皮秒激光加工裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及激光蝕刻機(jī)【技術(shù)領(lǐng)域】，尤指一種皮秒激光加工裝置，包括機(jī)架，機(jī)架安裝有皮秒激光器，所述機(jī)架還安裝有Z軸升降臺(tái)，皮秒激光器的輸出端連接有第一反射鏡，所述Z軸升降臺(tái)設(shè)有振鏡、場(chǎng)鏡以及可從第一反射鏡接收激光束的第二反射鏡，振鏡分別與第二反射鏡和場(chǎng)鏡連接，所述Z軸升降臺(tái)還安裝有可對(duì)工件進(jìn)行定位和聚焦的CCD視覺(jué)系統(tǒng)；本實(shí)用新型提供了一種皮秒激光加工裝置，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可以對(duì)工件準(zhǔn)確定位和聚焦，并且能夠使激光的焦點(diǎn)準(zhǔn)確定位于工件表面，工件的加工質(zhì)量較高。
【專(zhuān)利說(shuō)明】皮秒激光加工裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及激光蝕刻機(jī)【技術(shù)領(lǐng)域】，尤指一種皮秒激光加工裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]激光蝕刻機(jī)采用激光加工原理，利用高能量密度激光束對(duì)工件表面進(jìn)行局部照射，使表層材料迅速氣化或發(fā)生顏色變化，從而露出深層物質(zhì)，或者導(dǎo)致表層物質(zhì)的化學(xué)物理變化而刻出痕跡，或者是通過(guò)光能燒掉部分物質(zhì)，顯出所需刻蝕的圖案、文字或進(jìn)行精密的鉆孔、切割和刻線(xiàn)加工。
[0003]激光蝕刻機(jī)可廣泛應(yīng)用于ITO電路光刻、PCB薄膜電路光刻等領(lǐng)域。現(xiàn)有技術(shù)中，激光蝕刻機(jī)的激光加工裝置結(jié)構(gòu)較復(fù)雜，不能對(duì)工件進(jìn)行準(zhǔn)確的定位和聚焦，并且激光的焦點(diǎn)經(jīng)常跑偏，從而影響工件的加工質(zhì)量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種皮秒激光加工裝置，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可以對(duì)工件準(zhǔn)確定位和聚焦，并且能夠使激光的焦點(diǎn)準(zhǔn)確定位于工件表面，工件的加工質(zhì)量較聞。
[0005]為達(dá)到以上目的，本實(shí)用新型皮秒激光加工裝置主要采用以下技術(shù)方案:
[0006]一種皮秒激光加工裝置，包括機(jī)架，機(jī)架安裝有皮秒激光器，所述機(jī)架還安裝有Z軸升降臺(tái)，皮秒激光器的輸出端連接有第一反射鏡，所述Z軸升降臺(tái)設(shè)有振鏡、場(chǎng)鏡以及可從第一反射鏡接收激光束的第二反射鏡，振鏡分別與第二反射鏡和場(chǎng)鏡連接，所述Z軸升降臺(tái)還安裝有可對(duì)工件進(jìn)行定位和聚焦的CCD視覺(jué)系統(tǒng)。
[0007]優(yōu)選地，所述皮秒激光器的輸出端與第一反射鏡之間還安裝有第三反射鏡，第一反射鏡與第三反射鏡之間的夾角為90度。
[0008]優(yōu)選地，所述皮秒激光器的輸出端與第三反射鏡之間安裝有擴(kuò)束鏡。
[0009]更進(jìn)一步地，所述第一反射鏡和第二反射鏡之間的夾角為90度。
[0010]優(yōu)選地，所述Z軸升降臺(tái)還設(shè)有光柵安裝板，所述光柵安裝板安裝有光柵尺。
[0011]優(yōu)選地，所述皮秒激光器設(shè)有底板，皮秒激光器通過(guò)底板安裝于機(jī)架。
[0012]優(yōu)選地，所述Z軸升降臺(tái)還安裝有抽煙罩，抽煙罩安裝于場(chǎng)鏡下方。
