專利名稱：真空鍍膜機(jī)的抽氣系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種真空鍍膜機(jī)的輔助系統(tǒng)，尤其涉及一種真空鍍膜機(jī)的抽氣系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
利用真空蒸發(fā)技術(shù)在工件表面鍍保護(hù)膜的技術(shù)，已經(jīng)成熟應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)。目前應(yīng)用最廣的是由兩個真空室出氣口、兩路抽氣系統(tǒng)組成的真空鍍膜機(jī)，這種排氣系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)、配置和管路等整個采用平面布置(如圖1)，而且現(xiàn)有設(shè)備的三個機(jī)械泵和一個作維持用的機(jī)械泵均采用的是分散排氣(即用四個過濾罐和排氣口，維持泵距離設(shè)備也非常遠(yuǎn)，使系統(tǒng)的管路長、占地面積大，直接影響了泵的效率。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是提供一種管路短、空間利用率高、效率高的立體式真空鍍膜機(jī)的抽氣系統(tǒng)。
本實(shí)用新型的目的可以通過以下措施實(shí)現(xiàn)一種真空鍍膜機(jī)的抽氣系統(tǒng)，將原有的旋片式機(jī)械泵改為抽速快而且綜合性能更高的滑閥泵，它由滑閥泵經(jīng)羅茨泵接予抽閥、扁閥后與真空室相連，排放的氣體由滑閥泵和維持泵經(jīng)過濾罐從排氣口排出；其中滑閥泵、羅茨泵及維持泵共用一個過濾罐，且羅茨泵和過濾罐固定設(shè)置在支架上；維持泵和滑閥泵設(shè)置在支架內(nèi)。
本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)、管路采用立體式配置，大大縮小了整個抽氣系統(tǒng)的體積、節(jié)約了系統(tǒng)的占地面積，同時縮短了整個系統(tǒng)的管道線路，有效提高了泵的抽速和效率。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)中抽氣系統(tǒng)的的平面布置圖。
圖2為本實(shí)用新型抽氣系統(tǒng)的立體設(shè)置圖具體實(shí)施方式
參照圖2，一種真空鍍膜機(jī)的立體抽氣系統(tǒng)，由滑閥泵1經(jīng)羅茨泵2，再接予抽閥3、扁閥后與真空室(圖中未標(biāo)出)相連；滑閥泵1、羅茨泵2及維持泵4共用一個過濾罐5，它們排放的氣體經(jīng)過濾罐5后從排氣口6排出。其中羅茨泵1和過濾罐5固定設(shè)置在一個支架7上；維持泵4和滑閥泵1設(shè)置在支架7內(nèi)，這樣整個系統(tǒng)形成一個立體結(jié)構(gòu)。
權(quán)利要求1.一種真空鍍膜機(jī)的立體抽氣系統(tǒng)，由滑閥泵(1)經(jīng)羅茨泵(2)、接予抽閥(3)、扁閥后與真空室相連，排放的氣體由滑閥泵(1)和維持泵(4)經(jīng)過濾罐(5)從排氣口(6)排出，其特征在于所述滑閥泵(1)、羅茨泵(2)及維持泵(4)共用一個過濾罐(5)，且羅茨泵(1)和過濾罐(5)固定設(shè)置在支架(7)上；維持泵(4)和滑閥泵(1)設(shè)置在支架(7)內(nèi)。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種真空鍍膜機(jī)的立體抽氣系統(tǒng)，該系統(tǒng)利用一個支架將整個系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)、管路進(jìn)行立體式配置，大大縮小了整個排氣系統(tǒng)的體積、節(jié)約了系統(tǒng)的占地面積，同時縮短了整個系統(tǒng)的管道線路，有效提高了泵的抽速和效率。
文檔編號C23C14/56GK2760048SQ20042005596
公開日2006年2月22日 申請日期2004年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月31日
發(fā)明者范多旺, 鄧志杰, 于正勤, 武福, 范多進(jìn), 王漢安, 解武波, 孔令剛 申請人:蘭州大成自動化工程有限公司, 蘭州交通大學(xué)