專(zhuān)利名稱(chēng)：：金屬膜制造方法、底層組合物、金屬膜及其用途的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及金屬膜制造方法、底層組合物、金屬膜及其用途，特別是涉及下述金屬膜制造方法、該方法中使用的底層組合物、采用該方法制造的金屬膜及其用途，所述方法無(wú)需使用通常在非電解鍍中必需的催化劑，即可廉價(jià)地直接在樹(shù)脂膜上形成膜厚數(shù)十nm數(shù)百nm的金屬膜。
背景技術(shù)：
：傳統(tǒng)上，作為金屬膜制造方法，已知有例如稱(chēng)為干法的蒸鍍法、濺射法、離子鍍法，稱(chēng)為濕法的電鍍、化學(xué)鍍等。然而，采用千法，則需要昂貴的設(shè)備；采用濕法，則難以形成厚度數(shù)十nm數(shù)百nm左右的金屬膜。因而，報(bào)導(dǎo)了下述技術(shù)在通過(guò)對(duì)聚酰亞胺樹(shù)脂進(jìn)行改性形成陽(yáng)離子交換基團(tuán)后，將金屬離子固定于陽(yáng)離子交換基團(tuán)，對(duì)其進(jìn)行還原，從而形成金屬膜(專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本專(zhuān)利公開(kāi)公報(bào)"特開(kāi)2001-73159號(hào)公報(bào)(平成l3年3月21日公開(kāi))"
發(fā)明內(nèi)容如果能夠在任意基板上充分地形成金膜，則可以獲得導(dǎo)電性良好的基板，其在電子部件、傳感器等方面的應(yīng)用性高，因而非常有價(jià)值。然而，到目前為止，還沒(méi)有找到制作這樣的基板的技術(shù)。例如，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1所述的方法中，通過(guò)對(duì)聚酰亞胺樹(shù)脂進(jìn)行改性形成陽(yáng)離子交換基團(tuán)，將金屬離子固定于該陽(yáng)離子交換基團(tuán)；但是，陽(yáng)離子交換基團(tuán)的離子敏感性低，此外，陽(yáng)離子交換基團(tuán)與含有金離子的水溶液之間的親和性不好，因此無(wú)法對(duì)金進(jìn)行成膜。此外，所述專(zhuān)利文獻(xiàn)i所述的方法因?yàn)闊o(wú)法在任意基板上形成金屬膜，所以存在普適性低的問(wèn)題。考慮了對(duì)在任意基板上涂布聚酰亞胺清漆并使之固化而成的膜進(jìn)行改性的方法，但是，聚酰亞胺樹(shù)脂的固化需要高溫條件，因此可以使用的基板僅限于耐熱性高的基板。即，固化時(shí)需要高溫烘烤(例如20(TC以上)，所以，耐熱性低的基板因發(fā)生變形而無(wú)法使用。而且，專(zhuān)利文獻(xiàn)1所述的方法利用了對(duì)聚酰亞胺進(jìn)行改性、在內(nèi)部形成金屬膜的原理，所以，可以制作二維的金屬布線(xiàn)圖案，但卻不能制作具有長(zhǎng)徑比的三維圖案，其在普適性方面存在問(wèn)題。鑒于所述問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于，提供金屬膜制造方法、底層組合物、金屬膜及其用途。本發(fā)明人鑒于所述問(wèn)題，對(duì)含有對(duì)金屬(M2)離子具有良好負(fù)載性的官能團(tuán)的底層組合物、促進(jìn)金屬(M2)離子在有機(jī)膜上的固定、防止固定于有機(jī)膜上的金屬(M2)溶出、提高金屬(M2)的還原效率、提高各處理液在底層的反應(yīng)性等進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)了可以將金屬膜特別是金膜良好地形成在任意基板上，同時(shí)可形成三維金屬布線(xiàn)圖案的金屬膜制造方法，從而完成了本發(fā)明。即，本發(fā)明的金屬膜制造方法包括有機(jī)膜形成步驟將包含具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物、具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物、和具有親水性官能團(tuán)的加成聚合化合物的底層組合物涂布于基板或膜上，進(jìn)行聚合，形成有機(jī)膜；金屬鹽生成步驟通過(guò)用含有金屬(M1)離子的水溶液對(duì)所述有機(jī)膜進(jìn)行處理，將所述酸性基團(tuán)轉(zhuǎn)化為金屬(M1)鹽；金屬固定步驟通過(guò)用金屬(M2)離子水溶液對(duì)上述經(jīng)含有金屬(M1)離子的水溶液處理過(guò)的有機(jī)膜進(jìn)行處理，將所述酸性基團(tuán)的金屬(M1)鹽轉(zhuǎn)化為金屬(M2)鹽，所述金屬(M2)離子水溶液含有離子化傾向比所述金屬(M1)離子低的金屬(M2)離子；以及，還原步驟對(duì)所述金屬(M2)離子進(jìn)行還原，在所述有機(jī)膜表面形成金屬膜。