[0013]本實(shí)用新型皮秒激光加工裝置的有益效果為:
[0014](I)本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置的C⑶視覺(jué)系統(tǒng)對(duì)工件的位置進(jìn)行定位和聚焦，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可以高精度抓靶定位；
[0015](2)通過(guò)設(shè)置的Z軸升降平臺(tái)，能根據(jù)不同工件的厚度或不同場(chǎng)鏡的焦點(diǎn)調(diào)整加工工件表面與激光焦點(diǎn)重合，充分發(fā)揮激光焦點(diǎn)的能量。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1是本實(shí)用新型皮秒激光加工裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。[0017]圖2是本實(shí)用新型皮秒激光加工裝置的第二光路系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]附圖標(biāo)記說(shuō)明:1、機(jī)架，2、皮秒激光器，3、Z軸升降臺(tái)，4、第一反射鏡，5、第二反射鏡，6、振鏡，7、場(chǎng)鏡，8、C⑶視覺(jué)系統(tǒng)，9、抽煙罩，10、底板，11、擴(kuò)束鏡，12、光柵安裝板，13、第
三反射鏡。
【具體實(shí)施方式】
[0019]如圖f圖2所示，一種皮秒激光加工裝置，包括機(jī)架1，機(jī)架I安裝有皮秒激光器2，所述機(jī)架I還安裝有Z軸升降臺(tái)3，皮秒激光器2的輸出端連接有第一反射鏡4，所述Z軸升降臺(tái)3設(shè)有振鏡6、場(chǎng)鏡7以及可從第一反射鏡4接收激光束的第二反射鏡5,振鏡6分別與第二反射鏡5和場(chǎng)鏡7連接，所述Z軸升降臺(tái)3還安裝有可對(duì)工件進(jìn)行定位和聚焦的CCD視覺(jué)系統(tǒng)8。具體地，其中，本實(shí)用新型的激光束依次經(jīng)過(guò)皮秒激光器2、第一反射鏡4、第二反射鏡5、振鏡6和場(chǎng)鏡7，從場(chǎng)鏡7射出的激光束對(duì)工件進(jìn)行加工。本實(shí)用新型的光路系統(tǒng)主要由第一光路系統(tǒng)和第二光路系統(tǒng)兩部分組成，第一光路系統(tǒng)為安裝于機(jī)架I的皮秒激光器2和第一反射鏡4,第二光路系統(tǒng)為安裝于Z軸升降臺(tái)3的第二反射鏡5、振鏡6和場(chǎng)鏡7，兩部分分開(kāi)設(shè)置，方便調(diào)節(jié)；本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置的CCD視覺(jué)系統(tǒng)8對(duì)工件的位置進(jìn)行定位和聚焦，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可以高精度抓靶定位；通過(guò)設(shè)置的Z軸升降平臺(tái)，能根據(jù)不同工件的厚度或不同場(chǎng)鏡7的焦點(diǎn)調(diào)整加工工件表面與激光焦點(diǎn)重合，充分發(fā)揮激光焦點(diǎn)的能量。
[0020]所述皮秒激光器2的輸出端與第一反射鏡4之間還安裝有第三反射鏡13，第一反射鏡4與第三反射鏡13之間的夾角為90度。通過(guò)設(shè)置的第三反射鏡13，方便操作人員對(duì)激光束進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0021]所述皮秒激光器2的輸出端與第一反射鏡4之間安裝有擴(kuò)束鏡11。擴(kuò)束鏡11能夠?qū)す夤馐闹睆綌U(kuò)大并進(jìn)行準(zhǔn)直，使出射光束的平行度更佳，并且能夠控制光斑的大小和激光能量，有利于將光束在后續(xù)的系統(tǒng)中進(jìn)行聚焦。
