專利名稱：用于減小激光劃刻的錐度的方法及設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明大體來說涉及激光處理，特定來說涉及一種用于減小激光劃刻的錐度的方法及設(shè)備。
背景技術(shù)：
高斯束激光處理在用于晶片劃刻及其它類型的激光切割時通常導(dǎo)致漸縮切口。此問題的一種解決方案是使用呈(舉例來說)矩形頂帽形式的經(jīng)塑形激光束。此些經(jīng)塑形束仍產(chǎn)生特定量的錐度，這是因為經(jīng)塑形激光束不具有完美塑形的面。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的實施例減小由激光處理或劃刻產(chǎn)生的切口的錐度。如上文所提及，典型激光處理產(chǎn)生漸縮切口。即，在沿切割路徑的任何給定點處，切口的底部寬度小于切口的頂部寬度。比較來說，本發(fā)明的實施例并入策略性激光定位以減小激光劃刻或切割的錐度。較直切割可減小切割后處理且由于切割的可預(yù)測性而最大化襯底中的面積的使用。本文中所教示的減小襯底中的激光劃刻的錐度的方法的一種方法包括:將激光束沿垂直于所述激光束的第一切割方向的第一方向瞄準(zhǔn)所述襯底的表面且使所述激光束相對于從所述襯底的所述表面垂直延伸的線以束傾斜角傾斜；將所述激光束沿垂直于所述激光束的所述第一切割方向的第二方向瞄準(zhǔn)所述襯底的所述表面且使所述激光束相對于從所述襯底的所述表面垂直延伸的所述線以所述束傾斜角傾斜；及通過以下操作在所述襯底的所述表面中形成單個劃刻線:在將所述激光束沿所述第一方向瞄準(zhǔn)的同時將所述激光束施加到所述襯底的所述表面且沿所述第一切割方向進行切割；及在將所述激光束沿所述第二方向瞄準(zhǔn)的同時將所述激光束施加 到所述襯底的所述表面且沿所述第一切割方向及與所述第一切割方向相反的第二切割方向中的一者進行切割。用于減小襯底中的激光劃刻的錐度的一種示范性設(shè)備包括:激光器；卡盤，其用于支撐所述襯底；束操縱光學(xué)器件，其經(jīng)配置以在使來自所述激光器的激光束相對于從所述襯底的表面垂直延伸的線以束傾斜角傾斜的同時將所述激光束沿垂直于所述激光束的第一切割方向的第一方向瞄準(zhǔn)所述襯底的所述表面，且經(jīng)配置以在使所述激光束相對于從所述襯底的所述表面垂直延伸的所述線以所述束傾斜角傾斜的同時將所述激光束沿垂直于所述激光束的所述第一切割方向的第二方向瞄準(zhǔn)所述襯底的所述表面；及控制器。所述控制器經(jīng)配置以通過以下操作在所述襯底的所述表面中形成單個劃刻線:在將所述激光束沿所述第一方向瞄準(zhǔn)的同時將所述激光束施加到所述襯底的所述表面且沿所述第一切割方向進行切割；及在將所述激光束沿所述第二方向瞄準(zhǔn)的同時將所述激光束施加到所述襯底的所述表面且沿所述第一切割方向及與所述第一切割方向相反的第二切割方向中的一者進行切割。下文更詳細地描述這些實施例及其它實施例中的細節(jié)及變化。


本文中的說明參考所附圖式，其中遍及數(shù)個視圖相同參考編號指代相同部件，且其中:圖1是包含由正方形束形成的切口的襯底的局部側(cè)視圖；圖2是根據(jù)本發(fā)明的教示處于兩個位置中的正方形束的示意性側(cè)視圖；圖3是形成單個劃刻線的激光的路徑的俯視圖，其中激光處理系統(tǒng)并入抖動；圖4是用于實施關(guān)于圖3所描述的方法的激光處理系統(tǒng)的示意性圖式；及圖5是用于修改圖4的激光處理系統(tǒng)以獲得本發(fā)明的其它實施例的結(jié)構(gòu)的示意性圖式；及圖6是圖5的結(jié)構(gòu)的可能修改的示意圖。
