一種磁控陽(yáng)極筒用紫銅管制作工藝的制作方法
【專利說(shuō)明】
[技術(shù)領(lǐng)域]
[0001]本發(fā)明涉及一種磁控陽(yáng)極筒用紫銅管制作工藝。
[【背景技術(shù)】]
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中，磁控陽(yáng)極筒用紫銅管的加工方法主要有三種，一是傳統(tǒng)的擠壓拉伸法，即鑄造實(shí)心錠-熱擠壓-皮爾格軋制-拉伸-矯直定尺，該方法存在壁厚偏心大，外徑圓度差，在800°C以上溫度下外表面偶有氣泡出現(xiàn)，生產(chǎn)成本高等缺點(diǎn)；二是水平連鑄法，即水平連鑄管坯-行星軋制-拉伸-四輥精軋-定尺，該方法也存在壁厚偏心不穩(wěn)定，工序流程長(zhǎng)，生產(chǎn)成本高等缺點(diǎn)；三是上引管坯法，即上引管坯-皮爾格軋制-四輥精軋-定尺，該方法雖然工序短，但內(nèi)部組織時(shí)有軸向缺陷，高溫時(shí)會(huì)開(kāi)裂等缺點(diǎn)。其中磁控陽(yáng)極筒用紫銅管其要求通常是:1、必須是高純無(wú)氧銅，在滿足國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T5231TU2的基礎(chǔ)上，氧含量必須小于1ppm ;2、導(dǎo)電率大于或等于(20C) IACS 98%;3、夕卜徑公差小于或等于±0.05mm，壁厚公差小于或等于±0.05mm ;4、平直度不大于lmm/lm ;5、800°C以上不起泡，上述工藝難以達(dá)到。
[
【發(fā)明內(nèi)容】
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[0003]本發(fā)明克服了上述技術(shù)的不足，提供了一種磁控陽(yáng)極筒用紫銅管制作工藝，制作后的紫銅管組織致密均勻，高溫后沒(méi)有任何氣泡和開(kāi)裂缺陷，并且完全滿足磁控陽(yáng)極筒用高精度無(wú)氧銅管的精度及質(zhì)量要求。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了下列技術(shù)方案:
[0005]一種磁控陽(yáng)極筒用紫銅管制作工藝，其步驟如下:
[0006]a、選料:選用高純陰極銅板；
[0007]b、熔鑄管錠:采用熔化爐將高純陰極銅板熔化成銅水，再通過(guò)精煉鑄造爐將所述銅水進(jìn)行水平連續(xù)鑄造成管錠；
[0008]C、銑面:將所述熔鑄管錠用銑面機(jī)進(jìn)行銑面，銑除管錠外表面冷隔、裂紋夾雜鑄造缺陷；
[0009]d、拉伸:將所述銑面后的管錠拉伸成管坯；
[0010]e、精軋:采用冷軋管機(jī)將所述管坯軋成高精度紫銅管；
[0011]f、切割:按規(guī)定長(zhǎng)度尺寸將所述紫銅管進(jìn)行鋸切；
[0012]g、清理:清潔油污并清除鋸切銅肩，形成定尺的磁控陽(yáng)極筒用紫銅管。
[0013]所述熔鑄管錠中銅的百分比含量彡99.96%，磷的百分比含量彡1ppm,氧的百分比含量< lOppm。
[0014]所述恪鑄管錠的外徑范圍為60mm?90mm，壁厚范圍為6mm?12mm。
[0015]所述銑面厚度范圍為0.5mm?2.5mm。
[0016]所述管坯采用四輥冷軋管機(jī)將所述管坯精軋成高精度紫銅管。
[0017]所述紫銅管的平直度< lmm/lm，壁厚公差< ±0.03mm，外徑公差< ±0.02mm。
[0018]本發(fā)明的有益效果是:
[0019]采用本發(fā)明在實(shí)施批量生產(chǎn)時(shí)所產(chǎn)生的紫銅管完全達(dá)到了磁控陽(yáng)極筒用高精度無(wú)氧銅管的精度及質(zhì)量要求，改變了該產(chǎn)品長(zhǎng)期依賴進(jìn)口的被動(dòng)局面，為高精度特殊紫銅管的加工提供了一種新方法。
[【具體實(shí)施方式】]
[0020]一種磁控陽(yáng)極筒用紫銅管制作工藝，其步驟如下:
[0021]a、選料:選用高純陰極銅板；
[0022]b、熔鑄管錠:采用熔化爐將高純陰極銅板熔化成銅水，再通過(guò)精煉鑄造爐將所述銅水進(jìn)行水平連續(xù)鑄造成管錠；
[0023]C、銑面:將所述熔鑄管錠用銑面機(jī)進(jìn)行銑面，銑除管錠外表面冷隔、裂紋夾雜鑄造缺陷；
[0024]d、拉伸:將所述銑面后的管錠拉伸成管坯；
[0025]e、精軋:采用冷軋管機(jī)將所述管坯軋成高精度紫銅管；
[0026]f、切割:按規(guī)定長(zhǎng)度尺寸將所述紫銅管進(jìn)行鋸切；
