專利名稱：噴砂裝置的靜電導(dǎo)除載具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種靜電導(dǎo)除載具，特別是涉及一種噴砂裝置的靜電導(dǎo)除載具。
等離子顯示面板(plasma display panel,PDP)是一種視角寬廣、輕且薄的大型顯示器，其原理是在利用氣體放電所產(chǎn)生的紫外線來照射螢光體，以使數(shù)十萬個顯示單元(display element)內(nèi)的螢光體分別發(fā)出紅色(Red)、綠色(Gteen)或是藍色(Blue)的光線。在進行等離子顯示面板的背基板(back substrate)制造過程時，為了構(gòu)成顯示單元的微小空間并防止不同材質(zhì)的螢光體混合，會在涂覆螢光體之前制作許多個阻隔壁(barrier rib)。由于阻隔壁的形式會按制造過程需要而制作成條狀、格子狀或特殊形狀，其寬度約為50～80μm、高度約為150～220μm，因此阻隔壁的制作是一個相當(dāng)困難的工程?，F(xiàn)有制作阻隔壁的方法包括有印刷法(printing)、光致抗蝕劑(photoresist)噴砂(sand blasting)法與加成法(additive)等等，其中光致抗蝕劑噴砂法是使用一光蝕刻技術(shù)并配合一噴砂制造過程，可以制作出比較精細(xì)的圖案，是阻隔壁制作方法的主流。但是噴砂制造過程會產(chǎn)生靜電且不易導(dǎo)除，很容易影響到等離子顯示面板的品質(zhì)，是當(dāng)前極需解決的課題。
請參考

圖1至圖4，圖1至圖4為現(xiàn)有制作等離子顯示面板的阻隔壁20的方法示意圖?，F(xiàn)有制作等離子顯示面板的阻隔壁20的方法為光致抗蝕劑噴砂法，用于一背基板10上制作多個阻隔壁20。如圖1所示，首先在一玻璃基板11上依序制作多個電極12、一保護層14以及一阻隔壁材料層16。保護層14是由氧化鎂(MgO)所構(gòu)成，將玻璃基板11與每一個電極12的表面覆蓋住，以防止電極12在后續(xù)噴砂制造過程中受到損害。阻隔壁材料層16為一介電層，由低熔點的玻璃加上氧化鋁等氧化物所構(gòu)成，用來形成阻隔壁。如圖2所示，利用曝光、顯影等制造過程，在阻隔壁材料層16表面的預(yù)定區(qū)域上制作多個光致抗蝕劑層18，以構(gòu)成出每一個阻隔壁的位置。如圖3所示，接著進行一噴砂制造過程，將未被光致抗蝕劑層18覆蓋的阻隔壁材料層16去除，直至暴露出保護層14為止。如圖4所示，最后將所有的光致抗蝕劑層18去除，并以500℃以上的高溫將殘留的阻隔壁材料層16燒成多個阻隔壁20，便制作完成等離子顯示面反的阻隔壁20。
上述噴砂制造過程是在一噴砂裝置(未顯示)中進行，其通過由噴射至背基板10上的沙子來摩擦阻隔壁材料層16，以去除未被光致抗蝕劑層18覆蓋的阻隔壁材料層16。但是一般在進行噴砂制造過程時，阻隔壁材料層16表面會累積電荷而產(chǎn)生靜電放電。更甚者，電荷會積聚在阻隔壁材料層下方的電極12上，當(dāng)累積電荷超過一臨界值時，產(chǎn)生的靜電便容易積聚在電極12的間隙位置(圖中未顯示)上，使間隙兩旁的電極間產(chǎn)生尖端放電。如果在噴砂制作過程中無法完全將靜電導(dǎo)除，當(dāng)點亮制作完成的等離子顯示面板時，電極間會產(chǎn)生火花(arching)，且在面板上會出現(xiàn)許多不規(guī)則排列的黑點。
本發(fā)明的目的在于提供一種噴砂裝置的靜電導(dǎo)除載具，可以在噴砂制造過程中將靜電完全導(dǎo)除，以確保等離子顯示面板的電性表現(xiàn)。
