專(zhuān)利名稱(chēng)：吸盤(pán)式裝夾裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及激光加工技術(shù)領(lǐng)域，具體地說(shuō)，涉及ー種在薄膜材料的激光加工中使用的吸盤(pán)式裝夾裝置。
背景技術(shù)：
隨著社會(huì)不斷發(fā)展，薄膜材料已經(jīng)逐漸應(yīng)用于各項(xiàng)生產(chǎn)及生活中。由于薄膜材料自身厚度尺寸小，剛度、剛性差，并且容易發(fā)生卷曲、皺折等現(xiàn)象，因此無(wú)法利用通常的機(jī)械加工方式對(duì)薄膜材料進(jìn)行加工，通常會(huì)采用激光加工方法。然而，利用激光對(duì)薄膜材料進(jìn)行加工的過(guò)程中，需要使用各種類(lèi)型的裝夾裝置。目前，利用激光對(duì)薄膜材料進(jìn)行加エ時(shí)，薄膜材料通常依靠壓板進(jìn)行夾持固定。利 用壓板固定薄膜時(shí)，會(huì)存在以下問(wèn)題薄膜材料容易產(chǎn)生變形，加工難度増大，影響加工精度；壓板損壞薄膜材料，造成薄膜材料的浪費(fèi)；每次加工需要重新拆卸安裝壓板，加工過(guò)程繁瑣且效率低。另外，對(duì)小型化的薄膜材料進(jìn)行加工吋，無(wú)法采用壓板對(duì)小型化的薄膜材料進(jìn)行夾持固定。雖然可以采用膠粘的方式固定小型化的薄膜材料，但是可能會(huì)破壞薄膜材料的表面。有時(shí)也可以采用吸氣裝置來(lái)吸附固定薄膜材料，但是此方法無(wú)法保證薄膜材料的平整度，進(jìn)而影響激光加工的精度。另外，利用激光對(duì)薄膜材料進(jìn)行加工吋，當(dāng)激光刻蝕薄膜材料之后，如果沒(méi)有順利透過(guò)，會(huì)在薄膜材料底面積累，進(jìn)而影響加工精度。所以，有必要對(duì)上述激光加工薄膜材料中使用的壓板裝夾裝置做進(jìn)ー步的改進(jìn)，以避免上述壓板裝夾裝置存在的薄膜材料易變形、加工難度大、難以保證加工精度、損壞薄膜材料、浪費(fèi)資源、加工過(guò)程繁瑣等缺陷。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提供ー種在薄膜材料的激光加工中使用的吸盤(pán)式裝夾裝置，利用吸附方式容易地固定被加工的薄膜材料，使得薄膜材料的裝卸容易，加工效率高。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供的一種吸盤(pán)式裝夾裝置，其包括裝夾主體，在中部貫通開(kāi)設(shè)有長(zhǎng)條形的激光出光ロ，在上述激光出光ロ的附近沿著其長(zhǎng)度方向開(kāi)設(shè)有長(zhǎng)條形狀的凹槽式的空腔，還設(shè)有與該空腔連通的導(dǎo)氣通道；吸附面板，設(shè)置在該裝夾主體的上表面，覆蓋上述裝夾主體的激光出光口和空腔，在與上述空腔對(duì)應(yīng)的部分開(kāi)設(shè)有由多個(gè)貫通小孔構(gòu)成的吸孔陣列，在與激光出光ロ對(duì)應(yīng)的部分形成有長(zhǎng)條形的開(kāi)ロ部；吸氣裝置，通過(guò)氣管與上述導(dǎo)氣通道相連，可以吸出上述空腔及導(dǎo)氣通道內(nèi)的氣體。此外，也可以是，形成有多個(gè)上述空腔和上述吸孔陣列，上述多個(gè)空腔對(duì)稱(chēng)地形成在上述激光出光ロ的兩側(cè)部，而且，上述多個(gè)吸孔陣列也對(duì)稱(chēng)地形成在上述吸附面板的開(kāi)ロ部的兩側(cè)。此外，也可以是，在上述氣管的中途或者上述導(dǎo)氣通道的入口側(cè)設(shè)置有氣閥。[0011]根據(jù)本實(shí)用新型的上述結(jié)構(gòu)，能夠使待加工的薄膜材料平整地緊貼放置在吸附面板上，避免薄膜材料的變形，提高了加工精度。此外，還可以避免薄膜材料造成的損壞，節(jié)約資源，操作簡(jiǎn)單，提高工作效率。另外本實(shí)用新型涉及的吸盤(pán)式裝夾裝置具有對(duì)稱(chēng)分布的空腔和吸孔陣列結(jié)構(gòu)，能夠保證吸力平衡，進(jìn)而保證薄膜材料的表面完整及加工精度。其吸附面板上的激光出光ロ和裝夾主體上的開(kāi)ロ部，可以使激光束穿透裝夾裝置，從而保證薄膜材料的質(zhì)量。