在本發(fā)明的制造方法中，使用包含具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合化合物、具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物和具有親水性官能團(tuán)的加成聚合化合物的底層組合物來(lái)形成有機(jī)膜，所以，與聚酰亞胺相比，該有機(jī)膜能夠采取歸因于具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合化合物的大體積(嵩高V、)三維結(jié)構(gòu)(以下也稱(chēng)"蓬松(/"P年一)結(jié)構(gòu)")。通過(guò)采取所述蓬松結(jié)構(gòu)，所述有機(jī)膜得以能夠在其膜內(nèi)空間中固定許多的金屬(M2)離子。因此，可以認(rèn)為，與使用聚酰亞胺時(shí)相比，所述有機(jī)膜能夠固定許多的金屬離子。此外可以認(rèn)為，在結(jié)構(gòu)方面，能夠?qū)⑦€原劑運(yùn)送到有機(jī)膜內(nèi)部，所以，能夠在內(nèi)部對(duì)金屬(M2)離子進(jìn)行還原。而且，所述具有親水性官能團(tuán)的加成聚合化合物能夠改善所述有機(jī)膜的親水性，所以能夠使各處理液即含有金屬(M1)離子的水溶液、含有金屬(M2)離子的金屬(M2)離子水溶液、還原劑水溶液深入到所述有機(jī)膜的內(nèi)部發(fā)揮作用。因而，能夠使所述各處理液對(duì)所述有機(jī)膜發(fā)揮更有效的作用。此外，所述有機(jī)膜并非像聚酰亞胺那樣是熱固化性的，而是可以通過(guò)紫外線(xiàn)進(jìn)行固化的，所以，同樣適用于耐熱性低的基板。而且，所述有機(jī)膜在金屬鹽生成步驟中，酸性基團(tuán)變?yōu)榻饘?M1)鹽，并且，在金屬固定步驟中，用含有離子化傾向比金屬(M1)離子低的金屬(M2)離子的金屬離子水溶液進(jìn)行處理，所以，由于金屬(M1)與金屬(M2)之間的離子化傾向差異，能夠高效地固定金屬(M2)離子。因?yàn)榫哂羞@樣的特點(diǎn)，本發(fā)明的制造方法能夠廉價(jià)地在任意基板上直接、有效地制造金屬膜。在本發(fā)明的制造方法中，優(yōu)選所述酸性基團(tuán)包含選自苯酚基、苯曱酸基、苯二曱酸基、水楊酸基、乙酰水楊酸基和苯磺酸基中的官能團(tuán)。這些官能團(tuán)為強(qiáng)酸性且具備電子吸引基團(tuán)，所以，包含這些官能團(tuán)的酸性基團(tuán)能夠容易地進(jìn)行金屬(M1)離子與金屬(M2)離子間的離子交換，而且，包含這些官能團(tuán)的酸性基團(tuán)是容易將金屬(M2)固定化的基團(tuán)。因而，能夠更有效地制造金屬膜。在本發(fā)明的制造方法中，所述具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物的反應(yīng)基團(tuán)優(yōu)選包含丙烯酰基和/或曱基丙烯?；?。丙烯酰基和/或曱基丙烯?；且子跇?gòu)成蓬松結(jié)構(gòu)的官能團(tuán)，因此，能夠使有機(jī)膜的結(jié)構(gòu)成為可固定更多金屬離子的結(jié)構(gòu)，并且能夠使其成為還原劑更容易進(jìn)入內(nèi)部的結(jié)構(gòu)。因而，可以認(rèn)為能夠在更深的內(nèi)部對(duì)金屬(M2)離子進(jìn)行還原。在本發(fā)明的制造方法中，優(yōu)選所述親水性官能團(tuán)包含環(huán)氧乙烷基和/或環(huán)氧丙烷基。在親水性官能團(tuán)中，環(huán)氧乙烷、環(huán)氧丙烷特別具有良好的改善所述有機(jī)膜的親水性的能力，所以，能夠使所述各處理液的作用深入所述有機(jī)膜更深的內(nèi)部。因而，能夠使所述各處理液更加有效地作用于所述有機(jī)膜。在本發(fā)明的制造方法中。優(yōu)選所述金屬(M1)離子為鉀或鈉。