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      非晶硅薄膜太陽能電池激光刻線系統(tǒng)中的多光路分光裝置的制作方法

      文檔序號:3194486閱讀:270來源:國知局
      專利名稱:非晶硅薄膜太陽能電池激光刻線系統(tǒng)中的多光路分光裝置的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實用新型涉及太陽能電池刻線系統(tǒng),具體地,涉及非晶硅薄膜太陽能電池激光刻線系統(tǒng)中的多光路分光裝置。
      背景技術(shù)
      薄膜太陽能電池因制作工藝簡單、生產(chǎn)成本低、光電轉(zhuǎn)換效率較高、可連續(xù)自動化批量生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)受到業(yè)界青睞。非晶硅薄膜太陽能電池制備過程中需要將膜層分割成獨(dú)立的窄條,每個窄條對應(yīng)一個獨(dú)立的電池單元,然后將各電池單元串聯(lián)成一個太陽能電池組件。具體的膜層分割方式有激光刻線、機(jī)械刻劃和化學(xué)腐蝕等方式,激光刻線方式因其具有非接觸式加工(不會對材料造成機(jī)械擠壓或機(jī)械應(yīng)力)、高效率、高精度、可精確地刻劃出微米級的凹槽(使得膜層面積損失率小,利用率高)、可精確控制加工能量、整齊分割待加 工膜層、不損傷導(dǎo)電層、無需使用任何化學(xué)品等優(yōu)點(diǎn)而被業(yè)界廣泛采用。激光刻線裝置是薄膜太陽能電池制備工藝中的一個重要設(shè)備,其設(shè)計和性能的好壞直接影響到太陽能電池的質(zhì)量和生產(chǎn)過程中的良品率。早期的工藝中采用單激光器單光路的光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行加工,目前在工藝上通常采用單激光器多光路的光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行刻線,但也有采用多激光器多光路的結(jié)構(gòu)型式。常見的單激光器多光路結(jié)構(gòu)型式有單激光器二分光路和單激光器四分光路。四分光路系統(tǒng)刻線效率高,在工程應(yīng)用上具有更高的使用價值,大多數(shù)刻線系統(tǒng)都采用這種結(jié)構(gòu)型式。

      實用新型內(nèi)容針對現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷,本實用新型的目的是提供一種非晶硅薄膜太陽能電池激光刻線系統(tǒng)中的多光路分光裝置。根據(jù)本實用新型的一個方面,提供一種非晶硅薄膜太陽能電池激光刻線系統(tǒng)中的多光路分光裝置,其特征在于,包括如下部件透光率為1/4、反射率為3/4的第一分光鏡;透光率為1/3、反射率為2/3的第二分光鏡;透光率為1/2、反射率為1/2的第三分光鏡;反射率為100 %的第一反射鏡;反射率為100%的第二反射鏡,其中所述第一分光鏡和第一反射鏡相互平行地依次位于入射的準(zhǔn)直光束所在的同一直線上,所述準(zhǔn)直光線呈傾斜地入射至所述第一分光鏡上形成第一透射光線和第一反射光線,所述第一透射光線入射至所述第一反射鏡,所述第一反射光線傾斜地入射至所述第二分光鏡形成第二透射光線和第二反射光線,所述第二反射光線傾斜地入射至所述第三分光鏡形成第三透射光線和第三反射光線,[0014]所述第三透射光線傾斜地入射至所述第二反光鏡。本實用新型通過多個分光鏡以及反射鏡實現(xiàn)了一個光源供給四條激光切割線的裝置,能大大提高刻線系統(tǒng)的效率,降低工藝成本。

      通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細(xì)描述,本實用新型的其它特征、目的和優(yōu)點(diǎn)將會變得更明顯圖I示出根據(jù)本實用新型的非晶硅薄膜太陽能電池激光刻線系統(tǒng)中的多光路分光裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
      具體實施方式
      根據(jù)本實用新型提供的非晶硅薄膜太陽能電池激光刻線系統(tǒng)中的多光路分光裝 置,包括如下部件透光率為1/4、反射率為3/4的第一分光鏡21 ;透光率為1/3、反射率為2/3的第二分光鏡22 ;透光率為1/2、反射率為1/2的第三分光鏡23 ;反射率為100%的第一反射鏡41 ;反射率為100%的第二反射鏡42,其中所述第一分光鏡和第一反射鏡相互平行地依次位于入射的準(zhǔn)直光束所在的同一直線上,所述準(zhǔn)直光線呈傾斜地入射至所述第一分光鏡上形成第一透射光線和第一反射光線,所述第一透射光線入射至所述第一反射鏡,所述第一反射光線傾斜地入射至所述第二分光鏡形成第二透射光線和第二反射光線,所述第二反射光線傾斜地入射至所述第三分光鏡形成第三透射光線和第三反射光線,所述第三透射光線傾斜地入射至所述第二反光鏡。以上對本實用新型的具體實施例進(jìn)行了描述。需要理解的是,本實用新型并不局限于上述特定實施方式,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在權(quán)利要求的范圍內(nèi)做出各種變形或修改,這并不影響本實用新型的實質(zhì)內(nèi)容。
      權(quán)利要求1. 一種非晶硅薄膜太陽能電池激光刻線系統(tǒng)中的多光路分光裝置,其特征在于,包括如下部件 透光率為1/4、反射率為3/4的第一分光鏡; 透光率為1/3、反射率為2/3的第二分光鏡; 透光率為1/2、反射率為1/2的第三分光鏡; 反射率為100%的第一反射鏡; 反射率為100%的第二反射鏡,其中 所述第一分光鏡和第一反射鏡相互平行地依次位于入射的準(zhǔn)直光束所在的同一直線上,所述準(zhǔn)直光線呈傾斜地入射至所述第一分光鏡上形成第一透射光線和第一反射光線,所述第一透射光線入射至所述第一反射鏡, 所述第一反射光線傾斜地入射至所述第二分光鏡形成第二透射光線和第二反射光線, 所述第二反射光線傾斜地入射至所述第三分光鏡形成第三透射光線和第三反射光線, 所述第三透射光線傾斜地入射至所述第二反光鏡。
      專利摘要本實用新型提供非晶硅薄膜太陽能電池激光刻線系統(tǒng)中的多光路分光裝置,包括如下部件透光率為1/4、反射率為3/4的第一分光鏡21;透光率為1/3、反射率為2/3的第二分光鏡22;透光率為1/2、反射率為1/2的第三分光鏡23;反射率為100%的第一反射鏡41;反射率為100%的第二反射鏡42。本實用新型通過多個分光鏡以及反射鏡實現(xiàn)了一個光源供給四條激光切割線的裝置,能大大提高刻線系統(tǒng)的效率,降低工藝成本。
      文檔編號B23K26/067GK202461808SQ20112055059
      公開日2012年10月3日 申請日期2011年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月26日
      發(fā)明者嚴(yán)錦春, 錢騰達(dá), 顧錫淼 申請人:嘉興優(yōu)太太陽能有限公司
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