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      一種錯(cuò)位雙面蝕刻的刨片加工方法

      文檔序號(hào):3406346閱讀:430來(lái)源:國(guó)知局
      專利名稱:一種錯(cuò)位雙面蝕刻的刨片加工方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明屬于一種刨片的加工方法,通過對(duì)金屬片進(jìn)行蝕刻加工出 具有刃口及刨孔的刨片。
      背景技術(shù)
      目前,現(xiàn)有的加工刨片的刨孔及刃口的技術(shù),通常是通過模具沖 壓或刀片將刨片的部分金屬壁去除形成刨孔及刃口,由于刨片的刨孔 一般都很小,刃口打磨是非常困難的,這也是造成目前大部分刨具刃 口不鋒利的很大因素。

      發(fā)明內(nèi)容
      本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的問題,提供一種可以方便地 加工出刨孔及鋒利的刨具刃口的錯(cuò)位雙面蝕刻的刨片加工方法。 本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)
      本發(fā)明是一種錯(cuò)位雙面蝕刻的刨片加工方法,其包括有以下工

      (1) 在干凈的金屬刨片板胚的兩個(gè)表面上均勻覆上一層
      0.05 0.1mm厚的特殊耐蝕刻的感光膜,并烘干;
      (2) 對(duì)金屬刨片板胚的上、下兩面的感光膜采用錯(cuò)位曝光的方 法,同時(shí)對(duì)板的兩面進(jìn)行曝光,控制曝光能量和錯(cuò)位量;
      (3) 將曝光后的金屬刨片板胚放到顯影液里顯影,去除受到曝光的感光膜;
      (4)將顯影后的金屬刨片板胚放進(jìn)蝕刻液中蝕刻,控制板胚每 面的蝕刻時(shí)間,直到刨片刨孔的鏤空及刃口的形成;
      上述步驟(2)的曝光能量控制在80-100mj/cm2,錯(cuò)位量A T=1~2.5T, T為板胚的厚度。
      上述步驟(4)的蝕刻時(shí)間根據(jù)不同的材料厚度和斜坡刃口的要 求,結(jié)合曝光錯(cuò)位量,按照從單面蝕刻,蝕透刨片所用的時(shí)間為100% 計(jì)算,板胚兩面的蝕刻時(shí)間比例為60: 40~80: 20之間。
      本發(fā)明是充分利用蝕刻技術(shù)的工藝特性,通過嚴(yán)格控制覆膜、曝 光、顯影、蝕刻的用料及各項(xiàng)技術(shù)參數(shù),來(lái)滿足蝕刻工藝的要求,達(dá) 到通過蝕刻,在一張平板金屬表面形成在特定方向具有刃口的排列有 序的鏤空孔,制造出具有鋒利刃口的刨片。
      本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于(l)化學(xué)腐蝕藥物是流體的,可以無(wú)孔不入, 逐層腐蝕,加工刃口時(shí)比模具加工具有更好的方便性;(2)通過本技 術(shù)加工出來(lái)的刨孔排列整齊,刃口非常鋒利;(3)加工成本低,工序 簡(jiǎn)單方便。


      圖1為本發(fā)明的加工步驟流程圖; 圖2為單面曝光示意圖; 圖3為錯(cuò)位雙面曝光示意圖。 1、刨片胚板 2、感光膜
      具體實(shí)施例方式
      下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述。 實(shí)施例1:
      本發(fā)明是一種錯(cuò)位雙面蝕刻的刨片加工方法,其包括有以下工

      (1) 在干凈的金屬刨片板胚的兩個(gè)表面上均勻覆上一層0.05mm 厚的特殊耐蝕刻的感光膜,并烘干;
      (2) 對(duì)金屬刨片板胚的上、下兩面的感光膜采用錯(cuò)位曝光的方 法,同時(shí)對(duì)板的兩面進(jìn)行曝光,控制曝光能量和錯(cuò)位量,曝光能量控 制在80mj/cm2,錯(cuò)位量AT-1T, T為板胚的厚度;
      (3) 將曝光后的金屬刨片板胚放到顯影液里顯影,去除受到曝 光的感光膜;
      (4) 將顯影后的金屬刨片板胚放進(jìn)蝕刻液中蝕刻,控制板胚每 面的蝕刻時(shí)間,按照從單面蝕刻,蝕透刨片所用的時(shí)間為100%計(jì)算, 板胚兩面的蝕刻時(shí)間比例為60: 40,直到刨片刨孔的鏤空及刃口的 形成。
      實(shí)施例2:
      本發(fā)明是一種錯(cuò)位雙面蝕刻的刨片加工方法,其包括有以下工