采用所述方案，由于鉀或鈉的離子化傾向非常大，其與金屬(ME)特別是金之間的離子化傾向差異大，因此，在所述金屬固定步驟中，更容易將金等金屬(M2)固定化。因而，能夠更有效地制造金屬膜。在本發(fā)明的制造方法中，優(yōu)選所述金屬(M2)為金、銀、銅、4巴、銦或鉑。這些貴金屬導(dǎo)電性良好，其金屬膜作為電子部件、傳感器部等的材料非常有用。采用本發(fā)明的制造方法，則能夠有效地制造所述貴金屬的膜，所以，能夠?qū)μ岣咧圃祀娮硬考?、傳感器部等的效率做出很大貢獻(xiàn)。在本發(fā)明的制造方法中，優(yōu)選所述金屬(M2)離子水溶液包含堿金屬和/或堿土金屬的離子。堿金屬和/或堿土金屬的離子化傾向非常高。因此，通過(guò)使金屬(M2)離子水溶液包含堿金屬和/或堿土金屬的離子，能夠在金屬固定步驟中更加促進(jìn)金屬(M1)離子與金屬(M2)離子之間的離子交換。在本發(fā)明的制造方法中，優(yōu)選所述金屬(M2)離子水溶液為高濃度，并優(yōu)選其包含多元醇。通常，金屬(M2)離子的比重大，所以，特別是在高濃度時(shí)，即使與溶劑具有相容性，仍然容易出現(xiàn)沉淀，而采用上述方案，則因?yàn)槔绺视偷榷嘣嫉恼承愿?，所以，通過(guò)將其包含于金屬(M2)離子水溶液中，金屬(M2)離子變得不易發(fā)生沉淀。因而，在金屬固定步驟中，能夠更有效地進(jìn)行離子交換。在本發(fā)明的制造方法中，在所述還原步驟中，優(yōu)選使用選自(l)、(2)和(3)中的l種以上還原劑，和/或采用選自(4)中的l種以上還原方法來(lái)進(jìn)行所述金屬(M2)離子的還原(1)抗壞血酸、抗壞血酸鈉、硼氫化鈉、二曱胺硼烷、三曱胺硼烷、檸檬酸、檸檬酸鈉、鞣酸、二硼烷、肼、曱醛，(2)(1)中的化合物的衍生物，P)亞^5危酸鹽、次磷酸鹽，(4)紫外線(xiàn)、熱、等離子體、氫。采用上述方案，因?yàn)槟軌蛲ㄟ^(guò)所述還原劑、紫外線(xiàn)等對(duì)金屬(M2)離子進(jìn)行還原，所以，能夠在有機(jī)膜表面析出金屬(M2)離子的金屬原子。因而，能夠形成指定的金屬膜。在本發(fā)明的制造方法中，當(dāng)使用選自所述(l)、(2)和(3)中的l種以上還原劑時(shí)，優(yōu)選在堿金屬和/或堿土金屬的存在下進(jìn)行所述金屬(M2)離子的還原。堿金屬和/或堿土金屬的離子化傾向遠(yuǎn)大于本發(fā)明中使用的金屬(M2)。8因此，采用上述方案，能夠防止金屬固定步驟中固定在有機(jī)膜上的金屬(M2)的離子化，防止溶解(溶出)。因而，能夠在更加高效地制造金屬膜的同時(shí)，制造導(dǎo)電性好的金屬膜。本發(fā)明的制造方法，在所述還原步驟中，優(yōu)選與所述還原劑一起使用醇和/或表面活性劑。當(dāng)在還原步驟中使用還原劑時(shí)，優(yōu)選使還原劑盡可能地到達(dá)底層組合物的更內(nèi)部，從而進(jìn)行有效的還原，而例如抗壞血酸等水溶性還原劑因其水溶性的原因，難以到達(dá)金屬膜和底層組合物的內(nèi)部。采用上述方案，因?yàn)樵谶€原步驟中與所述還原劑一起使用醇和/或表面活性劑，所以，由于醇和/或表面活性劑的親油性，能夠使水溶性還原劑易于與底層組合物親和，從而使得即使在底層組合物的內(nèi)部也能夠充分地進(jìn)行還原。因而，能夠更加高效地制造金屬膜。在本發(fā)明的金屬膜制造方法中，優(yōu)選下述方法所述金屬膜制造方法包括有機(jī)膜形成步驟將含有具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物、具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物和具有親水性官能團(tuán)的加成聚合化合物的底層組合物涂布在基板或膜上，并進(jìn)行聚合，形成有機(jī)膜；金屬鹽生成步驟通過(guò)用含有金屬(M1)離子的水溶液對(duì)所述有機(jī)膜進(jìn)行處理，將所述酸性基團(tuán)轉(zhuǎn)化為金屬(M1)鹽；金屬固定步驟通過(guò)用金屬(M2)離子水溶液對(duì)上述用含有金屬(M1)離子的水溶液處理過(guò)的有機(jī)膜進(jìn)行處理,-將所述酸性基團(tuán)的金屬(M1)鹽轉(zhuǎn)化為金屬(M2)鹽，所述金屬(M2)離子水溶液含有離子化傾向比所述金屬(M1)離子低的金屬(M2)離子；和還原步驟對(duì)所述金屬(M2)離子進(jìn)行還原，在所述有機(jī)膜表面形成金屬膜；其中，通過(guò)下述方法形成具有圖案形狀的金屬膜在所述有機(jī)膜形成步驟中，使用掩模通過(guò)紫外線(xiàn)照射使所述底層組合物聚合，然后除去未反應(yīng)單體區(qū)域；或者在所述還原步驟中，使用掩模并通過(guò)紫外線(xiàn)照射進(jìn)行還原。