通過(guò)
以下結(jié)合附圖對(duì)其實(shí)施例進(jìn)行描述，本實(shí)用新型的上述特征和技術(shù)優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更加清楚和容易理解。 圖I是表示本實(shí)用新型涉及的吸盤(pán)式裝夾裝置的具體結(jié)構(gòu)的剖視圖；圖2是表示本實(shí)用新型涉及的吸盤(pán)式裝夾裝置中的吸附面板具體結(jié)構(gòu)的俯視圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明
1、裝夾主體；11、激光出光ロ
12、空腔；13、導(dǎo)氣通道；
2、吸附M板；21、開(kāi)ロ部；
22、吸孔陣列；3、吸氣裝》;
4、氣_;5、氣管。
具體實(shí)施方式
下面，結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)ー步詳細(xì)的描述。在下面的描述中，只通過(guò)說(shuō)明的方式對(duì)本實(shí)用新型的某些示范實(shí)施例進(jìn)行描述，毋庸置疑，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以認(rèn)識(shí)到，在不偏離本實(shí)用新型的精神和范圍的情況下，可以用各種不同方式對(duì)所述的實(shí)施方案進(jìn)行修正。因此，附圖和描述在本質(zhì)上只是說(shuō)明性的，而不是用于限制權(quán)利要求的保護(hù)范圍。此外，在本說(shuō)明書(shū)中，相同的附圖標(biāo)記表示相同的部分。圖I是表示本實(shí)用新型涉及的吸盤(pán)式裝夾裝置的具體結(jié)構(gòu)的剖視圖，圖2是表示本實(shí)用新型涉及的吸盤(pán)式裝夾裝置中的吸附面板具體結(jié)構(gòu)的俯視圖。如圖I及圖2所示，該吸盤(pán)式裝夾裝置包括裝夾主體1，在該裝夾主體I的中部貫通開(kāi)設(shè)有長(zhǎng)條形的激光出光ロ 11，可以使加工用激光穿過(guò)，并且，在激光出光ロ 11的附近沿著其長(zhǎng)度方向開(kāi)設(shè)有長(zhǎng)條形狀的凹槽式的空腔12，還設(shè)有與該空腔12連通的導(dǎo)氣通道13 ;吸附面板2，設(shè)置在該裝夾主體I的上表面，覆蓋裝夾主體I的激光出光ロ 11和空腔12，在與上述空腔對(duì)應(yīng)的部分開(kāi)設(shè)有由多個(gè)貫通小孔構(gòu)成的吸孔陣列22，而且在與激光出光ロ 11對(duì)應(yīng)的部分形成有長(zhǎng)條形的開(kāi)ロ部21 ;吸氣裝置3，通過(guò)氣管5與導(dǎo)氣通道13相連，可以吸出空腔12及導(dǎo)氣通道13內(nèi)部的氣體，例如可以使用真空泵等；氣閥4，設(shè)置在氣管5的中途或者導(dǎo)氣通道13的入口側(cè)，用于控制吸氣裝置3產(chǎn)生的吸力。[0021]在本實(shí)施方式中，在裝夾主體I的激光出光ロ 11的兩側(cè)對(duì)稱(chēng)地分別設(shè)置了空腔12，而且，在吸附面板2上，也與上述空腔12相對(duì)應(yīng)地設(shè)有2個(gè)吸孔陣列22，這樣的對(duì)稱(chēng)分布結(jié)構(gòu)可以保證在激光出光ロ 11的兩側(cè)產(chǎn)生的吸力平衡，進(jìn)而保證吸附面板2的平穩(wěn)，使放置在吸附面板2上的薄膜材料表面平整。無(wú)庸置疑，空腔12和吸孔陣列22的數(shù)量不限定于2個(gè)，只要是相對(duì)于激光出光ロ 11及開(kāi)ロ部21相対稱(chēng)的分布結(jié)構(gòu)即可。下面，簡(jiǎn)單說(shuō)明對(duì)薄膜材料進(jìn)行激光加工的作業(yè)過(guò)程。首先，將待加工的薄膜材料平整地放置在吸附面板2的上表面，使得該薄膜材料完全覆蓋住吸附面板2的開(kāi)ロ部21和吸孔陣列22。