專利名稱：一種加工雙面ito玻璃的紫外激光刻蝕裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及激光加工領(lǐng)域，特別涉及一種紫外激光刻蝕雙面ITO玻璃激光刻 蝕加工裝置。
背景技術(shù)：
[0002]是銦錫氧化物的英文縮寫，它是一種透明的導(dǎo)電體，通常厚度只有幾千埃，在所有 在透明導(dǎo)電體中，其具有優(yōu)良的物理性能高的可見光透過率，高的紅外反射率，良好的機(jī) 械強(qiáng)度和化學(xué)穩(wěn)定性，用酸溶液等濕法刻蝕工藝能很容易形成一定的電極圖形，制備相對(duì) 比較容易等，這使它廣泛應(yīng)用于各種電子及光電子器件，如手機(jī)和電腦等平板顯示領(lǐng)域。傳 統(tǒng)的雙面ITO玻璃采用濕刻方式制作電極圖形，工序繁多，刻蝕后產(chǎn)生的廢水需要進(jìn)一步 處理，同時(shí)也容易形成煙霧廢氣等環(huán)境污染物，進(jìn)一步處理工藝也會(huì)繁雜。而采用紫外激光 刻蝕雙面ITO玻璃，靈活性高，工序簡單，且無任何后續(xù)廢水廢氣產(chǎn)生。本專利用于說明采 用紫外激光刻蝕雙面ITO玻璃的一種設(shè)備.[0003]本專利提出一種加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置，可以很好的解決以上傳 統(tǒng)工藝帶來的問題。實(shí)用新型內(nèi)容[0004]有鑒于此，需要克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷中的至少一個(gè)。本實(shí)用新型提供了一 種加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置，所述加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置包 括紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)，所述紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)包括能量衰減部件、掃描部件，所述 能量衰減部件用于激光束能量調(diào)節(jié)，所述掃描部件用于對(duì)雙面ITO玻璃進(jìn)行掃描；和支撐 機(jī)構(gòu)，所述支撐機(jī)構(gòu)包括上支撐機(jī)構(gòu)和下支撐機(jī)構(gòu)，所述上下支撐機(jī)構(gòu)各包含有所述紫外 激光光路加工機(jī)構(gòu)；和激光器。本實(shí)用新型提出的一種加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕 裝置較好的解決了目前傳統(tǒng)工藝加工雙面ITO玻璃的常見問題。[0005]加工雙面ITO玻璃原理描述如下，如圖1所示，激光刻蝕單面ITO膜玻璃時(shí)，當(dāng)紫 外激光的功率Pd大于ITO膜的刻蝕功率閾值Pdmin時(shí)，可以將玻璃表面的ITO膜除掉；而 刻蝕雙面鍍有ITO膜的玻璃時(shí)，激光束的功率密度則需要大于最小功率閾值Pdmin，且小于 最大功率閾值Pdmax時(shí)，由于紫外激光具有能量集中，影響區(qū)小的特點(diǎn)，可以減少廢水廢氣 的產(chǎn)生，同時(shí)具有操作過程簡便，更宜于控制等優(yōu)點(diǎn)。[0006]同時(shí)，構(gòu)成所述紫外激光刻蝕裝置的所述紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)還可以包括安全 部件，所述安全部件起到一定的安全防護(hù)作用。所述下支撐機(jī)構(gòu)還包括工作臺(tái)和基座，所述 工作臺(tái)可以在X、Y向運(yùn)動(dòng)，便于對(duì)加工部件，如ITO玻璃，進(jìn)行加工。[0007]根據(jù)本實(shí)用新型提供的一種加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置，所述加紫外 激光刻蝕裝置包括紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)，所述紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)包括能量衰減部 件、掃描部件，所述能量衰減部件用于激光束能量調(diào)節(jié)，所述掃描部件用于對(duì)雙面ITO玻璃 進(jìn)行掃描；和支撐機(jī)構(gòu)，所述支撐機(jī)構(gòu)包括上支撐機(jī)構(gòu)和下支撐機(jī)構(gòu)，所述上下支撐機(jī)構(gòu)各包含有所述紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)；和激光器。[0008]進(jìn)一步地，所述能量調(diào)節(jié)部件為能量衰減器或者布儒斯特鏡。[0009]可選地，所述掃描部件包括動(dòng)態(tài)聚焦鏡或振鏡。[0010]優(yōu)選地，所述掃描部件包括動(dòng)態(tài)聚焦鏡和振鏡。[0011]優(yōu)選地，所述紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)還包括安全部件。[0012]進(jìn)一步地，所述安全部件為光閘。[0013]優(yōu)選地，所述紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)可以包括分光部件、反射部件，形成共用一臺(tái)激光器的兩套光路，形成的兩套光路機(jī)構(gòu)可以大大提升加工效率和速度，具有更加高效的特點(diǎn)。[0014]可選地，所述上支撐機(jī)構(gòu)為龍門結(jié)構(gòu)。[0015]進(jìn)一步地，所述下支撐機(jī)構(gòu)包括基座和工作臺(tái)。[0016]更進(jìn)一步地，所述工作臺(tái)包括X、Y向運(yùn)動(dòng)部件，所述Χ、Υ向運(yùn)動(dòng)部件可載所述工作臺(tái)作處于工作臺(tái)平面上的運(yùn)動(dòng)。[0017]進(jìn)一步優(yōu)選地，所述工作臺(tái)還含吸附孔，所述吸附孔提供將雙面ITO玻璃固定的吸力。[0018]進(jìn)一步地，所述激光器為紫外激光器，所述激光器頻率為1(Γ300ΚΗζ，功率為 O. 2 25W。[0019]更進(jìn)一步地，所述激光器為ΙΟΟΚΗζ，功率0. 5W的紫外激光器。[0020]本實(shí)用新型附加的方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實(shí)用新型 的實(shí)踐了解到。


