激光加工裝置的制造方法
【專利摘要】提供激光加工裝置，能夠重復(fù)地照射激光光線且能夠高效地實施燒蝕加工。激光加工裝置的激光光線照射機構(gòu)具有：脈沖激光振蕩器，其振蕩出脈沖激光光線；聚光器，其對從脈沖激光振蕩器振蕩出的激光光線進行會聚而對保持在卡盤工作臺上的被加工物進行照射；多面鏡，其配設(shè)在脈沖激光振蕩器與聚光器之間，呈同心狀地配設(shè)有多個反射鏡，該多個反射鏡使從該脈沖激光振蕩器振蕩出的脈沖激光光線分散；以及引導(dǎo)構(gòu)件，其配設(shè)在脈沖激光振蕩器與多面鏡之間，對脈沖激光光線進行引導(dǎo)以便脈沖激光光線不會照射到相鄰的反射鏡的角部。
【專利說明】
激光加工裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及激光加工裝置，其對保持在卡盤工作臺上的半導(dǎo)體晶片等被加工物施加激光加工。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體器件制造工藝中，在作為大致圓板形狀的半導(dǎo)體晶片的正面上通過排列成格子狀的分割預(yù)定線劃分出多個區(qū)域，在該劃分出的區(qū)域中形成IC、LSI等器件。并且，通過沿著分割預(yù)定線切斷半導(dǎo)體晶片而對形成有器件的區(qū)域進行分割從而制造出各個半導(dǎo)體器件。
[0003]近年來，為了提高IC、LSI等半導(dǎo)體芯片的處理能力而將以如下的形式形成的半導(dǎo)體晶片實用化:在硅等基板的正面上層疊有由S1F、BSG(S1B)等無機物類的膜或聚酰亞胺類、聚對二甲苯類等作為聚合物膜的有機物類的膜構(gòu)成的低介電常數(shù)絕緣體被膜(Low-k膜)的功能層而形成的半導(dǎo)體器件。
[0004]對這樣的半導(dǎo)體晶片的沿著分割預(yù)定線的分割通常由被稱為劃片帶的切削裝置進行。該切削裝置具有:卡盤工作臺，其對作為被加工物的半導(dǎo)體晶片進行保持;切削構(gòu)件，其用于對保持在該卡盤工作臺上的半導(dǎo)體晶片進行切削；以及移動構(gòu)件，其使卡盤工作臺與切削構(gòu)件相對地移動。切削構(gòu)件包含高速旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)主軸和裝配于該主軸的切削刀具。切削刀具由圓盤狀的基臺和裝配于該基臺的側(cè)面外周部的環(huán)狀的切削刃構(gòu)成，切削刃例如通過電鑄固定粒徑3μηι左右的金剛石磨粒而形成。
[0005]但是，上述的Low-k膜很難通過切削刀具來切削。即，由于Low-k膜像云母那樣非常脆，因此如果通過切削刀具沿著分割預(yù)定線進行切削，則存在如下的問題:Low-k膜會剝離，該剝離到達電路而給器件帶來致命的損傷。
[0006]為了解決上述問題而在下述專利文獻I中公開了如下的晶片的分割方法:在形成于半導(dǎo)體晶片的分割預(yù)定線的寬度方向的兩側(cè)沿著分割預(yù)定線照射激光光線，沿著分割預(yù)定線形成2條激光加工槽而將由Low-k膜構(gòu)成的層疊體隔斷，在該2條激光加工槽的外側(cè)之間定位切削刀具而使切削刀具與半導(dǎo)體晶片相對移動，由此沿著分割預(yù)定線將半導(dǎo)體晶片切斷。
[0007]專利文獻1:日本特開2005-64231號公報
[0008]但是，如果沿著分割預(yù)定線照射激光光線進行燒蝕加工而去除由Low-k膜構(gòu)成的層疊體從而形成激光加工槽，則存在如下的問題:層疊體的發(fā)生了飛散的熔融物會重新填充激光加工槽，要想形成足夠?qū)挾鹊募す饧庸げ郾仨氀刂指铑A(yù)定線多次照射激光光線，
生產(chǎn)性變差。
