專利名稱：金屬線放電加工裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及可提高加工速度和加工精度的金屬線放電加工裝置的改進(jìn)。
背景技術(shù)：
下面，結(jié)合圖5～圖8來說明現(xiàn)有的金屬線放電加工裝置的的結(jié)構(gòu)和動(dòng)作。
圖5是表示機(jī)械部分的整體結(jié)構(gòu)，101是作為機(jī)械底座的床身，102是X軸臺(tái)。X軸臺(tái)102由床身101上的X軸導(dǎo)向體103支承，通過X軸絲桿104而受到未圖示的X軸電動(dòng)機(jī)的朝向X方向的驅(qū)動(dòng)。105是用于固定被加工物25的臺(tái)面，被固定在X軸臺(tái)102上。106是儲(chǔ)存加工液的加工槽。107是支承Z軸裝置117的立柱，下部臂108被固定。在該下部臂108的前端部上安裝有下部導(dǎo)向體109。118是上部導(dǎo)向體，被固定在Z軸裝置117的前端部上。111是床身101上的Y軸導(dǎo)向體，用來支承立柱107。立柱107通過Y軸絲桿112而受到Y(jié)軸電動(dòng)機(jī)113的朝向Y方向的驅(qū)動(dòng)。114是對(duì)回收金屬線電極的滾柱115予以支承的金屬線回收臂，回收后的金屬線電極容納在回收箱116內(nèi)。120是金屬線繞線架，121是配置在床身101下方的襯墊，122是傾斜調(diào)整用的調(diào)整水平螺釘。
圖6是表示下部導(dǎo)向體109結(jié)構(gòu)的剖視圖。下部導(dǎo)向體109通過絕緣板2而固定在下部臂108的前端上，主要由噴嘴6、供電模16、下部金屬線導(dǎo)向體支架12、導(dǎo)向體支承板23和下部調(diào)節(jié)塊3構(gòu)成。下部調(diào)節(jié)塊3包含擔(dān)當(dāng)金屬線電極方向變換的滾柱19，具有錐狀的金屬線入口3a和金屬線出口3b。在金屬線出口3b上連接有回收管20。導(dǎo)向體支承板23內(nèi)藏供電模16，還內(nèi)藏拉出供電模16用的引出板17。供電模16由壓板15固定。18是下部輔助導(dǎo)向體，與下部金屬線導(dǎo)向體支架12相配合而成為通過將金屬線電極119壓向供電模16而對(duì)其供電的結(jié)構(gòu)。噴嘴6是噴出加工液的部分，利用配管9將加工液設(shè)成高壓流體來供給。14是彈簧，13是噴嘴6的壓板。在加工中使彈簧14壓縮來上升噴嘴6并由壓板止動(dòng)，當(dāng)不供給加工液時(shí)向下返回。因此，若在非加工中，就降下噴嘴，防止與被加工物的不必要的接觸。整流板22具有對(duì)噴嘴內(nèi)部的加工液的紊流予以整流的作用，設(shè)有許多小直徑孔22a。10是配線，與由導(dǎo)電性材料構(gòu)成的導(dǎo)向體支承板23連接，將來自未圖示的加工電源的加工電力供給于供電模16。24是下部輸送水流噴出孔，與來自外部的配管連接，起到將回收管20內(nèi)部的金屬線電極119輸送到回收滾柱115(參照圖5)的作用，主要在金屬線電極119的初始設(shè)置時(shí)使用。26是被加工物25與金屬線電極119間的加工間隙，稱作為極間。由噴嘴6噴出的加工液被供給到極間26。加工液的主要作用是排出加工時(shí)產(chǎn)生的加工粉末；防止金屬線電極過熱；以及防止加工中金屬線電極的斷線。