      (1) 在干凈的金屬刨片板胚的兩個(gè)表面上均勻覆上一層O.lmm 厚的特殊耐蝕刻的感光膜,并烘干;
      (2) 對(duì)金屬刨片板胚的上、下兩面的感光膜采用錯(cuò)位曝光的方 法,同時(shí)對(duì)板的兩面進(jìn)行曝光,控制曝光能量和錯(cuò)位量,曝光能量控
      制在100mj/cm2,錯(cuò)位量AT-2,5T, T為板胚的厚度;
      (3) 將曝光后的金屬刨片板胚放到顯影液里顯影,去除受到曝 光的感光膜;
      (4) 將顯影后的金屬刨片板胚放進(jìn)蝕刻液中蝕刻,控制板胚每 面的蝕刻時(shí)間,按照從單面蝕刻,蝕透刨片所用的時(shí)間為100%計(jì)算, 板胚兩面的蝕刻時(shí)間比例為80: 20,直到刨片刨孔的鏤空及刃口的 形成。
      本發(fā)明的重點(diǎn)是通過嚴(yán)格控制各步驟的技術(shù)參數(shù),將蝕刻工藝優(yōu) 越性體現(xiàn)出來(lái),達(dá)到將刨片胚料蝕刻成有刃口刨孔的刨片初胚,解決 一些傳統(tǒng)工藝,如沖孔、磨削等不能做到的事情。
      對(duì)于工序(2)采用錯(cuò)位曝光的理由,由于在蝕刻的過程中,在 腐蝕的壁面會(huì)自然形成一個(gè)近似45'的斜面,如圖2所示, 一方面, 我們利用這個(gè)斜面在特定的方向產(chǎn)生一個(gè)鋒利的刃口,另一方面,要 盡量在不要刃口的方向消除這個(gè)斜面,形成一個(gè)近似平直的孔壁如圖 3,因此采用錯(cuò)位曝光,這樣可以很好的解決上述的問題。
      權(quán)利要求
      1.一種錯(cuò)位雙面蝕刻的刨片加工方法,其特征在于其包括有以下工序(1)在干凈的金屬刨片板胚的兩個(gè)表面上均勻覆上一層0.05~0.1mm厚的特殊耐蝕刻的感光膜,并烘干;(2)對(duì)金屬刨片板胚的上、下兩面的感光膜采用錯(cuò)位曝光的方法,同時(shí)對(duì)板的兩面進(jìn)行曝光,控制曝光能量和錯(cuò)位量;(3)將曝光后的金屬刨片板胚放到顯影液里顯影,去除受到曝光的感光膜;(4)將顯影后的金屬刨片板胚放進(jìn)蝕刻液中蝕刻,控制板胚每面的蝕刻時(shí)間,直到刨片刨孔的鏤空及刃口的形成。
      2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的錯(cuò)位雙面蝕刻的刨片加工方法,其特 征在于所述步驟(2)的曝光能量控制在80-100mj/cm2,錯(cuò)位量A T=1~2.5T, T為板胚的厚度。
      3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的錯(cuò)位雙面蝕刻的刨片加工方法,其特 征在于所述步驟(4)的蝕刻時(shí)間根據(jù)不同的材料厚度和斜坡刃口 的要求,結(jié)合曝光錯(cuò)位量,按照從單面蝕刻,蝕透刨片所用的時(shí)間為 100%計(jì)算,板胚兩面的蝕刻時(shí)間比例為60: 40~80: 20之間。
      全文摘要
      本發(fā)明公開了一種通過對(duì)金屬片進(jìn)行蝕刻加工出具有刃口及刨孔的刨片的方法。其包括有以下工序在干凈的金屬刨片板胚的兩個(gè)表面上均勻覆上一層0.05~0.1mm厚的特殊耐蝕刻的感光膜,并烘干;對(duì)金屬刨片板胚的上、下兩面的感光膜采用錯(cuò)位曝光的方法,同時(shí)對(duì)板的兩面進(jìn)行曝光,控制曝光能量和錯(cuò)位量;將曝光后的金屬刨片板胚放到顯影液里顯影,去除受到曝光的感光膜;將顯影后的金屬刨片板胚放進(jìn)蝕刻液中蝕刻,控制板胚每面的蝕刻時(shí)間,直到刨片刨孔的鏤空及刃口的形成。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于加工刃口時(shí)比模具加工具有更好的方便性,通過本技術(shù)加工出來(lái)的刨孔排列整齊,刃口非常鋒利,加工成本低,工序簡(jiǎn)單方便。
      文檔編號(hào)C23F1/02GK101187025SQ20071003187
      公開日2008年5月28日 申請(qǐng)日期2007年11月28日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月28日
      發(fā)明者韓祖強(qiáng) 申請(qǐng)人:韓祖強(qiáng)
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