[0009]并且，在沿著分割預(yù)定線照射對于晶片具有吸收性的波長的激光光線而進行燒蝕加工從而形成分割槽而將晶片分割成各個器件的技術(shù)中，同樣也存在恪融物重新填充分割槽，要想形成分割所需要的分割槽必須沿著分割預(yù)定線多次照射激光光線而生產(chǎn)性變差的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的，其主要的技術(shù)課題在于，提供激光加工裝置，能夠重復(fù)地照射激光光線且高效地實施燒蝕加工。
[0011 ]為了解決上述主要的技術(shù)課題，根據(jù)本發(fā)明，提供一種激光加工裝置，其具有:對被加工物進行保持的卡盤工作臺；以及對保持在該卡盤工作臺上的被加工物進行激光加工的激光光線照射機構(gòu)，該激光加工裝置的特征在于，該激光光線照射機構(gòu)具有:脈沖激光振蕩器，其振蕩出脈沖激光光線;聚光器，其對從該脈沖激光振蕩器振蕩出的激光光線進行會聚而對保持在該卡盤工作臺上的被加工物進行照射;多面鏡，其配設(shè)在該脈沖激光振蕩器與該聚光器之間，相對于旋轉(zhuǎn)軸呈同心狀地配設(shè)有多個反射鏡，該多個反射鏡使從該脈沖激光振蕩器振蕩出的脈沖激光光線分散；以及引導(dǎo)構(gòu)件，其配設(shè)在該脈沖激光振蕩器與該多面鏡之間，對脈沖激光光線進行引導(dǎo)以便脈沖激光光線不會照射到相鄰的反射鏡的角部。
[0012]上述引導(dǎo)構(gòu)件包含:光學(xué)性開關(guān)元件，其將從該脈沖激光振蕩器振蕩出的脈沖激光光線選擇性地引導(dǎo)到第I路徑和第2路徑;偏光分束器，其將引導(dǎo)到該第I路徑和該第2路徑的脈沖激光光線引導(dǎo)到配設(shè)有該多面鏡的第3路徑;旋轉(zhuǎn)位置檢測構(gòu)件，其對該多面鏡的旋轉(zhuǎn)位置進行檢測；以及控制構(gòu)件，其根據(jù)來自該旋轉(zhuǎn)位置檢測構(gòu)件的檢測信號而對該光學(xué)性開關(guān)元件進行控制以便脈沖激光光線不會照射到該多面鏡的相鄰的反射鏡與反射鏡的角部，對第I路徑和第2路徑進行定位以便該偏光分束器對引導(dǎo)到第I路徑的脈沖激光光線和引導(dǎo)到該第2路徑的脈沖激光光線以具有規(guī)定的間隔的方式進行分支。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的激光加工裝置，由于脈沖激光光線不會照到旋轉(zhuǎn)的多面鏡的反射鏡與反射鏡的角部，因此防止因脈沖激光光線與多面鏡的反射鏡和反射鏡的角部接觸而產(chǎn)生的脈沖激光光線的散亂。因此，能夠消除因脈沖激光光線與多面鏡的反射鏡和反射鏡的角部接觸而散亂從而無法照射到規(guī)定的加工區(qū)域、產(chǎn)生加工損失，并且因脈沖激光光線的散亂而使被加工物的品質(zhì)降低這樣的問題。
[0014]并且，在本發(fā)明的激光加工裝置的激光光線照射機構(gòu)中，由于脈沖激光光線的多個脈沖重復(fù)地照射到保持在卡盤工作臺上的被加工物上，因此重復(fù)地進行燒蝕加工，因此能夠防止熔融物的重新填充，通過對卡盤工作臺進行加工進給而能夠在作為被加工物的Low-k膜或基板等上高效地形成期望的寬度的激光加工槽。
【附圖說明】
[0015]圖1是根據(jù)本發(fā)明而構(gòu)成的激光加工裝置的立體圖。
[0016]圖2是裝載于圖1所示的激光加工裝置的激光光線照射機構(gòu)的模塊結(jié)構(gòu)圖。
[0017]圖3是示出從圖2所示的激光光線照射機構(gòu)的脈沖激光振蕩器振蕩出的脈沖激光光線照射到被加工物的脈沖的狀態(tài)的說明圖。
[0018]標號說明
[0019]2:靜止基臺；3:卡盤工作臺機構(gòu)；36:卡盤工作臺；37:X軸方向移動構(gòu)件;38: Y軸方向移動構(gòu)件;4:激光光線照射單元;5:激光光線照射機構(gòu);51:脈沖激光振蕩器;52:輸出調(diào)整構(gòu)件;53:聚光器;54:多面鏡;55:引導(dǎo)構(gòu)件;552:光學(xué)性開關(guān)兀件;553:偏光分束器;558: 旋轉(zhuǎn)位置檢測構(gòu)件;6:拍攝構(gòu)件;7:控制構(gòu)件。
