專利名稱：預(yù)防保養(yǎng)罩的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體機臺的維護裝置，特別是涉及一種半導(dǎo)體機臺的 預(yù)防保養(yǎng)罩。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制作工藝中，化學(xué)氣相沉積制作工藝所使用的沉積腔室一般來 說有水平式、垂直式及桶式等多種形式。以垂直式的沉積腔室來說，反應(yīng)氣 體由腔室的底部進入腔室內(nèi)，在管內(nèi)與晶片產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)后，沉積一薄膜在 晶片上。然而，此反應(yīng)氣體除了會在晶片表面沉積一薄膜外，也會沉積在腔 室的內(nèi)壁，由于每一次沉積制作工藝所需要沉積的薄膜成份不盡相同，所以 必須按時清洗沉積腔室，以免沉積在管壁的化合物對下次的化學(xué)氣相沉積制 作工藝造成不良的影響。圖1所繪示為現(xiàn)有的一種預(yù)防保養(yǎng)罩的示意圖。圖2所繪示為現(xiàn)有的另 一種預(yù)防保養(yǎng)罩的示意圖。圖3所繪示為現(xiàn)有的又一種預(yù)防保養(yǎng)罩的示意圖。請參照圖1,在對沉積機臺100的沉積腔室102進行清洗操作時，會使 用預(yù)防保養(yǎng)罩104罩住沉積腔室102，以避免在清洗沉積腔室102的過程中 所產(chǎn)生的危害物及有毒氣體四處散逸。操作人員在使用預(yù)防保養(yǎng)罩104對沉積腔室102進行清洗操作時，是將 手穿過具有十字形開口 106的塑膠幕108來進行清洗操作。然而，雖然危害 物及有毒氣體可通過與排氣管連接裝置IIO連接的排氣管112抽到預(yù)防保養(yǎng) 罩104外部，但是在進行清洗操作時，危害物及有毒氣體仍然容易從塑膠幕 108的十字形開口 106散逸出來，且在塑膠幕108容易因為接觸化學(xué)品而變 質(zhì)導(dǎo)致產(chǎn)生破損的情況下，污染的現(xiàn)象更是嚴(yán)重。此外，塑膠幕108的設(shè)計 會妨礙操作人員的操作動作，而使得清洗操作缺乏效率。在現(xiàn)有技術(shù)中，提出了許多不同類型的預(yù)防保養(yǎng)罩來解決在清洗操作中 防止危害物及有毒氣體散逸的問題。請參照圖2， 一種現(xiàn)有的預(yù)防保養(yǎng)罩200是通過將手穿過蓋板202的開口 204來進行清洗操作，并利用與排氣管連接裝置206連接的排氣管(未繪 示)將危害物及有毒氣體抽到預(yù)防保養(yǎng)罩200外部。然而，蓋板202的開口 204過大會使得危害物及有毒氣體從開口 204散逸。另一方面，蓋板202的 設(shè)計使得操作人員不容易進行清洗操作。請參照圖3，另一種現(xiàn)有的預(yù)防保養(yǎng)罩300是通過將手穿過頂蓋302下 方的開口來進行清洗操作，并利用與排氣管連接裝置304連接的排氣管306 將危害物及有毒氣體抽到預(yù)防保養(yǎng)罩300外部。然而，頂蓋302下方的開口 過小而使得操作人員不容易進行清洗操作。發(fā)明內(nèi)容有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種預(yù)防保養(yǎng)罩，能有效防止危害物 及有毒氣體散逸。本發(fā)明的另一目的在于提供一種預(yù)防保養(yǎng)罩，可使得操作人員能夠輕易 地進行清洗操作。本發(fā)明提出一種預(yù)防保養(yǎng)罩，適用于半導(dǎo)體機臺的反應(yīng)腔室，且連接至 排氣管。預(yù)防保養(yǎng)罩包括罩體、氣幕形成裝置及排氣管連接裝置。罩體包括 第一開口與第二開口，第一開口位于罩體底部并用以與反應(yīng)腔室出口罩合， 而第二開口位于罩體側(cè)壁。