濺射旋轉(zhuǎn)靶材矯直裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及旋轉(zhuǎn)靶材管靶的直線度整形校正設(shè)備裝置，屬于濺射靶材新材料領(lǐng)域的輔助技術(shù)，尤其是濺射旋轉(zhuǎn)靶材矯直裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著技術(shù)的進(jìn)步，靶材的設(shè)計逐漸由平面靶材向旋轉(zhuǎn)靶材過渡，因為旋轉(zhuǎn)靶材的材料利用率可以達(dá)到80%，而一般平面靶材利用率只能達(dá)到30% ;對于旋轉(zhuǎn)濺射靶材，由于在濺射使用過程中，管內(nèi)裝有磁鋼，對內(nèi)徑的直線度要求很高，一般要求直線度<0.5mm。目前市場上生產(chǎn)和使用的金屬旋轉(zhuǎn)靶材材料強(qiáng)度較差，管材容易彎曲變形，無法直接作為靶材使用，還需要內(nèi)襯不銹鋼管或鈦管作為支撐。這些金屬管靶在澆鑄、噴涂、擠壓或加工過程中，難免會產(chǎn)生彎曲變形，直線度達(dá)不到使用要求。
[0003]關(guān)于濺射靶材的檢測技術(shù)文獻(xiàn)公開較少，如:中國專利申請201120367953.3公開了一種合金靶材的矯直裝置，包括下模座及平行于下模座的上模架，下模座上設(shè)有引導(dǎo)上模架上下運動的導(dǎo)柱，下模座上還設(shè)有可彼此貼合的側(cè)護(hù)板和推板，側(cè)護(hù)板固定安裝于下模座上，推板的一側(cè)設(shè)有可推動推板平行運動的側(cè)液壓缸。此合金靶材的矯直裝置可將需加工的靶材置于推板與側(cè)護(hù)板間，并通過側(cè)液壓缸推動推板平行運動對置于推板與側(cè)護(hù)板間的靶材進(jìn)行壓制，同時其上方的上模架可沿導(dǎo)柱向下運動對靶材的上下兩側(cè)進(jìn)行壓制，經(jīng)過此組合模具壓制后的靶材。
[0004]實現(xiàn)該類技術(shù)的裝置較為復(fù)雜，但是控制提高直線度效果有限。尚未有專用的方法或設(shè)備可供采用，使得在現(xiàn)有技術(shù)中相關(guān)工作僅能借助人工目測或借助測量工具完成。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]本實用新型的目的是提供一種濺射旋轉(zhuǎn)靶材矯直裝置，種可有效提高旋轉(zhuǎn)靶材管靶直線度精度的矯直裝置，解決管內(nèi)徑直線度的精確矯直。
[0006]本實用新型的目的將通過以下技術(shù)措施來實現(xiàn):包括機(jī)架、底輥、頂壓輥和壓力臂；機(jī)架內(nèi)下部水平安裝二個相互平行的底輥，在機(jī)架內(nèi)上部通過壓力臂安裝頂壓輥，頂壓輥安裝在二個底輥中部的上方。
[0007]尤其是，機(jī)架上安裝數(shù)控器。
[0008]尤其是，機(jī)架上安裝桁架，桁架上水平安裝芯軸，芯軸外套裝內(nèi)頂輪。
[0009]尤其是，二個底輥為剛性轉(zhuǎn)輥外徑相同，而且，該二個底輥的軸間距大于其外徑和的1.5倍。
[0010]尤其是，壓力臂上連接氣動或彈簧裝置。
[0011]本實用新型的優(yōu)點和效果:通過內(nèi)置結(jié)構(gòu)設(shè)計，使得檢測時能夠方便的置入管靶中，依靠紅外測距精細(xì)分析管靶內(nèi)壁的起伏測量直線度，裝置已與制作生產(chǎn)，檢測過程簡明扼要，操作簡便易行，其加工余量可比傳統(tǒng)工藝大大減少，從而有效提高靶材成材的尺寸精度，縮短檢測周期，效率顯著提升，檢測精確，也便于自動化設(shè)計和改造。
【附圖說明】
[0012]圖1為本實用新型實施例1結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]附圖標(biāo)記包括:機(jī)架1、數(shù)控器2、底輥3、頂壓輥4、壓力臂5、管靶6、桁架7、芯軸8、內(nèi)頂輪9。
【具體實施方式】
[0014]本實用新型原理在于，對于管靶局部變形，雖然施加壓力可以進(jìn)行一定校正，但是，如果不進(jìn)行輔助的受力配合或平衡，則會造成其他部位或結(jié)構(gòu)的變形，所以，矯直功能結(jié)構(gòu)應(yīng)包括相互配合的工裝夾具，以及保護(hù)結(jié)構(gòu)。
