激光加工機(jī)的清掃工具及具備該清掃工具的激光加工的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種激光加工機(jī)的清掃工具。使噴嘴的清掃作業(yè)簡(jiǎn)單化。如果通過(guò)清掃用壓力缸（11）而活塞桿（12）伸長(zhǎng)、將前端的清掃頭（13）的導(dǎo)引罩（13b）向加工頭（2）的噴嘴（29a）碰抵，則噴嘴（29a）前端向?qū)б郑?3b）的定位孔（13b2）內(nèi)嵌入。由此，如果在定位孔（13b2）中插通清掃鉆（10A），則成為清掃鉆（10A）插入到噴嘴（29a）的前端的開(kāi)口部?jī)?nèi)的關(guān)系，所以作業(yè)者不需要進(jìn)行將極細(xì)的棒狀部件（清掃鉆（10A））向較小的孔（噴嘴（29a）的前端的開(kāi)口部）中插入的作業(yè)。由此，能夠簡(jiǎn)單地進(jìn)行通過(guò)清掃鉆（10A）對(duì)噴嘴（29a）的清掃作業(yè)。
【專利說(shuō)明】
激光加工機(jī)的清掃工具及具備該清掃工具的激光加工機(jī)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及激光加工機(jī)的清掃工具及具備該清掃工具的激光加工機(jī)，是能夠使噴嘴的清掃作業(yè)簡(jiǎn)單化的裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]激光切斷裝置是對(duì)金屬板的被加工物照射聚光的激光、并噴射輔助氣體AG而進(jìn)行高精度高品質(zhì)的微細(xì)切斷的激光加工機(jī)。圖9是表示以往的激光加工機(jī)100的剖視圖，夾著被加工物W，在上方配置有加工頭101，在下方配置有加工臺(tái)102。
[0003]在該激光加工機(jī)100中，激光從未圖示的激光振蕩器向加工頭101內(nèi)的聚光透鏡103入射，由該聚光透鏡103聚光的激光被從加工頭101的噴嘴112的開(kāi)口部照射在被加工物W上。并且，對(duì)于聚光透鏡103的下方將輔助氣體AG施加壓力而供給，在加工時(shí)，將該輔助氣體AG從噴嘴112向被加工物W的加工部位集中地噴吹。由此，通過(guò)激光加工產(chǎn)生的浮渣或?yàn)R渣等熔融物被輔助氣體吹跑，所以能夠抑制向被加工物的附著。
[0004]被輔助氣體AG吹跑的浮渣或?yàn)R渣等熔融物有附著到噴嘴112上的情況，但如果上述熔融物附著到噴嘴112上，則發(fā)生因噴嘴112的孔眼堵塞造成的加工不良。由此，為了防止因噴嘴112的孔眼堵塞造成的加工不良，需要噴嘴112的定期的清掃。
[0005]噴嘴112的定期的清掃通過(guò)使用具有棒狀的清掃鉆的清掃工具由作業(yè)者的手動(dòng)進(jìn)行。即，作業(yè)者將清掃鉆插入到噴嘴112的前端的開(kāi)口部中，通過(guò)用該插入的清掃鉆將上述熔融物削掉，進(jìn)行噴嘴的清掃。
[0006]專利文獻(xiàn)1:特開(kāi)2002 - 79390號(hào)公報(bào)但是，由于噴嘴的前端的開(kāi)口部是直徑為0.6mm左右的很小的孔，清掃鉆是直徑為
0.5mm左右的很細(xì)的棒狀部件，所以向噴嘴的前端的開(kāi)口部(很小的孔)插入清掃鉆(很細(xì)的棒狀部件)的作業(yè)對(duì)于作業(yè)者而言成為麻煩的作業(yè)。結(jié)果，有在噴嘴的清掃作業(yè)中花費(fèi)工夫的問(wèn)題。
[0007]此外，如果作為很細(xì)的棒狀部件的清掃鉆與噴嘴的前端部干涉，則清掃鉆有可能損壞，所以作業(yè)者必須對(duì)其操作提起充分的注意以使清掃鉆不損壞。結(jié)果，有在噴嘴的清掃作業(yè)中花費(fèi)工夫的問(wèn)題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明是為了解決上述問(wèn)題而做出的，目的是提供一種能夠使噴嘴的清掃作業(yè)簡(jiǎn)單化的激光加工機(jī)的清掃工具及具備該清掃工具的激光加工機(jī)。
[0009]為了達(dá)到該目的，本發(fā)明的第I方式的激光加工機(jī)的清掃工具，在具備具有噴嘴的加工頭的激光加工機(jī)中使用，將上述噴嘴清掃，所述噴嘴向?qū)Ρ患庸の锏募す獾恼丈洳糠謬姵鲚o助氣體，所述激光加工機(jī)的清掃工具具備:棒狀的清掃鉆，插入到上述噴嘴的前端的開(kāi)口部?jī)?nèi)；導(dǎo)引罩，具有定位孔，形成為在上述清掃鉆的長(zhǎng)度方向上與上述噴嘴離開(kāi)的一側(cè)開(kāi)口的杯狀，所述定位孔在與上述噴嘴的前端對(duì)置配置的上表面上穿通，上述噴嘴的前端進(jìn)入到所述定位孔中；鉆支架，收容在該導(dǎo)引罩中，保持上述清掃鉆；彈性部件，夾設(shè)在該鉆支架及上述導(dǎo)弓I罩之間，將上述鉆支架相對(duì)于上述導(dǎo)弓I罩彈性支承；構(gòu)成為，在上述噴嘴的前端進(jìn)入到上述定位孔中的狀態(tài)下，克服上述彈性部件的彈性力使上述鉆支架相對(duì)于上述導(dǎo)引罩在上述清掃鉆的長(zhǎng)度方向上向上述噴嘴側(cè)移動(dòng)，由此將上述清掃鉆通過(guò)上述定位孔向上述噴嘴的前端的開(kāi)口部?jī)?nèi)插入。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的第I方式的激光加工機(jī)的清掃工具，在具備具有噴嘴的加工頭的激光加工機(jī)中使用，將上述噴嘴清掃，所述噴嘴向?qū)Ρ患庸の锏募す獾恼丈洳糠謬姵鲚o助氣體，或者根據(jù)本發(fā)明的第2方式的激光加工機(jī)，具備加工頭，所述加工頭具有向?qū)Ρ患庸の锏募す獾恼丈洳糠謬姵鲚o助氣體的噴嘴，棒狀的清掃鉆被彈性部件相對(duì)于導(dǎo)引罩彈性支承，所述彈性部件夾設(shè)在導(dǎo)引罩與鉆支架之間，所述導(dǎo)引罩形成為在清掃鉆的長(zhǎng)度方向上與噴嘴離開(kāi)的一側(cè)開(kāi)口的杯狀，所述鉆支架收容在該導(dǎo)引罩中，保持清掃鉆，導(dǎo)引罩在與噴嘴的前端對(duì)置配置的上表面上穿通有噴嘴的前端進(jìn)入的定位孔。由此，在噴嘴的前端進(jìn)入到定位孔中的狀態(tài)下，克服彈性部件的彈性力使鉆支架相對(duì)于導(dǎo)引罩在清掃鉆的長(zhǎng)度方向上向噴嘴側(cè)移動(dòng)，由此將清掃鉆通過(guò)定位孔向噴嘴的前端的開(kāi)口部?jī)?nèi)插入。
[0011]這里，如果噴嘴的前端進(jìn)入到定位孔中，則只要在定位孔中插通清掃鉆，就成為清掃鉆插入到噴嘴的前端的開(kāi)口部?jī)?nèi)的關(guān)系，所以作業(yè)者不需要進(jìn)行將極細(xì)的棒狀部件(清掃鉆)向較小的孔(噴嘴的前端的開(kāi)口部)插入的作業(yè)。由此，起到能夠簡(jiǎn)單地進(jìn)行通過(guò)清掃鉆對(duì)噴嘴的清掃作業(yè)的效果。
[0012]此外，如果噴嘴的前端進(jìn)入到定位孔中，則只要在定位孔中插通清掃鉆，就成為清掃鉆插入到噴嘴的前端的開(kāi)口部?jī)?nèi)的關(guān)系，所以能夠抑制在將清掃鉆向噴嘴的前端的開(kāi)口部插入時(shí)噴嘴的前端部與清掃鉆干涉。由此，作業(yè)者不需要對(duì)其操作提起充分的注意以使清掃鉆不損傷，所以起到能夠簡(jiǎn)單地進(jìn)行通過(guò)清掃鉆對(duì)噴嘴的清掃作業(yè)的效果。
[0013]進(jìn)而，由于在導(dǎo)引罩與收容在該導(dǎo)引罩中、保持清掃鉆的鉆支架之間夾設(shè)有彈性部件，所以在使噴嘴的前端向定位孔進(jìn)入的情況下，通過(guò)利用彈性部件的緩沖作用，能夠緩和噴嘴的前端向?qū)б值亩ㄎ豢浊度霑r(shí)的沖擊。由此，不需要對(duì)鉆支架的移動(dòng)量提起注意以使得不會(huì)因上述沖擊使噴嘴的前端或?qū)б謸p壞，所以起到能夠簡(jiǎn)單地進(jìn)行通過(guò)清掃鉆對(duì)噴嘴的清掃作業(yè)的效果。
[0014]本發(fā)明的第3實(shí)施方式的激光加工機(jī)的清掃工具或激光加工機(jī)，在本發(fā)明的第I方式的激光加工機(jī)的清掃工具或本發(fā)明的第2方式的激光加工機(jī)中，也可以是，具備清掃用壓力缸，所述清掃用壓力缸由空氣壓力缸構(gòu)成，使清掃鉆在其軸心方向上移動(dòng)；上述導(dǎo)引罩具備:流路，形成在筒狀部分的內(nèi)部，流過(guò)使上述清掃用壓力缸動(dòng)作的動(dòng)作空氣；橫孔，連通到該流路，在與上述清掃鉆的長(zhǎng)度方向交叉的方向上穿通到上述定位孔中。
