專利名稱：雙面一次成膜真空離子濺鍍機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種真空離子濺鍍機(jī)。
背景技術(shù)：
利用濺射技術(shù)在光學(xué)器件表面鍍膜，已經(jīng)成熟地應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)當(dāng)中，這種傳統(tǒng)的鍍膜工藝需要在真空條件下進(jìn)行。因此，實(shí)際的生產(chǎn)過程是間隙進(jìn)行的，先將一批光學(xué)器件送入真空鍍膜機(jī)中，然后對真空鍍膜機(jī)進(jìn)行抽真空，使其在真空狀態(tài)下對光學(xué)器件進(jìn)行濺鍍，鍍膜完成后成品出爐，然后再重復(fù)上述操作步驟，對下一批光學(xué)器件進(jìn)行鍍膜，所以其生產(chǎn)效率比較低下。
近年來，隨著技術(shù)的進(jìn)步，可連續(xù)濺鍍的濺鍍機(jī)已經(jīng)得到廣泛的使用，該連續(xù)濺鍍機(jī)在濺鍍室的進(jìn)口處增加了若干個(gè)可以分隔的、安裝有抽真空裝置的、真空度逐步提高的真空過渡室，使需要濺鍍的工件經(jīng)過若干個(gè)真空過渡室后進(jìn)入濺鍍室進(jìn)行濺鍍，同樣，連續(xù)濺鍍機(jī)在出口處增加了若干個(gè)可以分隔的、安裝有抽真空裝置的、真空度逐步降低的真空過渡室，使濺鍍后的工件經(jīng)過若干個(gè)真空過渡室后取出，這樣就大大提高了工作效率，使濺鍍機(jī)可以象生產(chǎn)線一樣不間斷地連續(xù)生產(chǎn)。
上述連續(xù)濺鍍機(jī)一般采用滾軸輸送工件，濺鍍室中的濺射發(fā)生器安裝在輸送線的上方，因此，它只能對工件進(jìn)行單面濺鍍，需要進(jìn)行雙面濺鍍的工件在完成一面濺鍍后，還需翻身后重新進(jìn)入濺鍍機(jī)進(jìn)行另一面的濺鍍。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是提供一種雙面一次成膜真空離子濺鍍機(jī)，該濺鍍機(jī)設(shè)有兩個(gè)濺鍍室，并且兩個(gè)濺鍍室中的濺射發(fā)生器分別位于工件輸送線的上方和下方，使經(jīng)過濺鍍室的工件的上下兩個(gè)面能分別形成鍍膜，從而提高了濺鍍機(jī)的生產(chǎn)效率。
本實(shí)用新型的技術(shù)方案是一種雙面一次成膜真空離子濺鍍機(jī)，包括濺鍍室、安裝在濺鍍室內(nèi)的濺射發(fā)生器、分別與濺鍍室的進(jìn)口和出口密封連接的若干個(gè)真空過渡室、貫穿于真空過渡室和濺鍍室的工件輸送線，所述濺鍍室包括第一濺鍍室和第二濺鍍室，第一濺鍍室內(nèi)的濺射發(fā)生器安裝在工件輸送線的上方，第二濺鍍室內(nèi)的濺射發(fā)生器安裝在工件輸送線的下方。
本實(shí)用新型進(jìn)一步的技術(shù)方案是一種雙面一次成膜真空離子濺鍍機(jī)，包括濺鍍室、安裝在濺鍍室內(nèi)的濺射發(fā)生器、分別與濺鍍室的進(jìn)口和出口密封連接的若干個(gè)真空過渡室、貫穿于真空過渡室和濺鍍室的工件輸送線，所述濺鍍室包括第一濺鍍室和第二濺鍍室，第一濺鍍室內(nèi)的濺射發(fā)生器安裝在工件輸送線的上方，第二濺鍍室內(nèi)的濺射發(fā)生器安裝在工件輸送線的下方；所述工件輸送線安裝于真空過渡室和濺鍍室的底部，而第二濺鍍室的安裝高度低于真空過渡室和濺鍍室，使工件輸送線位于第二濺鍍室的中部。
本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是1.由于本實(shí)用新型設(shè)有兩個(gè)濺鍍室，并且兩個(gè)濺鍍室中的濺射發(fā)生器分別位于工件輸送線的上方和下方，使工件輸送線上的工件在經(jīng)過濺鍍室時(shí)，上面和下面均能得到鍍膜，大大提高了生產(chǎn)效率。
2.由于本實(shí)用新型的工件輸送線安裝在直空過渡室和第一濺鍍室的底部，而將第二濺鍍室的安裝高度降低，使工件輸送線位于第二濺鍍室的中部，從而第二濺鍍室中的濺射發(fā)生器可以安裝在位于工件輸送線下方的底部，這樣整個(gè)濺鍍機(jī)的結(jié)構(gòu)就比較緊湊。