[0021]本實(shí)用新型的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從
以下結(jié)合附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中[0022]圖1顯示了單面ITO玻璃刻蝕原理示意圖；[0023]圖2顯示了雙面ITO玻璃刻蝕原理示意圖；[0024]圖3顯示了本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的正視示意圖；[0025]圖4顯示了本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的側(cè)視示意圖；[0026]圖5顯示了本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的光路結(jié)構(gòu)示意圖；[0027]圖1中，4為ITO玻璃，41為ITO玻璃上表面薄膜，6為激光束，Pd為激光的功率， Pdmin為ITO膜的刻蝕最小功率閾值；[0028]圖2中，42為ITO玻璃下表面薄膜，Pdmax為ITO膜的刻蝕最小功率閾值；[0029]圖3、圖4中，I為下支撐機(jī)構(gòu)，11為基座，12位工作臺(tái)，121為工作臺(tái)支撐部分，122 為X、Y向運(yùn)動(dòng)部件，2為上支撐機(jī)構(gòu)，此實(shí)施例中為龍門結(jié)構(gòu)，3為等功率分布整形光路機(jī)構(gòu)；[0030]圖5中，5為激光器，31為擴(kuò)束鏡，32、34為反射鏡，33為分光鏡，331、341為光閘， 332,342為能量衰減器，333、343位動(dòng)態(tài)聚焦鏡，334、344為振鏡；具體實(shí)施方式
[0031]下面詳細(xì)描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本實(shí)用新型，而不能解釋為對(duì)本實(shí)用新型的限制。[0032]在實(shí)用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語“上”、“下”、“前”、“后”、“內(nèi)”、“外”、“X向”、“Y向”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。[0033]在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“安置”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，一體地連接，也可以是可拆卸連接；可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連， 對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實(shí)用新型中的具體含義[0034]下面將參照附圖來描述本實(shí)用新型的采用方光斑刻蝕雙面ITO玻璃的刻蝕裝置， 其中圖1、圖2為ITO玻璃加工原理示意圖，圖3、圖4為本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的刻蝕裝置正視及側(cè)視不意圖，圖5為本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的光路不意圖。[0035]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置，包括紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)3 (如圖3、圖4所示),所述紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)3包括能量衰減部件332、342 (如圖6所示)，掃描部件333、343、334、344 (如圖6所示)，所述能量衰減部件332、342用于激光束能量調(diào)節(jié)，所述掃描部件333、343、334、344用于對(duì)雙面ITO玻璃進(jìn)行掃描；和支撐機(jī)構(gòu)1，所述支撐機(jī)構(gòu)I包括上支撐機(jī)構(gòu)11和下支撐機(jī)構(gòu)12，所述上下支撐機(jī)構(gòu)11、12各包含有所述紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)3 ;和激光器5 (如圖6所示)。[0036]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述能量調(diào)節(jié)部件332、342可根據(jù)不同規(guī)格的 ITO玻璃4改變激光束5的能量， 以獲得合理的加工參數(shù)值。[0037]優(yōu)選地，所述能量調(diào)節(jié)部件332、342為能量衰減器或者布儒斯特鏡。[0038]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述掃描部件包括動(dòng)態(tài)聚焦鏡334、344或振鏡 335,345ο[0039]優(yōu)選地，所述掃描部件可以是334、344和振鏡335、345組合。