具體實施例方式首先參考圖1及2解釋用以解決因激光劃刻而形成的錐度的問題的一種獨特方法及設(shè)備。束10 (此處為正方形形狀或正方形束10)穿透襯底12達深度H。所得切口 14具有漸縮側(cè)壁16以使得切口 14的頂部處的寬度Wl比切口 14的底部處的寬度W2寬。對于本發(fā)明的實施例，襯底1 2的材料不關(guān)鍵但通常為非金屬及/或易碎的且可由多個層構(gòu)成。襯底12在本文中還稱作工件12。襯底12可為任何大小，但相對厚襯底12為約500 μ m到800 μ m,而相對薄襯底12小于100 μ m。已存在用于制作經(jīng)塑形束(例如正方形束)的已知技術(shù)。舉例來說，在2009年10月I日公布的讓與本發(fā)明的受讓人的美國專利公開案第2009/0245302A1號描述用于動態(tài)地產(chǎn)生經(jīng)修整的激光脈沖的方法及系統(tǒng)。在2002年8月13日發(fā)布的也讓與所述受讓人的美國專利第6，433，301號描述用于塑形激光脈沖的其它方法及系統(tǒng)。注意，在所展示的正方形束的典型輪廓中，束10的外邊緣18為漸縮的。因此，如果將束10重新定位以使得如圖2中所展示每一外邊緣18與襯底12更垂直，那么可實現(xiàn)較直側(cè)壁16。此在本文中稱作束傾斜。如從圖2可看出，在引入束傾斜的同時將束10維持于其相同束大小將使切口 14的總寬度增加超過切口 14的頂部處的所要寬度W1。如下文中額外詳細地描述，為實現(xiàn)特定切口寬度，必須根據(jù)用以實現(xiàn)較直側(cè)壁16的傾斜量減小束大小。此減小側(cè)壁16的錐度的技術(shù)因此提供較快處理速度的添加的益處，這是因為減小束大小增加流量。雖然本發(fā)明用正方形束10演示，但由具有其它形狀的束10造成的錐度問題也可借助本文中的教示解決。對束10進行定位以使用傾斜實現(xiàn)較直側(cè)壁16的一種方式涉及應(yīng)用如圖3中所展示的抖動技術(shù)。抖動涉及在沿軸線上方向移動束10的同時還沿交叉軸線方向迅速移動束
10。在圖3中，箭頭指示軸線上方向，軸線上方向還稱作切割方向。還展示束10的一個可能路徑20。注意，路徑20的遍次之間的間隔被放大，且大體來說所述路徑在各遍次之間變化甚小，這是因為束10通過其移動或通過襯底12的移動而沿切割方向移動。路徑20的外邊緣界定激光束10在襯底12中的所得劃刻線22。劃刻線22在此情形中沿y軸線延伸。圖4展示可用以實施關(guān)于圖3所描述的方法的激光處理系統(tǒng)40。激光處理系統(tǒng)40具有激光器42，激光器42可為固態(tài)纖維激光器或其它激光器，且取決于應(yīng)用而定。激光器42發(fā)射脈沖，激光脈沖光學(xué)器件44處理所述脈沖，取決于期望的激光參數(shù)，激光脈沖光學(xué)器件44可為簡單光學(xué)組件(例如透鏡)或含有時間或空間束塑形光學(xué)器件的復(fù)雜得多的組合件。在此實例中，期望經(jīng)塑形束，因此包含光圈及/或衍射光學(xué)器件。接著，所述激光脈沖由激光操縱光學(xué)器件46引導(dǎo)穿過可選場光學(xué)器件48到達襯底12。襯底12支撐于附接到運動載臺52的卡盤50上。在此實例中，運動載臺52由X軸線線性電機54及y軸線線性電機56控制。控制器58控制激光器42、激光脈沖光學(xué)器件44、操縱光學(xué)器件46且通過線性電機54、56控制運動載臺52以將脈沖激光束10引導(dǎo)到工件或襯底12。控制器58可為任何控制器，舉例來說，包含中央處理單元(CPU)、隨機存取存儲器(RAM)、只讀存儲器(ROM)及接收輸入信號并將命令信號發(fā)送到這些組件的輸入/輸出端口的微控制器。所述命令信號通?；诖鎯τ诖鎯ζ髦械木幊讨噶疃敵?，且所述編程指令中的每一者的功能通過CPU的邏輯執(zhí)行。各種組件可包含其自己的控制器，所述控制器沿通信路徑將數(shù)據(jù)傳輸?shù)阶鳛橹骺刂破鞯目刂破?8且傳輸來自控制器58的數(shù)據(jù)。此外，控制器58可并入到計算機(例如個人計算機)中?？刂破?8還可由一個或一個以上微處理器使用外部存儲器實施。任何數(shù)目個已知設(shè)計可用于運動載臺52。