本發(fā)明涉及靶材加工設(shè)備，具體是一種超硬平面靶材的切割設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、靶材，也稱為濺射靶材，是一種在物理氣相沉積(pvd)技術(shù)中使用的關(guān)鍵材料，它在半導(dǎo)體、平板顯示、太陽能電池、記錄媒體等領(lǐng)域中有著廣泛的應(yīng)用。靶材通常由高純度的金屬、合金或陶瓷化合物制成，其純度、尺寸和微觀結(jié)構(gòu)對薄膜的性能有著決定性的影響。靶材的種類繁多，可以根據(jù)形狀、化學(xué)成分和應(yīng)用領(lǐng)域進行分類。常見的靶材包括銅、鋁、鉬和i?to(摻錫氧化銦)等。它們可以是平面的，也可以是旋轉(zhuǎn)的，以提高濺射過程中的效率和均勻性。靶材的制備過程包括原料選擇、熔煉混合、熱處理、冷變形與退火、機加工和質(zhì)量檢驗等步驟。

2、靶材在加工過程中需要對其進行切割，在對超硬平面靶材切割過程中需要添加冷卻液，現(xiàn)有技術(shù)一種超硬平面靶材的切割設(shè)備(專利申請?zhí)枺?01820425811.x)，包括機架、切割裝置和裝夾平臺，切割裝置和裝夾平臺分別固定于機架的上部，該切割裝置設(shè)置有替換使用的鉬線、驅(qū)動輪和若干引導(dǎo)輪，鉬線順次、循環(huán)且緊張纏繞于驅(qū)動輪和引導(dǎo)輪，其中擇選的兩個引導(dǎo)輪之間形成一切割部，用于切割夾放于裝夾平臺的平面靶材，驅(qū)動輪傳動連接有一用于帶動鉬線作循環(huán)運動的驅(qū)動電機，驅(qū)動電機固定于機架或切割裝置，鉬線和平面靶材之間進行相對摩擦作用或者腐蝕作用，能夠?qū)|(zhì)脆且硬度高的平面靶材進行順滑的切割，其不能夠?qū)鋮s液進行回收利用，為了接解決該技術(shù)問題現(xiàn)提出一種超硬平面靶材的切割設(shè)備。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種超硬平面靶材的切割設(shè)備，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

3、一種超硬平面靶材的切割設(shè)備，包括：設(shè)備主體，所述設(shè)備主體內(nèi)部設(shè)置有線切割裝置；

4、設(shè)置在設(shè)備主體上的安裝平臺，所述安裝平臺用于對平面靶材進行夾緊和輸送；

5、和冷卻液回收裝置，所述冷卻液回收裝置包括積液槽、過濾回收裝置、給液噴頭和輸送系統(tǒng)；所述積液槽設(shè)置在設(shè)備主體上，所述積液槽內(nèi)部設(shè)置有過濾回收裝置，所述給液噴頭設(shè)置在設(shè)備主體上用于向線切割裝置提供冷卻液；所述輸送系統(tǒng)的輸入端與積液槽內(nèi)部連通，所述輸送系統(tǒng)的輸出端與給液噴頭的輸入端連通；

6、其中，所述過濾回收裝置包括箱體，所述箱體內(nèi)部設(shè)置有腔室，所述箱體頂部設(shè)置有進水口，所述箱體內(nèi)部設(shè)置有倒水桶和過濾網(wǎng)，所述倒水桶轉(zhuǎn)動安裝在箱體內(nèi)部側(cè)壁上；所述過濾網(wǎng)設(shè)置在倒水桶的下方；所述過濾網(wǎng)為圓形結(jié)構(gòu)且頂部凸起設(shè)置，所述過濾網(wǎng)外側(cè)抵觸在箱體內(nèi)壁上；所述箱體內(nèi)部設(shè)置有收渣槽，所述收渣槽布置過濾網(wǎng)外側(cè)；所述過濾網(wǎng)軸向轉(zhuǎn)動安裝在箱體中；所述箱體底部排液口中設(shè)置液動組件，所述液動組件單向轉(zhuǎn)動安裝在排液口中，且所述液動組件與過濾網(wǎng)之間設(shè)置蓄能機構(gòu)；還包括設(shè)置限位機構(gòu)，所述限位機構(gòu)用于在過濾網(wǎng)處于低位時限制其轉(zhuǎn)動。

