專利名稱：磁頭研磨裝置和磁頭研磨方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于由用于磁記錄裝置等中的多個相連的磁頭滑動件單元構(gòu)成的研磨物體的磁頭研磨裝置和研磨方法。
背景技術(shù)：
在磁頭的制造過程中，在原材料條的待研磨表面(所謂的支承表面)上采用所謂的RLG(電阻研磨引導(dǎo))研磨，多個磁頭元件(被稱為MR(磁阻)薄膜)以線性排列的形式形成在所述待研磨表面上。利用假負(fù)載電阻在MR薄膜的電阻特性的測量下進(jìn)行RLG研磨，以在滑動件的喉高或者M(jìn)R高度方面獲得適合的數(shù)值。
待研磨的原材料條指的是一個在切割過程中通過將形成在陶瓷基片表面上的多個磁頭元件切割成預(yù)定寬度而得到的條形部件。
在RLG研磨中，將剛性部件夾具固定在原材料條的與待研磨表面相對的表面上，并將固定在夾具上的原材料條固定在研磨頭下方，所述研磨頭位于研磨表面板的上方。
在均勻涂覆有研磨材料(膏劑)的表面板上，研磨頭下降并且與原材料條的待拋光表面接觸。接著，轉(zhuǎn)動表面板并將來自加壓部件的壓力作用在構(gòu)成原材料條的每一個滑動件上，從而將原材料條研磨到預(yù)定的厚度、表面粗糙度和形狀(例如日本專利申請?zhí)亻_No.2002-66893，日本專利申請?zhí)亻_No.2002-157723，日本專利特許No.2935916和日本專利申請?zhí)亻_No.2004-071016)。
下面說明現(xiàn)有的加壓部件和原材料條的結(jié)構(gòu)。圖9A是研磨頭的主視圖，圖9B是其仰視圖，圖10是圖9A中X部分的放大圖。
用于對原材料條417加壓的加壓部件417由加壓銷431和梳齒狀部件435構(gòu)成，梳齒狀部件435定位成抵靠加壓銷431的端部并安裝在研磨頭415的本體上。在梳齒狀部件435的與由加壓銷431施壓的部分相對的表面上，利用粘接劑(粘接層432)沿梳齒狀部件的縱向固定橡膠件419。原材料條417支承在橡膠件419的表面上。
在上述結(jié)構(gòu)的研磨頭415中，當(dāng)利用從未示出的源供給的壓縮空氣對預(yù)定加壓銷431加壓時，它壓迫梳齒狀部件432的柔性梳齒狀部分435a。這樣，梳齒狀部件的末端部分435b彎曲以使得橡膠件419變形，從而對原材料條417的預(yù)定部分加壓以進(jìn)行研磨。
近年來，用于磁頭中的滑動件制作得較小，要求在構(gòu)成原材料條的滑動件中的相應(yīng)節(jié)距也較小。
為了實現(xiàn)滑動件的小型化，不僅需要磁頭研磨裝置的加壓部件小型化，而且需要提高研磨加工精度。為了提高研磨精度，需要提高加壓操作中的響應(yīng)性和負(fù)荷的線性。特別在研磨裝置中，在采用在監(jiān)測滑動件的電特性下改變加壓作用力的閉環(huán)控制的情況下，提高加壓部件對控制系統(tǒng)的指令的響應(yīng)性對于提高研磨精度來說是必需的。
本發(fā)明人進(jìn)行大量的研究，發(fā)現(xiàn)存在于加壓部件和橡膠件之間的粘接材料對于現(xiàn)有的尺寸較大的滑動件的影響相當(dāng)有限，但隨著滑動件的小型化，其對響應(yīng)性和負(fù)荷線性的影響越來越大。這主要是因為對于加壓部件的構(gòu)成部分的小型化來說表面積的影響比體積的影響大，因此當(dāng)加壓部件壓迫橡膠件時粘接材料的影響不再被忽略。

發(fā)明內(nèi)容
考慮到上述情況，本發(fā)明的目的是提供一種能夠在不受粘接材料影響的情況下提高加壓部件的響應(yīng)性和線性的磁頭研磨裝置和磁頭研磨方法。