然后，打開(kāi)氣閥4，啟動(dòng)吸氣裝置3抽取空腔12和導(dǎo)氣通道13內(nèi)的空氣。此吋，隨著吸氣工作產(chǎn)生的氣流，薄膜材料被吸附在吸附面板2的表面，從而堵塞開(kāi)ロ部21和吸孔陣列22，最終空腔12內(nèi)的負(fù)壓使薄膜材料平整地緊貼吸附在吸附面板2上。接著，使從激光器射出的激光束照射到待加工的薄膜材料上進(jìn)行激光加工，該激光束透過(guò)薄膜材料后穿通裝夾主體I的激光出光ロ 11和吸附面板2的開(kāi)ロ部21。這樣，可以防止激光能量在薄膜材料底面上的積累，進(jìn)而影響加工精度。當(dāng)對(duì)薄膜材料的激光加工完成后，關(guān)閉氣閥4，使空腔12內(nèi)逐漸充滿(mǎn)空氣以消除負(fù)壓差，然后卸下加工好的薄膜材料，在吸附面板2上放置新的待加工薄膜材料。 在本實(shí)用新型的上述教導(dǎo)下，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上進(jìn)行各種改進(jìn)和變形，而這些改進(jìn)和變形，都落在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該明白，上述的具體描述只是更好地解釋本實(shí)用新型的目的，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍由權(quán)利要求及其等同物限定。
權(quán)利要求1.一種吸盤(pán)式裝夾裝置，其特征在于，包括 裝夾主體，在中部貫通開(kāi)設(shè)有長(zhǎng)條形的激光出光口，在上述激光出光口的附近沿著其長(zhǎng)度方向開(kāi)設(shè)有長(zhǎng)條形狀的凹槽式的空腔，還設(shè)有與該空腔連通的導(dǎo)氣通道； 吸附面板，設(shè)置在該裝夾主體的上表面，覆蓋上述裝夾主體的激光出光口和空腔，在與上述空腔對(duì)應(yīng)的部分開(kāi)設(shè)有由多個(gè)貫通小孔構(gòu)成的吸孔陣列，在與激光出光口對(duì)應(yīng)的部分形成有長(zhǎng)條形的開(kāi)口部； 吸氣裝置，通過(guò)氣管與上述導(dǎo)氣通道相連，可以吸出上述空腔及導(dǎo)氣通道內(nèi)的氣體。
2.按照權(quán)利要求I所述的吸盤(pán)式裝夾裝置，其特征在于， 形成有多個(gè)上述空腔和上述吸孔陣列， 上述多個(gè)空腔對(duì)稱(chēng)地形成在上述激光出光口的兩側(cè)部，而且，上述多個(gè)吸孔陣列也對(duì)稱(chēng)地形成在上述吸附面板的開(kāi)口部的兩側(cè)。
3.按照權(quán)利要求I所述的吸盤(pán)式裝夾裝置，其特征在于， 在上述氣管的中途或者上述導(dǎo)氣通道的入口側(cè)設(shè)置有氣閥。
專(zhuān)利摘要一種吸盤(pán)式裝夾裝置，包括裝夾主體，在中部貫通開(kāi)設(shè)有長(zhǎng)條形的激光出光口，在上述激光出光口的附近沿著其長(zhǎng)度方向開(kāi)設(shè)有長(zhǎng)條形狀的凹槽式的空腔，還設(shè)有與該空腔連通的導(dǎo)氣通道；吸附面板，設(shè)置在該裝夾主體的上表面，覆蓋上述裝夾主體的激光出光口和空腔，在與上述空腔對(duì)應(yīng)的部分開(kāi)設(shè)有由多個(gè)貫通小孔構(gòu)成的吸孔陣列，在與激光出光口對(duì)應(yīng)的部分形成有長(zhǎng)條形的開(kāi)口部；吸氣裝置，通過(guò)氣管與上述導(dǎo)氣通道相連，可以吸出上述空腔及導(dǎo)氣通道內(nèi)的氣體。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠使薄膜材料平整地緊貼放置在吸附面板上，避免了薄膜材料的變形，提高加工精度及加工效率。
文檔編號(hào)B23K26/42GK202571613SQ20112056008
公開(kāi)日2012年12月5日 申請(qǐng)日期2011年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月28日
發(fā)明者陳濤, 申雪飛 申請(qǐng)人:北京工業(yè)大學(xué)