圖7是表示上部導(dǎo)向體118結(jié)構(gòu)的剖視圖。安裝板225是用來將上部導(dǎo)向體118固定在Z軸裝置117上的，由絕緣材料構(gòu)成。上部調(diào)節(jié)塊226具有通道226a，在上部調(diào)節(jié)塊226的上部具有用來對(duì)金屬線電極119進(jìn)行導(dǎo)向的上部輔助導(dǎo)向體229。供電模46容納在上部調(diào)節(jié)塊226的內(nèi)部，受到壓板230的朝向金屬線電極119的按壓。并做成利用引出板47可使上述供電模46出入的結(jié)構(gòu)。在上部調(diào)節(jié)塊226的下端固定有上部金屬線導(dǎo)向體支架236，在上部金屬線導(dǎo)向體支架236的前端部上固定有金屬線導(dǎo)向體236a。此外，設(shè)置殼體234以遮住上部金屬線導(dǎo)向體支架236，并在其外側(cè)配置噴嘴232。在殼體234的內(nèi)部，容納有通過彈簧235而沿上下方向可動(dòng)地支承著的噴射嘴233。
當(dāng)向噴射配管238供給加工液時(shí)，噴射嘴233因其壓力而一邊按壓彈簧235一邊向下方移動(dòng)，從噴射嘴233的噴出孔233a噴出噴射水流239。金屬線電極119通過該噴射水流239的內(nèi)部，向下方的下部導(dǎo)向體導(dǎo)出金屬線電極119。在通常加工時(shí)，由加工液配管237供給加工液，從噴嘴232的噴出孔232a供給加工液。另外，在通常加工時(shí)，噴射嘴233利用彈簧235而向上方后退。221是冷卻孔，將加工液導(dǎo)入上部金屬線導(dǎo)向體支架236內(nèi)部，以冷卻加工中的金屬線電極119。234a是固定節(jié)流孔，以使由加工液配管237供給的加工液的紊流整流化。
金屬線放電加工裝置，因在金屬線電極和供電模的接觸部上流過大電流而成為高溫，從而導(dǎo)致金屬線電極斷線，故要用加工液進(jìn)行冷卻。冷卻用加工液的供給是，利用噴嘴232內(nèi)部的背壓，從設(shè)在上部金屬線導(dǎo)向體支架236上的冷卻孔221而將冷卻用加工液供給于金屬線通道226a。加工液從冷卻孔221沿金屬線通道226a內(nèi)部而向上方上升，通過金屬線電極119和供電模46的接觸部，再通過上部輔助導(dǎo)向體229而放出到外部。如此，利用加工液的通過，來吸取由金屬線電極和供電模的接觸部所產(chǎn)生的焦耳熱，進(jìn)行冷卻。
下面，根據(jù)圖8來說明加工中金屬線電極和加工槽的結(jié)構(gòu)。圖中，朝向加工進(jìn)行方向一邊維持一定間隙一邊進(jìn)行加工。如箭頭所示那樣從上下的噴嘴噴出噴出流240，在被加工物25的上下方向的大致中央附近兩者相碰，再向加工方向的后方的槽26b流動(dòng)。
一旦提高加工速度，排出的加工粉末就較多，若加工粉末的產(chǎn)生和排出變得不平衡時(shí)，就弄臟極間，加工間隙的電阻減小，且加工槽增大而使加工精度下降。在這種情況下，為促進(jìn)排出加工粉末，要提高加工液的壓力，但若提高加工液的壓力，有時(shí)會(huì)產(chǎn)生如下的問題金屬線電極與被加工物間的加工液的流線速度就增高，加工液脫離被加工物和金屬線電極的側(cè)壁，給加工帶來妨礙。也就是說，若加工液脫離被加工物和金屬線電極的側(cè)壁，則成為加工電流不能穩(wěn)定流動(dòng)、金屬線電極斷線的原因。如此，要提高加工液的壓力，具有限度的問題。
另外，為提高精度，需排除加工間隙的臟物、降低加工粉末的濃度，并且，需提高加工液的比電阻在狹窄的間隙中進(jìn)行加工。但是，提高比電阻要耗費(fèi)較多的離子交換樹脂，是不經(jīng)濟(jì)的，并存在著從金屬線放電加工裝置向外部排出的排出物較多的問題。
如上所述，在現(xiàn)有的金屬線放電加工裝置中，提高加工速度和加工精度這兩方面是非常困難的。
發(fā)明的公開本發(fā)明的目的在于解決上述那樣的問題，從而提供一種可提高加工速度和加工精度的金屬線放電加工裝置。
