專利名稱：用于汽化材料的裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種根據(jù)權利要求1的前序部分的裝置。
背景技術：
在真空鍍層技術中，需要汽化器以將諸如金屬等的材料進行汽化，并且提供具有材料鍍層的基板?；灏ū∧?、網等(參見DE 195 27 604 A1，DE 43 10 085 A1，DE 42 23 568 C1，DE 42 03 632 C2，DE 102 24 908 A1)。通常，汽化器包括用于容納待汽化材料的汽化坩鍋。在汽化坩鍋上面，具有由金屬型材制成的并且在縱向開有狹槽的噴嘴擋板。由狹槽構成的噴嘴開口，能夠確保從汽化坩鍋散發(fā)出的汽化材料均勻地沉積在正位于噴嘴開口上方的基板上。在此，加熱元件為加熱盤管(DE 38 17 513 C2)。作為對汽化器舟皿或者坩鍋的材料進行加熱的加熱元件，也可以使用具有狹槽的石墨箔，這在坩鍋周圍形成了彎曲帶。
在另外一種用于真空汽化設備的蒸鍍裝置中，將電加熱棒用作加熱元件(DE 198 43 818 A1)。
還有一種高真空鍍膜設備，使用強電流對材料進行汽化，為了產生強電流，提供了至少一個具有鐵心、初級繞組和次級繞組的變壓器，將次級繞組連接到待汽化的材料或者待加熱的坩鍋(DE 42 09 334 C2，US 2 664 853)。
最近，還出現(xiàn)了一種用于調整坩鍋汽化率的裝置，由直流電流進行加熱，從而對金屬進行汽化(DE 44 04 550 C2)。在該裝置中，將坩鍋的電阻和放置坩鍋中待汽化的金屬的電阻之和調整到特定值。
大多數(shù)現(xiàn)有的汽化器僅具有一個加熱電路，導致汽化器性能的可調性差。另外，在操作過程中，做為耗費件的噴嘴擋板受到變形，使得在每次更換噴嘴擋板時需要進行預變形。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的在于增加汽化器性能的可調性。
根據(jù)權利要求1的特征，實現(xiàn)了此目的。
因此，本發(fā)明涉及一種具有汽化坩鍋的用于汽化材料的裝置。待汽化的材料放置在汽化坩鍋中。在汽化坩鍋周圍安放汽化器管道。從其縱向角度觀察，該汽化器管道包括至少兩個上下依次放置的加熱回路，并且分別進行電控。每個加熱回路均包括至少兩個加熱支路，分別安放在汽化器管道的兩側。汽化器管道具有帶有自己的加熱回路的頂部。
本發(fā)明的優(yōu)點包括噴嘴擋板不易損壞，并且簡化了噴嘴擋板的更換。另外，汽化器管道在徑向受熱更為均勻。汽化器性能的可調性更好，并且載流加熱盤管不會形成所不希望的等離子體。


本發(fā)明的實施例示例將在附圖中示出并且隨后將對其進行更加詳細的說明，附圖中圖1顯示的是用于安裝汽化器的網狀鍍膜設備的一部分；圖2顯示的是部分打開的汽化器的透視圖；圖3顯示的是位于汽化器一側的三個加熱支路；以及圖4顯示的是根據(jù)圖3的汽化器的剖面圖。
具體實施例方式
圖1顯示的是網狀鍍膜設備的一部分。這部分包括由三個平板1、2和3組成的用于安裝汽化器的基座。平板1和3平行放置，而平板2形成了底面。在由三個平板1，2和3組成的基座上為部件4。在設備運行時，部分4的上面是用作引導網或者薄膜的圓柱體。因此，部分4的表面為弓形，以與圓柱體(未顯示)相適應。
在安裝在底面上的平板1和3之間，安裝了汽化器5，在圖2沒有進行進一步的顯示。
在圖2所示的汽化器5中，打開了折疊式的側蓋6，從而顯示出汽化器管道7。顯而易見，汽化器管道7的顯露面包括兩個加熱支路8、9。在汽化器管道7上，與這些加熱支路相反的一側還有兩個在圖2中不可見的加熱支路。加熱支路8與在汽化器管道7的相反側的不可見加熱支路形成了第一加熱回路，而加熱支路9與相反側的不可見加熱支路形成了第二加熱回路。加熱回路的加熱支路在電路上是并聯(lián)的。因此，加熱支路可以包括一個或者多個導熱導線。圖2中顯示的加熱支路8和9均具有兩個導熱導線。
第三加熱回路10位于汽化器管道7的頂部11。
在圖3的簡化圖中，可以清楚地看到加熱導體構造的更多細節(jié)。
在圖3中可以看到前面的加熱支路8和后面的加熱支路9。與圖2相比，為了清楚起見，加熱支路8、9均僅包括一個導熱導線。加熱導體49始于插頭終端12，通過加熱導體部分13到17而接到底面18。
不可見的加熱導體19位于另外一側，也始于插頭終端12，并且完全隱藏在汽化器管道7的后面。該加熱導體然后延伸為再次可見的加熱導體部分20，并且接到接地接頭21。從而第一加熱回路成為閉合電路。
第二加熱回路包括后面的加熱支路9和位于汽化器管道7另外一側的不可見的加熱支路。加熱支路9始于插頭終端22，通過加熱導體部分23到28而接到接地接頭29。不可見的加熱導體位于另外一側，也始于插頭終端22，并且通過在汽化器管道7后面的加熱導體部分30、31，然后延伸為再次可見的加熱導體部分32、33，并且接到接地接頭34。
