專利名稱：薄膜太陽能電池飛秒激光刻蝕設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種激光刻蝕設(shè)備，特別是ー種薄膜太陽能電池飛秒激光刻蝕設(shè)備。
背景技術(shù)：
飛秒激光是ー種以脈沖形式運(yùn)轉(zhuǎn)的激光，持續(xù)時間非常短，只有幾個飛秒，ー飛秒就是10的負(fù)15次方秒，也就是1/1000萬億秒，它比利用電子學(xué)方法所獲得的最短脈沖要短幾千倍，飛秒激光的具有非常高的瞬時功率，可達(dá)到百萬億瓦，它能聚焦到比頭發(fā)的直徑還要小的空間區(qū)域，使電磁場的強(qiáng)度比原子核對其周圍電子的作用力還要高數(shù)倍。鑒于飛秒激光的突出特點，它在物理學(xué)、生物學(xué)、化學(xué)控制反應(yīng)、光通訊、精細(xì)加工等領(lǐng)域中得到了廣泛應(yīng)用。近年來，我國的太陽能電池產(chǎn)業(yè)發(fā)展極快，太陽能發(fā)電量以毎年30%的速度遞增， 太陽能產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展必然要求相關(guān)生產(chǎn)設(shè)備的升級和エ藝的改迸。以玻璃為襯底的非晶硅薄膜太陽能電池的生產(chǎn)流程主要包括清洗、成膜和激光刻蝕。其中，激光刻蝕是薄膜太陽能電池生產(chǎn)過程中最重要的エ藝過程之一，激光刻蝕設(shè)備也是電池生產(chǎn)過程中最關(guān)鍵的設(shè)備之一。但薄膜太陽能電池是ー個新興產(chǎn)業(yè)中的最新技術(shù)，能夠提供激光蝕刻設(shè)備的供應(yīng)商不多，僅有如美國Applied Materials、日本真空、瑞士歐瑞康等少數(shù)公司能提供一整套的生產(chǎn)設(shè)備。我國雖然對薄膜太陽能電池的生產(chǎn)設(shè)備的研制有所關(guān)注，也有ー些公司研制了ー些激光劃線的設(shè)備，但是還沒有對量產(chǎn)薄膜太陽能電池的生產(chǎn)裝備開始有效的研發(fā)。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明目的針對上述問題，本發(fā)明的目的是提供ー種薄膜太陽能電池飛秒激光刻蝕設(shè)備，以滿足エ業(yè)化生產(chǎn)的需要。技術(shù)方案ー種薄膜太陽能電池飛秒激光刻蝕設(shè)備，包括激光發(fā)射器、光路傳輸器、光束整形器、成像器、監(jiān)控器、控制器、操作平臺，所述激光發(fā)射器向太陽能材料背面發(fā)射光線，所述光路傳輸器控制光線的傳輸，所述光束整形器調(diào)整瞬時光線的均勻度，所述成像器顯示刻蝕結(jié)果，所述監(jiān)控器對刻蝕過程全程在線監(jiān)控記錄，所述控制器對刻蝕自動化控制，所述操作平臺供放置太陽能材料。所述激光發(fā)射器為多光束激光發(fā)射，將單束激光等分成若干束平行的激光光束實現(xiàn)多束激光同時刻蝕，成倍地提高刻蝕效率。所述激光發(fā)射器為單模綠光激光發(fā)射器。所述控制器帶有操作面板，顯示所有操作選項，操作控制集成度高，操作方便。所述操作平臺能夠翻轉(zhuǎn)，滿足加工時的翻轉(zhuǎn)要求。 有益效果與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點是設(shè)備自動化程度高，整套設(shè)備滿足大幅面、跨尺度、高速制造能力，多光束激光發(fā)射提高了刻蝕能量供給，加工效率提高。
具體實施例方式下面結(jié)合具體實施例，進(jìn)一步闡明本發(fā)明，應(yīng)理解這些實施例僅用于說明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍，在閱讀了本發(fā)明之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員對本發(fā)明的各種等價形式的修改均落于本申請所附權(quán)利要求所限定的范圍。 一種薄膜太陽能電池飛秒激光刻蝕設(shè)備，包括激光發(fā)射器、光路傳輸器、光束整形器、成像器、監(jiān)控器、控制器、操作平臺。激光發(fā)射器向太陽能材料背面發(fā)射光線，激光發(fā)射器為多光束、單模綠光激光發(fā)射；光路傳輸器控制光線的傳輸；光束整形器調(diào)整瞬時光線的均勻度；成像器顯示刻蝕結(jié)果；監(jiān)控器對刻蝕過程全程在線監(jiān)控記錄；控制器對刻蝕自動化控制，控制器帶有操作面板，顯示所有操作選項；操作平臺供放置太陽能材料，并且能夠自動翻轉(zhuǎn)。
權(quán)利要求
1.一種薄膜太陽能電池飛秒激光刻蝕設(shè)備，其特征在于包括激光發(fā)射器、光路傳輸器、光束整形器、成像器、監(jiān)控器、控制器、操作平臺，所述激光發(fā)射器向太陽能材料背面發(fā)射光線，所述光路傳輸器控制光線的傳輸，所述光束整形器調(diào)整瞬時光線的均勻度，所述成像器顯示刻蝕結(jié)果，所述監(jiān)控器對刻蝕過程全程在線監(jiān)控記錄，所述控制器對刻蝕自動化控制，所述操作平臺供放置太陽能材料。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的薄膜太陽能電池飛秒激光刻蝕設(shè)備，其特征在于所述激光發(fā)射器為多光束激光發(fā)射。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的薄膜太陽能電池飛秒激光刻蝕設(shè)備，其特征在于所述激光發(fā)射器為單模綠光激光發(fā)射器。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的具有備用電充電功能的太陽能發(fā)電系統(tǒng)，其特征在于所述控制器帶有操作面板，顯示所有操作選項。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的薄膜太陽能電池飛秒激光刻蝕設(shè)備，其特征在于所述操作平臺能夠翻轉(zhuǎn)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種薄膜太陽能電池飛秒激光刻蝕設(shè)備，包括激光發(fā)射器、光路傳輸器、光束整形器、成像器、監(jiān)控器、控制器、操作平臺，所述激光發(fā)射器向太陽能材料背面發(fā)射光線，所述光路傳輸器控制光線的傳輸，所述光束整形器調(diào)整瞬時光線的均勻度，所述成像器顯示刻蝕結(jié)果，所述監(jiān)控器對刻蝕過程全程在線監(jiān)控記錄，所述控制器對刻蝕自動化控制，所述操作平臺供放置太陽能材料。本發(fā)明的優(yōu)點是設(shè)備自動化程度高，整套設(shè)備滿足大幅面、跨尺度、高速制造能力，多光束激光發(fā)射提高了刻蝕能量供給，加工效率提高。
文檔編號B23K26/36GK102626831SQ20121010079
公開日2012年8月8日 申請日期2012年4月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月9日
發(fā)明者景超 申請人:鎮(zhèn)江大成新能源有限公司