專利名稱:單體真空鍍膜設(shè)備轉(zhuǎn)架載片的自動(dòng)翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及單體真空鍍膜領(lǐng)域，具體涉及單體真空鍍膜設(shè)備轉(zhuǎn)架載片的自動(dòng)翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)包括底板，設(shè)置于底板上的閉環(huán)運(yùn)送機(jī)構(gòu)和驅(qū)動(dòng)該閉環(huán)運(yùn)送機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，閉環(huán)運(yùn)送機(jī)構(gòu)上設(shè)有通過閉環(huán)運(yùn)送機(jī)構(gòu)運(yùn)送的旋轉(zhuǎn)組件，旋轉(zhuǎn)組件的外側(cè)上設(shè)有隨旋轉(zhuǎn)組件轉(zhuǎn)動(dòng)的三個(gè)以上的支桿，旋轉(zhuǎn)組件上設(shè)有用于固定載片的固定組件，底板上閉環(huán)運(yùn)送機(jī)構(gòu)的一側(cè)上還設(shè)有用于阻擋該支桿的阻擋組件。本實(shí)用新型通過使用閉環(huán)運(yùn)送，能達(dá)到所有載片能固定的位置，通過將載片放置在轉(zhuǎn)軸上，通過轉(zhuǎn)軸上的支桿與擋塊及檔桿相互配合，可實(shí)現(xiàn)載片自動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)任意角度，解決現(xiàn)有技術(shù)中無法自動(dòng)翻轉(zhuǎn)的問題，從而達(dá)到正反面鍍膜能在真空條件下一次性完成，成膜質(zhì)量高。
【專利說明】單體真空鍍膜設(shè)備轉(zhuǎn)架載片的自動(dòng)翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及單體真空鍍膜領(lǐng)域，具體涉及單體真空鍍膜設(shè)備轉(zhuǎn)架載片的自動(dòng)翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)。

【背景技術(shù)】
[0002]目前的濺射蒸發(fā)混鍍單體真空鍍膜設(shè)備在鍍膜時(shí)，都是先濺射完后，然后破空把轉(zhuǎn)架機(jī)構(gòu)的載片手動(dòng)板到反面再做蒸發(fā)處理，然而這樣鍍膜效率由于需要破空步驟以及后動(dòng)翻轉(zhuǎn)步驟致使生產(chǎn)效率很低，而且由于破空的影響使而不能再真空環(huán)境下一次成膜，對膜層質(zhì)量有隱患。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的是提供單體真空鍍膜設(shè)備轉(zhuǎn)架載片的自動(dòng)翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)來解決現(xiàn)有技術(shù)中鍍膜時(shí)，都是先濺射完后，然后破空把轉(zhuǎn)架機(jī)構(gòu)的載片手動(dòng)板到反面再做蒸發(fā)處理，而使生產(chǎn)效率很低，而且由于破空的影響使而不能再真空環(huán)境下一次成膜，對膜層質(zhì)量有隱患的問題。
[0004]本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下:單體真空鍍膜設(shè)備轉(zhuǎn)架載片的自動(dòng)翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，包括底板，設(shè)置于所述底板上的閉環(huán)運(yùn)送機(jī)構(gòu)和驅(qū)動(dòng)該閉環(huán)運(yùn)送機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述閉環(huán)運(yùn)送機(jī)構(gòu)上設(shè)有通過閉環(huán)運(yùn)送機(jī)構(gòu)運(yùn)送的旋轉(zhuǎn)組件，所述旋轉(zhuǎn)組件的外側(cè)上設(shè)有隨旋轉(zhuǎn)組件轉(zhuǎn)動(dòng)的三個(gè)以上的支桿，所述旋轉(zhuǎn)組件上設(shè)有用于固定載片的固定組件，所述底板上閉環(huán)運(yùn)送機(jī)構(gòu)的一側(cè)上還設(shè)有用于阻擋該支桿的阻擋組件。
[0005]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型還可以做如下改進(jìn)。