在此實例中，y軸線線性電機56沿軌道(未展示)移動卡盤50以制作劃刻線22，所述軌道沿y軸線定向。為制作沿X軸線的劃刻線，X軸線線性電機54將 沿軌道(未展示)移動卡盤50及包含軌道的運動載臺，所述軌道沿X軸線定向。替代所描述的布置，激光器42、激光脈沖光學(xué)器件44、操縱光學(xué)器件46及/或場光學(xué)器件48可安裝于可沿X軸線及I軸線(以及任選地，z軸線)中的一者移動的頭部中，而單個運動載臺52經(jīng)配置以使用(舉例來說)沿軌道移動卡盤50的線性電機沿X軸線及y軸線中的另一者移動。另一選擇為安裝支撐激光器42、激光脈沖光學(xué)器件44、操縱光學(xué)器件46及場光學(xué)器件48的頭部，以使得其可沿X軸線及y軸線(以及任選地，z軸線)中的每一者移動，而卡盤50安裝于固定底座上。在激光處理系統(tǒng)40中還可包含旋轉(zhuǎn)移動。束操縱光學(xué)器件46通常包含檢流計、快速操縱鏡、壓電裝置、電光調(diào)制器、聲光調(diào)制器等等。在束定位裝備(例如束操縱光學(xué)器件46)可提供相對快的定位的情形下，如關(guān)于圖3所描述的抖動是可能的。舉例來說，束操縱光學(xué)器件46的一個實施例可包含各自布置于X軸線及I軸線上的兩個基于檢流計的掃描儀(通常稱作“檢流計”)。每一檢流計包含三個主要組件:檢流計、鏡(或若干個鏡)及控制系統(tǒng)的伺服驅(qū)動板?；旧希瑱z流計沿相應(yīng)軸線布置，且使其相應(yīng)鏡以高速度左右旋轉(zhuǎn)，而不是沿一個方向連續(xù)自旋，因此提供左右激光路徑。檢流計往往用于具有在毫秒范圍內(nèi)的相對較長掃掠與響應(yīng)時間的應(yīng)用中。對于較小移動(例如具有在μ S量級上的響應(yīng)時間的低于100 μ m的移動)，通常一個或一個以上聲光偏轉(zhuǎn)器更優(yōu)選地用以實現(xiàn)抖動。其它實施例是可能的。舉例來說，束操縱光學(xué)器件46可包含可通過壓電致動器繞兩個軸線傾斜的單個鏡，如在2008年4月24日公布的美國專利公開案第2008/0093349A1中所描述，所述專利公開案讓與本申請案的受讓人。此實施例將比使用檢流計慢但在檢流計與聲光偏轉(zhuǎn)器之間的掃掠范圍下將更準(zhǔn)確。當(dāng)使用抖動實施一實施例時，并入聚焦、非遠心小透鏡作為場光學(xué)器件48為期望的。所需的束傾斜量越小，且因此在此實施例中所需的抖動量越小，控制越難。S卩，對于任何致動器，有效分辨率將限制解析小角的能力。舉例來說，當(dāng)切口寬度Wl在20 μ m到80 μ m之間且更特定來說40 μ m到45 μ m或更小之間時,取決于所用激光器,抖動量可在2μπι的范圍內(nèi)。因此，將抖動引入到激光定位中可為不可能的或不期望的。在此情形中，如圖2中所展示將束10定位到一側(cè)以沿一個方向切割且將束12重新定位到另一側(cè)以沿另一方向切割是可能的。如在包含抖動的實施例中，將必須減小束10的大小。圖5及6圖解說明可用以實施此技術(shù)的設(shè)備的實例。在圖5中，操縱光學(xué)器件46并入有兩個檢流計，所述檢流計經(jīng)安裝以用于在殼體60內(nèi)沿X軸線及ζ軸線移動其耦合鏡，如關(guān)于圖4所描述。用于所述兩個檢流計中的每一者的檢流計驅(qū)動器62在殼體60外部延伸。替代如先前所描述的抖動，這些檢流計引導(dǎo)束10穿過掃描透鏡64到達可調(diào)整傾斜鏡66。在此實例中，掃描透鏡64可期望地為遠心掃描透鏡。在此實施例中，省略圖4中的聚焦透鏡60。傾斜鏡66將束10瞄準(zhǔn)襯底12，以使得束傾斜相對于從襯底12的平面延伸的垂直線等于角α。雖然展示為安裝到其安裝組合件68的一側(cè)且與掃描透鏡64的中心偏離，但傾斜鏡66可在所述布置中居中。當(dāng)束10沿切割方向(此處沿y軸線)執(zhí)行其第一切割時，使沿關(guān)于圖5的左側(cè)壁16的錐度最小化。