本技術(shù)涉及半導(dǎo)體晶圓加工，尤其涉及一種具有快速定位功能的半導(dǎo)體晶圓加工用劃片機(jī)。

背景技術(shù)：

1、晶圓是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅，硅晶棒在經(jīng)過研磨、拋光、切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓，國內(nèi)晶圓生產(chǎn)線以8英寸和12英寸為主，晶圓的主要加工方式為片加工和批加工，即同時(shí)加工1片或多片晶圓，晶圓的形狀主要為圓形、方形和六邊形等，其中，圓形晶圓是最常見的形狀。

2、半導(dǎo)體晶圓劃片方法主要有金剛石砂輪劃片和激光劃片兩種，金剛石砂輪劃片是利用電機(jī)帶動(dòng)金剛石砂輪對(duì)晶圓進(jìn)行切割，激光劃片是利用高能激光束聚焦產(chǎn)生的高溫使照射局部范圍內(nèi)的硅材料瞬間氣化，完成晶圓分離。

3、在使用半導(dǎo)體晶圓劃片機(jī)對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行劃片時(shí)，需要對(duì)半導(dǎo)體晶圓的位置進(jìn)行定位夾緊，可現(xiàn)有技術(shù)中，大多數(shù)劃片機(jī)只能對(duì)圓形晶圓進(jìn)行定位劃片加工，而對(duì)于方形晶圓并不能快速和便捷的對(duì)其進(jìn)行定位夾緊，這樣不僅會(huì)降低半導(dǎo)體晶圓劃片效率，還會(huì)影響劃片機(jī)的使用效果，鑒于此，我們提出一種具有快速定位功能的半導(dǎo)體晶圓加工用劃片機(jī)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，適應(yīng)現(xiàn)實(shí)需要，提供一種具有快速定位功能的半導(dǎo)體晶圓加工用劃片機(jī)，以解決當(dāng)前難以快速和便捷的對(duì)方形晶圓進(jìn)行定位夾緊的技術(shù)問題。

2、為了實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的目的，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案為：設(shè)計(jì)一種具有快速定位功能的半導(dǎo)體晶圓加工用劃片機(jī)，包括劃片機(jī)本體、夾緊組件和滑動(dòng)組件；其中，所述劃片機(jī)本體包括機(jī)體、激光劃片頭和放置板；所述激光劃片頭通過升降機(jī)構(gòu)與機(jī)體連接，所述放置板通過移動(dòng)機(jī)構(gòu)與機(jī)體連接；所述夾緊組件布置于所述放置板上；其中，所述夾緊組件包括固定銷、轉(zhuǎn)動(dòng)板、液壓缸、溝槽、轉(zhuǎn)動(dòng)塊、轉(zhuǎn)動(dòng)件、活動(dòng)板、夾緊板和固定板；所述固定銷固設(shè)于所述放置板遠(yuǎn)離激光劃片頭一側(cè)；所述轉(zhuǎn)動(dòng)板套設(shè)于所述固定銷上；所述液壓缸固設(shè)于所述固定銷遠(yuǎn)離放置板一端；所述放置板上呈矩形陣列開設(shè)有四個(gè)溝槽；四個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)塊通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸a呈矩形陣列設(shè)于所述轉(zhuǎn)動(dòng)板上；其中，所述轉(zhuǎn)動(dòng)塊與轉(zhuǎn)動(dòng)板轉(zhuǎn)動(dòng)配合；所述轉(zhuǎn)動(dòng)件通過滑動(dòng)組件與所述轉(zhuǎn)動(dòng)塊連接；所述活動(dòng)板通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸b與所述轉(zhuǎn)動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)連接；所述夾緊板固設(shè)于所述活動(dòng)板遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)動(dòng)件一側(cè)，且所述夾緊板端部穿過溝槽延伸至外部；所述固定板固設(shè)于其中一個(gè)活動(dòng)板遠(yuǎn)離夾緊板一側(cè)，且所述固定板與液壓缸活塞端固定連接。