[0006]進(jìn)一步，所述閉環(huán)機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、傳送帶機(jī)構(gòu)或?qū)к夁\(yùn)送機(jī)構(gòu)；
[0007]所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)盤和驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)盤驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述轉(zhuǎn)盤驅(qū)動(dòng)電機(jī)與轉(zhuǎn)盤通過齒輪或皮帶傳動(dòng)，所述旋轉(zhuǎn)組件位于轉(zhuǎn)盤上的外側(cè)上，所述阻擋組件包括設(shè)置于底板上位于轉(zhuǎn)盤外側(cè)的檔桿；
[0008]進(jìn)一步，所述旋轉(zhuǎn)組件包括固定于閉環(huán)運(yùn)送機(jī)構(gòu)上的旋轉(zhuǎn)軸，隨旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)的三個(gè)以上的支桿位于旋轉(zhuǎn)軸上；
[0009]進(jìn)一步，所述支桿為四個(gè)，四個(gè)所述支桿中每兩個(gè)支桿為同軸設(shè)置，同軸的四個(gè)所述支桿分為第一支桿對和第二支桿對；
[0010]進(jìn)一步，所述第一支桿對和第二支桿對相互垂直，所述第一支桿對的高度高于第二支桿對；
[0011]進(jìn)一步，所述檔桿的高度不小于第二支桿的高度對且小于第一支桿對的高度；
[0012]進(jìn)一步，所述阻擋組件還包括設(shè)置于底板上與第一支桿對相互配合的檔桿，所述檔桿的高度大于第一支桿對，所述檔桿與擋塊的距離不小于第一檔桿對或第二檔桿對的轉(zhuǎn)動(dòng)直徑；
[0013]進(jìn)一步，所述支桿和/或檔桿位于底板上的一端連接有驅(qū)動(dòng)支桿和/或檔桿上下運(yùn)動(dòng)的氣缸或驅(qū)動(dòng)電機(jī)。
[0014]本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型通過使用閉環(huán)運(yùn)送的方式，能達(dá)到所有載片能固定的位置，并且通過將載片放置在轉(zhuǎn)軸上，通過轉(zhuǎn)軸上的支桿與擋塊及檔桿相互配合，可實(shí)現(xiàn)載片自動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)任意角度，如當(dāng)設(shè)置兩對支桿的時(shí)候，僅采用一個(gè)檔桿及一個(gè)擋塊就可使載片轉(zhuǎn)動(dòng)180度，并且閉環(huán)運(yùn)送線，沒轉(zhuǎn)動(dòng)一圈即可轉(zhuǎn)動(dòng)180度，從而解決現(xiàn)有技術(shù)中無法自動(dòng)翻轉(zhuǎn)的問題，從而達(dá)到正反面鍍膜能在真空條件下一次性完成，成膜質(zhì)量高，且本實(shí)用新型中可采用轉(zhuǎn)盤結(jié)構(gòu)作為閉環(huán)運(yùn)送線，通過轉(zhuǎn)盤驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)即可，僅需對現(xiàn)有的轉(zhuǎn)架進(jìn)行簡單改造即可，結(jié)構(gòu)簡單，生產(chǎn)成本低；還可在支桿和/或檔桿位于底板上的一端設(shè)置氣缸或驅(qū)動(dòng)電機(jī)，從而達(dá)到在無需翻轉(zhuǎn)時(shí)，不阻擋檔桿或檔桿，或是阻擋檔桿或檔桿之中一個(gè)改變每一圈的轉(zhuǎn)動(dòng)角度。

【附圖說明】

[0015]圖1是本實(shí)用新型自動(dòng)翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的實(shí)施例結(jié)構(gòu)圖；
[0016]圖2為本實(shí)用新型自動(dòng)翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)中旋轉(zhuǎn)組件結(jié)構(gòu)實(shí)施例結(jié)構(gòu)圖；
[0017]圖3為本實(shí)用新型自動(dòng)翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)中阻擋組件實(shí)施例結(jié)構(gòu)圖。
[0018]附圖中，各標(biāo)號(hào)所代表的部件如下:
[0019]1、底板，2、轉(zhuǎn)盤，21、轉(zhuǎn)盤齒輪，3、旋轉(zhuǎn)組件，3a、旋轉(zhuǎn)組件a狀態(tài)，31、旋轉(zhuǎn)軸，32、第一支桿，33、第二支桿，34、第三支桿，35、第四支桿，36、氣缸，37、固定組件，4、阻擋組件，41、檔桿，42、擋塊，5、驅(qū)動(dòng)齒輪。

【具體實(shí)施方式】
[0020]以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實(shí)例只用于解釋本實(shí)用新型，并非用于限定本實(shí)用新型的范圍。
[0021]圖1是本實(shí)用新型自動(dòng)翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的實(shí)施例結(jié)構(gòu)圖；包括底板1，設(shè)置于所述底板上的閉環(huán)運(yùn)送機(jī)構(gòu)和驅(qū)動(dòng)該閉環(huán)運(yùn)送機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述閉環(huán)運(yùn)送機(jī)構(gòu)上設(shè)有通過閉環(huán)運(yùn)送機(jī)構(gòu)運(yùn)送的旋轉(zhuǎn)組件，所述旋轉(zhuǎn)組件的外側(cè)上設(shè)有隨旋轉(zhuǎn)組件轉(zhuǎn)動(dòng)的三個(gè)以上的支桿，所述旋轉(zhuǎn)組件上設(shè)有用于固定載片的固定組件，所述底板上閉環(huán)運(yùn)送機(jī)構(gòu)的一側(cè)上還設(shè)有用于阻擋該支桿的阻擋組件。
[0022]所述閉環(huán)機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、傳送帶機(jī)構(gòu)或?qū)к夁\(yùn)送機(jī)構(gòu)；所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)盤2和驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)盤驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述轉(zhuǎn)盤驅(qū)動(dòng)電機(jī)與轉(zhuǎn)盤通過齒輪或皮帶傳動(dòng)，所述旋轉(zhuǎn)組件位于轉(zhuǎn)盤上的外側(cè)上，所述阻擋組件包括設(shè)置于底板上位于轉(zhuǎn)盤外側(cè)的檔桿；其中若為齒輪傳動(dòng)，則轉(zhuǎn)盤上的齒輪為設(shè)置在轉(zhuǎn)盤外沿的轉(zhuǎn)盤齒輪21，通過轉(zhuǎn)盤驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)該轉(zhuǎn)盤齒輪的齒輪為驅(qū)動(dòng)齒輪5，
[0023]圖2為本實(shí)用新型自動(dòng)翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)中旋轉(zhuǎn)組件結(jié)構(gòu)實(shí)施例結(jié)構(gòu)圖；所述旋轉(zhuǎn)組件包括固定于閉環(huán)運(yùn)送機(jī)構(gòu)上的旋轉(zhuǎn)軸31，隨旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)的三個(gè)以上的支桿位于旋轉(zhuǎn)軸上；所述支桿為四個(gè)，四個(gè)所述支桿中每兩個(gè)支桿為同軸設(shè)置，同軸的四個(gè)所述支桿分為第一支桿對和第二支桿對；所述第一支桿對和第二支桿對相互垂直，所述第一支桿對的高度高于第二支桿對；所述檔桿的高度不小于第二支桿的高度對且小于第一支桿對的高度；其中第一支桿對包括第一支桿32和第三支桿34，第二支桿對包括第二支桿33和第四支桿35。
[0024]圖3為本實(shí)用新型自動(dòng)翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)中阻擋組件實(shí)施例結(jié)構(gòu)圖；所述阻擋組件還包括設(shè)置于底板上與第一支桿對相互配合的檔桿41，所述檔桿的高度大于第一支桿對，所述檔桿與擋塊42的距離不小于第一檔桿對或第二檔桿對的轉(zhuǎn)動(dòng)直徑；所述支桿和/或檔桿位于底板上的一端連接有驅(qū)動(dòng)支桿和/或檔桿上下運(yùn)動(dòng)的氣缸或驅(qū)動(dòng)電機(jī)。
[0025]本實(shí)用新型的實(shí)現(xiàn)方法，包括如下步驟:沿載片的固定位置設(shè)置運(yùn)送載片的閉環(huán)運(yùn)送線；
[0026]在閉環(huán)運(yùn)送線設(shè)置若干能自傳的轉(zhuǎn)軸，在轉(zhuǎn)軸上固定載片；