本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的，即提供一種噴砂裝置的靜電導(dǎo)除載具，該噴砂裝置至少包括有一基臺，一滑道設(shè)在該基臺上，以及一噴嘴設(shè)在該滑道上方，用來進行一噴砂制造過程，該靜電導(dǎo)除載具是以可滑動的方式放置在該滑道上，其包括有一底板，用來承載一待處理的基板，該基板上設(shè)有多個第一導(dǎo)電體與多個第二導(dǎo)電體，該多個第一導(dǎo)電體是沿著該基板的第一例排列，且該多個第二導(dǎo)電體沿著該基板的第二側(cè)排列；以及兩導(dǎo)電夾具，分別裝設(shè)于該底板的第一側(cè)與第二側(cè)，用來將該基板固定至該底板上，其中該兩導(dǎo)電夾具會同時接觸到該多個第一及第二導(dǎo)電體，使每一與該兩導(dǎo)電夾具相接觸的多個第一及第二導(dǎo)電體的電位相等，因此在該噴砂制造過程中所產(chǎn)生的靜電會經(jīng)由該兩導(dǎo)電夾具導(dǎo)出而不會積聚在該基板表面的多個第一及第二導(dǎo)電體上。
下面結(jié)合附圖，詳細(xì)說明本發(fā)明的實施例，其中圖1至圖4為現(xiàn)有制作等離子顯示面板阻隔壁的方法示意圖；圖5為本發(fā)明靜電導(dǎo)除載具放置在噴砂裝置上的示意圖；圖6為圖5所示的靜電導(dǎo)除載具的上視圖；圖7為圖6所示的靜電導(dǎo)除載具的剖面示意圖。
請參考圖5，圖5為本發(fā)明的靜電導(dǎo)除載具40放置在噴砂裝置30中的示意圖。本發(fā)明的靜電導(dǎo)除載具40使用來承載一等離子顯示面板的背基板50，以于一噴砂裝置30中進行噴砂制造過程，并將噴砂制造過程中產(chǎn)生在背基板50上的靜電完全導(dǎo)除。噴砂裝置30包括有一基臺32，一滑道34設(shè)在基臺32上，多個滾輪36設(shè)在滑道34上，一導(dǎo)電刷38設(shè)在滑道34上方且接地(grounding)，以及一噴嘴39設(shè)在滑道34上方用來進行噴砂制造過程。在噴砂制造過程中，多個滾輪36會使承載有背基板50的靜電導(dǎo)除載具40以y方向滑移在滑道34上，同時噴嘴39會以x方向且反復(fù)來回的運動方式對載具40上的背基板50進行噴砂制造過程。當(dāng)載具40與背基板50通過噴嘴39下方之后，接地的導(dǎo)電刷38會接觸到背基板50的表面，可以將噴砂制造過程中形成在背基板50表面上的靜電導(dǎo)除。
請參考圖6與圖7，圖6為圖5所示的靜電導(dǎo)除載具40的上視圖，圖7為圖6所示的靜電導(dǎo)除載具40沿切線7-7的剖面示意圖。如圖6所示，靜電導(dǎo)除載具40包括有一底板42，用來承載待處理的背基板50，以及兩導(dǎo)電夾具44、45分別裝設(shè)于底板42的兩側(cè)，用于將背基板50固定至底板42上。其中導(dǎo)電夾具44包括一金屬框架46，一軟質(zhì)導(dǎo)電層48設(shè)于金屬框架46的下側(cè)，以及多個鎖孔47設(shè)于金屬框架46內(nèi)。相同地，導(dǎo)電夾具45包括一金屬框架59，一軟質(zhì)導(dǎo)電層51設(shè)于金屬框架59的下側(cè)，以及多個鎖孔57設(shè)于金屬框架59內(nèi)。底板42是由不銹鋼材質(zhì)所構(gòu)成，而軟質(zhì)導(dǎo)電層48、51是由導(dǎo)電橡膠或是其他軟質(zhì)導(dǎo)電材料所構(gòu)成，可以避免壓傷背基板50表面的電極。
