了在襯底(I)的縱向方向和橫向方向上的進(jìn)行隔離的分離縫。在層(2)的切除期間和/或之后，將所切除的材料例如借助旋轉(zhuǎn)的刷或通過超聲波來去除。圖2a示出了用于將層(2)結(jié)構(gòu)化的設(shè)備(8)。該設(shè)備(8)具有可轉(zhuǎn)動的定位柱體
(9),柔性襯底(I)在運動方向(11)上被引導(dǎo)經(jīng)過該定位柱體的表面(10)。定位柱體(9)位置固定地支承在設(shè)備(8)中。構(gòu)造為銑削工具的切削工具(5)通過軸(12)與轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置連接。切削工具(5)布置在定位系統(tǒng)(13)上，該定位系統(tǒng)在所示的實施例中實施為單軸線的線性系統(tǒng)，其中，切削工具(5)可以沿著線性系統(tǒng)的Z軸線(23)向定位柱體(9)的表面
(10)方向或由其表面遠(yuǎn)離地運動。在圖2a、2b中切削工具(5)脫離嵌入。為了將切削工具(5)帶入到嵌入中，如該切削工具由圖Ie中可看到的那樣，將該切削工具借助定位系統(tǒng)(13)在Z軸線(23)的方向上下降。經(jīng)覆層的柔性襯底(1、2)經(jīng)過定位柱體(9)的引導(dǎo)借助引導(dǎo)輥和驅(qū)動輥(15、16) 來進(jìn)行，這些引導(dǎo)輥和驅(qū)動輥優(yōu)選布置在經(jīng)覆層的襯底(1、2)的兩側(cè)上。在圖3中所示的設(shè)備的第二實施例與根據(jù)圖2的設(shè)備的不同在于，經(jīng)覆層的柔性襯底(1、2)并非引導(dǎo)經(jīng)過定位柱體(9)而是經(jīng)過位置固定的定位板(17)，該定位板的表面
(10)用作針對布置在定位系統(tǒng)(13)上的切削工具(5)的參考面。呈幅帶形的襯底(I、2)在運動方向(11)上的驅(qū)動通過驅(qū)動輥(16)來進(jìn)行。圖3a、3b示出了在已提起的切削工具(5)的情況下的設(shè)備。為了在襯底(I)上進(jìn)行層(2)的結(jié)構(gòu)化，必須將切削工具(5)如下程度地向表面(10)方向運動，S卩，使得切削エ具(5)將層(2)如由圖3c、3d可看到的那樣完全地切除，但在分離縫(7)的區(qū)域中不持續(xù)地減弱位于其下的襯底(I)。在層(2)中的在呈幅帶形的襯底(I)的縱向方向上分布的分離縫(7)通過如下方式來產(chǎn)生，S卩，襯底(I)相對位置固定的旋轉(zhuǎn)的切削工具(5)在運動方向
(11)上運動。由此，將切削工具相對于層(2)在其平面中運動。借助根據(jù)圖3的設(shè)備，在呈幅帶形的襯底(I)上的層(2)可以結(jié)構(gòu)化為兩個彼此分離的區(qū)域(4)。如果在ー個エ序中應(yīng)該產(chǎn)生多于兩個的分離區(qū)域(4)，則例如使用根據(jù)圖4的設(shè)備。該設(shè)備與根據(jù)圖3的設(shè)備的不同在于，總共九個切削工具(5)彼此均勻間距地布置在共同的驅(qū)動軸(12)上，該驅(qū)動軸與轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置連接。垂直于運動方向(11)布置的軸借助這些旋轉(zhuǎn)的切削工具(5)產(chǎn)生在層(2)中的十個通過分離縫(7)彼此分離的區(qū)域(4)。定位系統(tǒng)(13)優(yōu)選相對于出于概覽性原因未示出的定位板(17)的兩側(cè)布置，以便保證帶有切削工具(5)的軸(12)的均勻提高或者說下降。根據(jù)圖5的依據(jù)本發(fā)明的設(shè)備在結(jié)構(gòu)上相應(yīng)于根據(jù)圖4的設(shè)備，從而參考那里的實施。附加地，但是該設(shè)備具有其它的旋轉(zhuǎn)的切削工具(18)，該切削工具布置在相對于軸