對于第二切割，數(shù)個選擇是可能的?？赏ㄟ^由控制器58控制的電機將襯底12旋轉(zhuǎn)180度。束傾斜保持等于角α，且當(dāng)束10沿原始切割方向或沿相反方向執(zhí)行其第二切割以加速處理時，使沿關(guān)于圖5的右側(cè)壁16的錐度最小化?；蛘?，傾斜鏡66可經(jīng)安裝以繞由掃描透鏡64界定的軸線旋轉(zhuǎn)移動，例如通過安裝組合件68進行旋轉(zhuǎn)。此旋轉(zhuǎn)移動將由控制器58控制或手動地執(zhí)行。在將組合件68旋轉(zhuǎn)180度之后，接著將束10重新引導(dǎo)到傾斜鏡66。雖然此選擇是可能的，但與移動襯底12相比，其可較不期望實施，這是因為需要添加旋轉(zhuǎn)傾斜鏡66的能力。此外，可需要調(diào)整襯底12及操縱光學(xué)器件46以及掃描透鏡64沿X軸線及/或y軸線的相對位置以形成具有所要寬度Wl的劃刻線22。雖然此實施例描述為可與小傾斜角一起使用，但其還可與相對大的傾斜角一起使用。執(zhí)行第二切割的另一選擇為利用其中組合件68為如圖6中所示意性地展示的U形的結(jié)構(gòu)。在此實例中，組合件68支撐經(jīng)傾斜以實現(xiàn)與所述U形的相對腿中的傾斜鏡66相同的束傾斜角α的第二傾斜鏡 70。此布置還可需要通過(舉例來說)在控制器58的控制下的X軸線線性電機54及y軸線線性電機56沿X軸線及/或y軸線調(diào)整襯底12及操縱光學(xué)器件46以及掃描透鏡64的相對位置，以形成具有所要寬度Wl的劃刻線22?？蓪嵤﹥杀樾纬蓜澘叹€22的另一可能結(jié)構(gòu)類似于圖5，只是省略了組合件68。通過控制檢流計驅(qū)動器62或殼體60中的其它束操縱組件故意將來自殼體60的束10瞄準(zhǔn)掃描透鏡64的非線性區(qū)(例如，其外邊緣)產(chǎn)生如束從掃描透鏡64射出的“傾斜”束10。由于在大多數(shù)應(yīng)用中需要束傾斜的小變化，因此單獨使用掃描透鏡64 (其中掃描透鏡64為遠心的)可與控制器58的控制組合地實現(xiàn)所要角。當(dāng)期望較大傾斜角時，可并入非遠心的掃描透鏡64以便利用所得束在通過透鏡64的邊緣時的額外的非線性。與其它實施例相同，可需要調(diào)整襯底12及操縱光學(xué)器件46以及掃描透鏡64沿X軸線及/或y軸線的相對位置以形成具有所要寬度Wl的劃刻線22。角α為所需束傾斜，以使得束10的邊緣與工件12更垂直以便實現(xiàn)如關(guān)于圖2所描述的切口 14中的較直側(cè)壁16。可以用于設(shè)定抖動的范圍或用于設(shè)定傾斜鏡66、70相對于激光處理系統(tǒng)10的其它組件的位置的一種以上方式確定角α。舉例來說且參考圖1，一種示范性方法為使用常規(guī)束10在具有與襯底12相同的性質(zhì)的測試襯底中制備測試劃刻。在本文中，當(dāng)提及測試襯底時，此還囊括襯底12的一不需要部分。在制備測試劃刻之后，側(cè)壁16相對于由測試襯底的表面界定的垂直線的斜度提供角β，角β為角α的良好參考。角β不完全與角α相關(guān)，由于束10相對于光學(xué)器件的定位的改變，所述角較大。因此，確定角α可為反復(fù)過程，在所述過程中，在測試襯底中測試可能的束傾斜且如果需要以角β開始，那么基于所得錐度調(diào)整可能的束傾斜。確定角α的另一方式為通過使束10成像或通過以數(shù)學(xué)方式建造束10的模型以便確定圖2中所展示的角Y來分析束10的束輪廓。角Y為束10的外邊緣18從束10所界定的正方形形狀逐漸變細所成的角。角Y比角β難測量或計算，但其也可提供角α的參考。同樣，與上文所描述的類似，可能需要反復(fù)過程。然而，如先前提及，由于引入了較大束傾斜，必須對應(yīng)地減小束10的大小(舉例來說，更特定來說，如圖3中所展示的其寬度或點大小)?？赏ㄟ^角α、切口 14所延伸到的深度H及切口 14的所要寬度Wl而以數(shù)學(xué)方式確定減小的量。已描述上文所描述的實施例，以便允許容易理解本發(fā)明，而非限制本發(fā)明。相反，本發(fā)明打算涵蓋所附權(quán)利要求書的精神及范圍內(nèi)所包含的各種修改及等效布置，所述范圍與最廣義的解釋一致 ，以便在法律的準(zhǔn)許下囊括所有此類修改及等效結(jié)構(gòu)。