7、作為本發(fā)明再進一步的方案：所述收渣槽底部設(shè)置有排水閥。

8、作為本發(fā)明再進一步的方案：限位機構(gòu)包括固定安裝在箱體內(nèi)部的第二安裝環(huán)，所述過濾網(wǎng)底部設(shè)置有第一安裝環(huán)，所述第一安裝環(huán)與第二安裝環(huán)同心設(shè)置，所述第一安裝環(huán)設(shè)置在第二安裝環(huán)內(nèi)部，所述第二安裝環(huán)外側(cè)對稱設(shè)置有第一限位桿，所述第一限位桿沿著第一安裝環(huán)徑向彈性設(shè)置在第一安裝環(huán)中，且第一限位桿一端外漏設(shè)置；所述第二安裝環(huán)內(nèi)壁上設(shè)置有若干條狀限位槽，所述第二安裝環(huán)內(nèi)壁上還設(shè)置有導(dǎo)向環(huán)形槽，所述導(dǎo)向環(huán)形槽設(shè)置在條狀限位槽的上方設(shè)置。

9、作為本發(fā)明再進一步的方案：所述條狀限位槽不少于兩個設(shè)置。

10、作為本發(fā)明再進一步的方案：所述積液槽頂部開口位置設(shè)置有初級過濾網(wǎng)。

11、作為本發(fā)明再進一步的方案：所述第二安裝環(huán)內(nèi)側(cè)還設(shè)置有限位臺階，所述限位臺階下端抵觸在第一安裝環(huán)上的向內(nèi)收縮的臺階上。

12、作為本發(fā)明再進一步的方案：所述液動組件包括支撐環(huán)和陣列布置在支撐環(huán)內(nèi)部的若干軸流葉片，所述支撐環(huán)中間位置設(shè)置有中心軸，若干軸流葉片靠近中心軸一端均固定安裝在中心軸上，若干軸流葉片靠近支撐環(huán)一端均固定安裝在支撐環(huán)上。

13、作為本發(fā)明再進一步的方案：所述第二限位桿彈性滑動設(shè)置在支撐環(huán)上，所述排液口中固定安裝有第三安裝環(huán)，所述第三安裝環(huán)套設(shè)在支撐環(huán)外側(cè)，所述第三安裝環(huán)內(nèi)側(cè)陣列設(shè)置有不少于兩個單向限位條形槽，所述第二限位桿一端設(shè)置在相鄰的單向限位條形槽中；所述單向限位條形槽一側(cè)設(shè)置有導(dǎo)向結(jié)構(gòu)。

14、作為本發(fā)明再進一步的方案：蓄能機構(gòu)包括彈性轉(zhuǎn)動套設(shè)在支撐環(huán)外側(cè)的轉(zhuǎn)動環(huán)，所述轉(zhuǎn)動環(huán)與支撐環(huán)之間設(shè)置有蓄能組件，所述第一安裝環(huán)上下彈性安裝在轉(zhuǎn)動環(huán)上。

15、作為本發(fā)明再進一步的方案：所述蓄能機構(gòu)還包括豎直固定安裝在轉(zhuǎn)動環(huán)上的若干第二支桿，所述第一安裝環(huán)下端上下彈性安裝在第二支桿上。

16、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：通過過濾回收裝置實現(xiàn)了對冷卻液的回收利用，更加環(huán)保；設(shè)置通過設(shè)置過濾網(wǎng)、限位機構(gòu)和液動組件等機構(gòu)，實現(xiàn)了過濾網(wǎng)的自動清理，提高了過濾效率，不需要對過濾網(wǎng)定期進行拆卸清理，食用更加方便；通過設(shè)置倒水桶能夠為過濾網(wǎng)轉(zhuǎn)動提供足夠的能量。