(12)成直角分布的、與驅(qū)動裝置連接的軸(19)上。給切削工具(18)配屬有単獨的定位系統(tǒng)(20)。其涉及三軸線的線性系統(tǒng)，借助該線性系統(tǒng)，切削工具(18)可以橫向于和平行于襯底的運動方向(11)在層(2)的平面中并且垂直于其地運動。為了將區(qū)域(4)不僅平行于運動方向(11)而且根據(jù)本發(fā)明此外也與此正交地劃分，將切削工具(18)利用多軸線的線性系統(tǒng)(20)在y軸線(21)的方向上運動。為了在該結(jié)構(gòu)化期間不必將經(jīng)覆層的襯底(1、2)的給進(jìn)中斷，本身沿著y軸線(21)運動的切削工具(18)由定位系統(tǒng)(20)在定位系統(tǒng)(20)的X軸線(22 )的方向上以如襯底(I)那樣一致的速度和運動方向(11)運動。在下面的y軸線(21)方向上的結(jié)構(gòu)化之前，將切削工具(18)從襯底(I)在z軸線(23)的方向上提高并且?guī)С龉ぷ鳡顟B(tài)之外并且逆著運動方向(11)借助定位系統(tǒng)(20)移動到原始定位中。如果應(yīng)省去定位系統(tǒng)(20)的X軸線(22)，則對于層(2)在y軸線(21)的方向上的結(jié)構(gòu)化而言必須短時地中斷襯底(I)的給進(jìn)。由此得到了具有襯底(I)的短的靜止?fàn)顟B(tài)的準(zhǔn)連續(xù)的結(jié)構(gòu)化過程。利用根據(jù)圖5的依據(jù)本發(fā)明的設(shè)備來結(jié)構(gòu)化的在襯底(I)上的層(2)尤其是可用于制造具有多個電串聯(lián)的熱電偶的模塊。每個熱電元件(24a、24b)實施為薄層熱電偶，其各由至少一個n型摻雜的和至少一個p型摻雜的由熱電材料制成的半導(dǎo)體層在構(gòu)造了至少一個本身沿著邊界層構(gòu)造的Pn結(jié)的情況下構(gòu)成。溫度梯度可以平行于每個熱電元件(24)的熱側(cè)和冷側(cè)之間的邊界層施加。為了將這些熱電元件(24)彼此互聯(lián)成一個模塊，需要帶有多個能導(dǎo)電和導(dǎo)熱的區(qū)域(4)的襯底(1)，這些區(qū)域通過在這些區(qū)域(4)之間的進(jìn)行隔離的分離縫(7)彼此熱力地和電地分離。現(xiàn)在為了將熱電元件(24a)的指向外的p型層與相鄰的熱電元件(24b)的指向夕卜的n型層傳導(dǎo)地彼此連接，將各兩個相鄰的熱電元件(24a、24b)在它們的冷側(cè)(25)上利用導(dǎo)熱的和導(dǎo)電的粘貼層與在襯底(I)上的能導(dǎo)熱和導(dǎo)電的區(qū)域(4)導(dǎo)電地連接。在熱側(cè)(26)上各兩個相鄰的熱電元件(24a、24b)僅僅熱力地聯(lián)接到區(qū)域(4)上。借助根據(jù)本發(fā)明經(jīng)結(jié)構(gòu)化的層(2 )可以將各兩個熱電元件(24a、24b )導(dǎo)電地串聯(lián)并且同時提供接觸面來輸入或者說輸出熱力的能量。附圖標(biāo)記列表
權(quán)利要求
1.用于將布置在襯底(I)上的層(2)結(jié)構(gòu)化為多個彼此分離的區(qū)域(4)的方法，其中， -所述層(2)在彼此待分離的區(qū)域(4)之間借助至少兩個切削工具(5、18)來切除， -所述襯底(I)在與所述切削工具(5、18)對置的側(cè)上放在表面(10)上， -所述切削工具(5、18)以如下程度地向所述表面(10)方向并且相對于所述層(2)在所述層的平面中運動，即，使得所述層(2)在所述彼此待分離的區(qū)域(4)之間被完全地切除，并且 -所述切削工具(5、18)中的至少一個切削工具在待切除的所述層的所述平面中的相對運動通過所述襯底(I)在運動方向(11)上的定向的運動來產(chǎn)生， 其特征在于， -所述切削工具中的至少一個切削工具(18)在待切除的所述層(2)的所述平面中的相對運動借助定位系統(tǒng)(20)通過如下方式來產(chǎn)生，S卩，所述至少一個切削工具(18)橫向于所述襯底(I)的所述運動方向來運動，其中，橫向于所述襯底(I)的所述運動方向(11)運動的切削工具(18)由所述定位系統(tǒng)(20)以如所述襯底(I)那樣一致的速度和運動方向(11)來運動， 并且， _去除已切除的材料。