[0015]根據(jù)本發(fā)明的第3方式的激光加工機(jī)的清掃工具或激光加工機(jī)，由于通過(guò)由空氣壓力缸構(gòu)成的清掃用壓力缸使清掃鉆在其軸心方向上移動(dòng)，所以能夠使通過(guò)清掃鉆對(duì)噴嘴的清掃自動(dòng)化，由此起到能夠不依靠人手而進(jìn)行噴嘴的清掃的效果。
[0016]此外，對(duì)形成在導(dǎo)引罩的筒狀部分的內(nèi)部的流路噴出使清掃用壓力缸動(dòng)作的動(dòng)作空氣，從噴嘴對(duì)噴嘴的前端進(jìn)入的定位孔噴出輔助氣體。
[0017]在此情況下，由于與上述流路連通的橫孔在與清掃鉆的長(zhǎng)度方向交叉的方向上穿通到導(dǎo)引罩的定位孔中，所以如果從噴嘴噴出輔助氣體，則通過(guò)從噴嘴噴出的輔助氣體與噴出到定位孔中的動(dòng)作空氣在定位孔中碰撞，將與輔助氣體一起噴出到定位孔內(nèi)的上述附著物從橫孔向外部排出。
[0018]由此，能夠抑制上述附著物附著到定位孔中，所以能夠防止由附著在定位孔中的上述附著物阻礙使噴嘴的前端進(jìn)入到定位孔中的作業(yè)的情況。因而，能夠順利地進(jìn)行上述作業(yè)，所以起到能夠簡(jiǎn)單地進(jìn)行通過(guò)清掃鉆對(duì)噴嘴的清掃作業(yè)的效果。
[0019]本發(fā)明的第4實(shí)施方式的激光加工機(jī)的清掃工具或激光加工機(jī)，在本發(fā)明的第I方式的激光加工機(jī)的清掃工具或本發(fā)明的第2方式的激光加工機(jī)中，也可以是，具備:力口工臺(tái)，配設(shè)在加工頭的下方，保持被加工物，并且能夠相對(duì)于加工頭在與激光的光軸正交的方向上移動(dòng)而構(gòu)成；加工臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使加工臺(tái)相對(duì)于加工頭在與激光的光軸正交的方向上移動(dòng)；清掃工具移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使清掃工具相對(duì)于加工頭在與激光的光軸正交的方向上移動(dòng)；清掃工具用空間，通過(guò)由加工臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)使加工臺(tái)相對(duì)于加工頭在與激光的光軸正交的方向上移動(dòng)，設(shè)置在加工頭的下方；通過(guò)由清掃工具移動(dòng)機(jī)構(gòu)使加工臺(tái)相對(duì)于加工頭在與激光的光軸方向正交的方向上移動(dòng)，在清掃工具用空間中配置清掃工具。
[0020]根據(jù)本發(fā)明的第4方式的激光加工機(jī)的清掃工具或激光加工機(jī)，由于配設(shè)在加工頭的下方、保持被加工物的加工臺(tái)能夠通過(guò)加工臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)相對(duì)于加工頭在與激光的光軸正交的方向上移動(dòng)而構(gòu)成，所以通過(guò)由加工臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)使加工臺(tái)相對(duì)于加工頭在與激光的光軸正交的方向上移動(dòng)，在加工頭的下方設(shè)置清掃工具用空間，通過(guò)由清掃工具移動(dòng)機(jī)構(gòu)相對(duì)于加工頭在與激光的光軸方向正交的方向上移動(dòng)，能夠在清掃工具用空間中配置清掃工具。
[0021]這里，如果通過(guò)使加工頭相對(duì)于加工臺(tái)在激光的光軸方向上移動(dòng)而在加工頭的下方設(shè)置清掃用空間，則不僅加工頭的構(gòu)造復(fù)雜化，還需要使加工頭升降清掃鉆的軸心方向上的長(zhǎng)度量，所以升降機(jī)構(gòu)大型化，相對(duì)于加工臺(tái)移動(dòng)的質(zhì)量體(加工頭)的慣性力變大。由此，相應(yīng)于上述質(zhì)量體的慣性力變大的量，對(duì)于升降機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)控制、加工頭的位置精度惡化。
[0022]相對(duì)于此，根據(jù)本發(fā)明的第4方式的激光加工機(jī)的清掃工具或激光加工機(jī)，通過(guò)由加工臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)使加工臺(tái)相對(duì)于加工頭在與激光的光軸正交的方向上移動(dòng)，在加工頭的下方設(shè)置清掃工具用空間，所以不需要在加工頭上設(shè)置升降機(jī)構(gòu)。由此，不僅能夠使加工頭的構(gòu)造簡(jiǎn)單化，而且能夠使加工頭小型化，所以起到對(duì)于清掃工具移動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)控制能夠使加工頭的位置精度提高的效果。
[0023]本發(fā)明的第5實(shí)施方式的激光加工機(jī)的清掃工具或激光加工機(jī)，在本發(fā)明的第4方式的激光加工機(jī)的清掃工具或激光加工機(jī)中，也可以是，具備:支承部件，保持加工臺(tái)，在加工臺(tái)的移動(dòng)方向上延伸設(shè)置；滑動(dòng)板，以能夠沿著該支承部件的長(zhǎng)度方向滑動(dòng)移動(dòng)的狀態(tài)保持在支承部件上，將加工臺(tái)及清掃工具固定；滑動(dòng)壓力缸，使該滑動(dòng)板相對(duì)于支承部件滑動(dòng)移動(dòng)，并構(gòu)成清掃工具移動(dòng)機(jī)構(gòu)及加工臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
[0024]根據(jù)本發(fā)明的第5方式的激光加工機(jī)的清掃工具或激光加工機(jī)，保持加工臺(tái)的支承部件在加工臺(tái)的移動(dòng)方向上延伸設(shè)置，固定加工臺(tái)及清掃工具的滑動(dòng)板在能夠沿著支承部件的長(zhǎng)度方向滑動(dòng)移動(dòng)的狀態(tài)下保持在支承部件上，在構(gòu)成清掃工具移動(dòng)機(jī)構(gòu)及加工臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)的滑動(dòng)壓力缸作用下，滑動(dòng)板能夠滑動(dòng)移動(dòng)，所以能夠通過(guò)單一的滑動(dòng)壓力缸同時(shí)進(jìn)行加工臺(tái)及清掃工具相對(duì)于加工頭的移動(dòng)。
[0025]由此，與分別通過(guò)加工臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)使加工臺(tái)、通過(guò)清掃工具移動(dòng)機(jī)構(gòu)使清掃工具移動(dòng)的情況相比，能夠削減驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的數(shù)量，所以起到能夠?qū)崿F(xiàn)因零件件數(shù)的削減帶來(lái)的成本削減的效果。
[0026]本發(fā)明的第6實(shí)施方式的激光加工機(jī)的清掃工具或激光加工機(jī)，在本發(fā)明的第4方式的激光加工機(jī)的清掃工具或激光加工機(jī)中，也可以是，加工臺(tái)具備下部支架以及吸引孔，所述下部支架在將被加工物加工的情況下經(jīng)由被加工物與加工頭對(duì)置配置，所述吸引孔穿通在該下部支架的上表面上，通過(guò)吸引而設(shè)定為負(fù)壓；支承部件形成為筒狀；該形成為筒狀的支承部件具備連通孔以及氣體通路，所述連通孔穿通在上表面上，與吸引孔連通，所述氣體通路與該連通孔連通，形成在支承部件的內(nèi)部。
[0027]根據(jù)本發(fā)明的第6方式的激光加工機(jī)的清掃工具或激光加工機(jī)，由于加工臺(tái)在經(jīng)由被加工物與加工頭對(duì)置配置的下部支架的上表面上穿通有通過(guò)吸引而設(shè)定為負(fù)壓的吸引孔，支承部件形成為筒狀，穿通有與吸引孔連通的連通孔，在其內(nèi)部形成有與連通孔連通的氣體通路，所以通過(guò)利用支承部件的封閉的空間作為氣體通路，起到能夠?qū)崿F(xiàn)零件件數(shù)的削減的效果。