氣幕形成裝置配置在罩體上且位于第二開口邊 緣。排氣管連接裝置設(shè)在罩體上并連通至排氣管。依照本發(fā)明的實施例所述，在上述的預(yù)防保養(yǎng)罩中，配置有氣幕形成裝 置的罩體表面具有傾斜度。依照本發(fā)明的實施例所述，在上述的預(yù)防保養(yǎng)罩中，氣幕形成裝置形成 氣幕，氣幕的出氣方向使得反應(yīng)腔室出口被氣幕與罩體所圍繞。依照本發(fā)明的實施例所述，在上述的預(yù)防保養(yǎng)罩中，氣幕形成裝置的出 氣方向包括平行于配置有氣幕形成裝置的罩體表面。依照本發(fā)明的實施例所述，在上述的預(yù)防保養(yǎng)罩中，氣幕形成裝置的出 氣方向包括將氣幕形成于罩體內(nèi)部的方向。依照本發(fā)明的實施例所述，在上述的預(yù)防保養(yǎng)罩中，氣幕形成裝置更包 括一拆卸裝置。依照本發(fā)明的實施例所述，在上述的預(yù)防保養(yǎng)罩中，氣幕形成裝置配置 的位置包括在罩體的內(nèi)部或外部。依照本發(fā)明的實施例所述，在上述的預(yù)防保養(yǎng)罩中，更包括一承接口及 一收納袋。承接口位于罩體另一側(cè)壁。收納袋配置在罩體外部并封住承接口。依照本發(fā)明的實施例所述，在上述的預(yù)防保養(yǎng)罩中，更包括一配置在罩 體底部的軟墊。依照本發(fā)明的實施例所述，在上述的預(yù)防保養(yǎng)罩中，更包括配置在罩體 上的一對把手。本發(fā)明提出另一種預(yù)防保養(yǎng)罩，適用于半導(dǎo)體機臺的反應(yīng)腔室，且連接 至排氣管。預(yù)防保養(yǎng)罩包括一罩體、 一氣幕形成裝置及一排氣管連接裝置。 罩體為六面體，且罩體包括第一開口與第二開口，第一開口位于罩體底部并 用以與反應(yīng)腔室接合，而第二開口位于罩體的一第一側(cè)壁。氣幕形成裝置配 置在罩體的第一側(cè)壁上且位于第二開口邊緣。排氣管連接裝置配置在罩體上并連通至排氣管。依照本發(fā)明的另一實施例所述，在上述的預(yù)防保養(yǎng)罩中，配置有氣幕形 成裝置的第一側(cè)壁具有傾斜度。依照本發(fā)明的另一實施例所述，在上述的預(yù)防保養(yǎng)罩中，氣幕形成裝置 形成氣幕，氣幕的出氣方向使得反應(yīng)腔室出口被氣幕與罩體所隔絕。依照本發(fā)明的另一實施例所述，在上述的預(yù)防保養(yǎng)罩中，氣幕形成裝置 的出氣方向包括平行于配置有氣幕形成裝置的第 一側(cè)壁。依照本發(fā)明的另一實施例所述，在上述的預(yù)防保養(yǎng)罩中，氣幕形成裝置 的出氣方向包括將氣幕形成于罩體內(nèi)部的方向。依照本發(fā)明的另一實施例所述，在上述的預(yù)防保養(yǎng)罩中，氣幕形成裝置 更包括一拆卸裝置。依照本發(fā)明的另一實施例所述，在上述的預(yù)防保養(yǎng)罩中，氣幕形成裝置 配置的位置包括在罩體的內(nèi)部或外部。依照本發(fā)明的另一實施例所述，在上述的預(yù)防保養(yǎng)罩中，更包括一承接 口及一收納袋。承接口位于罩體的第二側(cè)壁。收納袋配置在罩體外部并封住 承接口 。依照本發(fā)明的另一實施例所述，在上述的預(yù)防保養(yǎng)罩中，更包括配置在 罩體底部的軟墊。依照本發(fā)明的另一實施例所述，在上述的預(yù)防保養(yǎng)罩中，更包括配置在 罩體上的一對把手?；谏鲜?，由于本發(fā)明所提出的預(yù)防保養(yǎng)罩是利用氣幕形成裝置形成氣 幕，而在罩體中形成一個氣密環(huán)境，因此能有效防止危害物及有毒氣體向外 散逸。另外，由于操作人員能夠輕易地穿過氣幕進行清洗操作，因此能提高 工作效率。此外，在配置有氣幕形成裝置的側(cè)壁具有傾斜度的情況下，可增 加操作人員的活動空間，而有利于清洗操作的進行。