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，其特征在于，將所述襯底(I)引導(dǎo)經(jīng)過所述表面(10)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的方法，其特征在于，使用柔性襯底(I)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I至3之一所述的方法，其特征在于，在所述結(jié)構(gòu)化之前將所述層(2)作為牢固粘貼的覆層施布在所述襯底(I)上。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至3之一所述的方法，其特征在于，將待結(jié)構(gòu)化的所述層(2)作為膜施布在所述襯底(I)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求I至5之一所述的方法，其特征在于，使用旋轉(zhuǎn)的切削工具(5、18)。
7.用于執(zhí)行根據(jù)權(quán)利要求2至6之一所述的方法的設(shè)備，其特征在于， -所述設(shè)備(8)具有至少一個帶有表面(10)的位置固定的定位裝置(9、17)，襯底(I)能夠在運動方向(11)上引導(dǎo)經(jīng)過所述表面， -所述設(shè)備具有用于切除布置在所述襯底(I)上的層(2)的至少兩個切削工具(5、18)， -每個切削工具(5、18)布置在定位系統(tǒng)(13)上，利用所述定位系統(tǒng)，所述切削工具(5、18)能夠至少向所述定位裝置(9、17)的所述表面(10)方向或由所述定位裝置的所述表面(10)遠(yuǎn)離地運動， -所述切削工具中的至少一個切削工具(18)布置在為多軸線的線性系統(tǒng)的定位系統(tǒng)(20)上，沿著其軸線(21、22、23)，所述至少一個切削工具(18)能夠向所述定位裝置(9、17)的所述表面(10)方向或由所述定位裝置的所述表面遠(yuǎn)離地并且平行于所述定位裝置的所述表面地運動。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的設(shè)備，其特征在于， -所述切削工具(18)能夠沿著所述多軸線的線性系統(tǒng)的z軸線(23)向所述定位裝置(9、17)的所述表面(10)方向或由所述定位裝置的所述表面(10)遠(yuǎn)離地運動， -所述切削工具(18)能夠沿著所述多軸線的線性系統(tǒng)的Y軸線(21)橫向于所述襯底(I)的所述運動方向(11)運動，以及-所述切削工具(18)能夠沿著所述多軸線的線性系統(tǒng)的X軸線(21)平行于所述襯底(I)的所述運動方向(11)運動。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的設(shè)備，其特征在于，旋轉(zhuǎn)的切削工具(5、18)與轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其特征在于，多個旋轉(zhuǎn)的切削工具(5)彼此間距地布置在共同的驅(qū)動軸(12)上。
全文摘要
本發(fā)明涉及用于將布置在電絕緣的襯底上的能導(dǎo)電的層結(jié)構(gòu)化為多個彼此分離的區(qū)域的方法和設(shè)備。為了成本低廉地并且以短的方法持續(xù)時間使得布置在襯底(1)上的層(2)不僅在襯底的運動方向(11)上而且橫向于其結(jié)構(gòu)化為多個彼此分離的區(qū)域成為可能，根據(jù)本發(fā)明提出切削工具(5、18)中的至少一個在待切除的層的平面中的相對運動借助定位系統(tǒng)(20)通過如下方式來產(chǎn)生，即，該至少一個切削工具(18)橫向于襯底的運動方向來運動，其中，橫向于襯底的運動方向運動的切削工具由定位系統(tǒng)同時以如襯底那樣一致的速度和運動方向來運動。
文檔編號B23C1/04GK102714919SQ201080062130
公開日2012年10月3日 申請日期2010年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月21日
發(fā)明者霍爾格·阿爾貝特·烏蘭 申請人:歐-弗萊克斯科技有限公司