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述


圖1為本實(shí)用新型的主視圖；圖2為本實(shí)用新型的俯視圖；圖3為第一濺鍍室的剖視圖；圖4為第二濺鍍室的剖視圖；圖5為真空過渡室的剖視圖；圖6為密封隔斷裝置的側(cè)面剖視圖。
其中1濺鍍室；11第一濺鍍室；12第二濺鍍室；2濺射發(fā)生器；21第一濺射發(fā)生器；22第二濺射發(fā)生器；3真空過渡室；4工件輸送線；5抽真空裝置；6密封隔斷裝置。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例如
圖1、圖2、圖3、圖4、圖5、圖6所示，一種雙面一次成膜真空離子濺鍍機(jī)，包括濺鍍室(1)、安裝在濺鍍室(1)內(nèi)的濺射發(fā)生器(2)、分別與濺鍍室(1)的進(jìn)口和出口密封連接的若干個(gè)真空過渡室(3)、貫穿于真空過渡室(3)和濺鍍室(1)的工件輸送線(4)，安裝在真空過渡室(3)上的抽真空裝置(5)、分隔真空過渡室(3)的密封隔斷裝置(6)，所述濺鍍室(1)包括第一濺鍍室(11)和第二濺鍍室(12)，第一濺鍍室(11)內(nèi)的濺射發(fā)生器(21)安裝在工件輸送線(4)的上方，第二濺鍍室(12)內(nèi)的濺射發(fā)生器(22)安裝在工件輸送線(4)的下方；所述工件輸送線(4)安裝于真空過渡室(3)和濺鍍室(1)的底部，而第二濺鍍室(12)的安裝高度低于真空過渡室(3)和濺鍍室(1)，使工件輸送線(4)位于第二濺鍍室(12)的中部。
由于本實(shí)用新型設(shè)有兩個(gè)濺鍍室(1)，并且兩個(gè)濺鍍室(1)中的濺射發(fā)生器(2)分別位于工件輸送線(4)的上方和下方，使工件輸送線(4)上的工件在經(jīng)過濺鍍室(1)時(shí)，上面和下面均能得到鍍膜，大大提高了生產(chǎn)效率；由于本實(shí)用新型的工件輸送線(4)安裝在真空過渡室(3)和第一濺鍍室(11)的底部，而將第二濺鍍室(12)的安裝高度降低，使工件輸送線(4)位于第二濺鍍室(12)的中部，從而第二濺鍍室(12)中的濺射發(fā)生器(22)可以安裝在位于工件輸送線(4)下方的底部，這樣整個(gè)濺鍍機(jī)的結(jié)構(gòu)就比較緊湊。
權(quán)利要求1.一種雙面一次成膜真空離子濺鍍機(jī)，包括濺鍍室(1)、安裝在濺鍍室(1)內(nèi)的濺射發(fā)生器(2)、分別與濺鍍室(1)的進(jìn)口和出口密封連接的真空過渡室(3)、貫穿于真空過渡室(3)和濺鍍室(1)的工件輸送線(4)，其特征在于所述濺鍍室(1)包括第一濺鍍室(11)和第二濺鍍室(12)，第一濺鍍室(11)內(nèi)的濺射發(fā)生器(21)安裝在工件輸送線(4)的上方，第二濺鍍室(12)內(nèi)的濺射發(fā)生器(22)安裝在工件輸送線(4)的下方。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面一次成膜真空離子濺鍍機(jī)，其特征在于所述工件輸送線(4)安裝于真空過渡室(3)和濺鍍室(1)的底部，而第二濺鍍室(12)的安裝高度低于真空過渡室(3)和濺鍍室(1)，使工件輸送線(4)位于第二濺鍍室(12)的中部。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種雙面一次成膜真空離子濺鍍機(jī)，包括濺鍍室、安裝在濺鍍室內(nèi)的濺射發(fā)生器、分別與濺鍍室的進(jìn)口和出口密封連接的若干個(gè)真空過渡室、貫穿于真空過渡室和濺鍍室的工件輸送線，所述濺鍍室包括第一濺鍍室和第二濺鍍室，第一濺鍍室內(nèi)的濺射發(fā)生器安裝在工件輸送線的上方，第二濺鍍室內(nèi)的濺射發(fā)生器安裝在工件輸送線的下方；該濺鍍機(jī)可以對工件的兩個(gè)面同時(shí)進(jìn)行鍍膜，大大提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)C23C14/34GK2716280SQ200420024850
公開日2005年8月10日 申請日期2004年2月20日 優(yōu)先權(quán)日2004年2月20日
發(fā)明者林政乾, 戴明光 申請人:林政乾, 戴明光