[0027]在該轉(zhuǎn)軸上設(shè)置支桿，并在運(yùn)送線的一側(cè)設(shè)置配合該支桿使轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)固定角度的一個(gè)以上檔桿，檔桿之間的間距不小于支桿的轉(zhuǎn)動(dòng)直徑。
[0028]本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例采用齒輪方式，通過轉(zhuǎn)盤驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)齒輪帶動(dòng)該轉(zhuǎn)盤齒輪，進(jìn)而帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)，在轉(zhuǎn)盤上靠近邊緣處根據(jù)載片數(shù)量設(shè)置同等數(shù)量的旋轉(zhuǎn)組件，并且設(shè)置兩對相互垂直的支桿對，兩對支桿對上下設(shè)置，從而達(dá)到設(shè)置四個(gè)支桿，每次經(jīng)過檔桿或擋塊轉(zhuǎn)動(dòng)90°，設(shè)置一個(gè)擋塊和一個(gè)檔桿，使得每次通過擋塊和檔桿后，旋轉(zhuǎn)180°，且擋塊和檔桿之間的距離要大于最長的支桿的轉(zhuǎn)動(dòng)直徑。
[0029]本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例中采用運(yùn)送導(dǎo)軌的方式，滑軌上設(shè)置固定旋轉(zhuǎn)軸的支座，運(yùn)送導(dǎo)軌通過滑軌彎頭連成閉環(huán)路徑，根據(jù)需要轉(zhuǎn)動(dòng)的角度在旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)置三個(gè)以上的支桿，如設(shè)計(jì)三個(gè)互成120°角的支桿，運(yùn)送導(dǎo)軌的兩端均和設(shè)置擋塊或檔桿，如要旋轉(zhuǎn)軸僅沿一個(gè)方向轉(zhuǎn)動(dòng)，則將擋塊或檔桿設(shè)置在運(yùn)送導(dǎo)軌的同側(cè)，若需往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)，則將檔桿或擋塊分別設(shè)置于運(yùn)送導(dǎo)軌的兩側(cè)。
[0030]通過使用閉環(huán)運(yùn)送的方式，能達(dá)到所有載片能固定的位置，并且通過將載片放置在轉(zhuǎn)軸上，通過轉(zhuǎn)軸上的支桿與擋塊及檔桿相互配合，可實(shí)現(xiàn)載片自動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)任意角度，如當(dāng)設(shè)置兩對支桿的時(shí)候，僅采用一個(gè)檔桿及一個(gè)擋塊就可使載片轉(zhuǎn)動(dòng)180度，并且閉環(huán)運(yùn)送線，沒轉(zhuǎn)動(dòng)一圈即可轉(zhuǎn)動(dòng)180度，從而解決現(xiàn)有技術(shù)中無法自動(dòng)翻轉(zhuǎn)的問題，從而達(dá)到正反面鍍膜能在真空條件下一次性完成，成膜質(zhì)量高，且本實(shí)用新型中可采用轉(zhuǎn)盤結(jié)構(gòu)作為閉環(huán)運(yùn)送線，通過轉(zhuǎn)盤驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)即可，僅需對現(xiàn)有的轉(zhuǎn)架進(jìn)行簡單改造即可，結(jié)構(gòu)簡單，生產(chǎn)成本低；還可在支桿和/或檔桿位于底板上的一端設(shè)置氣缸或驅(qū)動(dòng)電機(jī)，從而達(dá)到在無需翻轉(zhuǎn)時(shí)，不阻擋檔桿或檔桿，或是阻擋檔桿或檔桿之中一個(gè)改變每一圈的轉(zhuǎn)動(dòng)角度。
[0031]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.單體真空鍍膜設(shè)備轉(zhuǎn)架載片的自動(dòng)翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于:包括底板，設(shè)置于所述底板上的閉環(huán)運(yùn)送機(jī)構(gòu)和驅(qū)動(dòng)該閉環(huán)運(yùn)送機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述閉環(huán)運(yùn)送機(jī)構(gòu)上設(shè)有通過閉環(huán)運(yùn)送機(jī)構(gòu)運(yùn)送的旋轉(zhuǎn)組件，所述旋轉(zhuǎn)組件的外側(cè)上設(shè)有隨旋轉(zhuǎn)組件轉(zhuǎn)動(dòng)的三個(gè)以上的支桿，所述旋轉(zhuǎn)組件上設(shè)有用于固定載片的固定組件，所述底板上閉環(huán)運(yùn)送機(jī)構(gòu)的一側(cè)上還設(shè)有用于阻擋該支桿的阻擋組件。