3、優(yōu)選地，所述轉(zhuǎn)動(dòng)件呈“7”字型結(jié)構(gòu)。

4、優(yōu)選地，所述夾緊板呈t型結(jié)構(gòu)。

5、優(yōu)選地，所述滑動(dòng)組件包括滑動(dòng)槽、滑動(dòng)塊、活動(dòng)槽、回力彈簧a、固定塊和固定槽；所述轉(zhuǎn)動(dòng)件靠近轉(zhuǎn)動(dòng)塊一側(cè)開設(shè)有滑動(dòng)槽；所述滑動(dòng)塊固設(shè)于所述轉(zhuǎn)動(dòng)塊靠近轉(zhuǎn)動(dòng)件一側(cè)；其中，所述滑動(dòng)塊與滑動(dòng)槽滑動(dòng)配合；所述滑動(dòng)塊上開設(shè)有至少一個(gè)活動(dòng)槽；所述回力彈簧a設(shè)于所述活動(dòng)槽內(nèi)，且所述回力彈簧a一端與活動(dòng)槽內(nèi)壁固定連接；所述固定塊與所述回力彈簧a另一端固定連接，且所述固定塊端部穿過活動(dòng)槽延伸至外部；其中，所述固定塊與活動(dòng)槽滑動(dòng)配合；所述滑動(dòng)槽內(nèi)呈線性陣列開設(shè)有若干個(gè)固定槽；其中，所述固定塊與固定槽卡接配合。

6、優(yōu)選地，所述滑動(dòng)塊呈t型結(jié)構(gòu)。

7、優(yōu)選地，所述固定塊呈等腰梯形結(jié)構(gòu)，且所述固定塊靠近回力彈簧a一側(cè)尺寸大于固定塊遠(yuǎn)離回力彈簧a一側(cè)尺寸。

8、優(yōu)選地，還包括限位組件；所述限位組件布置于所述夾緊板上。

9、優(yōu)選地，所述限位組件包括連接塊、彈簧槽、回力彈簧b和定位球；所述連接塊固設(shè)于若干個(gè)所述夾緊板相對(duì)面上；所述連接塊靠近放置板一側(cè)呈線性陣列開設(shè)有若干個(gè)彈簧槽；所述回力彈簧b設(shè)于所述彈簧槽內(nèi)，且所述回力彈簧b一端與彈簧槽內(nèi)壁固定連接；所述定位球與所述回力彈簧b另一端固定連接，且所述定位球球面穿過彈簧槽延伸至外部；其中，所述定位球與彈簧槽滑動(dòng)配合；其中，所述定位球超過一半體積位于彈簧槽內(nèi)。

10、優(yōu)選地，所述連接塊呈直角三角結(jié)構(gòu)，且所述連接塊傾斜面靠近放置板方向設(shè)置。

11、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果在于：

12、1.本實(shí)用新型通過設(shè)置夾緊組件，在需要對(duì)方形晶圓進(jìn)行定位夾緊時(shí)，首先，將方形晶圓放置在放置板上，并處于四個(gè)夾緊板之間，然后，啟動(dòng)液壓缸，使液壓缸活塞桿開始收縮，使固定板發(fā)生移動(dòng)，使與固定板連接的活動(dòng)板向靠近液壓缸方向發(fā)生移動(dòng)，使夾緊板在溝槽內(nèi)向靠近液壓缸方向發(fā)生移動(dòng)，使轉(zhuǎn)動(dòng)件通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸b與活動(dòng)板發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)，使轉(zhuǎn)動(dòng)塊通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸a與轉(zhuǎn)動(dòng)板發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)，使轉(zhuǎn)動(dòng)板在固定銷上發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)，使其他三個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)塊通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸a與轉(zhuǎn)動(dòng)板發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)，使其他三個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)件通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸b與活動(dòng)板發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)，使其他三個(gè)活動(dòng)板向靠近液壓缸方向發(fā)生移動(dòng)，使其他三個(gè)夾緊板在溝槽內(nèi)向靠近液壓缸方向發(fā)生移動(dòng)，使四個(gè)夾緊板自定心對(duì)方形晶圓進(jìn)行定位，直至四個(gè)夾緊板與方形晶圓接觸，此時(shí)，便完成了對(duì)方形晶圓的夾緊，隨后，便可啟動(dòng)機(jī)體，使激光劃片頭對(duì)方形晶圓進(jìn)行劃片加工，本實(shí)用新型通過自定心的方式，可快速和便捷的對(duì)半導(dǎo)體方形晶圓進(jìn)行定位夾緊，有利于提高半導(dǎo)體晶圓的劃片加工效率。

13、2.本實(shí)用新型通過設(shè)置滑動(dòng)槽、滑動(dòng)塊、活動(dòng)槽、回力彈簧a、固定塊和固定槽，利用滑動(dòng)塊與滑動(dòng)槽滑動(dòng)配合、固定塊與活動(dòng)槽滑動(dòng)配合、固定塊與固定槽卡接配合和回力彈簧a彈性作用，使本實(shí)用新型不僅可以對(duì)不同長(zhǎng)度的方形晶圓進(jìn)行定位夾緊，還可以使滑動(dòng)塊在滑動(dòng)槽內(nèi)的位置固定，從而提高了滑動(dòng)塊與滑動(dòng)槽的連接強(qiáng)度，將滑動(dòng)塊設(shè)置成t型結(jié)構(gòu)，以避免滑動(dòng)塊脫離與滑動(dòng)槽的配合，將固定塊設(shè)置成等腰梯形結(jié)構(gòu)，且將固定塊靠近回力彈簧a一側(cè)尺寸設(shè)置成大于固定塊遠(yuǎn)離回力彈簧a一側(cè)尺寸，使固定塊可以脫離與固定槽的卡接，方便改變滑動(dòng)塊在滑動(dòng)槽內(nèi)的位置。