在本發(fā)明的第一方面，上述目的可通過提供一種磁頭研磨裝置實現(xiàn)，該磁頭研磨裝置用于研磨由分別由電磁轉(zhuǎn)換元件和磁電轉(zhuǎn)換元件中的至少一個形成的多個元件構(gòu)成的待研磨物體，所述磁頭研磨裝置包括具有可轉(zhuǎn)動的研磨表面的研磨表面板；轉(zhuǎn)動所述研磨表面的轉(zhuǎn)動驅(qū)動單元；以及可相對于所述研磨表面移動并適于將所述待研磨物體壓在所述研磨表面上由此對所述物體進(jìn)行研磨的研磨頭；其中，所述研磨頭包括用于將所述待研磨物體支承在其一個表面上的具有彈性的支承部分；用于固定所述支承部分的支承部分固定部件；以及用于經(jīng)所述支承部分對所述待研磨物體加壓的多個加壓部件，并且在由所述加壓部件加壓的所述支承部分的加壓區(qū)域與所述加壓部件接觸的狀態(tài)下，所述支承部分在除所述加壓區(qū)域以外的區(qū)域固定到所述支承部分固定部件上。
在本發(fā)明的第一方面，上述目的還可通過一種磁頭研磨方法實現(xiàn)，該磁頭研磨方法用于研磨由分別由電磁轉(zhuǎn)換元件和磁電轉(zhuǎn)換元件中的至少一個形成的多個元件構(gòu)成的待研磨物體，所述磁頭研磨方法包括將所述待研磨物體支承在彈性件的表面上；以及將所述待研磨物體壓到形成于研磨表面板上的研磨表面，由此對所述物體進(jìn)行研磨；其中，研磨步驟是在支承部分固定在除由所述加壓部件加壓的所述支承部分的加壓區(qū)域以外的區(qū)域中的狀態(tài)下進(jìn)行的。
本發(fā)明的研磨裝置和研磨方法不受粘接材料的影響，這是由于在加壓部件和支承部分之間不存在粘接劑。因此能夠提高加壓部件的響應(yīng)性和線性，從而提高研磨精度。


圖1A是示出本發(fā)明所涉及的整個磁頭研磨裝置的主視圖；圖1B是其俯視圖；圖2是示出研磨物體施壓機(jī)構(gòu)的示意性主視圖；圖3是沿圖2中的線III-III的截面圖；圖4是橡膠件的主視圖；圖5是圖3中V部分的放大圖；圖6是示出施壓機(jī)構(gòu)的變型的示意性主視圖；圖7是輔助支承部分固定部件的主視圖；
圖8是空氣軸承式氣缸的示意性截面圖；圖9A是現(xiàn)有研磨頭的主視圖；圖9B是圖9A所示的研磨頭的仰視圖；以及圖10是圖9A中X部分的放大圖。
具體實施例方式
下面將參照附圖對本發(fā)明的磁頭研磨裝置和磁頭研磨方法的實施例進(jìn)行說明。
(實施例)現(xiàn)將參照附圖對本發(fā)明的磁頭研磨裝置進(jìn)行說明。圖1A是示出本發(fā)明的一個實施例所涉及的整個磁頭研磨裝置的主視圖，圖1B是其平面圖?，F(xiàn)參照圖1A和1B對用于磁頭的研磨裝置的整體結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。
磁頭研磨裝置設(shè)有基座1?；?支承可在水平面上轉(zhuǎn)動的研磨表面板3，利用包括轉(zhuǎn)動驅(qū)動源并且設(shè)置在基座1中的表面板驅(qū)動電機(jī)5經(jīng)帶7轉(zhuǎn)動驅(qū)動研磨表面板3。設(shè)置在研磨表面板3上的研磨表面3a具有預(yù)定曲率半徑的下凹曲面，以利用研磨工藝提供具有預(yù)定圓形(冠狀)的待研磨表面。
如圖1A所示，垂直隔開的一對導(dǎo)軌9在基座1上方沿水平方向延伸，并且可橫向移動的滑動件11(見圖1B)可滑動地安裝在導(dǎo)軌9上并且可沿導(dǎo)軌9在水平方向上移動。例如可通過在滑動件11的側(cè)面使得滾珠螺母與平行于導(dǎo)軌9的滾珠螺桿接合并利用電機(jī)轉(zhuǎn)動滾珠螺桿來實現(xiàn)可橫向移動的滑動件11的移動。研磨頭安裝框架13也安裝在可橫向移動的滑動件11上。
因此，可橫向移動的滑動件11和研磨頭安裝框架13可在水平方向上實現(xiàn)線性往復(fù)動作。