【具體實施方式】
[0020]以下，關(guān)于根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的激光加工裝置的優(yōu)選的實施方式，參照附圖而詳細地進行說明。
[0021]圖1中示出了本發(fā)明實施方式的激光加工裝置I的立體圖。圖1所示的激光加工裝置I具有:靜止基臺2;卡盤工作臺機構(gòu)3，其以能夠在箭頭X所示的加工進給方向(X軸方向)上移動的方式配設(shè)于該靜止基臺2并保持被加工物；以及作為激光光線照射構(gòu)件的激光光線照射單元4，其配設(shè)在靜止基臺2上。
[0022]上述卡盤工作臺機構(gòu)3具有:一對導(dǎo)軌31、31，其沿著X軸方向平行地配設(shè)在靜止基臺2上;第I滑動塊32，其以能夠在X軸方向上移動的方式配設(shè)在該導(dǎo)軌31、31上;第2滑動塊33，其以能夠在與X軸方向垂直的箭頭Y所示的Y軸方向上移動的方式配設(shè)在該第I滑動塊32上;蓋工作臺35，其通過圓筒部件34支承在該第2滑動塊33上；以及作為卡盤工作臺的卡盤工作臺36。該卡盤工作臺36具有由多孔性材料形成的吸附卡盤361，通過未圖示的吸引構(gòu)件將作為被加工物的例如圓形狀的半導(dǎo)體晶片保持在吸附卡盤361的作為上表面的保持面上。通過配設(shè)在圓筒部件34內(nèi)的未圖示的脈沖電動機使這樣構(gòu)成的卡盤工作臺36旋轉(zhuǎn)。另夕卜，在卡盤工作臺36中配設(shè)有夾具362，該夾具362用于對隔著保護帶支承半導(dǎo)體晶片等被加工物的環(huán)狀的框架進行固定。
[0023]上述第I滑動塊32在其下表面設(shè)置有與上述一對導(dǎo)軌31、31嵌合的一對被導(dǎo)槽
321、321，并且在其上表面設(shè)置有沿著Y軸方向平行形成的一對導(dǎo)軌322、322。這樣構(gòu)成的第I滑動塊32構(gòu)成為因被導(dǎo)槽321、321與一對導(dǎo)軌31、31嵌合而能夠沿著一對導(dǎo)軌31、31在X軸方向上移動。本實施方式的卡盤工作臺機構(gòu)3具有用于使第I滑動塊32沿著一對導(dǎo)軌31、31在X軸方向上移動的X軸方向移動構(gòu)件37 4軸方向移動構(gòu)件37包含在上述一對導(dǎo)軌31與31之間平行配設(shè)的外螺桿371、以及用于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動該外螺桿371的脈沖電動機372等驅(qū)動源。夕卜螺桿371的一端旋轉(zhuǎn)自如地支承于固定在上述靜止基臺2上的軸承塊373，其另一端與上述脈沖電動機372的輸出軸傳動連結(jié)。另外，外螺桿371與形成在突出設(shè)置于第I滑動塊32的中央部下表面的未圖示的內(nèi)螺紋塊中的貫通內(nèi)螺紋孔螺合。因此，通過脈沖電動機372對外螺桿371進行正轉(zhuǎn)和反轉(zhuǎn)驅(qū)動而使第I滑動塊32沿著導(dǎo)軌31、31在X軸方向上移動。
[0024]上述第2滑動塊33構(gòu)成為在其下表面設(shè)置有與設(shè)置在上述第I滑動塊32的上表面上的一對導(dǎo)軌322、322嵌合的一對被導(dǎo)槽331、331，通過使該被導(dǎo)槽331、331與一對導(dǎo)軌