背基板50包括一玻璃基板52，多個第一電極53與多個第二電極54，一保護層56覆蓋在玻璃基板52與所有的電極上，一阻隔壁材料層58設(shè)于保護層56上，以及一光致抗蝕劑層60覆蓋于阻隔壁材料層58的一預(yù)定區(qū)域上。所有的電極是以雙掃描(duual scan)的形式設(shè)置在玻璃基板52上，其中每一個第一電極53是互相平行排列于玻璃基板52表面的左側(cè)，每一個第二電極54是互相平行排列于玻璃基板52表面的右側(cè)，每一個第一電極53與每一個第二電極54的位置是左右互相對應(yīng)排列，且第一電極53與相對應(yīng)第二電極54間的間隙43(gap)約為100μm左右。
靜電導(dǎo)除載具40的使用方法，是先將背基板50放置于靜電導(dǎo)除載具40的底板42上，再將兩導(dǎo)電夾具44、45分別裝設(shè)于底板42的相對兩例，然后將多個螺絲49、55分別鎖合于所有的鎖孔47、57中，以使背基板50向下固定至底板42上。此時，導(dǎo)電夾具44的軟質(zhì)導(dǎo)電層48是接觸所有第一電極53上方的光致抗蝕劑層60，導(dǎo)電夾具45的軟質(zhì)導(dǎo)電層51接觸所有第二電極54上方的光致抗蝕劑層60。雖然兩軟質(zhì)導(dǎo)電層48、51沒有直接與各電極接觸，但光致抗蝕劑層60的厚度約只有40μm，表示兩軟質(zhì)導(dǎo)電層48、51與第一電極53、第二電極54的距離約為40μm，比兩電極的間距43距離(約100μm)更小。在噴砂制造過程中產(chǎn)生的電荷，會通過光致抗蝕劑層由各電極傳到兩導(dǎo)電夾具的兩軟質(zhì)導(dǎo)電層48、51。因為導(dǎo)電刷38同時與兩導(dǎo)電夾具接觸，且導(dǎo)電刷38已經(jīng)接地，因此所有的第一電極53的電位均相同且接地。相同的，導(dǎo)電夾具45的軟質(zhì)導(dǎo)電層51將同時接觸到所有第二電極54，并使所有的第二電極的電位均相同且接地。因此可以避免噴砂制造過程中產(chǎn)生的靜電持續(xù)積聚于某一相鄰電極的間隙位置43上，從而造成因尖端放電而產(chǎn)生火花的現(xiàn)象。
此外，因為靜電導(dǎo)除載具40的底板42由不銹鋼金屬所構(gòu)成，而噴砂裝置30中設(shè)置的滾輪36也可由導(dǎo)電橡膠構(gòu)成，在進行噴砂制造過程時，承載背基板50的靜電導(dǎo)除載具40置在滾輪上并由滾輪36向Y方向移動，此時金屬底板42會接觸滾輪36，同時將噴砂制造過程中形成的靜電由滾輪36導(dǎo)除。
當(dāng)靜電導(dǎo)除載具40通過導(dǎo)電刷38下方時，接地的導(dǎo)電刷38會同時接觸到背基板50的表面及導(dǎo)電夾具44、45，便可以將形成在背基板50上的靜電完全導(dǎo)除，這對于提高等離子顯示面板的背基板50的質(zhì)量有很大的幫助。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的靜電導(dǎo)除載具40可以使所有電極的一端接觸到軟質(zhì)導(dǎo)電層48，而使所有電極的電位相等且接地，因此可以避免產(chǎn)生的靜電積聚于相鄰電極的間隙位置上。
以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例，凡依本發(fā)明權(quán)利要求所做的均等變化與修飾，都應(yīng)屬本發(fā)明專利的涵蓋范圍。