施壓機(jī)構(gòu)15(下文中說明)經(jīng)加壓機(jī)構(gòu)支承板25(參見圖3)也安裝在研磨頭安裝框架13上。
如圖1A右上部所示，設(shè)有控制單元(控制部)6，例如由用于控制整個磁頭研磨裝置的計算機(jī)形成?？刂茊卧?響應(yīng)于操作員對未示出的開關(guān)的致動而發(fā)動用于研磨工藝的各種控制。特別地，它可為設(shè)置在磁頭研磨裝置中的電機(jī)等發(fā)送驅(qū)動信號，從而執(zhí)行研磨操作。
下面將對用于將待研磨物體壓在研磨表面上的施壓機(jī)構(gòu)進(jìn)行說明。磁頭研磨裝置的其它結(jié)構(gòu)與在本申請人的日本專利申請?zhí)亻_No.2002-66893和日本專利申請?zhí)亻_No.2002-157723中所說明的類似，因此這里不再對它們進(jìn)行詳細(xì)說明。
圖2是施壓機(jī)構(gòu)的示意性主視圖。圖3是沿圖2中的線III-III的橫截面圖，以及圖4是橡膠件的仰視圖。在圖2中，為了簡單起見，省去了圖3所示的保持裝置21。
如圖2和圖3所示，施壓機(jī)構(gòu)15包括構(gòu)成用于支承作為待研磨物體的原材料條17的彈性支承部分的橡膠件19、構(gòu)成用于固定橡膠件19的支承部分固定部件的橡膠件保持裝置29和用于使得橡膠件保持裝置29相對于研磨表面3a上升或者下降的升降裝置23。
升降裝置23由設(shè)置在右側(cè)和左側(cè)的升降裝置單元24、26構(gòu)成。由于升降裝置單元24、26具有相同的結(jié)構(gòu)，因此下面將對在附圖中右手側(cè)的升降裝置單元24進(jìn)行說明。升降裝置單元24包括固定在施壓機(jī)構(gòu)支承板25(參見圖3)上的氣缸28、可在氣缸28中垂直移動的活塞30和用于為氣缸供給來自未示出氣源的具有預(yù)定壓力的空氣的未示出電動氣動調(diào)節(jié)器。活塞30在其下端安裝在保持裝置21上，以利用活塞30的垂直移動使得保持裝置21升降。
在施壓機(jī)構(gòu)15中，由未示出的電動氣動調(diào)節(jié)器控制的空氣經(jīng)過接頭26引入歧管氣缸27，從而驅(qū)動構(gòu)成支承在歧管氣缸27中的致動器的活塞37。響應(yīng)于活塞37的驅(qū)動，由板形部件形成的加壓滑動件31實現(xiàn)相對于研磨表面3a的垂直往復(fù)動作?；瑒蛹?1的移動范圍在垂直方向上由止擋件33限制而在橫向上由引導(dǎo)件35限制?；钊謩e由來自控制單元6的驅(qū)動信號獨(dú)立驅(qū)動。
本實施例可利用獨(dú)立用于構(gòu)成原材料條17的每一個元件(滑動件)的加壓滑動件31執(zhí)行原材料條17的加壓。但是，提供加壓滑動件31所需位移的活塞37的尺寸(特別是活塞37的直徑)必須遠(yuǎn)大于當(dāng)前分配給原材料條上的每一個元件的區(qū)域。因此，如圖3所示，活塞37設(shè)置成3列，而用于驅(qū)動相鄰加壓滑動件31的活塞37布置在各自不同的列中，因此不同的活塞37分別對應(yīng)加壓滑動件37。因此，活塞37的布置優(yōu)選例如根據(jù)活塞37的尺寸進(jìn)行適當(dāng)?shù)母淖?。換言之，并行致動器的數(shù)量不限于3個而是可適當(dāng)?shù)馗淖儭?br> 構(gòu)成支承件的矩形橡膠件19在多個加壓滑動件31的下端側(cè)沿平行于原材料條17的方向延伸(參見圖3)，并且在兩個縱向端部例如利用粘接材料固定在橡膠件保持裝置29上。