322、322嵌合而能夠在Y軸方向上移動。本實施方式的卡盤工作臺機構(gòu)3具有用于使第2滑動塊33沿著設(shè)置于第I滑動塊32的一對導(dǎo)軌322、322在Y軸方向上移動的Y軸方向移動構(gòu)件38。Y軸方向移動構(gòu)件38包含在上述一對導(dǎo)軌322與322之間平行配設(shè)的外螺桿381以及用于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動該外螺桿381的脈沖電動機382等驅(qū)動源。外螺桿381的一端旋轉(zhuǎn)自如地支承于固定在上述第I滑動塊32的上表面上的軸承塊383，其另一端與上述脈沖電動機382的輸出軸傳動連結(jié)。另外，外螺桿381與形成于突出設(shè)置在第2滑動塊33的中央部下表面上的未圖示的內(nèi)螺紋塊中的貫通內(nèi)螺紋孔螺合。因此，通過脈沖電動機382對外螺桿381進行正轉(zhuǎn)和反轉(zhuǎn)驅(qū)動而使第2滑動塊33沿著導(dǎo)軌322、322在Y軸方向上移動。
[0025]上述激光光線照射單元4具有:配設(shè)在上述靜止基臺2上的支承部件41;由該支承部件41支承且實質(zhì)上水平延伸的外殼42;配設(shè)于該外殼42的激光光線照射機構(gòu)5;以及配設(shè)于外殼42的前端部且對要進行激光加工的加工區(qū)域進行檢測的拍攝構(gòu)件6。另外，拍攝構(gòu)件6具有:對被加工物進行照明的照明構(gòu)件;捕捉由該照明構(gòu)件照明的區(qū)域的光學(xué)系統(tǒng)；以及對由該光學(xué)系統(tǒng)捕捉到的像進行拍攝的拍攝元件(CCD)等。
[0026]參照圖2和圖3對上述激光光線照射機構(gòu)5進行說明。
[0027]激光光線照射機構(gòu)5具有:脈沖激光振蕩器51;輸出調(diào)整構(gòu)件52，其對從該脈沖激光振蕩器51振蕩出的脈沖激光光線的輸出進行調(diào)整;聚光器53，其對由該輸出調(diào)整構(gòu)件52調(diào)整了輸出的脈沖激光光線進行會聚而對保持在卡盤工作臺36上的被加工物進行照射;多面鏡(porigon mirror)54，其配設(shè)在輸出調(diào)整構(gòu)件52與聚光器53之間，相對于旋轉(zhuǎn)軸呈同心狀地配設(shè)有多個使從脈沖激光振蕩器51振蕩出且由輸出調(diào)整構(gòu)件52調(diào)整了輸出的脈沖激光光線分散的反射鏡；以及引導(dǎo)構(gòu)件55，其配設(shè)在脈沖激光振蕩器51與多面鏡54之間，對脈沖激光光線進行引導(dǎo)以便脈沖激光光線不會照射到相鄰的反射鏡的角部。
[0028]脈沖激光振蕩器51在本實施方式中振蕩出波長為355nm的脈沖激光光線LB。上述聚光器53具有f0透鏡531，該f0透鏡531對從上述脈沖激光振蕩器51振蕩出且由輸出調(diào)整構(gòu)件52調(diào)整了輸出的脈沖激光光線進行會聚。另外，上述脈沖激光振蕩器51和輸出調(diào)整構(gòu)件52由控制構(gòu)件7控制。
[0029]上述多面鏡54中，多個反射鏡541被配設(shè)為相對于旋轉(zhuǎn)軸542呈同心狀，并借助掃描電動機543在圖2中箭頭A所示的方向上旋轉(zhuǎn)。另外，在本實施方式中，多面鏡54的反射鏡541裝配于正8邊形外周面。這樣構(gòu)成的多面鏡54的掃描電動機543由控制構(gòu)件7控制。
[°03°]上述引導(dǎo)構(gòu)件55具有:光學(xué)性開關(guān)元件552，其將從脈沖激光振蕩器51振蕩出的脈沖激光光線LB選擇性地引導(dǎo)到第I路徑551a和第2路徑551b;以及偏光分束器553，其將被引導(dǎo)到第I路徑551a和第2路徑551b的脈沖激光光線引導(dǎo)到配設(shè)有多面鏡54的第3路徑551c。光學(xué)性開關(guān)元件552由聲光元件(AOD)或EOD等構(gòu)成，在未施加電壓信號的狀態(tài)下將從脈沖激光振蕩器51振蕩出的脈沖激光光線LB引導(dǎo)到第I路徑551a，如果施加規(guī)定的電壓信號則將從脈沖激光振蕩器51振蕩出的脈沖激光光線LB引導(dǎo)到第2路徑55 Ib，并由控制構(gòu)件7控制。