當(dāng)預(yù)防保養(yǎng)罩的氣幕形成裝置具有拆卸裝置時，此氣幕形成裝置可自由 拆卸，因此可以重復(fù)使用，進而降低重新購買材料的成本。當(dāng)預(yù)防保養(yǎng)罩上配置有收納袋時，可將擦拭工具直接放置在收納袋中。 因此，在取出擦拭工具時，擦拭工具不會直接暴露在罩體外的環(huán)境中，因此 可避免擦拭工具上殘留的危害物及有毒氣體對環(huán)境造成污染。當(dāng)預(yù)防保養(yǎng)罩的底部配置有軟墊時，能減少預(yù)防保養(yǎng)罩因碰撞所造成的 損壞，而可以延長預(yù)防保養(yǎng)罩的壽命。當(dāng)預(yù)防保養(yǎng)罩上配置有把手時，有利于操作人員進行搬運。為讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉較 佳實施例，并配合所附附圖，作詳細(xì)說明如下。


圖1所繪示為現(xiàn)有的一種預(yù)防保養(yǎng)罩的示意圖； 圖2所繪示為現(xiàn)有的另一種預(yù)防保養(yǎng)罩的示意圖； 圖3所繪示為現(xiàn)有的又一種預(yù)防保養(yǎng)罩的示意圖； 圖4所繪示為本發(fā)明一實施例的預(yù)防保養(yǎng)罩的示意圖。 主要元件符號說明 100:沉積機臺 102:沉積腔室104、 200、 300、 400:預(yù)防保養(yǎng)罩 106:十字形開口 108:塑膠幕110、 206、 304、 410:排氣管連接裝置 112、 306、 422:排氣管 202:蓋板204、 412、 414:開口302頂蓋402半導(dǎo)體機臺404反應(yīng)腔室406罩體408氣幕形成裝置416、 428、 434:側(cè)壁418出氣方向420拆卸裝置424承接口426收納袋430軟墊432把手具體實施方式
圖4所繪示為本發(fā)明一實施例的預(yù)防保養(yǎng)罩的示意圖。請參照圖4，預(yù)防保養(yǎng)罩400，適用于半導(dǎo)體機臺402的反應(yīng)腔室404。 預(yù)防保養(yǎng)罩400例如是用在對反應(yīng)腔室404所進行的清洗操作中。半導(dǎo)體機 臺402例如是蝕刻機臺或化學(xué)氣相沉積機臺等。預(yù)防保養(yǎng)罩400包括罩體406、氣幕形成裝置408及排氣管連接裝置410。 在本實施例中，罩體406的罩體形狀是以六面體為例進行說明，但是在此技 術(shù)領(lǐng)域具有通常知識者可依照設(shè)計需求對罩體406的罩體形狀進行調(diào)整。罩體406包括開口 412與開口 414，開口 412位于罩體406底部并用以 與反應(yīng)腔室404出口罩合，而開口 414位于罩體406的一側(cè)壁416。罩體406 的材料可為塑膠，例如是壓克力。其中，配置有氣幕形成裝置408的側(cè)壁416 具有一傾斜度，可使得操作人員在罩體406的側(cè)壁416上方具有較大的活動 空件，而有利于清洗操作的進行。氣幕形成裝置408配置在罩體406的側(cè)壁416上且位于開口 414邊緣， 而氣幕形成裝置408可配置在罩體406的內(nèi)部或外部，在本實施例中的氣幕 形成裝置408是以配置在罩體406的外部為例進行說明。氣幕形成裝置408 的材料例如是金屬。氣幕形成裝置408會形成一氣幕，氣幕的出氣方向418 使得反應(yīng)腔室404出口被氣幕與罩體406所隔絕。氣幕形成裝置408的出氣方向418例如是平行于配置有氣幕形成裝置408的側(cè)壁416。值得注意的是， 氣幕形成裝置408的出氣方向418不一定要和配置有氣幕形成裝置408的側(cè) 壁416平行，只要氣幕與罩體406能在罩體406中形成一個隔絕環(huán)境即可。 舉例來說，在另一實施例中，形成裝置408的出氣方向418例如是朝向?qū)?