如圖4所示，利用粘接材料將橡膠19在其粘接區(qū)域19a中粘接到橡膠件保持裝置29上。粘接區(qū)域19a在橡膠件的縱向上延伸，并且分別設(shè)置在圖4中上方和下方的兩個邊緣部分上的兩個單元中。加壓區(qū)域19b在粘接區(qū)域19a之間形成在橡膠件19的中央處。加壓滑動件31的末端部分抵靠這樣的加壓區(qū)域19b。這樣，加壓區(qū)域19b未涂有粘接材料，并且橡膠件19未粘接到加壓滑動件的端部。
橡膠件19在其下表面(在圖3中沿垂直方向的下側(cè)的表面)上利用自身的粘貼作用或者真空抽吸形成的吸附支承原材料條17。
為了提高從加壓滑動件到原材料條的加壓作用力的響應(yīng)性，橡膠件以不松弛的狀態(tài)固定在保持裝置上并且與加壓滑動件的端部接觸。為此，矩形薄板36(僅在圖3中示出)可安裝在橡膠件19的與用于原材料條17的吸附表面相對的表面上(即，在圖3中沿垂直方向的上側(cè)的表面)。薄板36是用于防止橡膠件19松弛的內(nèi)襯元件。在不使用粘接材料或者壓敏粘接材料的情況下僅靠自身的粘貼作用或者真空抽吸形成的吸附將橡膠件19固定在薄板36上。
在本實施例中，橡膠件19由粘接材料粘接到橡膠件保持裝置29上，但也可利用螺紋件固定，或者保持裝置21設(shè)有與真空源連通的抽吸孔以利用真空抽吸固定橡膠件。另外，在本實施例中，橡膠件19被制成整體部件，但也可根據(jù)材料的剛性或者原材料條的粘性作出改變，并且可在橡膠件19與原材料條接觸的加壓區(qū)域使用吸附性能極好的材料，可在固定到保持裝置上的部位使用高剛性材料。
在上述結(jié)構(gòu)中，利用來自加壓滑動件31的加壓作用力將支承在橡膠件19表面上的原材料條17壓到研磨表面3a上，從而經(jīng)受研磨加工。在這樣的加工中，多個加壓滑動件31被分別驅(qū)動以使得原材料條17變形，從而在原材料條17的特定部分中導(dǎo)致變形。這樣，通過強(qiáng)力地將原材料條17的特定部分壓到研磨表面3a上，可使得原材料條17的研磨量在這種特定部分中增大。
圖5是圖3中的V部分的放大圖。如這里所示，加壓滑動件31經(jīng)橡膠件19對原材料條17加壓。但是，由于在加壓滑動件31的端部39和橡膠件19之間沒有粘接材料，因此能夠防止橡膠件上的加壓作用力衰減波動。這樣，可確保在橡膠件19上的加壓作用力和由加壓滑動件31提供的加壓作用力之間的線性。
現(xiàn)將說明具有上述結(jié)構(gòu)的磁頭研磨裝置的研磨工藝。首先，原材料條17支承在橡膠件19的加壓區(qū)域19b中。更具體地，利用夾具將原材料條17壓在橡膠件19上。在該操作中，橡膠件19處于與加壓滑動件的端部39接觸的狀態(tài)。
接著，控制單元6致動未示出的電機(jī)以使得可橫向移動的滑動件11移動，從而使得施壓機(jī)構(gòu)15水平地移動到研磨表面3a上方的位置。接著，控制單元6致動表面板驅(qū)動電機(jī)5使得研磨表面3a以預(yù)定轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)動。控制單元6還致動未示出的升降裝置驅(qū)動電機(jī)，使得升降裝置23下降到研磨表面3a與原材料條17略微隔開的位置。
接著，為了使得預(yù)定活塞37移動預(yù)定量，控制單元6致動電動氣動調(diào)節(jié)器以為歧管氣缸27提供預(yù)定量的空氣。被供給空氣的活塞37對相應(yīng)的加壓滑動件31加壓，從而經(jīng)橡膠件19對原材料條17的預(yù)定部分加壓。
如上所述，本發(fā)明的磁頭研磨裝置和磁頭研磨方法能夠在原材料條的凸面加工后減小原材料條的元件的加工量的波動。
(施壓機(jī)構(gòu)的變型)圖6是示出施壓機(jī)構(gòu)的變型的示意性主視圖，圖7是輔助支承部分固定部件的主視圖。