[0040]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)3包括安全部件331、 341。[0041]優(yōu)選地，其特征在于，所述安全部件331、341為光閘。[0042]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)3可以包括分光部件 32,34和反射部件33，形成共用一臺(tái)激光器的兩套光路，如圖6所示。[0043]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，優(yōu)選地，所述上支撐機(jī)構(gòu)2為龍門結(jié)構(gòu)。[0044]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，進(jìn)一步地，所述下支撐機(jī)構(gòu)I包括基座11和工作臺(tái)12。[0045]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，更進(jìn)一步地，所述工作臺(tái)12包括X、Y向運(yùn)動(dòng)部件 122，所述Χ、Υ向運(yùn)動(dòng)部件122可載所述工作臺(tái)12作處于工作臺(tái)平面上的運(yùn)動(dòng)。[0046]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，進(jìn)一步地，所述激光器5為紫外激光器。[0047]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，進(jìn)一步地，述激光器為紫外激光器，所述激光器頻率為10 300ΚΗζ，功率為O. 2 25W。[0048]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，更進(jìn)一步地，所述激光器為IOOKHz，功率0. 5W的紫外激光器。[0049]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，在加工過程中，附有ITO玻璃上、下表面薄膜41、 42的雙面ITO玻璃4放置在下支撐機(jī)構(gòu)I中的上，而上下支撐機(jī)構(gòu)1、2上安裝的紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)3對(duì)置于工作臺(tái)121之上在由X、Y向運(yùn)動(dòng)部件122帶動(dòng)的ITO玻璃上下表面薄膜41、42進(jìn)行加工處理，激光束6由激光器5發(fā)出可經(jīng)由單一結(jié)構(gòu)的一套紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)3形成的激光束， 具體過程如下，激光束6從激光器5射出，經(jīng)光閘331或341，再進(jìn)入能量衰減器332或342進(jìn)行能量調(diào)節(jié)進(jìn)而形成所根據(jù)加工不同規(guī)格的ITO玻璃薄膜需要的能量值，最終進(jìn)入動(dòng)態(tài)聚焦鏡333或343，直至進(jìn)入振鏡334或344，對(duì)待加工ITO玻璃 4進(jìn)行加工處理。[0050]根據(jù)本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例，激光束6由激光器5發(fā)出可經(jīng)由擴(kuò)束鏡31進(jìn)行擴(kuò)束，再進(jìn)入分光鏡33將激光束一分為二，進(jìn)入兩套紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)3形成的激光束，為了更合理的利用空間，光路過程中可以增加反射鏡32，在激光束被擴(kuò)束之后，對(duì)其進(jìn)行反射進(jìn)入分光鏡33，當(dāng)然反射鏡32的作用是為了更合理的利用空間，而另一束激光束則經(jīng)反射鏡34進(jìn)入同樣的紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)3，如圖6所示，具體過程如下，激光束6從激光器5射出，經(jīng)擴(kuò)束鏡31經(jīng)反射鏡32，由分光鏡33將激光束一分為二，分別進(jìn)入兩套紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)3，一束經(jīng)光閘331，再進(jìn)入能量衰減器332進(jìn)行能量調(diào)節(jié)進(jìn)而形成所根據(jù)加工不同規(guī)格的ITO玻璃薄膜需要的能量值，最終進(jìn)入動(dòng)態(tài)聚焦鏡333，直至進(jìn)入振鏡 334，對(duì)待加工ITO玻璃4進(jìn)行加工處理；另一束經(jīng)反光鏡34進(jìn)入同樣的紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)3，經(jīng)光閘341，再進(jìn)入能量衰減器342進(jìn)行同樣的能量調(diào)節(jié)，最終進(jìn)入動(dòng)態(tài)聚焦鏡 343，直至進(jìn)入振鏡344，對(duì)待加工ITO玻璃4進(jìn)行加工處理。[0051]由本實(shí)用新型公開的一種加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置，可以形成能量集中的激光束，對(duì)雙面ITO玻璃的加工品質(zhì)和加工效率有著非常的效果。[0052]任何提及“ 一個(gè)實(shí)施例”、“實(shí)施例”、“示意性實(shí)施例”等意指結(jié)合該實(shí)施例描述的具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)包含于本實(shí)用新型的至少一個(gè)實(shí)施例中。在本說明書各處的該示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例。而且，當(dāng)結(jié)合任何實(shí)施例描述具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)時(shí)，所主張的是，結(jié)合其他的實(shí)施例實(shí)現(xiàn)這樣的構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)均落在本領(lǐng)域技術(shù)人員的范圍之內(nèi)。[0053]盡管參照本實(shí)用新型的多個(gè)示意性實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