[0028]本發(fā)明的第7實(shí)施方式的激光加工機(jī)的清掃工具或激光加工機(jī)，在本發(fā)明的第5方式的激光加工機(jī)的清掃工具或激光加工機(jī)中，也可以是，具備將上述滑動(dòng)壓力缸及上述滑動(dòng)板連結(jié)的連結(jié)件；支承部件形成為筒狀；該形成為筒狀的支承部件具備開(kāi)口以及收容空間，所述開(kāi)口在加工臺(tái)的移動(dòng)方向上穿通，所述收容空間形成在支承部件的內(nèi)部，收容滑動(dòng)壓力缸；通過(guò)滑動(dòng)板相對(duì)于支承部件滑動(dòng)移動(dòng)，連結(jié)件能夠在上述開(kāi)口中移動(dòng)而構(gòu)成。
[0029]根據(jù)本發(fā)明的第7方式的激光加工機(jī)的清掃工具或激光加工機(jī)，由于支承部件形成為筒狀，穿設(shè)有在加工臺(tái)的移動(dòng)方向上延伸設(shè)置的開(kāi)口，將滑動(dòng)壓力缸及滑動(dòng)板連結(jié)的連結(jié)件能夠在開(kāi)口中移動(dòng)而構(gòu)成，所以能夠在形成在支承部件的內(nèi)部的收容空間中配置滑動(dòng)壓力缸。由此，能夠抑制滑動(dòng)壓力缸的露出，所以起到能夠防止滑動(dòng)壓力缸的構(gòu)成零件(特別是可動(dòng)零件)與滑動(dòng)壓力缸的周邊零件的干涉的效果。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0030]圖1是本發(fā)明的一實(shí)施方式的激光切斷裝置的側(cè)視圖。
[0031]圖2是將圖1的X部分放大的激光切斷裝置的放大側(cè)視圖。
[0032]圖3是圖2的III 一 III線的激光切斷裝置的放大剖視圖。
[0033]圖4是圖2的IV — IV線的激光切斷裝置的放大剖視圖。
[0034]圖5是圖2的V — V線的清掃工具的剖視圖。
[0035]圖6 Ca)是鉆支架的俯視圖，圖6 (b)是從圖6 Ca)的箭頭VIb方向觀察的鉆支架的側(cè)視圖，圖6 (c)是圖6 Ca)的VIc - VIc線的鉆支架的剖視圖。
[0036]圖7是通過(guò)清掃工具的噴嘴的清掃狀態(tài)下的激光切斷裝置的放大側(cè)視圖。
[0037]圖8是包括活塞桿的軸心的噴嘴及清掃工具的剖視圖。
[0038]圖9是以往的激光加工機(jī)的側(cè)視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0039]以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。首先，參照?qǐng)D1，對(duì)激光切斷裝置I的概略結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。圖1是本發(fā)明的一實(shí)施方式的激光切斷裝置I的側(cè)視圖。
[0040]如圖1所示，激光切斷裝置I是對(duì)金屬板的被加工物W (參照?qǐng)D2)照射聚光的激光、并噴射輔助氣體而進(jìn)行高精度高品質(zhì)的微細(xì)切斷的激光加工機(jī)，主要具備:加工頭2 ;頭側(cè)臺(tái)架3，使該加工頭2在與激光的光軸a (參照?qǐng)D3)正交的方向(圖1左右方向及圖1紙面正交方向)上移動(dòng)；加工臺(tái)4，配設(shè)在加工頭2的下方，保持被加工物W并能夠在后述的支承部件5的長(zhǎng)度方向(圖1左右方向)上移動(dòng)而構(gòu)成；長(zhǎng)尺寸的支承部件5，保持該加工臺(tái)
4;升降用壓力缸6，支承該支承部件5的兩端；滑動(dòng)板7，以能夠沿著支承部件5的長(zhǎng)度方向(圖1左右方向)滑動(dòng)移動(dòng)的狀態(tài)保持在支承部件5上；滑動(dòng)壓力缸8，使該滑動(dòng)板7相對(duì)于支承部件5在支承部件5的長(zhǎng)度方向上滑動(dòng)移動(dòng)；連結(jié)件9，將該滑動(dòng)壓力缸8及滑動(dòng)板7連結(jié)；清掃工具10，具有棒狀的清掃鉆1A (參照?qǐng)D4)，支承在滑動(dòng)板7上。
[0041]接著，參照?qǐng)D2及圖3，對(duì)激光切斷裝置I的詳細(xì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。圖2是表示圖1的X部分的激光切斷裝置I的放大側(cè)視圖，圖3是圖2的II1-1II線的激光切斷裝置I的放大剖視圖。圖2將支承部件5的一部分截面顯示，將后述的彈簧44的圖示省略。
[0042]如圖2及圖3所示，加工頭2是通過(guò)一邊使激光相對(duì)于被加工物W移動(dòng)一邊照射而將被加工物W切斷(開(kāi)孔)加工的部件，用從該加工頭2照射的激光將被加工物W的規(guī)定部位切斷(開(kāi)孔)加工。在加工頭2的下方設(shè)有工件用工作臺(tái)(未圖示)，通過(guò)將被加工物W的周緣部保持在工件用工作臺(tái)的安裝框(未圖示)上，使被加工物W成為張緊狀態(tài)。如果使被加工物W成為張緊狀態(tài)，則工件用工作臺(tái)能夠在與激光的光軸a正交的平面(XY平面上)上相對(duì)于加工頭2移動(dòng)。
[0043]加工頭2主要具備:光纖22，傳送激光；套筒21，具有穿通有嵌合孔21a的筒狀部分及吊持到頭側(cè)臺(tái)架3上的凸緣部分，所述嵌合孔21a嵌合該光纖22的前端部；壓電臺(tái)架23，具有內(nèi)嵌該套筒21的筒狀部分的透過(guò)孔23b，使聚光透鏡25 (后述)相對(duì)于套筒21在與激光的光軸a正交的平面上移動(dòng)；透鏡支架24，通過(guò)螺栓B3固定在該壓電臺(tái)架23上、能夠相對(duì)于套筒21移動(dòng)而構(gòu)成；聚光透鏡25，收容在該透鏡支架24中，將從光纖22照射的激光聚光；罩支架26，將聚光透鏡25從下方覆蓋；柱部件27，使罩支架26支承在套筒21上；流路部件28，嵌合在罩支架26上；上部支架29，具有噴嘴29a，嵌合在流路部件28上。
[0044]壓電臺(tái)架23的固定在頭側(cè)臺(tái)架3上的上方是固定側(cè)，固定透鏡支架24的下方是可動(dòng)側(cè)，保持著聚光透鏡25的透鏡支架24用螺栓B3固定在壓電臺(tái)架23的可動(dòng)側(cè)。由于在壓電臺(tái)架23上設(shè)有電極，所以通過(guò)外加電壓，給固定在可動(dòng)側(cè)的透鏡支架24 (聚光透鏡25)帶來(lái)規(guī)定的動(dòng)作。此外，壓電臺(tái)架23由于被壓電致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)，所以能夠進(jìn)行微米單位下的移動(dòng)。由此，通過(guò)使聚光透鏡25在相對(duì)于激光的光軸a正交方向上微小變動(dòng)(移動(dòng))，能夠進(jìn)行電子零件等的很微小的開(kāi)孔加工。
[0045]透鏡支架24是用來(lái)將聚光透鏡25安裝到壓電臺(tái)架23上的部件，主要具備形成為大致圓筒狀、作為保持聚光透鏡25的部位的透鏡保持部24a。罩支架26是為了使從流路部件28的后述的輔助氣體通路28a噴射的輔助氣體不向聚光透鏡25側(cè)流入而配設(shè)在透鏡支架24的下方(圖4下方)的部件，在罩支架26的筒狀部分上設(shè)有透鏡罩26a。
[0046]柱部件27是使壓電臺(tái)架23與罩支架26連結(jié)的部件，柱部件27的一端固接在壓電臺(tái)架23的透過(guò)孔23b的內(nèi)周面的下端上，并且另一端固接在罩支架26的凸緣狀的部分的上表面上。另外，固接方法使用粘接材料或螺栓等連結(jié)部件(未圖示)的哪個(gè)都可以。
[0047]上部支架29是將被照射激光的被加工物W的切斷部分從上方推壓的圓筒狀的部件，由嵌合到流路部件28的內(nèi)周上的筒狀的上部部件和比上部部件大一圈的筒狀的下部部件構(gòu)成，在下部部件的內(nèi)部的激光聚光的部分上配置有噴嘴29a。在噴嘴29a的前端上形成有600 μ m的直徑的開(kāi)口(開(kāi)口部)，通過(guò)開(kāi)口部的激光的焦點(diǎn)設(shè)定為30 μ m以下。此外，在上部支架29的與被加工物W滑動(dòng)接觸的下表面?zhèn)?，安裝著向下側(cè)(圖3下側(cè))凸的圓弧狀的滑動(dòng)件2%。該滑動(dòng)件29b構(gòu)成為，通過(guò)使圓弧狀的面抵接在被加工物W上，容易在被加工物W上滑動(dòng)且不給被加工物W帶來(lái)傷痕。