14、3.本實(shí)用新型通過設(shè)置連接塊、彈簧槽、回力彈簧b和定位球，利用定位球與彈簧槽滑動(dòng)配合和回力彈簧b彈性作用，使定位球可以豎向定位方形晶圓，使本實(shí)用新型可以全面對(duì)方形晶圓進(jìn)行定位，將定位球超過一半體積位于彈簧槽內(nèi)，以避免定位球脫離與彈簧槽的配合，將連接塊設(shè)置成直角三角結(jié)構(gòu)，且將連接塊傾斜面靠近放置板方向設(shè)置，以方便豎向定位不同厚度的方形晶圓。

技術(shù)特征：

1.一種具有快速定位功能的半導(dǎo)體晶圓加工用劃片機(jī)，其特征在于，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的具有快速定位功能的半導(dǎo)體晶圓加工用劃片機(jī)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動(dòng)件(206)呈“7”字型結(jié)構(gòu)。

3.如權(quán)利要求2所述的具有快速定位功能的半導(dǎo)體晶圓加工用劃片機(jī)，其特征在于，所述夾緊板(208)呈t型結(jié)構(gòu)。

4.如權(quán)利要求3所述的具有快速定位功能的半導(dǎo)體晶圓加工用劃片機(jī)，其特征在于，所述滑動(dòng)組件(3)包括：

5.如權(quán)利要求4所述的具有快速定位功能的半導(dǎo)體晶圓加工用劃片機(jī)，其特征在于，所述滑動(dòng)塊(302)呈t型結(jié)構(gòu)。

6.如權(quán)利要求5所述的具有快速定位功能的半導(dǎo)體晶圓加工用劃片機(jī)，其特征在于，所述固定塊(305)呈等腰梯形結(jié)構(gòu)，且所述固定塊(305)靠近回力彈簧a(304)一側(cè)尺寸大于固定塊(305)遠(yuǎn)離回力彈簧a(304)一側(cè)尺寸。

7.如權(quán)利要求6所述的具有快速定位功能的半導(dǎo)體晶圓加工用劃片機(jī)，其特征在于，還包括：

8.如權(quán)利要求7所述的具有快速定位功能的半導(dǎo)體晶圓加工用劃片機(jī)，其特征在于，所述限位組件(4)包括：

9.如權(quán)利要求8所述的具有快速定位功能的半導(dǎo)體晶圓加工用劃片機(jī)，其特征在于，所述連接塊(401)呈直角三角結(jié)構(gòu)，且所述連接塊(401)傾斜面靠近放置板(103)方向設(shè)置。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及一種具有快速定位功能的半導(dǎo)體晶圓加工用劃片機(jī)，旨在解決當(dāng)前難以快速和便捷的對(duì)方形晶圓進(jìn)行定位夾緊的技術(shù)問題，包括劃片機(jī)本體、夾緊組件和滑動(dòng)組件；劃片機(jī)本體包括機(jī)體、激光劃片頭和放置板；放置板通過移動(dòng)機(jī)構(gòu)與機(jī)體連接；夾緊組件布置于放置板上；夾緊組件包括固定銷、轉(zhuǎn)動(dòng)板、液壓缸、溝槽、轉(zhuǎn)動(dòng)塊、轉(zhuǎn)動(dòng)件、活動(dòng)板、夾緊板和固定板；固定銷固設(shè)于放置板上；轉(zhuǎn)動(dòng)板套設(shè)于固定銷上；放置板上呈矩形陣列開設(shè)有四個(gè)溝槽；四個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)塊呈矩形陣列設(shè)于轉(zhuǎn)動(dòng)板上；轉(zhuǎn)動(dòng)件通過滑動(dòng)組件與轉(zhuǎn)動(dòng)塊連接；活動(dòng)板與轉(zhuǎn)動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)連接；夾緊板固設(shè)于活動(dòng)板遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)動(dòng)件一側(cè)；本技術(shù)可快速和便捷的對(duì)方形晶圓進(jìn)行定位夾緊。

技術(shù)研發(fā)人員：李建設(shè)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州恩正科電子有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240228
技術(shù)公布日：2024/10/24