進(jìn)行了詳細(xì)的描述，但是必須理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以設(shè)計(jì)出多種其他的改進(jìn)和實(shí)施例，這些改進(jìn)和實(shí)施例將落在本實(shí)用新型原理的精神和范圍之內(nèi)。具體而言，在前述公開、附圖以及權(quán)利要求的范圍之內(nèi)，可以在零部件和/或者從屬組合布局的布置方面作出合理的變型和改進(jìn)，而不會(huì)脫離本實(shí)用新型的精神。除了零部件和/或布局方面的變型和改進(jìn)，其范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。
權(quán)利要求1.一種加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置，包括 紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)，所述紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)包括能量衰減部件、掃描部件，所述能量衰減部件用于激光束能量調(diào)節(jié)，所述掃描部件用于對(duì)雙面ITO玻璃進(jìn)行掃描； 和支撐機(jī)構(gòu)，所述支撐機(jī)構(gòu)包括上支撐機(jī)構(gòu)和下支撐機(jī)構(gòu)，所述上下支撐機(jī)構(gòu)各包含有所述紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)； 和激光器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述能量調(diào)節(jié)部件包括能量衰減器或者布儒斯特鏡。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述掃描部件包括動(dòng)態(tài)聚焦鏡或振鏡。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述掃描部件包括動(dòng)態(tài)聚焦鏡和振鏡。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)還包括安全部件。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述安全部件為光閘。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)可以包括分光部件、反射部件，形成共用一臺(tái)激光器的兩套光路。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述上支撐機(jī)構(gòu)為龍門結(jié)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述下支撐機(jī)構(gòu)包括基座和工作臺(tái)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述工作臺(tái)包括X、Y向運(yùn)動(dòng)部件，所述X、Y向運(yùn)動(dòng)部件可載所述工作臺(tái)作處于工作臺(tái)平面上的運(yùn)動(dòng)。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的紫外激光刻蝕裝置，其特征在于，所述工作臺(tái)還含吸附孔，所述吸附孔提供將雙面ITO玻璃固定的吸力。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的刻蝕裝置，其特征在于，所述激光器為紫外激光器，所述激光器頻率為l(T300KHz，功率為0. 2 25W。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的刻蝕裝置，其特征在于，所述激光器為lOOKHz，功率0.5W的紫外激光器。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種加工雙面ITO玻璃的紫外激光刻蝕裝置，可以使用紫外激光將照射部位薄膜去除,達(dá)到對(duì)雙面ITO玻璃的加工目的,本實(shí)用新型公開的刻蝕裝置包括支撐機(jī)構(gòu)和紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)，所述支撐機(jī)構(gòu)包括上支撐裝置和下支撐裝置，所述上下支撐裝置各包含一套紫外激光光路加工機(jī)構(gòu)，用于提供加工雙面ITO玻璃的紫外激光束，同時(shí)所述紫外激光刻蝕裝置還包括吸附孔，提供固定雙面ITO玻璃的吸附力。
文檔編號(hào)B23K26/40GK202825013SQ20122048242
公開日2013年3月27日 申請(qǐng)日期2012年9月21日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月21日
發(fā)明者魏志凌, 寧軍, 高永強(qiáng) 申請(qǐng)人:昆山思拓機(jī)器有限公司