第1發(fā)明的金屬線放電加工裝置具有內(nèi)藏金屬線導(dǎo)向體的上部導(dǎo)向體和下部導(dǎo)向體，金屬線導(dǎo)向體是在被加工物的上下導(dǎo)向金屬線電極的；從所述上部導(dǎo)向體和所述下部導(dǎo)向體中至少一方向所述被加工物噴出供給加工液的噴嘴；向所述噴嘴供給所述加工液的泵，在從所述泵至所述噴嘴的所述加工液的流路中將氣體混入于所述加工液，將氣液混相狀態(tài)的加工液從所述噴嘴噴出供給于所述被加工物。
第2發(fā)明的金屬線放電加工裝置，是在第1發(fā)明的金屬線放電加工裝置中，將所述噴嘴做成雙重結(jié)構(gòu)，從內(nèi)部噴嘴噴出氣液混相狀態(tài)的加工液，從外部噴嘴噴出不混入氣體的加工液。
第3發(fā)明的金屬線放電加工裝置具有內(nèi)藏金屬線導(dǎo)向體的上部導(dǎo)向體和下部導(dǎo)向體，金屬線導(dǎo)向體是在被加工物的上下導(dǎo)向金屬線電極的；從所述上部導(dǎo)向體和所述下部導(dǎo)向體中至少一方向所述被加工物噴出供給加工液的噴嘴；向所述噴嘴供給所述加工液的泵，在所述泵的上游側(cè)將氣體混入所述加工液，將氣液混相狀態(tài)的加工液從所述噴嘴噴出供給于所述被加工物。
第4發(fā)明的金屬線放電加工裝置，是在第3發(fā)明的金屬線放電加工裝置中，將所述噴嘴做成雙重結(jié)構(gòu)，從內(nèi)部噴嘴噴出氣液混相狀態(tài)的加工液，從外部噴嘴噴出不混入氣體的加工液。
第5發(fā)明的金屬線放電加工裝置具有內(nèi)藏金屬線導(dǎo)向體的上部導(dǎo)向體和下部導(dǎo)向體，金屬線導(dǎo)向體是在被加工物的上下導(dǎo)向金屬線電極的；從所述上部導(dǎo)向體和所述下部導(dǎo)向體中至少一方向所述被加工物噴出供給加工液的噴嘴；向所述噴嘴供給所述加工液的泵，在配置在所述泵的上游側(cè)的冷卻容器內(nèi)將氣體混入所述加工液，將氣液混相狀態(tài)的加工液從所述噴嘴噴出供給于所述被加工物。
第6發(fā)明的金屬線放電加工裝置，是在第5發(fā)明的金屬線放電加工裝置中，將所述噴嘴做成雙重結(jié)構(gòu)，從內(nèi)部噴嘴噴出氣液混相狀態(tài)的加工液，從外部噴嘴噴出不混入氣體的加工液。
附圖的簡單說明

圖1是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1的上部導(dǎo)向體的剖視圖；圖2是表示本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1的整體結(jié)構(gòu)圖；圖3是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1的加工液噴出狀態(tài)的說明圖；圖4是表示本發(fā)明實(shí)施形態(tài)2的結(jié)構(gòu)圖；圖5是現(xiàn)有的金屬線放電加工裝置的機(jī)械部分的整體結(jié)構(gòu)圖；圖6是現(xiàn)有的金屬線放電加工裝置的下部導(dǎo)向體的剖視圖；圖7是現(xiàn)有的金屬線放電加工裝置的上部導(dǎo)向體的剖視圖；圖8是現(xiàn)有金屬線放電加工裝置在加工中金屬線電極和加工槽的結(jié)構(gòu)說明圖。
實(shí)施發(fā)明的最佳形態(tài)實(shí)施形態(tài)1下面，結(jié)合圖1～圖3說明本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1的金屬線放電加工裝置的結(jié)構(gòu)和動(dòng)作。