權(quán)利要求
1．一種噴砂裝置的靜電導(dǎo)除載具，該噴砂裝置至少包括有一基臺，一滑道設(shè)在該基臺上，以及一噴嘴設(shè)在該滑道上方，用來進行一噴砂制造過程，該靜電導(dǎo)除載具是以可滑動的方式放置在該滑道上，其包括有一底板，用來承載一待處理的基板，該基板上設(shè)有多個第一導(dǎo)電體與多個第二導(dǎo)電體，該多個第一導(dǎo)電體是沿著該基板的第一側(cè)排列，且該多個第二導(dǎo)電體沿著該基板的第二側(cè)排列；以及兩導(dǎo)電夾具，分別裝設(shè)于該底板的第一側(cè)與第二側(cè)，用來將該基板固定至該底板上，其中該兩導(dǎo)電夾具會同時接觸到該多個第一及第二導(dǎo)電體，使每一與該兩導(dǎo)電夾具相接觸的多個第一及第二導(dǎo)電體的電位相等，因此在該噴砂制造過程中所產(chǎn)生的靜電會經(jīng)由該兩導(dǎo)電夾具導(dǎo)出而不會積聚在該基板表面的多個第一及第二導(dǎo)電體上。
2．如權(quán)利要求1所述的靜電導(dǎo)除載具，其中該噴砂裝置另包括有一導(dǎo)電刷設(shè)于該滑道上方，當(dāng)該靜電導(dǎo)除載具置在該滑道上時，該導(dǎo)電刷會同時接觸到該兩導(dǎo)電夾具并使其接地(grounding)。
3．如權(quán)利要求2所述的靜電導(dǎo)除載具，其中該導(dǎo)電刷也接觸該基板表面，使該基板表面的靜電可以由該導(dǎo)電刷排除。
4．如權(quán)利要求1所述的靜電導(dǎo)除載具，其中該噴砂裝置另外包括有多個滾輪設(shè)于該滑道上，用來使該靜電導(dǎo)除載具得以在該滑道上直向滑移。
5．如權(quán)利要求4所述的靜電導(dǎo)除載具，其中該靜電導(dǎo)除裝置的底板由金屬構(gòu)成，滾輪由導(dǎo)電橡膠組成，可使該基板的靜電通過該滾輪排除。
6．如權(quán)利要求1所述的靜電導(dǎo)除載具，其中該噴砂裝置的噴嘴以橫向且反復(fù)來回的運動方式對該基板進行一噴砂制造過程。
7．如權(quán)利要求1所述的靜電導(dǎo)除載具，其中每一導(dǎo)電夾具包括有一金屬框架；以及一軟質(zhì)導(dǎo)電層，設(shè)于該金屬框架的下側(cè)，用來觸接該基板表面的導(dǎo)電體。
8．如權(quán)利要求1所述的靜電導(dǎo)除載具，其中該基板為一等離子顯示面板的背基板，該噴砂制造過程用來制作該背基板上的阻隔壁。
全文摘要
一種噴砂裝置的靜電導(dǎo)除載具。噴砂裝置包括基臺,滑道設(shè)于基臺上,以及噴嘴設(shè)于滑道上方,靜電導(dǎo)除載具可滑動地放置在滑道上,其包括底板,用來承載基板,基板上表面設(shè)有多個導(dǎo)電體;以及兩導(dǎo)電夾具,分別裝設(shè)于底板相反兩側(cè),用來將基板向下固定至底板上。其中兩導(dǎo)電夾具同時接觸基板表面多個導(dǎo)電體,使每一夾導(dǎo)電體的電位相等,因此在噴砂制造過程中所產(chǎn)生的靜電會經(jīng)由兩導(dǎo)電夾具導(dǎo)出而不會積聚在基板表面的多個導(dǎo)電體上。
文檔編號B24C1/04GK1320504SQ0010694
公開日2001年11月7日 申請日期2000年4月25日 優(yōu)先權(quán)日2000年4月25日
發(fā)明者陳銘水, 許國彬 申請人:達碁科技股份有限公司