幕形成于罩體406內(nèi)部的方向。此外，氣幕形成裝置408更可包括拆卸裝置420，而使得氣幕形成裝置 408能夠自由拆卸，因此氣幕形成裝置408可以重復(fù)使用，進而降低重新購 買材料的成本。拆卸裝置420例如是螺絲。排氣管連接裝置410設(shè)在罩體408的頂端并連通至一排氣管422，以將 預(yù)防保養(yǎng)罩400中的危害物及有毒氣體抽到氣體凈化系統(tǒng)中。排氣管連接裝 置410與罩體408可以是一體成形，排氣管連接裝置410與罩體408也可以 是在各自形成之后再進行接合。另外，預(yù)防保養(yǎng)罩400更可包括一承接口 424及一收納袋426。承接口 424位于罩體406的側(cè)壁428。收納袋426配置在罩體406外部并封住承接 口 424。收納袋426例如是塑膠袋。當(dāng)預(yù)防保養(yǎng)罩400具有收納袋426時， 可將擦拭工具直接放置在收納袋426中，再將收納袋426封口，因此不會直 接暴露在預(yù)防保養(yǎng)罩400外的環(huán)境中，可避免擦拭工具上殘留的危害物及有 毒氣體對環(huán)境造成污染。值得注意的是，承接口 424的位置并沒有特別的限 定，只要是操作人員便于將擦拭工具放入收納袋426中的位置皆可。再者，預(yù)防保養(yǎng)罩400更可包括軟墊430，軟墊430配置在罩體406底 部，可用以避免預(yù)防保養(yǎng)罩400因碰撞所造成的損壞，而可以延長預(yù)防保養(yǎng) 罩400的壽命。另一方面，預(yù)防保養(yǎng)罩400更可包括配置在罩體400上的一對把手432， 有利于操作人員搬運預(yù)防保養(yǎng)罩400。把手432可以配置在罩體406兩側(cè)的 相對位置，例如是配置在側(cè)壁428與側(cè)壁434上。其中，位于罩體406的側(cè) 壁428的把手432例如是將承接口 424的上緣加寬所形成?；谏鲜觯捎诒景l(fā)明所提出的預(yù)防保養(yǎng)罩400是利用氣幕形成裝置 408所形成的氣幕與罩體406在罩體406中形成一個隔絕環(huán)境，因此能阻擋 危害物及有毒氣體外逸。另外，由于操作人員能夠輕易地穿過氣幕進行清洗 操作，因此能提高工作效率。綜上所述，本發(fā)明至少具有下列優(yōu)點1. 本發(fā)明所提出的預(yù)防保養(yǎng)罩能有效防止危害物及有毒氣體向外散逸。2. 通過本發(fā)明所提出的預(yù)防保養(yǎng)罩，操作人員能夠更輕易地進行清洗操 作，進而提升工作效率。3. 在本發(fā)明所提出的預(yù)防保養(yǎng)罩中，氣幕形成裝置可以重復(fù)使用，進而 降低重新購買材料的成本。4. 本發(fā)明所提出的預(yù)防保養(yǎng)罩的收納袋可容納擦拭工具，避免擦拭工具 上殘留的危害物及有毒氣體對環(huán)境造成污染。5. 本發(fā)明所提出的預(yù)防保養(yǎng)罩的軟墊能避免預(yù)防保養(yǎng)罩因碰撞所造成的 損壞，而可以延長預(yù)防保養(yǎng)罩的壽命。6. 本發(fā)明所提出的預(yù)防保養(yǎng)罩的把手有助于操作人員對預(yù)防保養(yǎng)罩進行 搬運。
權(quán)利要求
1.一種預(yù)防保養(yǎng)罩，適用于一半導(dǎo)體機臺的一反應(yīng)腔室，且連接至一排氣管，包括罩體，包括第一開口與第二開口，該第一開口位于該罩體底部并用以與該反應(yīng)腔室出口罩合，而該第二開口位于該罩體側(cè)壁；氣幕形成裝置，配置在該罩體上且位于該第二開口邊緣；以及排氣管連接裝置設(shè)在該罩體上并連通至該排氣管。
2. 如權(quán)利要求1所迷的預(yù)防保養(yǎng)罩，其中配置有該氣幕形成裝置的該罩 體表面具有一傾斜度。
3. 如權(quán)利要求1所述的預(yù)防保養(yǎng)罩，其中該氣幕形成裝置形成一氣幕， 該氣幕的出氣方向使得該反應(yīng)腔室出口被該氣幕與該罩體所隔絕。