權(quán)利要求
1.一種減小襯底中的激光劃刻的錐度的方法，其包括: 將激光束沿垂直于所述激光束的第一切割方向的第一方向瞄準(zhǔn)所述襯底的表面，且使所述激光束相對于從所述襯底的所述表面垂直延伸的線以束傾斜角傾斜； 將所述激光束沿垂直于所述激光束的所述第一切割方向的第二方向瞄準(zhǔn)所述襯底的所述表面，且使所述激光束相對于從所述襯底的所述表面垂直延伸的所述線以所述束傾斜角傾斜；及 通過以下操作在所述襯底的所述表面中形成單個劃刻線: 在將所述激光束沿所述第一方向瞄準(zhǔn)的同時將所述激光束施加到所述襯底的所述表面且沿所述第一切割方向進行切割；及 在將所述激光束沿所述第二方向瞄準(zhǔn)的同時將所述激光束施加到所述襯底的所述表面且沿所述第一切割方向及與所述第一切割方向相反的第二切割方向中的一者進行切割。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中將所述激光束沿所述第一方向瞄準(zhǔn)所述襯底的所述表面及將所述激光束沿所述第二方向瞄準(zhǔn)所述襯底的所述表面包括在沿所述第一方向的所述束傾斜角與沿所述第二方向的所述束傾斜角之間抖動所述激光束；且其中在所述襯底的所述表面中形成所述單個劃刻線包括僅沿所述第一切割方向進行切割。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在將所述激光束沿所述第二方向瞄準(zhǔn)的同時將所述激光束施加到所述襯底的所述表面且沿所述第一切割方向及與所述第一切割方向相反的第二切割方向中的一者進行切割包括:在將所述激光束沿所述第二方向瞄準(zhǔn)的同時將所述激光束施加到所述襯底的所述表面且沿所述第一切割方向進行切割。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述束傾斜角為足以產(chǎn)生所述單個劃刻線的大體上垂直側(cè)壁的角。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其進一步包括: 確定所述束傾斜角。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中確定所述束傾斜角包括: 使用所述激光束在測試襯底的表面中鉆出測試劃刻線，所述激光束沿從所述測試襯底的所述表面垂直延伸的線瞄準(zhǔn)； 測量所述測試劃刻線的側(cè)壁的錐度角 '及 使用所述錐度角作為所述束傾斜角來處理所述襯底。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其進一步包括: 在將所述激光束沿所述第一方向或所述第二方向中的至少一者瞄準(zhǔn)且使所述激光束相對于從所述測試襯底的所述表面垂直延伸的所述線以所述錐度角傾斜的同時在所述測試襯底的所述表面中切割第二切口線；及 在使用所述錐度角作為所述束傾斜角來處理所述襯底之前調(diào)整所述錐度角，所述調(diào)整基于所述第二切口線的側(cè)壁的角。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中確定所述束傾斜角包括: 確定所述激光束的錐度角；及 使所述束傾斜角基于所述錐度角。