[0027]g、清理:清潔油污并清除鋸切銅肩，形成定尺的磁控陽(yáng)極筒用紫銅管
[0028]其中，所述高純陰極銅板為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T467的A級(jí)陰極銅。
[0029]所述熔鑄管錠中銅的百分比含量彡99.96%，磷的百分比含量< 1ppm,氧的百分比含量< 1ppm,外徑范圍為60mm?90mm，壁厚范圍為6mm?12mm。
[0030]所述管坯采用四輥冷軋管機(jī)將所述管坯精軋成高精度紫銅管，所述紫銅管的平直度< lmm/lm，即每米紫銅管的平直度與水平直度誤差值少于lmm/lm，壁厚公差< ±0.03mm，外徑公差< ±0.02mm。。
[0031]通過(guò)上述工藝制作出來(lái)的磁控陽(yáng)極筒用紫銅管，材質(zhì)穩(wěn)定，形狀及尺寸精度高，組織致密均勻，高溫后沒(méi)有任何起泡和開(kāi)裂缺陷；工藝流程短，完全可以滿足磁控陽(yáng)極筒用紫銅管標(biāo)準(zhǔn)及要求，且生產(chǎn)效率高，成本低。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種磁控陽(yáng)極筒用紫銅管制作工藝，其步驟如下: a、選料:選用高純陰極銅板； b、熔鑄管錠:采用熔化爐將高純陰極銅板熔化成銅水，再通過(guò)精煉鑄造爐將所述銅水進(jìn)行水平連續(xù)鑄造成管錠； C、銑面:將所述熔鑄管錠用銑面機(jī)進(jìn)行銑面，銑除管錠外表面冷隔、裂紋夾雜鑄造缺陷； d、拉伸:將所述銑面后的管錠拉伸成管坯； e、精軋:采用冷軋管機(jī)將所述管坯軋成高精度紫銅管； f、切割:按規(guī)定長(zhǎng)度尺寸將所述紫銅管進(jìn)行鋸切； g、清理:清潔油污并清除鋸切銅肩，形成定尺的磁控陽(yáng)極筒用紫銅管。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁控陽(yáng)極筒用紫銅管制作工藝，其特征在于:所述熔鑄管錠中銅的百分比含量彡99.96%，磷的百分比含量彡1ppm,氧的百分比含量彡lOppm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁控陽(yáng)極筒用紫銅管制作工藝，其特征在于:所述熔鑄管錠的外徑范圍為60mm?90mm，壁厚范圍為6mm?12mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁控陽(yáng)極筒用紫銅管制作工藝，其特征在于:所述銑面厚度范圍為0.5mm?2.5mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁控陽(yáng)極筒用紫銅管制作工藝，其特征在于:所述管坯采用四輥冷軋管機(jī)將所述管坯精軋成高精度紫銅管。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁控陽(yáng)極筒用紫銅管制作工藝，其特征在于:所述紫銅管的平直度< lmm/lm，壁厚公差< ±0.03mm，外徑公差< ±0.02mm。
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種磁控陽(yáng)極筒用紫銅管制作工藝，一種磁控陽(yáng)極筒用紫銅管制作工藝，其步驟如下，選用高純陰極銅板；采用熔化爐將高純陰極銅板熔化成銅水，再通過(guò)精煉鑄造爐將所述銅水進(jìn)行水平連續(xù)鑄造成管錠；將所述熔鑄管錠用銑面機(jī)進(jìn)行銑面，銑除管錠外表面冷隔、裂紋夾雜鑄造缺陷；將所述銑面后的管錠拉伸成管坯；采用冷軋管機(jī)將所述管坯軋成高精度紫銅管；按規(guī)定長(zhǎng)度尺寸將所述紫銅管進(jìn)行鋸切；清潔油污并清除鋸切銅屑，形成定尺的磁控陽(yáng)極筒用紫銅管，制作后的紫銅管組織致密均勻，高溫后沒(méi)有任何氣泡和開(kāi)裂缺陷，并且完全滿足磁控陽(yáng)極筒用高精度無(wú)氧銅管的精度及質(zhì)量要求。
【IPC分類】B21C37-06, C22C9-00
【公開(kāi)號(hào)】CN104707876
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410784781
【發(fā)明人】林瓊榕, 廖南練
【申請(qǐng)人】特能傳熱科技（中山）有限公司
【公開(kāi)日】2015年6月17日
【申請(qǐng)日】2014年12月16日