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單體真空鍍膜設(shè)備轉(zhuǎn)架載片的自動(dòng)翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述閉環(huán)機(jī)構(gòu)為旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、傳送帶機(jī)構(gòu)或?qū)к夁\(yùn)送機(jī)構(gòu)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單體真空鍍膜設(shè)備轉(zhuǎn)架載片的自動(dòng)翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)盤和驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)盤驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述轉(zhuǎn)盤驅(qū)動(dòng)電機(jī)與轉(zhuǎn)盤通過齒輪或皮帶傳動(dòng)，所述旋轉(zhuǎn)組件位于轉(zhuǎn)盤上的外側(cè)上，所述阻擋組件包括設(shè)置于底板上位于轉(zhuǎn)盤外側(cè)的檔桿。4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的單體真空鍍膜設(shè)備轉(zhuǎn)架載片的自動(dòng)翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)組件包括固定于閉環(huán)運(yùn)送機(jī)構(gòu)上的旋轉(zhuǎn)軸，隨旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)的三個(gè)以上的支桿位于旋轉(zhuǎn)軸上。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的單體真空鍍膜設(shè)備轉(zhuǎn)架載片的自動(dòng)翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述支桿為四個(gè)，四個(gè)所述支桿中每兩個(gè)支桿為同軸設(shè)置，同軸的四個(gè)所述支桿分為第一支桿對和第二支桿對。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的單體真空鍍膜設(shè)備轉(zhuǎn)架載片的自動(dòng)翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述第一支桿對和第二支桿對相互垂直，所述第一支桿對的高度高于第二支桿對。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的單體真空鍍膜設(shè)備轉(zhuǎn)架載片的自動(dòng)翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述檔桿的高度不小于第二支桿的高度對且小于第一支桿對的高度。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的單體真空鍍膜設(shè)備轉(zhuǎn)架載片的自動(dòng)翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述阻擋組件還包括設(shè)置于底板上與第一支桿對相互配合的檔桿，所述檔桿的高度大于第一支桿對，所述檔桿與擋塊的距離不小于第一檔桿對或第二檔桿對的轉(zhuǎn)動(dòng)直徑。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的單體真空鍍膜設(shè)備轉(zhuǎn)架載片的自動(dòng)翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述支桿和/或檔桿位于底板上的一端連接有驅(qū)動(dòng)支桿和/或檔桿上下運(yùn)動(dòng)的氣缸或驅(qū)動(dòng)電機(jī)。
【文檔編號(hào)】C23C14-50GK204265839SQ201420657471
【發(fā)明者】邵海平 [申請人]邵海平