4. 如權(quán)利要求3所述的預(yù)防保養(yǎng)罩，其中該氣幕形成裝置的該出氣方向 包括平行于配置有該氣幕形成裝置的該罩體表面。
5. 如權(quán)利要求3所述的預(yù)防保養(yǎng)罩，其中該氣幕形成裝置的該出氣方向 包括將該氣幕形成于該罩體內(nèi)部的方向。
6. 如權(quán)利要求1所迷的預(yù)防保養(yǎng)罩，其中該氣幕形成裝置更包括一拆卸 裝置。
7. 如權(quán)利要求1所迷的預(yù)防保養(yǎng)罩，其中該氣幕形成裝置配置的位置包 括在該罩體的內(nèi)部或外部。
8. 如權(quán)利要求1所述的預(yù)防保養(yǎng)罩，更包括 承接口，位于該罩體另一側(cè)壁；以及 收納袋，配置在該罩體外部并封住該承接口。
9. 如權(quán)利要求1所迷的預(yù)防保養(yǎng)罩，更包括一軟墊，配置在該罩體底部。
10. 如權(quán)利要求1所述的預(yù)防保養(yǎng)罩，更包括一對把手，配置在該罩體上。
11. 一種預(yù)防保養(yǎng)罩，適用于半導(dǎo)體機臺的反應(yīng)腔室，且連接至排氣管， 包括罩體，為六面體，且該罩體包括第一開口與第二開口，該第一開口位于 該罩體底部并用以與該反應(yīng)腔室出口罩合，而該第二開口位于該罩體的第一 側(cè)壁；氣幕形成裝置，配置在該罩體的第一側(cè)壁上且位于該第二開口邊緣；以及排氣管連接裝置配置在該罩體上并連通至該排氣管。
12. 如權(quán)利要求11所述的預(yù)防保養(yǎng)罩，其中配置有該氣幕形成裝置的該 第一側(cè)壁具有一傾斜度。
13. 如權(quán)利要求11所述的預(yù)防保養(yǎng)罩，其中該氣幕形成裝置形成一氣幕， 該氣幕的出氣方向使得該反應(yīng)腔室出口被該氣幕與該罩體所隔絕。
14. 如權(quán)利要求13所述的預(yù)防保養(yǎng)罩，其中該氣幕形成裝置的該出氣方 向包括平行于配置有該氣幕形成裝置的該第 一側(cè)壁。
15. 如權(quán)利要求13所述的預(yù)防保養(yǎng)罩，其中該氣幕形成裝置的該出氣方 向包括將該氣幕形成于該罩體內(nèi)部的方向。
16. 如權(quán)利要求11所述的預(yù)防保養(yǎng)罩，其中該氣幕形成裝置更包括一拆 卸裝置。
17. 如權(quán)利要求11所述的預(yù)防保養(yǎng)罩，其中該氣幕形成裝置配置的位置 包括在該罩體的內(nèi)部或外部。
18. 如權(quán)利要求11所述的預(yù)防保養(yǎng)罩，更包括 承接口，位于該罩體的第二側(cè)壁；以及 收納袋，配置在該罩體外部并封住該承接口。
19. 如權(quán)利要求11所述的預(yù)防保養(yǎng)罩，更包括軟墊，配置在該罩體底部。
20. 如權(quán)利要求11所述的預(yù)防保養(yǎng)罩，更包括一對把手，配置在該罩體上。
全文摘要
本發(fā)明公開一種預(yù)防保養(yǎng)罩，適用于半導(dǎo)體機臺的反應(yīng)腔室，且連接至排氣管。預(yù)防保養(yǎng)罩包括罩體、氣幕形成裝置及排氣管連接裝置。罩體包括第一開口與第二開口，第一開口位于罩體底部并用以與反應(yīng)腔室出口罩合，而第二開口位于罩體側(cè)壁。氣幕形成裝置配置在罩體上且位于第二開口邊緣。排氣管連接裝置設(shè)在罩體上并連通至排氣管。
文檔編號C23C16/00GK101333649SQ200710127060
公開日2008年12月31日 申請日期2007年6月28日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月28日
發(fā)明者徐靖城, 陳富田 申請人:聯(lián)華電子股份有限公司