圖1表示上部導(dǎo)向體的剖視圖，設(shè)在支承板30內(nèi)部的管路30b與從外部供給的加工液配管相連接，并從4個(gè)方向與中心附近的匯集池(プ-ル)30a連接。在支承板30的下端面固定有導(dǎo)向體支架56。導(dǎo)向體支架56具有嵌合供電模33的孔，并在中心部具有金屬線電極的通道56d。金屬線電極的通道56d是貫通導(dǎo)向體支架56內(nèi)部的直線狀的管路，其下端的出口通過噴出孔50a。59是金屬線電極的輔助導(dǎo)向體，配置在上端，在下部配置有金屬線導(dǎo)向體55。32是可移動(dòng)地配置在導(dǎo)向體支架56外側(cè)的環(huán)形狀的環(huán)，32a是按壓供電模33的螺栓。內(nèi)部噴嘴50的外周呈凸緣狀，其部分與擋塊52卡合，擋塊52利用側(cè)板53固定在支承板30上。38是彈簧，起到在內(nèi)部噴嘴50與環(huán)32之間、將內(nèi)部噴嘴50向下方按壓的作用。內(nèi)部噴嘴50在上下移動(dòng)時(shí)，與導(dǎo)向體支架56的外周部嵌合，由O形環(huán)防止加工液滲漏。供電模33在中心部具有管路33a，具有與金屬線電極的接觸供電部33b，在接觸供電部33b的相反側(cè)具有利用桿54等從外部使供電模33自身旋轉(zhuǎn)用的槽33c。供電是如下那樣進(jìn)行的為使金屬線電極比連接金屬線導(dǎo)向體55的中心和輔助導(dǎo)向體59的中心的直線還向圖中左側(cè)移動(dòng)1mm左右，將其配置在推入供電模33的接觸供電部33b的位置，使金屬線電極和供電模33一邊接觸一邊進(jìn)行供電。
在內(nèi)部噴嘴50的外側(cè)設(shè)有外部噴嘴63。內(nèi)部噴嘴50的前端部，噴出口50b配置成與外部噴嘴的噴出孔63a重疊，由外部噴嘴的連接孔63b供給的加工液從所述噴出孔63a、即噴出孔50b的外側(cè)而噴出。65是從內(nèi)部噴嘴50噴出的高壓噴出流，其直徑稍大于噴射水流57。64是從外部噴嘴63噴出的低壓噴出流，其直徑大于上述高壓噴出流65。加工液在加工中從外部噴嘴63和內(nèi)部噴嘴50作為同軸流而向被加工物噴出。
對(duì)于下部導(dǎo)向體，因與上述說明的上部導(dǎo)向體是同樣的結(jié)構(gòu)，故省略說明。
圖2是整體結(jié)構(gòu)圖，在機(jī)械本體的上部和下部分別設(shè)有上部導(dǎo)向體118和下部導(dǎo)向體109。106是容納被加工物的加工槽，其加工液利用配管106a而回收到加工液箱70進(jìn)行循環(huán)。加工液箱70包括暫且儲(chǔ)存被加工后的加工粉末弄臟的加工液的污液槽70a和儲(chǔ)存被過濾器72過濾后的加工液的清液槽70b。71是過濾用的泵。40是泵，將清液槽70b的加工液供給于外部噴嘴63的連接孔63b。因此，加工液的低壓噴出流就從外部噴嘴63噴出。泵60在具有將加工液循環(huán)供給于冷卻器77、將加工液維持成一定溫度的作用的同時(shí)還將加工液供給于流量控制閥61。75是冷卻箱，與加工液箱70的清液槽70b連接。加工液的冷卻是通過冷卻配管73而由冷卻器76來進(jìn)行的。冷卻后的加工液利用泵74而通過配管74a、74b供給于上部導(dǎo)向體118和下部導(dǎo)向體109。由管末端8連接的高壓流體，通過管路30b(參照圖1)從內(nèi)部噴嘴50的噴出孔50a(參照圖1)作為高壓噴出流而噴出。對(duì)于下部導(dǎo)向體也是相同的。78是單向閥，設(shè)在管末端8和空氣壓縮機(jī)80之間，防止加工液倒流。高壓的氣體由空氣壓縮機(jī)80供給，在管末端8混入加工液而使配管內(nèi)部成為氣液混相的狀態(tài)。將該氣液混相狀態(tài)的加工液從內(nèi)部噴嘴50向被加工物噴出。