[0048]通過(guò)壓電臺(tái)架23，透鏡支架24能夠在與激光的光軸a正交的平面上相對(duì)于套筒21以微米單位移動(dòng)，所以能夠在加工頭2的噴嘴29a前端的開(kāi)口部的范圍內(nèi)的很窄的范圍內(nèi)變更激光的照射范圍。由此，能夠進(jìn)行高精度的加工，所以能夠進(jìn)行電子零件等的很微小的開(kāi)孔加工。
[0049]頭側(cè)臺(tái)架3是用來(lái)使加工頭2進(jìn)行平面移動(dòng)的部件，吊持在臂30 (參照?qǐng)D1)上。在激光切斷裝置I設(shè)置在地面(水平面)上的狀態(tài)下，加工頭2通過(guò)頭側(cè)臺(tái)架3能夠相對(duì)于臂30在與激光的光軸a (參照?qǐng)D3)正交的平面(UV平面)上移動(dòng)。
[0050]從加工頭2經(jīng)由光纖22送出的激光經(jīng)由未圖示的準(zhǔn)直透鏡如圖示那樣成為平行光而進(jìn)入，由聚光透鏡25聚光的激光通過(guò)噴嘴29a的開(kāi)口部被照射在被加工物W上。被加工物W通過(guò)激光的熱量輸入而局部且瞬間地熔融，進(jìn)行切斷(開(kāi)孔)加工。此時(shí)，從輔助氣體通路28a以高壓力噴射到加工頭2內(nèi)的輔助氣體通過(guò)罩支架26的筒狀部分的周圍向透鏡罩26a的下部空間流動(dòng)，被噴嘴29a的開(kāi)口部節(jié)流而被集中地噴吹到被加工物W的切斷部位上。
[0051]這里，根據(jù)本實(shí)施方式的激光切斷裝置1，從加工頭2照射激光，不僅通過(guò)頭側(cè)臺(tái)架3使加工頭2在UV平面上相對(duì)于臂30 (參照?qǐng)D1)平行移動(dòng)，在電子零件等的很微小的開(kāi)孔加工等中，還通過(guò)由壓電臺(tái)架23使激光的焦點(diǎn)的位置變化來(lái)進(jìn)行加工。
[0052]S卩，通過(guò)由壓電臺(tái)架23僅使透鏡支架24 (聚光透鏡25)移動(dòng)來(lái)進(jìn)行微小孔的開(kāi)孔加工，所以在使透鏡支架24移動(dòng)的情況下，與使加工頭2整體移動(dòng)相比，移動(dòng)的部件的質(zhì)量較小，不易受慣性力的影響，所以能夠進(jìn)行高速高精度的加工，并且，由于沒(méi)有加工頭2和被加工物W的磨損，所以能夠維持初始性能也有利于高速高精度的加工。進(jìn)而，由于為了進(jìn)行微小加工而利用比較輕量的壓電臺(tái)架23 (壓電致動(dòng)器)，所以能夠使加工頭2更輕量化，使加工頭2移動(dòng)的加工也能夠高速且高精度地進(jìn)行。
[0053]加工臺(tái)4是配設(shè)在加工頭2的下方、保持被加工物W的部件，保持在支承部件5上，主要具備:下部支架41，具有為了在被加工物W的下側(cè)吸引輔助氣體而由筒狀部件構(gòu)成的筒部41a及經(jīng)由被加工物W與加工頭2對(duì)置配置的頭部41b ;吸引孔42，貫通形成在該下部支架41的筒部41a上；上下調(diào)整管43，具有插入下部支架41的筒部41a的插入孔43a，相對(duì)于筒部41a能夠在上下方向上滑動(dòng)移動(dòng)而嵌合；彈簧44，夾設(shè)在該上下調(diào)整管43及下部支架41之間；調(diào)整螺母45，擰合到上下調(diào)整管43上；基座46，保持該調(diào)整螺母45、具有嵌合上下調(diào)整管43的插入孔46a ;空氣泵47，向下部支架41供給壓縮的空氣。
[0054]下部支架41的頭部41b的上表面由多孔質(zhì)的燒結(jié)金屬或陶瓷等形成。由此，如果從空氣泵47對(duì)下部支架41的頭部41b的內(nèi)部空間41c供給空氣，則空氣從頭部41b的上表面向上方噴出。由此，能夠從頭部41b的上表面噴出空氣而在與被加工物W之間形成由空氣形成的空氣層，所以能夠抑制使浮渣或?yàn)R渣等熔融物咬入到被加工物W與下部支架41(頭部41b)之間、將被加工物W弄傷的情況。
[0055]吸引孔42通過(guò)被空氣泵(未圖示)吸引而成為負(fù)壓。因而，被集中噴吹在被加工物W的切斷部位上的輔助氣體通過(guò)被加工物W的切斷部向加工臺(tái)4的吸引孔42內(nèi)流入，所以隨著被加工物W的切斷而發(fā)生的浮渣等熔融物因這樣的輔助氣體的流動(dòng)，從吸引孔42通過(guò)上下調(diào)整管43的插入孔43a，經(jīng)由板孔71被從支承部件5的連通孔52向氣體通路53引導(dǎo)，向外部排出。
[0056]調(diào)整螺母45構(gòu)成為，相對(duì)于基座46在上下方向的位置原樣(固定的狀態(tài))下能夠旋轉(zhuǎn)。即，調(diào)整螺母45的下端的凸緣狀部分嵌入到形成在基座46的上表面上的圓形的凹部中，在其內(nèi)部配置有上下調(diào)整管43。上下調(diào)整管43的形成在外周部上的陽(yáng)螺紋與形成在調(diào)整螺母45的內(nèi)周部上的陰螺紋擰合。由此，調(diào)整螺母45能夠相對(duì)于基座46旋轉(zhuǎn)而構(gòu)成，通過(guò)使調(diào)整螺母45旋轉(zhuǎn)，能夠進(jìn)行擰合在調(diào)整螺母45的內(nèi)側(cè)的上下調(diào)整管43的軸向(參照?qǐng)D3)上的位置調(diào)整。
[0057]彈簧44由于夾設(shè)在上下調(diào)整管43及下部支架41 (頭部41b)之間，所以通過(guò)進(jìn)行上下調(diào)整管43的軸向(圖3上下方向)上的位置調(diào)整，來(lái)調(diào)整彈簧44的作用力(將被加工物W向加工頭2側(cè)推壓的作用力)。即，如果使上下調(diào)整管43相對(duì)于調(diào)整螺母45向上方(圖3上方)移動(dòng)，則使彈簧44的作用力增大，通過(guò)下部支架41將被加工物W向加工頭2側(cè)(圖3上側(cè))推壓。
[0058]支承部件5是水平配置的長(zhǎng)尺寸的筒狀部件，主要具備:連通孔52，穿通在支承部件5的上表面上，與吸引孔42連通；氣體通路53，與該連通孔52連通，形成在支承部件5的內(nèi)部；開(kāi)口 54，沿著加工臺(tái)4的移動(dòng)方向穿通在支承部件5的上表面上；收容空間55，與該開(kāi)口 54連通，形成在支承部件5的內(nèi)部。
[0059]另外，連通孔52與開(kāi)口 54為非連通狀態(tài)，在氣體通路53與收容空間55之間夾設(shè)有區(qū)劃壁(未圖示)。由此，成為因輔助氣體的流動(dòng)被引導(dǎo)到氣體通路53內(nèi)的浮渣等熔融物不侵入到收容空間55內(nèi)的結(jié)構(gòu)。因而，防止熔融物附著到收容空間55內(nèi)的滑動(dòng)壓力缸8等上而發(fā)生動(dòng)作不良。
[0060]這里，根據(jù)本實(shí)施方式的激光切斷裝置1，升降用壓力缸6 (參照?qǐng)D1)由通過(guò)空氣壓而伸縮驅(qū)動(dòng)的致動(dòng)器構(gòu)成。由此，通過(guò)在升降用壓力缸6作用下使支承部件5升降，來(lái)調(diào)整加工臺(tái)4的高度位置，所以通過(guò)支承部件5隨著升降用壓力缸6的驅(qū)動(dòng)而上升，加工臺(tái)4在保持著被加工物W的狀態(tài)下向加工頭2側(cè)(圖3上側(cè))移動(dòng)(上升)。由此，被加工物W被加工頭2及加工臺(tái)4夾持，通過(guò)從加工頭2側(cè)照射的激光進(jìn)行切斷加工。
[0061]在切斷加工的結(jié)束后，通過(guò)隨著升降用壓力缸6的驅(qū)動(dòng)而支承部件5下降，加工臺(tái)4在保持著被加工物W的狀態(tài)下向支承部件5側(cè)(圖3下側(cè))移動(dòng)(下降)。由此，加工臺(tái)4從加工頭2離開(kāi)配置，所以工件用工作臺(tái)(未圖示)能夠在與激光的光軸a正交的平面(XY平面上)上相對(duì)于加工頭2移動(dòng)，能夠變更被加工物W的加工部位。
[0062]進(jìn)而，在本實(shí)施方式的激光切斷裝置I中，加工臺(tái)4在能夠相對(duì)于支承部件5在水平方向上移動(dòng)(滑動(dòng)移動(dòng))的狀態(tài)下保持在支承部件5上。具體而言，支承部件5的兩側(cè)面固定著沿著其長(zhǎng)度方向延伸設(shè)置的導(dǎo)軌51，向該導(dǎo)軌51嵌合的滑塊72固接在滑動(dòng)板7的下表面上。
[0063]滑動(dòng)板7是配置在支承部件5的上表面上的板狀的部件，主要具備:板孔71，連通到支承部件5的連通孔52 ;插通孔74，插通清掃工具10 ;滑塊72，固接在滑動(dòng)板7的下表面的兩側(cè)，與支承部件5的側(cè)面對(duì)置配置；連結(jié)托架73，將清掃工具10固定在滑動(dòng)板7上。此外，滑動(dòng)板7固定著滑動(dòng)壓力缸8及清掃工具10，并且經(jīng)由連結(jié)件9連結(jié)在滑動(dòng)壓力缸8上。