技術(shù)特征：

1.一種超硬平面靶材的切割設(shè)備，包括：設(shè)備主體(10)，所述設(shè)備主體(10)內(nèi)部設(shè)置有線切割裝置；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超硬平面靶材的切割設(shè)備，其特征在于，所述收渣槽(307)底部設(shè)置有排水閥(332)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超硬平面靶材的切割設(shè)備，其特征在于，限位機構(gòu)包括固定安裝在箱體(333)內(nèi)部的第二安裝環(huán)(315)，所述過濾網(wǎng)(306)底部設(shè)置有第一安裝環(huán)(310)，所述第一安裝環(huán)(310)與第二安裝環(huán)(315)同心設(shè)置，所述第一安裝環(huán)(310)設(shè)置在第二安裝環(huán)(315)內(nèi)部，所述第二安裝環(huán)(315)外側(cè)對稱設(shè)置有第一限位桿(316)，所述第一限位桿(316)沿著第一安裝環(huán)(310)徑向彈性設(shè)置在第一安裝環(huán)(310)中，且第一限位桿(316)一端外漏設(shè)置；所述第二安裝環(huán)(315)內(nèi)壁上設(shè)置有若干條狀限位槽(327)，所述第二安裝環(huán)(315)內(nèi)壁上還設(shè)置有導(dǎo)向環(huán)形槽(329)，所述導(dǎo)向環(huán)形槽(329)設(shè)置在條狀限位槽(327)的上方設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種超硬平面靶材的切割設(shè)備，其特征在于，所述條狀限位槽(327)不少于兩個設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種超硬平面靶材的切割設(shè)備，其特征在于，所述積液槽(301)頂部開口位置設(shè)置有初級過濾網(wǎng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種超硬平面靶材的切割設(shè)備，其特征在于，所述第二安裝環(huán)(315)內(nèi)側(cè)還設(shè)置有限位臺階(328)，所述限位臺階(328)下端抵觸在第一安裝環(huán)(310)上的向內(nèi)收縮的臺階上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種超硬平面靶材的切割設(shè)備，其特征在于，所述液動組件(309)包括支撐環(huán)(311)和陣列布置在支撐環(huán)(311)內(nèi)部的若干軸流葉片(312)，所述支撐環(huán)(311)中間位置設(shè)置有中心軸，若干軸流葉片(312)靠近中心軸一端均固定安裝在中心軸上，若干軸流葉片(312)靠近支撐環(huán)(311)一端均固定安裝在支撐環(huán)(311)上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種超硬平面靶材的切割設(shè)備，其特征在于，所述支撐環(huán)(311)外側(cè)設(shè)置有不少于兩個第二限位桿(324)，所述第二限位桿(324)彈性滑動設(shè)置在支撐環(huán)(311)上，所述排液口(334)中固定安裝有第三安裝環(huán)(322)，所述第三安裝環(huán)(322)套設(shè)在支撐環(huán)(311)外側(cè)，所述第三安裝環(huán)(322)內(nèi)側(cè)陣列設(shè)置有不少于兩個單向限位條形槽(323)，所述第二限位桿(324)一端設(shè)置在相鄰的單向限位條形槽(323)中；所述單向限位條形槽(323)一側(cè)設(shè)置有導(dǎo)向結(jié)構(gòu)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種超硬平面靶材的切割設(shè)備，其特征在于，所述蓄能機構(gòu)包括彈性轉(zhuǎn)動套設(shè)在支撐環(huán)(311)外側(cè)的轉(zhuǎn)動環(huán)(313)，所述轉(zhuǎn)動環(huán)(313)與支撐環(huán)(311)之間設(shè)置有蓄能組件，所述第一安裝環(huán)(310)上下彈性安裝在轉(zhuǎn)動環(huán)(313)上。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種超硬平面靶材的切割設(shè)備，其特征在于，所述蓄能機構(gòu)還包括豎直固定安裝在轉(zhuǎn)動環(huán)(313)上的若干第二支桿(317)，所述第一安裝環(huán)(310)下端上下彈性安裝在第二支桿(317)上。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明適用于靶材加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種超硬平面靶材的切割設(shè)備；包括：設(shè)備主體，所述設(shè)備主體內(nèi)部設(shè)置有線切割裝置；設(shè)置在設(shè)備主體上的安裝平臺，所述安裝平臺用于對平面靶材進行夾緊和輸送；和冷卻液回收裝置，所述冷卻液回收裝置包括積液槽、過濾回收裝置、給液噴頭和輸送系統(tǒng)；所述積液槽設(shè)置在設(shè)備主體上，所述積液槽內(nèi)部設(shè)置有過濾回收裝置，所述給液噴頭設(shè)置在設(shè)備主體上用于向線切割裝置提供冷卻液；所述輸送系統(tǒng)的輸入端與積液槽內(nèi)部連通，所述輸送系統(tǒng)的輸出端與給液噴頭的輸入端連通；本發(fā)明通過設(shè)置過濾網(wǎng)、限位機構(gòu)和液動組件等機構(gòu)，實現(xiàn)了過濾網(wǎng)的自動清理，提高了過濾效率，不需要對過濾網(wǎng)定期進行拆卸清理，食用更加方便；通過設(shè)置倒水桶能夠為過濾網(wǎng)轉(zhuǎn)動提供足夠的能量。

技術(shù)研發(fā)人員：程平
受保護的技術(shù)使用者：安徽中晶新材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/5