由于施壓機(jī)構(gòu)115具有與圖2所示的基本類似的結(jié)構(gòu)，因此將僅對不同部分進(jìn)行說明。施壓機(jī)構(gòu)包括輔助固定部件107。橡膠件119粘接到輔助固定部件107上。接著，為了使得輔助固定部件107定位在氣缸131的端部下方(在圖6中的垂直方向上)，利用形成在保持裝置123的兩個端部上的通孔通過固定件110諸如平頭螺釘使得保持裝置123固定在輔助固定部件107上。
如圖7所示，矩形孔形成在輔助固定部件107的基本中央，從而構(gòu)成加壓滑動件131與橡膠件119接觸的加壓區(qū)域109a。例如利用粘接材料固定橡膠件119的粘接區(qū)域109b形成在加壓區(qū)域109a周圍。
粘接區(qū)域109b沿橡膠件的周邊部分延伸。因此，橡膠件119的粘接區(qū)域可做得比在第一實施例中的寬，從而防止橡膠件119松弛或者彎曲。
如同在第一實施例中，可通過矩形薄板136在橡膠件119的與原材料條117的吸附表面相對的表面(即，在圖6中在垂直方向上的上側(cè)的表面)上進(jìn)行粘接。薄板136是防止橡膠件119松弛的內(nèi)襯元件。在不使用粘接材料或者壓敏粘接材料的情況下僅靠自身的粘貼作用或者真空抽吸形成的吸附將薄板136固定在橡膠件119上。
上述結(jié)構(gòu)的輔助固定部件107安裝在施壓機(jī)構(gòu)115的升降裝置123上。在磁頭研磨裝置和磁頭研磨方法中，利用上述變型的施壓機(jī)構(gòu)使得來自加壓滑動件131的加壓作用力作用在薄板136上，接著經(jīng)橡膠件119對原材料條117加壓。
加壓區(qū)域109a和粘接區(qū)域109b采用矩形，但這樣的形狀是非限制性的，當(dāng)然，形狀和尺寸可根據(jù)加壓滑動件131和橡膠件119的形狀適當(dāng)?shù)馗淖儭?br> (氣缸的變型)
現(xiàn)將說明氣缸的變型。圖8是空氣軸承式氣缸的示意性截面圖。為了清楚起見，僅示出一個致動器，但毫無疑問可以并排布置的方式使用多個致動器，如圖3所示。
空氣軸承式氣缸329包括本體333，所述本體333具有環(huán)形橫截面的氣缸室331、在氣缸室331中滑動的氣缸桿337以及與氣缸室331連通的桿插入孔339。桿337通過桿插入孔339從氣缸室伸到外部。在桿337的外周上，由多孔材料形成的第一和第二噴氣部件341、343安裝在軸向間隔位置。桿的安裝第一噴氣部件341的大直徑部分337a的尺寸大于安裝第二排氣元件343的小直徑部分337b。氣缸室331的內(nèi)周具有與桿337的外周互補(bǔ)的形狀和尺寸，以使遠(yuǎn)離桿插入孔339的一側(cè)(附圖中的上側(cè))的內(nèi)徑大于靠近桿插入孔339的一側(cè)的內(nèi)徑。因此，限定在桿337的大直徑部分337a和小直徑部分337b之間的階梯部345由氣缸331中的階梯部347止擋，從而限制桿337的軸向移動。
本體333還包括貫穿本體333的供氣口349，以使得未示出的氣源與氣缸室331的內(nèi)部連通。在氣缸室331的底部(距離桿插入孔339最遠(yuǎn)的部分)設(shè)置有用于供給使桿337移動的空氣的第一推進(jìn)口351，以使得未示出的氣源與氣缸室331的內(nèi)部連通。另外，在桿337的小直徑部分337b的一側(cè)，設(shè)置用于供給空氣的第二推進(jìn)口353，以使得未示出的氣源與氣缸室331連通。
在上述結(jié)構(gòu)中，空氣從供氣口349不斷地供給并且從第一排氣元件341和第二排氣元件343經(jīng)設(shè)置在桿337中的通路355噴出，從而利用形成的空氣軸承以非接觸方式支承桿337。