[0064]滑塊72在與支承部件5的側(cè)面對(duì)置的面上凹設(shè)有在支承部件5的長(zhǎng)度方向(圖2左右方向)上延伸設(shè)置的槽，在該槽中嵌合著導(dǎo)軌51。由此，通過(guò)使滑塊72能夠相對(duì)于導(dǎo)軌51滑動(dòng)移動(dòng)，使加工臺(tái)4沿著支承部件5的長(zhǎng)度方向滑動(dòng)移動(dòng)。
[0065]滑動(dòng)壓力缸8是使活塞桿8a在其軸心方向(圖2左右方向)上往復(fù)的驅(qū)動(dòng)部件，由空氣壓力缸構(gòu)成，并且設(shè)置在由支承部件5的內(nèi)部空間構(gòu)成的收容空間55中。由于滑動(dòng)壓力缸8及滑動(dòng)板7經(jīng)由連結(jié)件9連結(jié)，所以構(gòu)成為，如果通過(guò)滑動(dòng)壓力缸8的驅(qū)動(dòng)而活塞桿8a往復(fù)動(dòng)作，則滑動(dòng)板7的位置沿著支承部件5滑動(dòng)移動(dòng)。
[0066]由于在支承部件5的上表面上沿著移動(dòng)方向(圖2左右方向)穿通有開(kāi)口 54，所以構(gòu)成為，通過(guò)連結(jié)件9在開(kāi)口 54內(nèi)沿支承部件5的移動(dòng)方向(長(zhǎng)度方向)移動(dòng)，連結(jié)在滑動(dòng)壓力缸8上的滑動(dòng)板7能夠沿著支承部件5滑動(dòng)移動(dòng)。
[0067]連結(jié)件9主要具備:聯(lián)接器(力〃 7° -J >7) 91，固定在活塞桿8a的前端上；環(huán)狀的連結(jié)部件92，固定在該聯(lián)接器91的前端上；垂直桿93，嵌合到該環(huán)狀的連結(jié)部件92中。垂直桿93在貫穿滑動(dòng)板7而插通在支承部件5的開(kāi)口 54中的狀態(tài)下通過(guò)螺母94固接在滑動(dòng)板7上。
[0068]清掃工具10是用來(lái)將附著在噴嘴29a的前端上的開(kāi)口部?jī)?nèi)的浮渣或?yàn)R渣等熔融物去除的清掃工具，以起立狀態(tài)固定在滑動(dòng)板7上。具體而言，在清掃工具10插通在連結(jié)托架73的筒狀部73a和滑動(dòng)板7的插通孔74中的狀態(tài)下，連結(jié)托架73的凸緣73b用螺栓固定在滑動(dòng)板7上。此外，清掃工具10的下部收容在支承部件5的收容空間55中。
[0069]這里，根據(jù)本實(shí)施方式的激光切斷裝置1，加工臺(tái)4不僅是通過(guò)升降用壓力缸6(參照?qǐng)D1)單純地下降，還能夠通過(guò)滑動(dòng)壓力缸8在支承部件5的長(zhǎng)度方向(圖3左右方向)上也滑動(dòng)移動(dòng)，所以即使是沒(méi)有加工頭2的升降裝置的情況，也能夠在加工頭2的正下方確?？臻g(清掃工具用空間)。因而，通過(guò)由滑動(dòng)壓力缸8帶來(lái)的加工臺(tái)4的滑動(dòng)移動(dòng)而利用設(shè)在加工頭2的正下方的清掃工具用空間，由此，即使是加工頭2的正下方的空間(升降用空間)被限制的情況，作業(yè)者進(jìn)行的噴嘴29a的清掃作業(yè)也能夠?qū)嵤?br> [0070]由于保持加工臺(tái)4的支承部件5在加工臺(tái)4的移動(dòng)方向上延伸設(shè)置，固定加工臺(tái)4及清掃工具10的滑動(dòng)板7在能夠沿著支承部件5的長(zhǎng)度方向滑動(dòng)移動(dòng)的狀態(tài)下保持在支承部件5上，能夠通過(guò)滑動(dòng)壓力缸8使滑動(dòng)板7滑動(dòng)移動(dòng)，所以能夠通過(guò)單一的滑動(dòng)壓力缸8同時(shí)進(jìn)行加工臺(tái)4及清掃工具10的相對(duì)于加工頭2的移動(dòng)。即，通過(guò)由滑動(dòng)壓力缸8使加工臺(tái)4從加工頭2的正下方沿支承部件5的長(zhǎng)度方向(圖2左右方向)移動(dòng)，能夠在將加工臺(tái)4設(shè)在加工頭2的正下方的清掃工具用空間中配置清掃工具10。由此，與分別設(shè)置使加工臺(tái)4移動(dòng)的空氣壓力缸及使清掃工具10移動(dòng)的空氣壓力缸的情況相比，能夠削減驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的數(shù)量，所以能夠?qū)崿F(xiàn)由零件件數(shù)的削減帶來(lái)的成本削減。
[0071]這里，也可以通過(guò)使加工頭2相對(duì)于加工臺(tái)4在激光的光軸a方向上移動(dòng)(上升)而在加工頭2的下方設(shè)置清掃用空間，但在此情況下，不僅加工頭2的構(gòu)造復(fù)雜化，而且需要使加工頭2升降清掃鉆1A的軸心方向上的長(zhǎng)度量，所以升降機(jī)構(gòu)大型化，加工頭2大型化。由此,相應(yīng)于加工頭2大型化的量，被頭側(cè)臺(tái)架3驅(qū)動(dòng)的質(zhì)量體變大，其慣性力也變大。由此，對(duì)于由頭側(cè)臺(tái)架3進(jìn)行的驅(qū)動(dòng)控制，加工頭2的位置精度惡化。
[0072]相對(duì)于此，通過(guò)由滑動(dòng)壓力缸8使加工臺(tái)4相對(duì)于加工頭2在與激光的光軸a正交的方向上移動(dòng)，在加工頭2的下方設(shè)置清掃工具用空間，所以不需要在加工頭2上設(shè)置升降機(jī)構(gòu)。由此，不僅能夠使加工頭2的構(gòu)造簡(jiǎn)單化，還能夠使加工頭2小型化，所以對(duì)于由頭側(cè)臺(tái)架3進(jìn)行的驅(qū)動(dòng)控制，加工頭2的位置精度提高。
[0073]加工臺(tái)4在經(jīng)由被加工物W與加工頭2對(duì)置配置的下部支架41的上表面上，穿通著通過(guò)吸引而被設(shè)定為負(fù)壓的吸引孔42，支承部件5形成為筒狀，穿通有與吸引孔42連通的連通孔52，在其內(nèi)部形成有與連通孔52連通的氣體通路53，所以能夠利用支承部件5的封閉的空間作為氣體通路53。由此，相比與支承部件5另外設(shè)置構(gòu)成氣體通路53的管的情況，能夠?qū)崿F(xiàn)零件件數(shù)的削減。
[0074]支承部件5在支承部件5上穿通有在加工臺(tái)4的移動(dòng)方向上延伸設(shè)置的開(kāi)口 54，將滑動(dòng)壓力缸8及滑動(dòng)板7連結(jié)的連結(jié)件9能夠在開(kāi)口 54中移動(dòng)而構(gòu)成，所以能夠在形成于支承部件5的內(nèi)部的收容空間55中配置滑動(dòng)壓力缸8。由此，能夠抑制滑動(dòng)壓力缸8的露出，所以能夠防止滑動(dòng)壓力缸8的構(gòu)成零件(特別是可動(dòng)零件)與滑動(dòng)壓力缸8的周邊零件的干涉。
[0075]參照?qǐng)D4?圖6，對(duì)清掃工具10的詳細(xì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。圖4是圖2的IV — IV線的激光切斷裝置I的放大剖視圖，圖5是圖2的V — V線的清掃工具10的剖視圖，圖4及圖5表示沒(méi)有進(jìn)行清掃作業(yè)的非作業(yè)狀態(tài)。此外，圖6 (a)是鉆支架13a的俯視圖，圖6 (b)是從圖6 Ca)的箭頭VIb方向觀察的鉆支架13a的側(cè)視圖，圖6 (c)是圖6 Ca)的VIc —VIc線的鉆支架13a的剖視圖。另外，在圖5中省略了空氣接頭14的圖示。
[0076]如圖4及圖5所示，清掃工具10主要具備:棒狀的清掃鉆10A，插入到噴嘴29a(參照?qǐng)D3)的前端的開(kāi)口部?jī)?nèi)；筒狀的活塞桿12，保持該清掃鉆1A ;清掃頭13，固定在該活塞桿12的前端上；清掃用壓力缸11，使活塞桿12相對(duì)于清掃頭13在其軸心方向(圖5上下方向)上移動(dòng)，由空氣壓力缸構(gòu)成；空氣接頭14，對(duì)清掃用壓力缸11將動(dòng)作空氣吸排氣。
[0077]清掃鉆1A是插入到噴嘴29a的前端的開(kāi)口部?jī)?nèi)的棒狀部件，經(jīng)由后述的鉆支架13a及墊塊13d保持在活塞桿12上。此外，清掃鉆1A的前端在清掃工具10的非作業(yè)狀態(tài)下收容在清掃頭13中。由此，在清掃工具10的移動(dòng)時(shí)，能夠防止清掃鉆1A的前端與加工頭2等的周邊零件干涉而清掃鉆1A損壞的情況。
