一種適用于Encore機型的外防著板的整形工具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種整形工具，尤其涉及一種適用于Encore機型的外防著板的整形工具。
【背景技術(shù)】
[0002]Applied Meterials (以下稱應用材料)所設(shè)計的Encore機型為300mm集成電路生產(chǎn)一重要設(shè)備，其中外防著板(以下統(tǒng)稱Outer shield)為設(shè)備中核心零件，外防著板呈圓筒狀，主要用途是阻隔電漿能量、提供磁力線圈能量及捕捉多馀金屬離子，零件的使用狀況與集成電路生產(chǎn)的穩(wěn)定度及品質(zhì)有著密不可分的關(guān)系。
[0003]Outer shield會因使用時間的增加，逐漸因真空引力、溫度逐漸變形影響生產(chǎn)設(shè)備的品質(zhì)與穩(wěn)定度。當設(shè)備的穩(wěn)定度或產(chǎn)品品質(zhì)無法達到需求時，客戶的選擇都是以報廢舊品、更換新品的方式為最終的選擇。在成本的支出上是一個沉重的負擔。即時對Outershield形狀進行整形，可以有效的延長其使用壽命與效能。但由于Outer shield造型特殊，有效的整形品質(zhì)并不溶易達成。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實用新型的目的，就是為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，而提供一種適用于Encore機型的外防著板的整形工具，對Encore機型的外防著板具有優(yōu)良的整形效果，延長了 Encore機型的外防著板的使用壽命。
[0005]實現(xiàn)上述目的的技術(shù)方案是:一種適用于Encore機型的外防著板的整形工具，所述外防著板呈圓筒狀結(jié)構(gòu)，所述整形工具包括整形板，所述整形板水平設(shè)置，所述整形板的中部開設(shè)一上下貫通的通孔，該通孔為整形孔，所述整形孔的直徑與所述外防著板的直徑相適配，所述外防著板穿插在所述整形孔中。
[0006]上述的一種適用于Encore機型的外防著板的整形工具，其中，所述整形板的材質(zhì)為鋁合金。
[0007]上述的一種適用于Encore機型的外防著板的整形工具，其中，所述整形工具采用CNC精密加工切削形成。
[0008]上述的一種適用于Encore機型的外防著板的整形工具，其中，所述整形板的下表面上均布四根立柱。
[0009]本實用新型的適用于Encore機型的外防著板的整形工具，結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，對Encore機型的外防著板具有優(yōu)良的整形效果，延長了 Encore機型的外防著板的使用壽命O
【附圖說明】
[0010]圖1是本實用新型的整形工具的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2是本實用新型的整形工具的使用狀態(tài)圖。
【具體實施方式】
[0012]為了使本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員能更好地理解本實用新型的技術(shù)方案，下面將結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明。
[0013]請參閱圖1和圖2，本實用新型的實施例，一種適用于Encore機型的外防著板2的整形工具1，外防著板2呈圓筒狀結(jié)構(gòu)，整形工具I包括整形板11，整形板11水平設(shè)置，整形板11的中部開設(shè)一上下貫通的通孔，該通孔為整形孔12，整形孔12的直徑與外防著板2的直徑相適配，外防著板2穿插在整形孔12中。整形板11的材質(zhì)為鋁合金。整形工具I采用CNC精密加工切削形成。
[0014]優(yōu)選地，整形板11的下表面上均布四根立柱(圖中未顯示)，立柱用于支撐整形板
Ilo
[0015]發(fā)明人在客戶使用現(xiàn)場采集相關(guān)數(shù)據(jù)，經(jīng)過研究和實踐，開發(fā)了本實用新型的整形工具1，可有效的提供優(yōu)良的整形成果。制作本發(fā)明的整形工具I時，先測量外防著板2的大小，做為整形工具I設(shè)計的依據(jù)。采用CNC精密加工切削形成整形工具I造型。整形工具I材質(zhì)選用輕巧易加工的鋁合金。
[0016]再請參閱圖2，本實用新型的整形工具1，在使用的時候，利用整形工具I所設(shè)計的整形孔12，將外防著板2穿過整形孔12，對變形的外防著板2進行強制整形，恢復外防著板2原有造型。
[0017]提供集成電路生產(chǎn)設(shè)備更佳的零部件使用壽命為本實用新型的整形工具I最大的優(yōu)勢；集成電路生產(chǎn)過程中，會因為零部件的品質(zhì)差異，對生產(chǎn)穩(wěn)定度有著不同程度的影響，當生產(chǎn)設(shè)備不穩(wěn)定時，皆需要投入大量的人力、物力、時間去解決，對于分秒必爭的集成電路行業(yè)，是個沉重的負擔。
[0018]本實用新型的整形工具I的開發(fā)，可以有效的延長零部件得使用壽命，大幅的降低客戶端對于新品采購的成本，達成實質(zhì)上有效的節(jié)約。
[0019]以上實施例僅供說明本實用新型之用，而非對本實用新型的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實用新型的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變換或變型，因此所有等同的技術(shù)方案也應該屬于本實用新型的范疇，應由各權(quán)利要求所限定。
【主權(quán)項】
1.一種適用于Encore機型的外防著板的整形工具，所述外防著板呈圓筒狀結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述整形工具包括整形板，所述整形板水平設(shè)置，所述整形板的中部開設(shè)一上下貫通的通孔，該通孔為整形孔，所述整形孔的直徑與所述外防著板的直徑相適配，所述外防著板穿插在所述整形孔中。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于Encore機型的外防著板的整形工具，其特征在于，所述整形板的材質(zhì)為鋁合金。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于Encore機型的外防著板的整形工具，其特征在于，所述整形工具采用CNC精密加工切削形成。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于Encore機型的外防著板的整形工具，其特征在于，所述整形板的下表面上均布四根立柱。
【專利摘要】本實用新型涉及一種適用于Encore機型的外防著板的整形工具，所述外防著板呈圓筒狀結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述整形工具包括整形板，所述整形板水平設(shè)置，所述整形板的中部開設(shè)一上下貫通的通孔，該通孔為整形孔，所述整形孔的直徑與所述外防著板的直徑相適配，所述外防著板穿插在所述整形孔中。本實用新型由于采用了上述技術(shù)方案，對Encore機型的外防著板具有優(yōu)良的整形效果，延長了Encore機型的外防著板的使用壽命。
【IPC分類】B21D1/08
【公開號】CN204912355
【申請?zhí)枴緾N201520458616
【發(fā)明人】楊蘇圣
【申請人】上?？票娮涌萍加邢薰?br>【公開日】2015年12月30日
【申請日】2015年6月30日