專利名稱：一種制備涂層或薄膜的微波水熱電沉積裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種微波水熱電沉積裝置，特別涉及一種制備涂層或薄膜的微波水熱電沉積裝置。
背景技術：
目前制備涂層或薄膜的裝置只有電沉積裝置、水熱電沉積裝置和微波水熱裝置。普通電沉積裝置制備的薄膜或涂層與基體結合力很差，一般小于1Mpa，且有很多復合氧化物薄膜或涂層不能制備，如BaTiO3、Y2SiO5薄膜或涂層等。而現(xiàn)有的水熱電沉積裝置一般只能在較低的壓力下和溫度下進行(一般不超過250℃和3Mpa的壓力)劉芳，黃伯云等，電沉積-水熱合成法制備的生物陶瓷涂層與基體界面結合強度的研究，稀有金屬材料與工程，2004，33(1)83-86，也只能合成一些活化能較低的材料(如羥基磷灰石)。微波水熱裝置一般只能用于合成一些粒度細小的無機材料，不能用來制備薄膜或涂層材料。
發(fā)明的內(nèi)容本實用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術的缺點，提供了一種結構簡單，成本低且能夠使制備的薄膜或涂層在較低溫度下即可達到所需的結合強度的制備涂層或薄膜的微波水熱電沉積裝置。
為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是包括水熱釜體以及設置在水熱釜體內(nèi)的與電源相連接的電極，其特點是，水熱釜體置于與繼電器電連接的微波爐體內(nèi)，在水熱釜體內(nèi)還設置有與繼電器相連接的溫度傳感器。
本實用新型的另一特點是水熱釜體的上端還設置有帶有壓力表的水熱釜蓋，與電源相連接的電極安裝在水熱釜蓋上；水熱釜體采用聚四氟乙烯制成。
本實用新型將使陰、陽極均置于反應的水熱釜體內(nèi)部，從而將電沉積與水熱技術融為一體，將水熱釜體置入微波爐體中，通過溫度傳感器將檢測到的信號反饋給繼電器以控制微波爐體，從而達到控制溫度的作用，使制備的薄膜或涂層在較低溫度下即可達到所需的結合強度，一般在300℃制備的薄膜或涂層其結合強度就可以達到10MPa。
附圖是本實用新型的整體結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型的結構原理和工作原理作進一步詳細說明。
參見附圖，本實用新型包括由聚四氟乙烯制成的水熱釜體2，在水熱釜體2的上端設置有帶有壓力表8的水熱釜蓋9，與電源7相連接的電極5安裝在水熱釜蓋9上，在水熱釜蓋9上還設置有與繼電器10相連接的溫度傳感器6，水熱釜體2置于與繼電器10相連接的微波爐體1內(nèi)。水熱釜體2采用聚四氟乙烯制成，即能保證一定的強度，又可使微波大量透過水熱釜體2作用于反應體系。
本實用新型的工作過程如下首先打開水熱釜蓋9，將電解液11移至水熱釜體2中，用試樣夾4將試樣3夾好后，連接在電極5上，將水熱釜體2置于微波爐體1中，并隨后啟動繼電器10，通過微波爐體1加熱水熱釜體2中的電解液11，當電解液11達到預定溫度后，同時待壓力達到預定數(shù)值且壓力表8示數(shù)穩(wěn)定后，打開電源7，電沉積將在微波能和水熱超臨界條件下進行，至預定時間后，先關閉電源7，再關閉微波爐體1和繼電器10，待水熱釜體1冷卻至室溫后，打開水熱釜蓋9，取出試樣3即在試樣3的表面形成涂層或薄膜。在整個工作過程中溫度傳感器6將檢測到的信號反饋給繼電器10，再由繼電器10控制微波爐體1的工作，從面達到控制溫度的目的。
權利要求1.一種制備涂層或薄膜的微波水熱電沉積裝置，包括水熱釜體[2]以及設置在水熱釜體[2]內(nèi)的與電源[7]相連接的電極[5]，其特征在于水熱釜體[2]置于與繼電器[10]電連接的微波爐體[1]內(nèi)，在水熱釜體[2]內(nèi)還設置有與繼電器[10]相連接的溫度傳感器[6]。
2.根據(jù)權利要求1所述的制備涂層或薄膜的微波水熱電沉積裝置，其特征在于所說的水熱釜體[2]的上端還設置有帶有壓力表[8]的水熱釜蓋[9]，與電源[7]相連接的電極[5]安裝在水熱釜蓋[9]上。
3.根據(jù)權利要求1所述的制備涂層或薄膜的微波水熱電沉積裝置，其特征在于所說的水熱釜體[2]采用聚四氟乙烯制成。
專利摘要一種制備涂層或薄膜的微波水熱電沉積裝置，包括水熱釜體以及設置在水熱釜體內(nèi)的與電源相連接的電極，水熱釜體置于與繼電器電連接的微波爐體內(nèi)，在水熱釜體內(nèi)還設置有與繼電器相連接的溫度傳感器。本實用新型將使陰、陽極均置于反應的水熱釜體內(nèi)部，從而將電沉積與水熱技術融為一體，將水熱釜體置入微波爐體中，通過溫度傳感器將檢測到的信號反饋給繼電器以控制微波爐體，從而達到控制溫度的作用，使制備的薄膜或涂層在較低溫度下即可達到所需的結合強度。
文檔編號C23C26/00GK2832831SQ20052007945
公開日2006年11月1日 申請日期2005年9月29日 優(yōu)先權日2005年9月29日
發(fā)明者黃劍鋒, 李賀軍, 曹麗云, 鄧飛, 吳建鵬, 王秀峰, 賀海燕, 馬小波, 張國運, 楊長安 申請人:陜西科技大學