[0078]清掃用壓力缸11主要具備:筒狀的壓力缸筒11a，收容活塞桿12 ;活塞11b，在該筒狀的壓力缸筒Ila內(nèi)滑動(dòng)移動(dòng)并插入到活塞桿12的下端的開(kāi)口中；桿罩11c，固定在壓力缸筒Ila的上端側(cè)；頭罩Ild,固定在壓力缸筒Ila的下端側(cè)。
[0079]活塞Ilb能夠在壓力缸筒Ila內(nèi)往復(fù)而構(gòu)成，在其中心在軸心方向(圖5上下方向)上穿通有通氣孔llbl。從后述的空氣接頭14b (參照?qǐng)D2)噴出的動(dòng)作空氣從通氣孔Ilbl經(jīng)由在后述的活塞桿12的軸心方向上形成的空氣通路向清掃頭13的后述的流路13bl內(nèi)噴出。在桿罩Ilc上連結(jié)著空氣接頭14a (參照?qǐng)D2)，在頭罩Ild上連結(jié)著空氣接頭14b，經(jīng)由空氣接頭14a、14b將動(dòng)作空氣對(duì)桿罩Ilc的端口及頭罩Ild的端口吸排氣。通過(guò)對(duì)各端口吸排氣的動(dòng)作空氣，活塞Ilb能夠在其軸心方向(圖5上下方向)上往復(fù)而構(gòu)成。
[0080]此外，在桿罩Ilc內(nèi)，裝填有將活塞桿12的滑動(dòng)部密封的O形環(huán)lie，使壓力缸管Ila成為氣密。該O形環(huán)lie由比較柔軟的橡膠形成，能夠容許活塞桿12的傾斜而構(gòu)成。
[0081]活塞桿12在其內(nèi)部在軸心方向(圖5上下方向)上形成有與活塞Ilb的通氣孔Ilbl連通而動(dòng)作空氣流動(dòng)的通路(空氣通路)，并且在其前端的多個(gè)部位上形成有縫隙12a，在其下端中插入活塞Ub而與活塞Ilb —體地形成。
[0082]如圖5所示，清掃頭13主要具備:鉆支架13a，擰設(shè)在活塞桿12的前端的外周面上；導(dǎo)引罩13b，收容該鉆支架13a，形成為下方(圖5下方)開(kāi)口的杯狀；彈簧13c，夾設(shè)在導(dǎo)引罩13b及鉆支架13a之間；通過(guò)彈簧13c施力，以使導(dǎo)引罩13b相對(duì)于鉆支架13a在軸向上變位。
[0083]如圖6所示，鉆支架13a主要具備:上部13al，由小徑的圓柱狀部件構(gòu)成；下部13a2，由比該上部13al大徑的圓柱狀部件構(gòu)成，連接設(shè)置在上部13al的下端；十字狀的縫隙13a3，以規(guī)定的深度凹設(shè)在上部13al的上表面上；小徑的上側(cè)孔13a4，與該縫隙13a3連通而穿通在鉆支架13a的中心線上；大徑的下側(cè)孔13a5,連接在該上側(cè)孔13a4的下端上，在鉆支架13a的中心線上穿通；連結(jié)孔13a6，在下部13a2在與鉆支架13a的軸心正交的方向(圖6 (C)左右方向)上穿通。
[0084]如圖5所示，鉆支架13a形成為，在下側(cè)孔13a5中通過(guò)擰合固定著活塞桿12的前端，通過(guò)在上側(cè)孔13a4中間隙配合墊塊13d，在墊塊13d及鉆支架13a之間隔開(kāi)間隙。由此，在通過(guò)清掃用壓力缸11的伸長(zhǎng)動(dòng)作進(jìn)行的清掃作業(yè)中，將活塞Ilb加壓的來(lái)自空氣接頭14b(參照?qǐng)D4)的動(dòng)作空氣從活塞Ilb的通氣孔Ilbl向活塞桿12內(nèi)流動(dòng)，通過(guò)墊塊13d的周圍的間隙從鉆支架13a的十字狀的縫隙13a3向后述的導(dǎo)引罩13b的流路13bl噴出。
[0085]如圖5所示，導(dǎo)引罩13b主要具備:流路13bl，形成在筒狀部分的內(nèi)部，從活塞桿12的前端的縫隙12a流出的動(dòng)作空氣流動(dòng)；定位孔13b2，連通到該流路13bl并在導(dǎo)引罩13b的上表面的中心穿通，嵌合加工頭2的噴嘴29a (參照?qǐng)D3)的前端；橫孔13b3，在與清掃鉆1A的長(zhǎng)度方向正交的方向(圖5左右方向)上穿通到定位孔13b2中；長(zhǎng)孔13b4，在其側(cè)面上穿通為沿著清掃鉆1A的軸心方向(圖5上下方向)的長(zhǎng)孔形狀；螺栓13b5，插通在該長(zhǎng)孔13b4中，擰設(shè)在鉆支架13a的連結(jié)孔13a6 (圖6 (b)參照)中。
[0086]定位孔13b2是在導(dǎo)引罩13b的上表面上穿通的貫通孔，由朝向下側(cè)(圖5下側(cè))前端變細(xì)的漏斗狀(錐狀)的上側(cè)部分、和連接在該上側(cè)部分上、具有一定的內(nèi)徑的圓柱狀的下側(cè)部分構(gòu)成。在上側(cè)部分上，形成有朝向開(kāi)口部前端變細(xì)的漏斗狀的噴嘴29a的前端進(jìn)入的大小的錐面(最大徑部分處的內(nèi)周的長(zhǎng)度比噴嘴29a的前端上的外周的長(zhǎng)度長(zhǎng)的錐面)，下側(cè)部分設(shè)定為清掃鉆1A能夠自由地上下移動(dòng)的(清掃鉆1A的外徑的幾倍的大小)。
[0087]由此，如果噴嘴29a的前端進(jìn)入到定位孔13b2中，則在噴嘴29a與定位孔13b2之間進(jìn)行定心，所以通過(guò)使鉆支架13a相對(duì)于導(dǎo)引罩13b在清掃鉆1A的長(zhǎng)度方向上向噴嘴29a側(cè)(圖5上側(cè))移動(dòng)，將清掃鉆1A通過(guò)定位孔13b2向噴嘴29a的前端的開(kāi)口部?jī)?nèi)插入。
[0088]由于定位孔13b2連通到流路13bl，所以從中空的活塞桿12經(jīng)由墊塊13d的周圍的間隙及鉆支架13a的十字狀的縫隙13a3向?qū)б?3b內(nèi)(流路13bl)噴出的動(dòng)作空氣向定位孔13b2噴出。另一方面,輔助氣體也從噴嘴29a向定位孔13b2內(nèi)噴出。向定位孔13b2噴出的動(dòng)作空氣與從噴嘴29a向定位孔13b2噴出的輔助氣體在定位孔13b2內(nèi)碰撞，但由于在定位孔13b2中在與清掃鉆1A的軸心正交的方向(圖5紙面正交方向)上穿通有橫孔13b3，所以能夠?qū)⒂汕鍜咩@1A削掉的浮渣或?yàn)R渣等熔融物從橫孔13b3排出。
[0089]在鉆支架13a的連結(jié)孔13a6中，擰設(shè)有向?qū)б?3b的長(zhǎng)孔13b4插通的螺栓13b5，所以鉆支架13a能夠相對(duì)于導(dǎo)引罩13b在清掃鉆1A的軸心方向(圖5上下方向)上移動(dòng)而構(gòu)成，并且不從導(dǎo)引罩13b脫落而構(gòu)成。
[0090]清掃鉆1A在清掃工具10的非作業(yè)狀態(tài)下收容在導(dǎo)引罩13b的定位孔13b2中。由此，在噴嘴29a的前端的開(kāi)口部?jī)?nèi)插入清掃鉆1A的情況下，不需要將清掃鉆1A向定位孔13b2插入，所以能夠防止導(dǎo)引罩13b的被穿通定位孔13b2的下表面與清掃鉆1A干涉而清掃鉆1A損壞的情況。
[0091]這里，在本實(shí)施方式的激光切斷裝置I的切斷加工中，首先，加工臺(tái)4在相對(duì)于加工頭2下降的位置處待機(jī)，在此狀態(tài)下將被加工物W對(duì)未圖示的工件用工作臺(tái)安裝。并且，升降用壓力缸6 (參照?qǐng)D1)伸長(zhǎng)，搭載在支承部件5上的加工臺(tái)4上升，通過(guò)加工頭2和加工臺(tái)4將被加工物W夾入，通過(guò)從加工頭2照射的激光進(jìn)行規(guī)定的切斷加工。
[0092]此時(shí)，在加工頭2中，經(jīng)由光纖22 (參照?qǐng)D3)傳送的激光聚光，通過(guò)噴嘴29a的前端的開(kāi)口部向被加工物W照射。由此，將被加工物W熔融而切斷，并且輔助氣體被噴嘴29a節(jié)流，被向被加工物W的切斷部位集中地噴吹。
[0093]如果通過(guò)激光進(jìn)行的規(guī)定的切斷加工結(jié)束，則從工件用工作臺(tái)(未圖示)將被加工物W拆下，再定期地進(jìn)行對(duì)加工頭2的噴嘴29a (參照?qǐng)D3)的清掃作業(yè)。在本實(shí)施方式的激光切斷裝置中，如上述那樣設(shè)置清掃工具10，通過(guò)未圖示的控制器控制自動(dòng)清掃作業(yè)。上述熔融物對(duì)噴嘴29a的附著根據(jù)激光切斷裝置I的使用頻度而不同。因而，例如也可以計(jì)測(cè)使用時(shí)間，在超過(guò)設(shè)定時(shí)間的加工作業(yè)的結(jié)束后執(zhí)行自動(dòng)清掃。此外，也可以是，在一天的使用時(shí)間不超過(guò)設(shè)定時(shí)間那樣的情況下，在裝置的起動(dòng)時(shí)進(jìn)行自動(dòng)清掃作業(yè)等，以指定的定時(shí)執(zhí)行。