[0031]在上述第I路徑551a中配設(shè)有:方向轉(zhuǎn)換鏡554a，其將由光學(xué)性開關(guān)元件552引導(dǎo)到第I路徑551a的第I脈沖激光光線LBl朝向偏光分束器553進行方向轉(zhuǎn)換；以及1/2波長板555a，其使由該方向轉(zhuǎn)換鏡554a進行了方向轉(zhuǎn)換的第I脈沖激光光線LBl相對于偏光分束器553將偏光面旋轉(zhuǎn)到P偏光。并且，在第2路徑551b中配設(shè)有:方向轉(zhuǎn)換鏡554b，其對由光學(xué)性開關(guān)元件552引導(dǎo)到第2路徑551b的第2脈沖激光光線LB2進行方向轉(zhuǎn)換；1/2波長板555b，其使由該方向轉(zhuǎn)換鏡554b進行了方向轉(zhuǎn)換的第2脈沖激光光線LB2相對于偏光分束器553將偏光面旋轉(zhuǎn)到S偏光；以及引導(dǎo)方向轉(zhuǎn)換鏡556b，其將借助該1/2波長板555b而偏光為S偏光的第2脈沖激光光線LB2引導(dǎo)到偏光分束器553。
[0032]上述偏光分束器553使偏光為P偏光的第I脈沖激光光線LBl通過而引導(dǎo)到第3路徑551c，使偏光為S偏光的第2脈沖激光光線LB2反射而引導(dǎo)到第3路徑551c。另外，在本實施方式中，構(gòu)成為偏光為S偏光的第2脈沖激光光線LB2與偏光為P偏光的第I脈沖激光光線LBl的光路以具有規(guī)定的間隔(L)的方式入射到偏光分束器553。因此，第I脈沖激光光線LBl與第2脈沖激光光線LB2被偏光分束器553以具有規(guī)定的間隔(L)的方式在第3路徑551c中分支。在第3路徑551c中分支的第I脈沖激光光線LBl與第2脈沖激光光線LB2經(jīng)由方向轉(zhuǎn)換鏡557分別引導(dǎo)到上述多面鏡54的第I位置54a和第2位置54b。
[0033]如果參照圖2繼續(xù)進行說明，則引導(dǎo)構(gòu)件55具有對多面鏡54的旋轉(zhuǎn)位置進行檢測的旋轉(zhuǎn)位置檢測構(gòu)件558。本實施方式的旋轉(zhuǎn)位置檢測構(gòu)件558由發(fā)光元件558a和接受由該發(fā)光元件558a發(fā)出且由多面鏡54的反射鏡(反射面)541反射的光的受光元件558b構(gòu)成。另夕卜，受光元件558b被定位為接受在比多面鏡54的反射鏡541與反射鏡541的角部541a稍微位于箭頭A所示的旋轉(zhuǎn)方向前側(cè)的位置(B)發(fā)生了反射的光，并將受光信號發(fā)送給控制構(gòu)件7。
[0034]本實施方式的激光加工裝置以如上的方式構(gòu)成，以下對上述激光光線照射機構(gòu)5所進行的脈沖激光光線的照射方式進行說明。例如，當令多面鏡54的旋轉(zhuǎn)速度為500轉(zhuǎn)/秒時，則由于多面鏡54具有8面的反射鏡541，因此每I個反射鏡541的移動時間為1/4000秒。另一方面，當令從脈沖激光振蕩器51振蕩出的脈沖激光光線LB的重復(fù)頻率為40kHz時，則照射到多面鏡54的每I個反射鏡541的脈沖激光光線為10個脈沖。