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在將所述激光束沿所述第一方向瞄準(zhǔn)的同時將所述激光束施加到所述襯底的所述表面且沿所述第一切割方向進行切割包括:在沿所述第一方向從所述單個劃刻線的開始進行切割直到到達所述單個劃刻線的末尾為止的同時使所述激光束維持相對于從所述襯底的所述表面垂直延伸的所述線成所述束傾斜角，所述方法進一步包括: 在到達所述單個劃刻線的所述末尾之后切換所述激光束的位置以將所述激光束沿所述第二方向瞄準(zhǔn)所述襯底的所述表面；其中在將所述激光束沿所述第二方向瞄準(zhǔn)的同時將所述激光束施加到所述襯底的所述表面且沿所述第一切割方向及所述第二切割方向中的一者進行切割包括:在沿所述第二方向從所述單個劃刻線的所述末尾進行切割直到到達所述單個劃刻線的所述開始為止的同時使所述激光束維持相對于從所述襯底的所述表面垂直延伸的所述線成所述束傾斜角。
10.一種用于減小襯底中的激光劃刻的錐度的設(shè)備，其包括: 激光器； 卡盤，其用于支撐所述襯底； 束操縱光學(xué)器件，其經(jīng) 配置以在使來自所述激光器的激光束相對于從所述襯底的表面垂直延伸的線以束傾斜角傾斜的同時將所述激光束沿垂直于所述激光束的第一切割方向的第一方向瞄準(zhǔn)所述襯底的所述表面，且經(jīng)配置以在使所述激光束相對于從所述襯底的所述表面垂直延伸的所述線以所述束傾斜角傾斜的同時將所述激光束沿垂直于所述激光束的所述第一切割方向的第二方向瞄準(zhǔn)所述襯底的所述表面；及 控制器，其經(jīng)配置以通過以下操作在所述襯底的所述表面中形成單個劃刻線: 在將所述激光束沿所述第一方向瞄準(zhǔn)的同時將所述激光束施加到所述襯底的所述表面且沿所述第一切割方向進行切割；及 在將所述激光束沿所述第二方向瞄準(zhǔn)的同時將所述激光束施加到所述襯底的所述表面且沿所述第一切割方向及與所述第一切割方向相反的第二切割方向中的一者進行切割。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的設(shè)備，其進一步包括: 線性電機，其機械耦合到所述卡盤；其中所述控制器經(jīng)配置以通過控制所述線性電機以沿由所述第一切割方向及所述第二切割方向界定的軸線移動來形成所述單個劃刻線。
12.根據(jù)權(quán)利要求10或權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其中所述束操縱光學(xué)器件包括至少一個檢流計。
13.根據(jù)權(quán)利要求10或權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其中所述束操縱光學(xué)器件包括: 殼體，其支撐束操縱組件； 組合件，其支撐傾斜鏡； 掃描透鏡，其安裝于所述殼體上位于所述殼體與所述組合件之間，所述束操縱組件經(jīng)配置以將來自所述激光器的所述激光束引導(dǎo)到所述掃描透鏡且使所述傾斜鏡成角度以便將所述激光束從所述掃描透鏡引導(dǎo)到所述襯底。
全文摘要
本發(fā)明描述用于減小襯底中的激光劃刻的錐度的方法及設(shè)備。一種方法包含將激光束沿垂直于所述束的第一切割方向的第一方向瞄準(zhǔn)所述襯底的表面，且將其沿垂直于所述第一切割方向的第二方向瞄準(zhǔn)所述表面。在每一位置中，使所述激光束相對于垂直于所述表面的線以束傾斜角傾斜。通過以下操作在所述表面中形成單個劃刻線在將所述激光束沿所述第一方向瞄準(zhǔn)的同時將所述激光束施加到所述表面且沿所述第一切割方向進行切割，及在將所述激光束沿所述第二方向瞄準(zhǔn)的同時將所述激光束施加到所述表面且沿所述第一切割方向及與所述第一切割方向相反的第二切割方向中的一者進行切割。
文檔編號B23K26/38GK103228396SQ201180057090
公開日2013年7月31日 申請日期2011年10月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月30日
發(fā)明者詹姆士·N·歐布萊恩, 喬瑟夫·G·法蘭柯爾 申請人:電子科學(xué)工業(yè)有限公司