結(jié)合圖3來說明加工液的噴出狀態(tài)。來自內(nèi)部噴嘴50的高壓噴出流如上所述是氣體和液體的混相狀態(tài)，沿周圍的從外部噴嘴63噴出的低壓噴出流的中心而流動(dòng)。氣液混相狀態(tài)的加工液因混入氣泡，故與液體相比，比電阻飛躍性地增大，絕緣性提高。因此，即使不使用離子交換樹脂也可將極間的比電阻維持成一定，并且因可將加工間隙設(shè)定得狹窄，故可使加工精度大幅度提高。
另外，在氣液混相狀態(tài)下，因飛躍性地促進(jìn)加工液的攪動(dòng)而使加工液成為紊流，故可消除加工液脫離被加工物和金屬線電極的側(cè)壁的現(xiàn)象。
此外，作為氣液混相流的特征，因粘性較大下降，故流速加快，可促進(jìn)加工粉末的排出效果，使加工穩(wěn)定進(jìn)行，且因還可加大加工電流，故可使加工速度大幅度地提高。
而且，在紊流狀態(tài)下，由于可飛躍性地提高金屬線電極表面的熱傳遞率，對(duì)金屬線電極自身進(jìn)行冷卻而使溫度下降，故可抑制加工中金屬線電極的斷線，可進(jìn)一步提高加工速度。
實(shí)施形態(tài)2圖4是表示本發(fā)明實(shí)施形態(tài)2的結(jié)構(gòu)圖。70是加工液箱，加工液箱70內(nèi)部的加工液受到泵83的加壓。81、82分別是單向閥，以維持加工液箱70內(nèi)部的壓力。此外，加工液箱70內(nèi)部的加工液利用冷卻器76而被維持成低溫。氣體由泵84供給，從氣泡管85將較小的氣泡噴出到液體中。所供給的氣體既可是空氣，也可是從高壓儲(chǔ)氣瓶供給二氧化碳等。一般，在壓力高而低溫狀態(tài)下氣體容易溶入液體中。用泵74將充分溶入氣體的加工液供給于上部導(dǎo)向體和下部導(dǎo)向體。在液體狀態(tài)下輸送到噴嘴內(nèi)，在從噴嘴噴出的過程中因開放成大氣壓，故壓力一下子下降，所謂的總水頭變換成速度水頭。此時(shí)，大量溶入加工液內(nèi)部的氣體呈現(xiàn)氣泡，向加工間隙內(nèi)部噴出混有細(xì)小氣泡的氣液混相流體。
在氣體開放成大氣壓的過程中，具有產(chǎn)生隔熱膨脹、吸收周圍熱量的效果，同時(shí)，還有對(duì)金屬線電極自身進(jìn)行冷卻的效果。另外，可利用氣體的膨脹使流速飛躍地提高，還可促進(jìn)加工粉末的排出效果，并可進(jìn)一步使加工速度大幅度提高。而且，在從泵至噴嘴的直接配管的途中，不必混入氣體，從而可使裝置簡單化。
第1發(fā)明～第6發(fā)明的金屬線放電加工裝置，由于將氣液混相狀態(tài)的加工液從噴嘴噴出供給于上述被加工物，故可提高加工速度和加工精度。
第5發(fā)明的金屬線放電加工裝置是，在冷卻容器內(nèi)將氣體溶入加工液，在液體狀態(tài)下將該加工液輸送到噴嘴內(nèi)，從噴嘴噴出氣液混相流體的加工液，除了上述的效果外，還具有可利用隔熱膨脹對(duì)金屬線電極自身進(jìn)行冷卻的效果。另外，還有利用氣體膨脹而飛躍地提高流速、促進(jìn)加工粉末的排出效果、進(jìn)一步大幅度提高加工速度的效果。此外，還有可在從泵至噴嘴的直接配管的途中不必混入氣體而使裝置簡單化的效果。
因第2發(fā)明、第4發(fā)明及第6發(fā)明的金屬線放電加工裝置是，將噴嘴做成雙重結(jié)構(gòu)，從內(nèi)部噴嘴噴出氣液混相狀態(tài)的加工液，從外部噴嘴噴出不混入氣體的加工液，使涉及加工的氣液混相流集中在極間，利用由外部噴嘴大量供給的低壓噴出流對(duì)被加工物進(jìn)行冷卻，所以，因在加工液的噴出狀態(tài)下可進(jìn)行加工，而不將被加工物浸沒于加工液的狀態(tài)下對(duì)其進(jìn)行加工，故除了上述的效果外，還具有可經(jīng)濟(jì)地制造整個(gè)裝置的效果。