[0035]如圖2所示，從脈沖激光振蕩器51振蕩且由輸出調(diào)整構(gòu)件52調(diào)整了輸出的脈沖激光光線LB被引導(dǎo)到構(gòu)成引導(dǎo)構(gòu)件55的光學(xué)性開關(guān)元件552。當不對光學(xué)性開關(guān)元件552施加電壓信號時，從脈沖激光振蕩器51振蕩出的脈沖激光光線LB被引導(dǎo)到第I路徑55la。引導(dǎo)到第I路徑551a的第I脈沖激光光線LBl經(jīng)由方向轉(zhuǎn)換鏡554a而通過1/2波長板555a，由此相對于偏光分束器553偏光為P偏光。因此，偏光為P偏光的第I脈沖激光光線LBl通過偏光分束器553而引導(dǎo)到第3路徑551c。引導(dǎo)到第3路徑551c的第I脈沖激光光線LBl經(jīng)由方向轉(zhuǎn)換鏡557而引導(dǎo)到上述多面鏡54的第I位置54a。由于多面鏡54在箭頭A所示的方向上以規(guī)定的旋轉(zhuǎn)速度(在本實施方式中為500轉(zhuǎn)/秒)旋轉(zhuǎn)，因此將脈沖激光光線的10個脈沖(LB-1?LB-10)沿著Y軸方向引導(dǎo)到f9透鏡531。這樣引導(dǎo)到f0透鏡531的脈沖激光光線的10個脈沖(LB-1?LB-10)分別由f0透鏡531會聚，而像圖3所示那樣沿著Y軸方向照射到保持在卡盤工作臺36上的被加工物W上。因此，通過在Y軸方向上在例如50μπι的范圍照射10個脈沖(LB-1?LB-10)，而能夠?qū)嵤挾葹?0μπι的激光加工。
[0036]像上述那樣，在利用借助光學(xué)性開關(guān)元件552而被引導(dǎo)到第I路徑551a的第I脈沖激光光線LBl實施激光加工時，存在脈沖激光光線照到多面鏡54的反射鏡541與反射鏡541的角部541a的情況，在該情況下，存在如下的問題:脈沖激光光線散亂而無法照射到規(guī)定的加工區(qū)域，從而產(chǎn)生加工損耗，并且因脈沖激光光線的散亂而使被加工物的品質(zhì)降低。
[0037]在本實施方式中，具有對多面鏡54的比反射鏡541與反射鏡541的角部541a稍微位于箭頭A所示的旋轉(zhuǎn)方向前側(cè)的位置進行檢測的旋轉(zhuǎn)位置檢測構(gòu)件558，當比反射鏡541與反射鏡541的角部541a稍微位于旋轉(zhuǎn)方向前側(cè)的位置(B)到達作為第I脈沖激光光線LBl的入射位置的多面鏡54的第I位置54a，受光元件558b接受由發(fā)光元件558a發(fā)光且由反射鏡541反射的光而將受光信號發(fā)送給控制構(gòu)件7。從受光元件558b輸入了受光信號的控制構(gòu)件7對光學(xué)性開關(guān)元件552施加電壓信號。其結(jié)果為，將從脈沖激光振蕩器51振蕩出的脈沖激光光線LB引導(dǎo)到第2路徑551b。被引導(dǎo)到第2路徑551b的第2脈沖激光光線LB2經(jīng)由方向轉(zhuǎn)換鏡554b而通過1/2波長板555b，由此相對于偏光分束器553偏光為S偏光。因此，偏光為S偏光的第2脈沖激光光線LB2經(jīng)由方向轉(zhuǎn)換鏡556b像上述那樣由偏光分束器553分支而引導(dǎo)到第3路徑551c。被引導(dǎo)到第3路徑551c的第2脈沖激光光線LB2經(jīng)由方向轉(zhuǎn)換鏡557引導(dǎo)到上述多面鏡54的第2位置54b。這樣引導(dǎo)到多面鏡54的第2位置54b的第2脈沖激光光線LB2越過旋轉(zhuǎn)的多面鏡54的反射鏡541與反射鏡541的角部541 a而被引導(dǎo)到下一反射鏡541。因此，脈沖激光光線不會接觸到多面鏡54的反射鏡541與反射鏡541的角部541a。
[0038]在像上述那樣將I個脈沖的第2脈沖激光光線LB2引導(dǎo)到多面鏡54的第2位置54b之后，控制構(gòu)件7停止對光學(xué)性開關(guān)元件552施加電壓信號。其結(jié)果為，像上述那樣從脈沖激光振蕩器51振蕩出的脈沖激光光線LB被引導(dǎo)到第I路徑551a，引導(dǎo)到第I路徑551a的第I脈沖激光光線LBl被引導(dǎo)到上述多面鏡54的第I位置54a。此時，由于多面鏡54在箭頭(A)所示的方向上例如以500轉(zhuǎn)/秒的旋轉(zhuǎn)速度旋轉(zhuǎn)，因此第I脈沖激光光線LBI被引導(dǎo)到與上述I個脈沖的第2脈沖激光光線LB2被引導(dǎo)的反射鏡541相同的反射鏡。這樣，控制構(gòu)件7根據(jù)來自旋轉(zhuǎn)位置檢測構(gòu)件558的受光元件558b的受光信號而交互地實施對光學(xué)性開關(guān)元件552的電壓信號的施加停止和施加，由此能夠在脈沖激光光線不會接觸到多面鏡54相鄰的反射鏡541與反射鏡541的角部541a的情況下分別對各反射鏡541引導(dǎo)10個脈沖(LB-1?LB-10)。