從第一推進(jìn)口351供給的空氣作用在桿端337c上，從而使得桿337伸出。伸出的桿337對加壓滑動件335加壓，從而經(jīng)橡膠件319對原材料條317加壓。另一方面，從第二推進(jìn)口353供給的空氣作用在桿337的階梯部345，從而使得桿337縮回。
與前面實施例的氣缸相比，在桿和氣缸之間具有空氣層的上述空氣軸承式氣缸可顯著減小滑動阻力，從而提高操作精度。空氣軸承還用作密封件，并且可顯著減小設(shè)置在桿和氣缸之間的密封件與桿之間的摩擦阻力以及桿與襯套(推力軸承)之間的摩擦阻力。
(示例)利用配備有第一實施例結(jié)構(gòu)中施壓機(jī)構(gòu)變型的構(gòu)造的研磨頭(下表中用橡膠件表示)和配備有第一實施例結(jié)構(gòu)中致動器變型的構(gòu)造的研磨頭(下表中用氣缸表示)驗證待研磨物體的加工精度。
作為待研磨物體的原材料條的厚度為0.2-0.3毫米，寬度為1.2毫米并且縱向長度為60-70毫米。目標(biāo)值指的是利用如圖9所示的現(xiàn)有磁頭研磨裝置難以得到的數(shù)值。在測試項中的MRR指的是MR元件(每一個滑動件)的電阻；外形指的是MR元件的形狀；以及TC指的是在空氣軸承一側(cè)的每一個元件的縱向曲率半徑。TTC指的是在原材料條的縱向的空氣軸承一側(cè)的曲率半徑；PTR是表示從支承表面到電極遠(yuǎn)端的長度的極尖沉降；SS2指的是記錄頭的磁極；SF指的是再現(xiàn)頭(回放頭)的磁極；σ表示標(biāo)準(zhǔn)偏差。對于每一項目測量200個樣本。
表1

OK指的是達(dá)到目標(biāo)值的結(jié)果；NO表示沒有達(dá)到目標(biāo)值的結(jié)果；好指的是沒有達(dá)到目標(biāo)值但好于氣缸結(jié)果的結(jié)果。
如表1所示，配備有施壓機(jī)構(gòu)變型的研磨頭在MR元件的電阻和TCC標(biāo)準(zhǔn)偏差方面可得到小于目標(biāo)值的結(jié)果。配備有致動器變型的研磨頭在MR元件的電阻的標(biāo)準(zhǔn)偏差和SF平均值方面可得到符合目標(biāo)值的結(jié)果。
基于這些結(jié)果，在四項上達(dá)到目標(biāo)值的配備有施壓機(jī)構(gòu)變型的研磨頭被認(rèn)為能夠顯著提高研磨精度。配備有致動器變型的研磨頭可在兩項上達(dá)到目標(biāo)值。因此，配備有施壓機(jī)構(gòu)變型和致動器變型的第一實施例結(jié)構(gòu)的磁頭研磨裝置被認(rèn)為進(jìn)一步提高了研磨精度。
由于便于操控，該實施例使用氣動活塞或者氣缸作為致動器，但驅(qū)動介質(zhì)不限于空氣，控制系統(tǒng)不限于電動氣動調(diào)節(jié)器。液體材料可用作驅(qū)動介質(zhì)，簡單的空氣調(diào)節(jié)器可用于控制系統(tǒng)。由壓電元件等形成的微致動器可代替氣缸使用。
在本實施例中，研磨頭僅可在X或者Z軸線方向上移動，但本發(fā)明不限于這樣的實施例，并且研磨頭也可在Y軸線方向上移動以使研磨頭可在基本平行于研磨表面3a的平面上驅(qū)動。研磨頭也可在X-Y平面上轉(zhuǎn)動或者可擺動。
在上面的實施例中，研磨量的控制沒有特別說明，但如在本申請人的日本專利申請?zhí)亻_No.11-302305中所公開的，用于研磨量的閉環(huán)控制可適于在相繼測量元件的MR值的情況下進(jìn)行研磨。上面的實施例已經(jīng)說明了用于原材料條上的凸面加工的研磨裝置，但本發(fā)明不限于這樣的實施例。例如，研磨表面3a可作成平的，并且研磨裝置例如可用于調(diào)節(jié)喉高。
上面實施例和示例已經(jīng)使用橡膠件作為彈性件的代表性示例，但具有彈性的樹脂材料等也可被使用。
用于實施例和示例中的橡膠件19、119的厚度為0.5毫米至0.8毫米，但其它厚度的橡膠件也可被使用，只要可達(dá)到類似的效果即可。