[0094]參照?qǐng)D7及圖8，對(duì)通過(guò)清掃工具10的噴嘴29a的前端的開(kāi)口部?jī)?nèi)的清掃進(jìn)行說(shuō)明。圖7是通過(guò)清掃工具10的噴嘴29a的清掃狀態(tài)下的激光切斷裝置I的放大側(cè)視圖，圖8是包括活塞桿12的軸心的噴嘴29a及清掃工具10的剖視圖。在圖7中將加工頭2簡(jiǎn)略化。圖7及圖8表示通過(guò)清掃工具10的噴嘴29a的清掃狀態(tài)，是對(duì)應(yīng)于圖2及圖5的圖。
[0095]如圖7及圖8所示，在自動(dòng)清掃作業(yè)中，首先，將加工臺(tái)4從加工頭2離開(kāi)，并且相對(duì)于該加工頭2，在能夠清掃噴嘴29a的位置(加工頭2的正下方)配置清掃工具10。進(jìn)而，升降用壓力缸6 (參照?qǐng)D1)從圖1所示的加工狀態(tài)起收縮，經(jīng)由滑動(dòng)板7搭載在支承部件5上的加工臺(tái)4和清掃工具10下降，從加工頭2離開(kāi)。并且，通過(guò)加工臺(tái)4及清掃工具10沿著支承部件5滑動(dòng)移動(dòng)，在加工頭2的正下方設(shè)置清掃用空間，在該清掃用空間中配置清掃工具10。
[0096]加工臺(tái)4及清掃工具10的滑動(dòng)移動(dòng)通過(guò)向滑動(dòng)壓力缸8送入動(dòng)作空氣而活塞桿12伸長(zhǎng)、經(jīng)由連結(jié)在該活塞桿12上的聯(lián)接器91及垂直桿93等使滑動(dòng)板7相對(duì)于支承部件5移動(dòng)來(lái)執(zhí)行。并且，如果這樣將清掃工具10配置到加工頭2的正下方，則通過(guò)清掃用壓力缸11的伸長(zhǎng)，清掃頭13上升，通過(guò)內(nèi)部的清掃鉆1A進(jìn)行噴嘴29a的清掃。
[0097]通過(guò)清掃用壓力缸11而活塞桿12伸長(zhǎng)，如果使前端的清掃頭13的導(dǎo)引罩13b向加工頭2的噴嘴29a碰抵，則噴嘴29a前端嵌入到導(dǎo)引罩13b的定位孔13b2內(nèi)。此時(shí)，如果通過(guò)漏斗狀的噴嘴29a或漏斗狀的定位孔13b2將清掃鉆1A原樣向定位孔13b2推出，則成為清掃鉆1A插入到噴嘴29a的前端的開(kāi)口部?jī)?nèi)的關(guān)系。即，如果通過(guò)漏斗狀的噴嘴29a或漏斗狀的定位孔13b2，噴嘴29a嵌入到定位孔13b2中，則在噴嘴29a與清掃工具10之間進(jìn)行定心，所以噴嘴29a和清掃鉆1A必定位于同軸上。
[0098]由此，如果將清掃鉆1A原樣向定位孔13b2推出，則成為清掃鉆1A插入到噴嘴29a的前端的開(kāi)口部?jī)?nèi)的關(guān)系，所以作業(yè)者不需要進(jìn)行向較小的孔(噴嘴29a的前端的開(kāi)口部)插入極細(xì)的棒狀部件(清掃鉆10A)的作業(yè)。因而，能夠簡(jiǎn)單地進(jìn)行通過(guò)清掃鉆1A對(duì)噴嘴29a的清掃作業(yè)。
[0099]此外，即使在噴嘴29a和清掃用壓力缸11的軸心間發(fā)生偏差，也通過(guò)噴嘴29a前端嵌入到定位孔13b2中而自然地進(jìn)行定心。這是因?yàn)?，由于O形環(huán)lie由比較軟的橡膠形成，所以通過(guò)O形環(huán)lie變形，容許活塞桿12的一些傾斜。
[0100]清掃頭13上升直到向噴嘴29a碰抵，如果碰抵到噴嘴29a上，則內(nèi)部的鉆支架13a一邊將彈簧13c壓縮一邊上升。因而，使到此為止收容在導(dǎo)引罩13b的定位孔13b2中的清掃鉆1A從定位孔13b2突出，向噴嘴29a內(nèi)插入。
[0101]此時(shí)，如果噴嘴29a嵌入到定位孔13b2中，則在噴嘴29a與清掃工具10之間進(jìn)行定心，所以噴嘴29a和清掃鉆1A必定位于同軸上。由此，在將清掃鉆1A向噴嘴29a的前端的開(kāi)口部插入時(shí)，能夠抑制噴嘴29a的前端部與清掃鉆1A干涉。因而，作業(yè)者不需要對(duì)其操作提起充分的注意以使清掃鉆1A不會(huì)損傷，所以能夠簡(jiǎn)單地進(jìn)行通過(guò)清掃鉆1A對(duì)噴嘴29a的清掃作業(yè)。
[0102]根據(jù)本實(shí)施方式的清掃工具10，漏斗形狀的噴嘴29a的開(kāi)口部的直徑是0.6mm左右，直徑0.5mm的清掃鉆1A進(jìn)入到那里。并且，清掃鉆1A將附著在噴嘴29a的開(kāi)口部上的濺渣等削掉，但如果噴嘴29a的前端進(jìn)入到定位孔13b2中，則噴嘴29a和清掃鉆1A必定位于同軸上，所以能夠?qū)⑶鍜咩@1A以正確的姿勢(shì)準(zhǔn)確地放入到噴嘴29a內(nèi)。因而，在將直徑0.5mm的清掃鉆1A對(duì)開(kāi)口部的直徑為0.6mm左右的噴嘴29a插入的情況下，也能夠避免清掃鉆1A與噴嘴29a干涉而損壞等。
[0103]此外，通過(guò)O形環(huán)lie的變形容許活塞桿12的傾斜，以使清掃頭13的定位孔13b2匹配于噴嘴29a的位置。因此，即使清掃工具10的位置稍稍偏差，也能夠?qū)⑶鍜咩@1A以正確的姿勢(shì)準(zhǔn)確地放入到噴嘴29a內(nèi)。
[0104]進(jìn)而，由于在導(dǎo)引罩13b與收容在該導(dǎo)引罩13b中、保持清掃鉆1A的鉆支架13a之間夾設(shè)有彈簧13c，所以在使噴嘴29a的前端進(jìn)入到定位孔13b2中的情況下，通過(guò)利用彈簧13c的緩沖作用，能夠緩和噴嘴29a的前端向?qū)б?3b的定位孔13b2嵌入時(shí)的沖擊。由此，不需要對(duì)鉆支架13a的移動(dòng)量提起注意以使噴嘴29a的前端及導(dǎo)引罩13b不會(huì)因上述沖擊而損壞，所以能夠簡(jiǎn)單地進(jìn)行通過(guò)清掃鉆1A對(duì)噴嘴29a的清掃作業(yè)。
[0105]此外，根據(jù)本實(shí)施方式的清掃工具10，由于通過(guò)由空氣壓力缸構(gòu)成的清掃用壓力缸11使清掃鉆1A在其軸心方向上移動(dòng)，所以通過(guò)使清掃鉆1A對(duì)噴嘴29a的清掃自動(dòng)化，能夠不依靠人手而進(jìn)行噴嘴29a的清掃。如果進(jìn)行控制以使清掃工具10定期地進(jìn)行自動(dòng)清掃作業(yè)，則能夠不依靠人手而進(jìn)行噴嘴29a的清掃，還能夠進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間的無(wú)人運(yùn)轉(zhuǎn)。在此情況下，由于能夠通過(guò)彈簧緩和噴嘴29a的前端向?qū)б?3b的定位孔13b2嵌入時(shí)的沖擊，所以即使不細(xì)致地控制鉆支架13a的移動(dòng)量，也能夠嵌入到導(dǎo)引罩13b的定位孔13b2中。
[0106]此外，對(duì)形成在導(dǎo)弓丨罩13b的筒狀部分的內(nèi)部的流路13b I噴出使清掃用壓力缸11動(dòng)作的動(dòng)作空氣，從噴嘴29a對(duì)噴嘴29a的前端已進(jìn)入的定位孔13b2噴出輔助氣體。
[0107]在此情況下，由于在導(dǎo)引罩13b的定位孔13b2中，在與清掃鉆1A的軸心正交的方向(圖8左右方向)上穿通有橫孔13b3，所述橫孔13b3連通到上述流路13bl，所以如果從噴嘴29a噴出輔助氣體，則通過(guò)從噴嘴29a噴出的輔助氣體與噴出到定位孔13b2中的動(dòng)作空氣在定位孔13b2中碰撞，與輔助氣體一起噴出到定位孔13b2內(nèi)的上述附著物被從橫孔13b3向外部排出。
[0108]由此，能夠抑制上述附著物附著到定位孔13b2中，所以使得不會(huì)因附著在定位孔13b2中的上述附著物阻礙使噴嘴29a的前端進(jìn)入到定位孔13b2中的作業(yè)。因而，能夠防止因不進(jìn)行噴嘴29a與定位孔13b2的定心而開(kāi)始清掃作業(yè)使清掃鉆1A損壞。
[0109]在噴嘴29a的清掃后，通過(guò)空氣接頭14a向桿罩Ilc供給動(dòng)作空氣，被加壓的活塞Ilb下降，使活塞桿12向下方移動(dòng)。因此，在清掃頭13中，彈簧13c伸長(zhǎng)，鉆支架13a相對(duì)于導(dǎo)引罩13b相對(duì)地下降，清掃鉆1A被從噴嘴29a拔出，收容到導(dǎo)引罩13b的定位孔13b2中。
[0110]在本實(shí)施方式的清掃工具10中，構(gòu)成為，能夠自動(dòng)地進(jìn)行通過(guò)清掃工具10的噴嘴29a的清掃作業(yè)，但并不一定限定于此，也可以做成作業(yè)者用手拿著清掃工具10進(jìn)行噴嘴29a的清掃作業(yè)的可攜帶型。在這樣的情況下，激光切斷裝置的清掃工具為在圖5所示的清掃工具中去除了清掃用壓力缸11的結(jié)構(gòu)。雖然沒(méi)有詳細(xì)圖示，但例如只要代替活塞桿12而設(shè)置作業(yè)者容易握持的握桿、使該握桿固定到清掃頭13的鉆支架13a上就可以。