第三加熱回路10位于汽化器7的頂部部分11。該加熱回路10包括具有加熱導體部分35到37，并且連接到插頭終端40的第一加熱導體，并且提供了與加熱導體部分37平行及位于頂部部分11后面的返回加熱導體，并且通過加熱導體部分38而連接到接地接頭39。
第二加熱導體也連接到同一個插頭終端40。第二加熱導體由加熱導體部分41到43和返回加熱導體部分組成。返回加熱導體部分不可見，位于頂部部分11后面，通過加熱導體部分44而連接到接地接頭39。
構成加熱回路10的第三加熱導體也連接到插頭終端40，并且通過加熱導體部分45到48而連接到接地接頭39。此處，加熱導體部分48為在頂部部分11后面進行延伸的加熱導體部分的一部分。將72、73、74稱為終端端子板，而將70稱為基板，將71稱為絕緣板。
將構成加熱電路10的所有三個加熱導體在電路上進行并聯(lián)。
如前所述，圖2中的加熱支路中的加熱導體數(shù)目為圖3中加熱支路數(shù)目的兩倍。
圖4顯示的是根據(jù)圖3的換熱器管道7的放大部分A-A和頂部部分11。此處可以清楚地看到第一加熱回路的加熱導體部分15、14、13和17，50到50和20。
加熱導體部分37、43、47、53到55形成了第三加熱回路。具有噴嘴60的噴嘴擋板59位于加熱導體部分53和37之間。通過該噴嘴60，將汽化的材料散發(fā)到待鍍的網61上，網61在導輪62和63上進行引導。
第二加熱回路在圖4中是不可見的。
坩鍋位于汽化器管道7中，其中放置著待汽化的材料57。
徑向狹槽64位于汽化器管道7的上部區(qū)域。
可以將層狀絕緣板環(huán)繞在汽化器管道7和頂部部分7，以進行熱絕緣。
當對汽化器7中的坩鍋56中的材料57進行加熱，從而進行汽化，并且通過狹槽64和噴嘴60到達網61時，實現(xiàn)對網61進行鍍膜。
因此，本發(fā)明體力三種或者更多的可調加熱回路。一個加熱回路確保噴嘴擋板的預定溫度，這與汽化器管道的溫度無關。將至少兩個可調性更高的加熱回路用于汽化器管道徑向溫度分布。
所使用的加熱導體稱為夾套加熱導體，由導電性能良好的鐵心、環(huán)繞鐵心的絕緣層和環(huán)繞絕緣層的金屬外殼構成。每個加熱環(huán)路包括多個加熱導體。
權利要求
1.一種具有汽化坩鍋(56)的用于汽化材料的裝置，待汽化的材料(57)放置在汽化坩鍋(56)中，其中，該裝置還包括環(huán)繞著汽化坩鍋(56)的汽化器管道(7)，該管道包括至少兩個上下依次放置的加熱回路，并且分別進行電控。
2.根據(jù)權利要求1所述的裝置，其中，每個加熱回路均包括至少兩個加熱支路(8、9)，分別安放在汽化器管道(7)的兩側。
3.根據(jù)權利要求1所述的裝置，其中，汽化器管道(7)具有帶有自己的加熱回路(10)的頂部(11)。
4.根據(jù)權利要求1所述的裝置，其中，汽化器管道(7)在待汽化的材料(57)平面的上方具有開口(64)。
5.根據(jù)權利要求3所述的裝置，其中，在頂部(11)的上面部分具有帶有狹槽(60)的噴嘴擋板(59)。
6.根據(jù)權利要求2所述的裝置，其中，加熱支路(8、9)包括熱導體(13到16；24到28)，將其以曲折的方式安放在汽化器管道(7)的外側。
7.根據(jù)權利要求3所述的裝置，其中，加熱回路(10)的頂部(11)包括幾個熱導體(37，43，47)。這幾個熱導體在頂部(11)的一側進行延伸，然后彎曲回轉到頂部(11)的另外一側，之后在頂部(11)的另外一側成為熱導體(53到55)。
8.根據(jù)權利要求1所述的裝置，其中，在汽化器管道(7)的上面安裝了在導輪(62，63)上滑動的網(61)。
9.根據(jù)上述一項或者幾項權利要求中所述的裝置，其中，噴嘴擋板(59)位于網(61)和汽化器管道(7)的開口(64)之間。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種具有汽化坩鍋的用于汽化材料的裝置。待汽化的材料放置在汽化坩鍋中。在汽化坩鍋周圍安放汽化器管道。從其縱向角度觀察，該汽化器管道包括至少兩個上下依次放置的加熱回路，并且分別進行電控。每個加熱回路均包括至少兩個加熱支路，分別安放在汽化器管道的兩側。汽化器管道具有帶有自己的加熱回路的頂部。
文檔編號C23C14/24GK1776007SQ20051005196
公開日2006年5月24日 申請日期2005年2月23日 優(yōu)先權日2004年11月20日
發(fā)明者斯蒂芬·海因, 岡特·克萊姆, 彼得·斯庫克 申請人:應用薄膜兩合公司