[0015]本實用新型包括:機(jī)架1、底輥3、頂壓輥4和壓力臂5。
[0016]下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進(jìn)一步說明。
[0017]實施例1:如附圖1所示，機(jī)架I內(nèi)下部水平安裝二個相互平行的底輥3，在機(jī)架I內(nèi)上部通過壓力臂5安裝頂壓輥4，頂壓輥4安裝在二個底輥3中部的上方。
[0018]前述中，機(jī)架I上安裝數(shù)控器2。
[0019]前述中，機(jī)架I上安裝桁架7，桁架7上水平安裝芯軸8，芯軸8外套裝內(nèi)頂輪9。內(nèi)頂輪9從內(nèi)側(cè)頂撐管靶6內(nèi)壁。
[0020]前述中，二個底輥3為剛性轉(zhuǎn)輥外徑相同，而且，該二個底輥3的軸間距大于其外徑和的1.5倍。另外，該二個底輥3的軸間距小于管靶6外徑。
[0021]前述中，壓力臂5上連接氣動或彈簧裝置。
[0022]前述中，內(nèi)頂輪9為鐵氟龍結(jié)構(gòu)而且外覆聚氨酯。
[0023]本實用新型實施例工作時，把管靶6順底輥3軸向安置于二個底輥3之間的夾縫上方，在其內(nèi)部置入內(nèi)頂輪9做支撐，從其上方向下移動頂壓輥4，通過數(shù)控器2啟閉操控壓力臂5下移，頂壓輥4下頂?shù)耐瑫r，二個底輥3向上提供剛性支承，而且內(nèi)頂輪9從內(nèi)向外做支撐防止管靶6管壁下陷變形過度，在頂壓的同時，還可以傳動或移動輔助機(jī)構(gòu)，對管靶6施加水平移動或轉(zhuǎn)動，使之在動態(tài)中連續(xù)快速矯直。
[0024]本實用新型創(chuàng)造并不局限于上述實施方式，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不違背本實用新型精神的前提下還可作出等同變形或替換，這些等同的變型或替換均包含在本申請權(quán)利要求所限定的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.濺射旋轉(zhuǎn)靶材矯直裝置，包括機(jī)架(I)、底輥(3)、頂壓輥(4)和壓力臂(5);其特征在于，機(jī)架(I)內(nèi)下部水平安裝二個相互平行的底輥(3)，在機(jī)架(I)內(nèi)上部通過壓力臂(5)安裝頂壓輥(4)，頂壓輥(4)安裝在二個底輥(3)中部的上方。2.如權(quán)利要求1所述的濺射旋轉(zhuǎn)靶材矯直裝置，其特征在于，機(jī)架(I)上安裝數(shù)控器⑵。3.如權(quán)利要求1所述的濺射旋轉(zhuǎn)靶材矯直裝置，其特征在于，機(jī)架(I)上安裝桁架(7)，桁架(7)上水平安裝芯軸(8)，芯軸(8)外套裝內(nèi)頂輪(9)。4.如權(quán)利要求1所述的濺射旋轉(zhuǎn)靶材矯直裝置，其特征在于，二個底輥(3)為剛性轉(zhuǎn)輥外徑相同，而且，該二個底輥(3)的軸間距大于其外徑和的1.5倍。5.如權(quán)利要求1所述的濺射旋轉(zhuǎn)靶材矯直裝置，其特征在于，壓力臂(5)上連接氣動或彈簧裝置。
【專利摘要】濺射旋轉(zhuǎn)靶材矯直裝置,機(jī)架(1)內(nèi)下部水平安裝二個相互平行的底輥(3)，在機(jī)架(1)內(nèi)上部通過壓力臂(5)安裝頂壓輥(4)，頂壓輥(4)安裝在二個底輥(3)中部的上方。通過內(nèi)置結(jié)構(gòu)設(shè)計，使得檢測時能夠方便的置入管靶中，依靠紅外測距精細(xì)分析管靶內(nèi)壁的起伏測量直線度，裝置已與制作生產(chǎn)，檢測過程簡明扼要，操作簡便易行，其加工余量可比傳統(tǒng)工藝大大減少，從而有效提高靶材成材的尺寸精度，縮短檢測周期，效率顯著提升，檢測精確，也便于自動化設(shè)計和改造。
【IPC分類】B21D3/14
【公開號】CN204620744
【申請?zhí)枴緾N201520298286
【發(fā)明人】曹興民, 沈斌
【申請人】基邁克材料科技（蘇州）有限公司
【公開日】2015年9月9日
【申請日】2015年5月11日