[0111]在此情況下，作業(yè)者如上述自動(dòng)清掃作業(yè)那樣將清掃頭13的前端向噴嘴29a推抵，噴嘴29a前端向?qū)б?3b的定位孔13b2內(nèi)嵌入。由此，能夠不確認(rèn)清掃鉆1A的位置而自然地進(jìn)行對(duì)位。并且，如果然后再施加力而推壓清掃頭13，則導(dǎo)引罩13b內(nèi)的鉆支架13a —邊將彈簧13c壓縮一邊上升，通過(guò)將收存在導(dǎo)引罩13b內(nèi)的清掃鉆1A從定位孔13b2向噴嘴29a內(nèi)插入，進(jìn)行清掃作業(yè)。因而，即使是作業(yè)者通過(guò)手工作業(yè)進(jìn)行噴嘴29a的清掃作業(yè)的情況，通過(guò)噴嘴29a嵌入到定位孔13b2中，也能夠?qū)⑶鍜咩@1A準(zhǔn)確地放入到噴嘴29a內(nèi)。并且，在清掃鉆1A進(jìn)入到噴嘴29a內(nèi)的期間中，由于噴嘴29a與定位孔13b2不偏差地嵌合，所以不作用將清掃鉆1A彎折那樣的力，所以能夠避免損壞。
[0112]附圖標(biāo)記說(shuō)明
I激光切斷裝置(激光加工機(jī))
2加工頭 4加工臺(tái) 5支承部件 7滑動(dòng)板
8滑動(dòng)壓力缸(加工臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，清掃工具移動(dòng)機(jī)構(gòu))
9連結(jié)件 10清掃工具 1A清掃鉆 11清掃用壓力缸 13a鉆支架13b導(dǎo)引罩13b I流路13b2定位孔13b3橫孔13c彈簧29a噴嘴41下部支架42吸引孔52連通孔54開(kāi)口55收容空間a光軸W被加工物。
【權(quán)利要求】
1.一種激光加工機(jī)的清掃工具，在具備具有噴嘴的加工頭的激光加工機(jī)中使用，將上述噴嘴清掃，所述噴嘴向?qū)Ρ患庸の锏募す獾恼丈洳糠謬姵鲚o助氣體，其特征在于， 具備: 棒狀的清掃鉆，插入到上述噴嘴的前端的開(kāi)口部?jī)?nèi)； 導(dǎo)引罩，具有定位孔，形成為在上述清掃鉆的長(zhǎng)度方向上與上述噴嘴離開(kāi)的一側(cè)開(kāi)口的杯狀，所述定位孔在與上述噴嘴的前端對(duì)置配置的上表面上穿通，上述噴嘴的前端進(jìn)入到所述定位孔中； 鉆支架，收容在該導(dǎo)引罩中，保持上述清掃鉆； 彈性部件，夾設(shè)在該鉆支架及上述導(dǎo)引罩之間，將上述鉆支架相對(duì)于上述導(dǎo)引罩彈性支承； 構(gòu)成為，在上述噴嘴的前端進(jìn)入到上述定位孔中的狀態(tài)下，克服上述彈性部件的彈性力使上述鉆支架相對(duì)于上述導(dǎo)引罩在上述清掃鉆的長(zhǎng)度方向上向上述噴嘴側(cè)移動(dòng)，由此將上述清掃鉆通過(guò)上述定位孔向上述噴嘴的前端的開(kāi)口部?jī)?nèi)插入。
2.一種激光加工機(jī)，具備加工頭和清掃工具，所述加工頭具有向?qū)Ρ患庸の锏募す獾恼丈洳糠謬姵鲚o助氣體的噴嘴，所述清掃工具清掃上述噴嘴，其特征在于， 上述清掃工具具備: 棒狀的清掃鉆，插入到上述噴嘴的前端的開(kāi)口部?jī)?nèi)； 導(dǎo)引罩，具有定位孔，形成為在上述清掃鉆的長(zhǎng)度方向上與上述噴嘴離開(kāi)的一側(cè)開(kāi)口的杯狀，所述定位孔在與上述噴嘴的前端對(duì)置配置的上表面上穿通，上述噴嘴的前端進(jìn)入到所述定位孔中； 鉆支架，收容在該導(dǎo)引罩中，保持上述清掃鉆； 彈性部件，夾設(shè)在該鉆支架及上述導(dǎo)引罩之間，將上述鉆支架相對(duì)于上述導(dǎo)引罩彈性支承； 構(gòu)成為，在上述噴嘴的前端進(jìn)入到上述定位孔中的狀態(tài)下，克服上述彈性部件的彈性力使上述鉆支架相對(duì)于上述導(dǎo)引罩在上述清掃鉆的長(zhǎng)度方向上向上述噴嘴側(cè)移動(dòng)，由此將上述清掃鉆通過(guò)上述定位孔向上述噴嘴的前端的開(kāi)口部?jī)?nèi)插入。
3.如權(quán)利要求1所述的激光加工機(jī)的清掃工具或權(quán)利要求2所述的激光加工機(jī)，其特征在于， 具備清掃用壓力缸，所述清掃用壓力缸由空氣壓力缸構(gòu)成，使清掃鉆在其軸心方向上移動(dòng)； 上述導(dǎo)引罩具備: 流路，形成在筒狀部分的內(nèi)部，流過(guò)使上述清掃用壓力缸動(dòng)作的動(dòng)作空氣； 橫孔，連通到該流路，在與上述清掃鉆的長(zhǎng)度方向交叉的方向上穿通到上述定位孔中。
4.如權(quán)利要求1所述的激光加工機(jī)的清掃工具或權(quán)利要求2所述的激光加工機(jī)，其特征在于， 具備: 加工臺(tái)，配設(shè)在上述加工頭的下方，保持上述被加工物，并且能夠相對(duì)于上述加工頭在與上述激光的光軸正交的方向上移動(dòng)而構(gòu)成； 加工臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使上述加工臺(tái)相對(duì)于上述加工頭在與上述激光的光軸正交的方向上移動(dòng)； 清掃工具移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使上述清掃工具相對(duì)于上述加工頭在與上述激光的光軸正交的方向上移動(dòng)； 清掃工具用空間，通過(guò)由上述加工臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述加工臺(tái)相對(duì)于上述加工頭在與上述激光的光軸正交的方向上移動(dòng)，設(shè)置在上述加工頭的下方； 通過(guò)由上述清掃工具移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述加工臺(tái)相對(duì)于上述加工頭在與上述激光的光軸方向正交的方向上移動(dòng)，在上述清掃工具用空間中配置上述清掃工具。
5.如權(quán)利要求4所述的激光加工機(jī)的清掃工具或激光加工機(jī)，其特征在于，具備: 支承部件，保持上述加工臺(tái)，在上述加工臺(tái)的移動(dòng)方向上延伸設(shè)置； 滑動(dòng)板，以能夠沿著該支承部件的長(zhǎng)度方向滑動(dòng)移動(dòng)的狀態(tài)保持在上述支承部件上，將上述加工臺(tái)及上述清掃工具固定； 滑動(dòng)壓力缸，使該滑動(dòng)板相對(duì)于上述支承部件滑動(dòng)移動(dòng)，并構(gòu)成上述清掃工具移動(dòng)機(jī)構(gòu)及上述加工臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
6.如權(quán)利要求4所述的激光加工機(jī)的清掃工具或激光加工機(jī)，其特征在于， 上述加工臺(tái)具備下部支架以及吸引孔，所述下部支架在將上述被加工物加工的情況下經(jīng)由上述被加工物與上述加工頭對(duì)置配置，所述吸引孔穿通在該下部支架的上表面上，通過(guò)吸引而設(shè)定為負(fù)壓； 上述支承部件形成為筒狀； 該形成為筒狀的上述支承部件具備連通孔以及氣體通路，所述連通孔穿通在上表面上，與上述吸引孔連通，所述氣體通路與該連通孔連通，形成在上述支承部件的內(nèi)部。
7.如權(quán)利要求5所述的激光加工機(jī)的清掃工具或激光加工機(jī)，其特征在于， 具備將上述滑動(dòng)壓力缸及上述滑動(dòng)板連結(jié)的連結(jié)件； 上述支承部件形成為筒狀； 該形成為筒狀的上述支承部件具備開(kāi)口以及收容空間，所述開(kāi)口在上述加工臺(tái)的移動(dòng)方向上穿通，所述收容空間形成在上述支承部件的內(nèi)部，收容上述滑動(dòng)壓力缸； 通過(guò)上述滑動(dòng)板相對(duì)于上述支承部件滑動(dòng)移動(dòng)，上述連結(jié)件能夠在上述開(kāi)口中移動(dòng)而構(gòu)成。
【文檔編號(hào)】B23K26/142GK104174996SQ201310203232
【公開(kāi)日】2014年12月3日 申請(qǐng)日期:2013年5月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月28日
【發(fā)明者】光田格廣 申請(qǐng)人:日本車輛制造株式會(huì)社