[0039]像上述那樣在本實施方式的激光光線照射機構(gòu)5中，由于脈沖激光光線不會接觸到旋轉(zhuǎn)的多面鏡54的相鄰的反射鏡541與反射鏡541的角部541a，因此防止因脈沖激光光線與多面鏡54的反射鏡541與反射鏡541的角部541a接觸而產(chǎn)生的脈沖激光光線的散亂。因此，能夠消除如下的問題:因脈沖激光光線與多面鏡54的反射鏡541與反射鏡541的角部541a接觸而散亂從而無法照射到規(guī)定的加工區(qū)域、產(chǎn)生加工損失并且因脈沖激光光線的散亂而使被加工物的品質(zhì)降低。
[0040]并且，在本實施方式的激光光線照射機構(gòu)5中，由于脈沖激光光線的10個脈沖(LB-1?LB-10)重復(fù)照射到保持在卡盤工作臺36上的被加工物W，因此通過在X軸方向上對卡盤工作臺36進行加工進給而能夠在Y軸方向上重復(fù)地進行燒蝕加工，因此能夠防止熔融物的重新填充而在作為被加工物的Low-k膜或基板等上高效地形成期望的寬度的激光加工槽。
【主權(quán)項】
1.一種激光加工裝置，其具有:對被加工物進行保持的卡盤工作臺；以及對保持在該卡盤工作臺上的被加工物進行激光加工的激光光線照射機構(gòu)，該激光加工裝置的特征在于，該激光光線照射機構(gòu)具有: 脈沖激光振蕩器，其振蕩出脈沖激光光線； 聚光器，其對從該脈沖激光振蕩器振蕩出的激光光線進行會聚而對保持在該卡盤工作臺上的被加工物進行照射； 多面鏡，其配設(shè)在該脈沖激光振蕩器與該聚光器之間，相對于旋轉(zhuǎn)軸呈同心狀地配設(shè)有多個反射鏡，該多個反射鏡使從該脈沖激光振蕩器振蕩出的脈沖激光光線分散;以及 引導(dǎo)構(gòu)件，其配設(shè)在該脈沖激光振蕩器與該多面鏡之間，對脈沖激光光線進行引導(dǎo)以便脈沖激光光線不會照射到相鄰的反射鏡的角部。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其中， 該引導(dǎo)構(gòu)件包含: 光學(xué)性開關(guān)元件，其將從該脈沖激光振蕩器振蕩出的脈沖激光光線選擇性地引導(dǎo)到第I路徑和第2路徑； 偏光分束器，其將引導(dǎo)到該第I路徑和該第2路徑的脈沖激光光線引導(dǎo)到配設(shè)有該多面鏡的第3路徑； 旋轉(zhuǎn)位置檢測構(gòu)件，其對該多面鏡的旋轉(zhuǎn)位置進行檢測；以及 控制構(gòu)件，其根據(jù)來自該旋轉(zhuǎn)位置檢測構(gòu)件的檢測信號而對該光學(xué)性開關(guān)元件進行控制以便脈沖激光光線不會照射到該多面鏡的相鄰的反射鏡與反射鏡的角部， 對第I路徑和第2路徑進行定位以便該偏光分束器對引導(dǎo)到第I路徑的脈沖激光光線和引導(dǎo)到該第2路徑的脈沖激光光線以具有規(guī)定的間隔的方式進行分支。
【文檔編號】B23K26/38GK106077966SQ201610265485
【公開日】2016年11月9日
【申請日】2016年4月26日 公開號201610265485.6, CN 106077966 A, CN 106077966A, CN 201610265485, CN-A-106077966, CN106077966 A, CN106077966A, CN201610265485, CN201610265485.6
【發(fā)明人】名雪正壽
【申請人】株式會社迪思科