工業(yè)上利用的可能性如上所述，本發(fā)明的金屬線放電加工裝置，由于可提高加工速度和加工精度，故可適用于金屬線放電加工作業(yè)。
權(quán)利要求
1．一種金屬線放電加工裝置，系使加工液介于金屬線電極和被加工物之間，利用放電對(duì)所述被加工物進(jìn)行加工的金屬線放電加工裝置，其特征在于，具有內(nèi)藏金屬線導(dǎo)向體的上部導(dǎo)向體和下部導(dǎo)向體，金屬線導(dǎo)向體是在被加工物的上下導(dǎo)向金屬線電極的；從所述上部導(dǎo)向體和所述下部導(dǎo)向體中至少一方向所述被加工物噴出供給加工液的噴嘴；向所述噴嘴供給所述加工液的泵，在從所述泵至所述噴嘴的所述加工液的流路中將氣體混入于所述加工液，將氣液混相狀態(tài)的加工液從所述噴嘴噴出供給于所述被加工物。
2．如權(quán)利要求1所述的金屬線放電加工裝置，其特征在于，將所述噴嘴做成雙重結(jié)構(gòu)，從內(nèi)部噴嘴噴出氣液混相狀態(tài)的加工液，從外部噴嘴噴出不混入氣體的加工液。
3．一種金屬線放電加工裝置，系使加工液介于金屬線電極和被加工物之間，利用放電對(duì)所述被加工物進(jìn)行加工的金屬線放電加工裝置，其特征在于，具有內(nèi)藏金屬線導(dǎo)向體的上部導(dǎo)向體和下部導(dǎo)向體，金屬線導(dǎo)向體是在被加工物的上下導(dǎo)向金屬線電極的；從所述上部導(dǎo)向體和所述下部導(dǎo)向體中至少一方向所述被加工物噴出供給加工液的噴嘴；向所述噴嘴供給所述加工液的泵，在所述泵的上游側(cè)將氣體混入所述加工液，將氣液混相狀態(tài)的加工液從所述噴嘴噴出供給于所述被加工物。
4．如權(quán)利要求3所述的金屬線放電加工裝置，其特征在于，將所述噴嘴做成雙重結(jié)構(gòu)，從內(nèi)部噴嘴噴出氣液混相狀態(tài)的加工液，從外部噴嘴噴出不混入氣體的加工液。
5．一種金屬線放電加工裝置，系使加工液介于金屬線電極和被加工物之間，利用放電對(duì)所述被加工物進(jìn)行加工的金屬線放電加工裝置，其特征在于，具有內(nèi)藏金屬線導(dǎo)向體的上部導(dǎo)向體和下部導(dǎo)向體，金屬線導(dǎo)向體是在被加工物的上下導(dǎo)向金屬線電極的；從所述上部導(dǎo)向體和所述下部導(dǎo)向體中至少一方向所述被加工物噴出供給加工液的噴嘴；向所述噴嘴供給所述加工液的泵，在配置在所述泵的上游側(cè)的冷卻容器內(nèi)將氣體混入所述加工液，將氣液混相狀態(tài)的加工液從所述噴嘴噴出供給于所述被加工物。
6．如權(quán)利要求5所述的金屬線放電加工裝置，其特征在于，將所述噴嘴做成雙重結(jié)構(gòu)，從內(nèi)部噴嘴噴出氣液混相狀態(tài)的加工液，從外部噴嘴噴出不混入氣體的加工液。
全文摘要
一種金屬線放電加工裝置,具有:內(nèi)藏金屬線導(dǎo)向體的上部導(dǎo)向體118和下部導(dǎo)向體109,金屬線導(dǎo)向體是在被加工物25的上下導(dǎo)向金屬線電極119的;從所述上部導(dǎo)向體118和所述下部導(dǎo)向體109中至少一方向所述被加工物25噴出供給加工液的噴嘴;向所述噴嘴供給所述加工液的泵,在從所述泵至所述噴嘴的所述加工液的流路中將氣體混入于所述加工液,將氣液混相狀態(tài)的加工液從所述噴嘴噴出供給于所述被加工物25。
文檔編號(hào)B23H7/36GK1282285SQ9881240
公開日2001年1月31日 申請日期1998年10月16日 優(yōu)先權(quán)日1998年10月16日
發(fā)明者毛呂俊夫, 佐藤清侍 申請人:三菱電機(jī)株式會(huì)社