[0022]所述第一反射鏡4和第二反射鏡5之間的夾角為90度，具體地，兩個(gè)反射鏡均為45度反射鏡，兩個(gè)45度反射鏡能將激光束的方向在空間上改變90度，實(shí)現(xiàn)激光束能夠準(zhǔn)確從激光器到達(dá)振鏡6的目的。
[0023]所述Z軸升降臺(tái)3還設(shè)有光柵安裝板12，所述光柵安裝板12安裝有光柵尺(圖中未標(biāo)示)。通過(guò)設(shè)置的光柵尺，可以準(zhǔn)確反饋當(dāng)前Z軸升降臺(tái)3所處的位置，方便對(duì)Z軸升降臺(tái)3的位置進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而使加工工件表面與激光焦點(diǎn)重合，充分發(fā)揮激光焦點(diǎn)的能量。
[0024]所述皮秒激光器2設(shè)有底板10，皮秒激光器2通過(guò)底板10安裝于機(jī)架I。所述底板10采用通用化的設(shè)計(jì)，可以對(duì)不同型號(hào)的激光器進(jìn)行固定，方便拆卸和維修。
[0025]所述Z軸升降臺(tái)3還安裝有抽煙罩9，抽煙罩9安裝于場(chǎng)鏡7下方。通過(guò)設(shè)置的抽煙罩9，能及時(shí)、高效的將激光蝕刻產(chǎn)生的灰塵通過(guò)外部抽風(fēng)系統(tǒng)帶走，防止灰塵污染鏡頭。
[0026]以上所述實(shí)施方式，只是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施方式，并非來(lái)限制本實(shí)用新型實(shí)施范圍，故凡依本實(shí)用新型申請(qǐng)專(zhuān)利范圍所述的構(gòu)造、特征及原理所做的等效變化或修飾，均應(yīng)包括在本實(shí)用新型專(zhuān)利申請(qǐng)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種皮秒激光加工裝置，包括機(jī)架，機(jī)架安裝有皮秒激光器，其特征在于，所述機(jī)架還安裝有Z軸升降臺(tái)，皮秒激光器的輸出端連接有第一反射鏡，所述Z軸升降臺(tái)設(shè)有振鏡、場(chǎng)鏡以及可從第一反射鏡接收激光束的第二反射鏡，振鏡分別與第二反射鏡和場(chǎng)鏡連接，所述Z軸升降臺(tái)還安裝有可對(duì)工件進(jìn)行定位和聚焦的CCD視覺(jué)系統(tǒng)。
2.如權(quán)利要求1所述的皮秒激光加工裝置，其特征在于，所述皮秒激光器的輸出端與第一反射鏡之間還安裝有第三反射鏡，第一反射鏡與第三反射鏡之間的夾角為90度。
3.如權(quán)利要求2所述的皮秒激光加工裝置，其特征在于，所述皮秒激光器的輸出端與第三反射鏡之間安裝有擴(kuò)束鏡。
4.如權(quán)利要求1任意所述的皮秒激光加工裝置，其特征在于，所述第一反射鏡和第二反射鏡之間的夾角為90度。
5.如權(quán)利要求1所述的皮秒激光加工裝置，其特征在于，所述Z軸升降臺(tái)還設(shè)有光柵安裝板，所述光柵安裝板安裝有光柵尺。
6.如權(quán)利要求1所述的皮秒激光加工裝置，其特征在于，所述皮秒激光器設(shè)有底板，皮秒激光器通過(guò)底板安裝于機(jī)架。
7.如權(quán)利要求1所述的皮秒激光加工裝置，其特征在于，所述Z軸升降臺(tái)還安裝有抽煙罩，抽煙罩安裝于場(chǎng)鏡下方。
【文檔編號(hào)】B23K26/03GK203509350SQ201320600784
【公開(kāi)日】2014年4月2日 申請(qǐng)日期:2013年9月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月27日
【發(fā)明者】陶雄兵 申請(qǐng)人:東莞市盛雄激光設(shè)備有限公司