用于實施例和示例中的薄板36、136是為厚度為0.05毫米至0.08毫米的不銹鋼板，但可選擇其它材料和厚度，只要可達(dá)到類似的效果即可。
在磁頭研磨裝置中，研磨頭也可包括在加壓部分和支承部分之間的薄板部件，支承部分通過薄板部件固定在支承部分固定部件上。
磁頭研磨裝置可包括用于驅(qū)動加壓部件的致動器或者空氣軸承式氣缸。
另外，在磁頭研磨方法中，薄板部件可設(shè)置在由彈性加壓部件加壓的表面上。
本發(fā)明可在不脫離其基本思想的情況下以各種形式實現(xiàn)。因此，上述實施例僅是為了示例性說明，而并非對本發(fā)明的限定。
權(quán)利要求
1.一種磁頭研磨裝置，它用于研磨由分別由電磁轉(zhuǎn)換元件和磁電轉(zhuǎn)換元件中的至少一個形成的多個元件構(gòu)成的待研磨物體，所述磁頭研磨裝置包括具有可轉(zhuǎn)動的研磨表面的研磨表面板；轉(zhuǎn)動所述研磨表面的轉(zhuǎn)動驅(qū)動單元；以及可相對于所述研磨表面移動并適于將所述待研磨物體壓在所述研磨表面上由此對所述物體進(jìn)行研磨的研磨頭；其中，所述研磨頭包括用于將所述待研磨物體支承在其一個表面上的具有彈性的支承部分；用于固定所述支承部分的支承部分固定部件；以及用于經(jīng)所述支承部分對所述待研磨物體加壓的多個加壓部件，并且在由所述加壓部件加壓的所述支承部分的加壓區(qū)域與所述加壓部件接觸的狀態(tài)下，所述支承部分在除所述加壓區(qū)域以外的區(qū)域固定到所述支承部分固定部件上。
2.如權(quán)利要求1所述的磁頭研磨裝置，其特征在于，所述研磨頭包括在所述加壓部分和所述支承部分之間的薄板部件，所述支承部分經(jīng)所述薄板部件固定到所述支承部分固定部件上。
3.如權(quán)利要求1或2所述的磁頭研磨裝置，其特征在于，還包括用于驅(qū)動所述加壓部件的具有空氣軸承式氣缸的致動器。
4.一種磁頭研磨方法，它用于研磨由分別由電磁轉(zhuǎn)換元件和磁電轉(zhuǎn)換元件中的至少一個形成的多個元件構(gòu)成的待研磨物體，所述磁頭研磨方法包括將所述待研磨物體支承在彈性件的表面上；以及將所述待研磨物體壓到形成于研磨表面板上的研磨表面，由此對所述物體進(jìn)行研磨；其中，研磨步驟是在支承部分固定在除由所述加壓部件加壓的所述支承部分的加壓區(qū)域以外的區(qū)域中的狀態(tài)下進(jìn)行的。
5.如權(quán)利要求4所述的磁頭研磨方法，其特征在于，由彈性加壓部件加壓的表面包括薄板部件。
全文摘要
本發(fā)明涉及磁頭研磨裝置和磁頭研磨方法。該磁頭研磨裝置包括具有可轉(zhuǎn)動的研磨表面的研磨表面板；轉(zhuǎn)動所述研磨表面的轉(zhuǎn)動驅(qū)動單元；以及可相對于所述研磨表面移動并適于將所述待研磨物體壓在所述研磨表面上由此對所述物體進(jìn)行研磨的研磨頭；其中，所述研磨頭包括用于將所述待研磨物體支承在其一個表面上的具有彈性的支承部分；用于固定所述支承部分的支承部分固定部件；以及用于經(jīng)所述支承部分對所述待研磨物體加壓的多個加壓部件，并且其中，在由所述加壓部件加壓的所述支承部分的加壓區(qū)域與所述加壓部件接觸的狀態(tài)下，所述支承部分在除所述加壓區(qū)域以外的區(qū)域固定到所述支承部分固定部件上。
文檔編號B24B41/00GK101028697SQ20071008614
公開日2007年9月5日 申請日期2007年3月2日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月2日
發(fā)明者小野關(guān)善宏, 水野亨, 山口晴彥 申請人:Tdk株式會社