1.一種激光加工裝置,包含:
激光產(chǎn)生元件,用以產(chǎn)生一激光光束;
光學(xué)繞孔元件,位于該激光光束的光路上,并令該激光光束沿一環(huán)形加工路徑移動;
導(dǎo)流元件,具有光學(xué)通道、環(huán)形流道及對應(yīng)環(huán)形流道的環(huán)形出氣口,該激光光束穿過該光學(xué)通道,該環(huán)形流道將該光學(xué)通道環(huán)繞于內(nèi),該環(huán)形流道靠近該環(huán)形出氣口的一出口端傾斜設(shè)置;以及
氣源,裝設(shè)于該導(dǎo)流元件并與該環(huán)形流道相連通,該氣源用以提供一氣流,且該氣流經(jīng)環(huán)形流道的導(dǎo)引。
2.如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置,還包含遮流元件,具有多個氣流道,該些氣流道環(huán)狀排列,該遮流元件裝設(shè)于該導(dǎo)流元件的該環(huán)形出氣口。
3.如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置,還包含遮流元件,具有氣流道,該遮流元件裝設(shè)于該導(dǎo)流元件的該環(huán)形出氣口。
4.如權(quán)利要求3所述的激光加工裝置,還包含旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件,連接于該遮流元件,以驅(qū)動該遮流元件以該光學(xué)通道的中心軸線為旋轉(zhuǎn)中心線轉(zhuǎn)動。
5.如權(quán)利要求4所述的激光加工裝置,其中該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件包含驅(qū)動馬達(dá)、二傳動輪及傳動皮帶,該二傳動輪分別裝設(shè)于該驅(qū)動馬達(dá)與該導(dǎo)流元件,該傳動皮帶套設(shè)該二傳動輪,以通過該導(dǎo)流元件帶動該遮流元件轉(zhuǎn)動。
6.如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置,還包含阻流透光鏡,封閉該光學(xué)通道。
7.如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置,其中該環(huán)形加工路徑的形狀為圓形、矩形、三角形或星形。
8.如權(quán)利要求7所述的激光加工裝置,其中該環(huán)形加工路徑的形狀為圓形,且該環(huán)形加工路徑的直徑大于等于1毫米。
9.如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置,其中該氣流與該激光光束作用于一加工件的一加工表面,該氣流于該加工表面上形成環(huán)形的一吹氣范圍,該環(huán)形加工路徑位于該加工表面上,且該環(huán)形加工路徑落于該吹氣范圍內(nèi)。
10.如權(quán)利要求9所述的激光加工裝置,其中該吹氣范圍具有相對的外緣及內(nèi)緣,該內(nèi)緣的直徑不等于零。
11.如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置,其中該激光光束為紫外光激光、半導(dǎo)體綠光、近紅外光激光或遠(yuǎn)紅外光激光。
12.如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置,其中光學(xué)繞孔元件為旋轉(zhuǎn)鉆孔(trepan)光學(xué)模塊或掃描振鏡模塊。
13.一種激光排屑裝置,包含:
導(dǎo)流元件,具有光學(xué)通道、環(huán)形流道及對應(yīng)環(huán)形流道的環(huán)形出氣口,該光學(xué)通道用以供一激光光束穿過,該環(huán)形流道將該光學(xué)通道環(huán)繞于內(nèi),該環(huán)形流道靠近該環(huán)形出氣口的一出口端傾斜設(shè)置;以及
氣源,裝設(shè)于該導(dǎo)流元件并與該環(huán)形流道相連通,該氣源用以提供一氣流,且該氣流經(jīng)環(huán)形流道的導(dǎo)引。
14.如權(quán)利要求13所述的激光排屑裝置,還包含遮流元件,具有多個氣流道,該些氣流道環(huán)狀排列,該遮流元件裝設(shè)于該導(dǎo)流元件的該環(huán)形出氣口。
15.如權(quán)利要求13所述的激光排屑裝置,還包含遮流元件,具有氣流道,該遮流元件裝設(shè)于該導(dǎo)流元件的該環(huán)形出氣口。
16.如權(quán)利要求15所述的激光排屑裝置,還包含旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件,連接于該遮流元件,以驅(qū)動該遮流元件以該光學(xué)通道的中心軸線為旋轉(zhuǎn)中心線轉(zhuǎn)動。
17.如權(quán)利要求16所述的激光排屑裝置,其中該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件包含驅(qū)動馬達(dá)、二傳動輪及傳動皮帶,該二傳動輪分別裝設(shè)于該驅(qū)動馬達(dá)與該導(dǎo)流元件,該傳動皮帶套設(shè)該二傳動輪,以通過該導(dǎo)流元件帶動該遮流元件轉(zhuǎn)動。
18.如權(quán)利要求13所述的激光排屑裝置,還包含阻流透光鏡,封閉該光學(xué)通道。
19.如權(quán)利要求13所述的激光排屑裝置,其中該氣流與該激光光束作用于一加工件的一加工表面,該氣流于該加工表面上形成環(huán)形的一吹氣范圍,該環(huán)形加工路徑位于該加工表面上,且該環(huán)形加工路徑落于該吹氣范圍內(nèi)。
20.如權(quán)利要求19所述的激光排屑裝置,其中該吹氣范圍具有相對的外緣及內(nèi)緣,該內(nèi)緣的直徑不等于零。