采用上述方案，使用掩模利用紫外線(xiàn)照射使所述底層組合物聚合，然后除去未反應(yīng)單體區(qū)域，這樣能夠形成具有與掩模對(duì)應(yīng)的圖案形狀的有機(jī)膜。而且，通過(guò)將所得有機(jī)膜應(yīng)用于上述步驟，能夠形成具有三維圖案形9狀的金屬膜。因而，與僅能制作二維金屬布線(xiàn)圖案的專(zhuān)利文獻(xiàn)1的方法相比，能夠提供普適性的金屬布線(xiàn)圖案。所述酸性基團(tuán)優(yōu)選包含選自苯酚基、苯甲酸基、苯二曱酸基、水楊酸基、乙酰水楊酸基和苯磺酸基中的官能團(tuán)。此外，所述親水性官能團(tuán)優(yōu)選包含環(huán)氧乙烷基和/或環(huán)氧丙烷基。而且，所述具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物的反應(yīng)基團(tuán)優(yōu)選包含選自丙烯?；?、曱基丙烯?；械姆磻?yīng)基團(tuán)。本發(fā)明的底層組合物為包含具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物、具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物、和具有親水性官能團(tuán)的加成聚合化合物的底層組合物，其中，所述酸性基團(tuán)包含選自苯酚基、苯曱酸基、苯二曱酸基、水楊酸基、乙酰水楊酸基、和苯磺酸基中的官能團(tuán)。采用所述方案，則因?yàn)榈讓咏M合物具有蓬松結(jié)構(gòu)和適度的親水性，所以，與使用聚酰亞胺時(shí)相比，能夠固定許多的金屬離子。此外，因?yàn)楹芯哂兴嵝曰鶊F(tuán)的加成聚合性化合物、且所述酸性基團(tuán)包含選自苯酚基、苯曱酸基和苯磺酸基中的官能團(tuán)，所以，能夠容易地進(jìn)行金屬(M1)離子與金屬(M2)離子之間的離子交換，容易地將金屬(M2)固定化。因而，作為金屬膜制造用材料是非常有用的。本發(fā)明的金屬膜是采用本發(fā)明的金屬膜制造方法制造的。如上所述，所述制造方法能夠在任意基板上高效地形成金屬膜，因此，本發(fā)明的金屬膜可以形成在任意的基板上，并發(fā)揮良好的導(dǎo)電性。因而，作為電子部件、傳感器等的構(gòu)成材料是非常有用的。本發(fā)明的電子部件具備采用本發(fā)明的金屬膜制造方法制造的金屬膜。所述金屬膜能夠以數(shù)十nm數(shù)百nm的膜厚形成在任意基板上，并發(fā)揮良好的導(dǎo)電性。因而，本發(fā)明的電子部件能夠發(fā)揮良好的導(dǎo)電性。結(jié)合以下的描述，將能夠充分理解本發(fā)明的其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)。此外，通過(guò)參照附圖進(jìn)行的下述說(shuō)明本發(fā)明的優(yōu)勢(shì)將會(huì)更加清楚。圖l為顯示采用本發(fā)明的制造方法得到的Au膜的外觀(guān)的照片。圖l(a)、圖l(b)和圖l(c)分別顯示了比較例1、實(shí)施例1和實(shí)施例5中得到的Au膜的外觀(guān)。具體實(shí)施例方式以下對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明，但本發(fā)明不受這些實(shí)施方式的限制?！?.本發(fā)明的金屬膜制造方法〕在一個(gè)實(shí)施方式中，本發(fā)明的金屬膜制造方法包括有機(jī)膜形成步驟將包含具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物、具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物、和具有親水性官能團(tuán)的加成聚合化合物的底層組合物涂布于基板或膜上，并進(jìn)行聚合，形成有機(jī)膜；金屬鹽生成步驟通過(guò)用含有金屬(M1)離子的水溶液對(duì)所述有機(jī)膜進(jìn)行處理，將所述酸性基團(tuán)轉(zhuǎn)化為金屬(M1)鹽；金屬固定步驟通過(guò)用金屬(M2)離子水溶液對(duì)上述用含有金屬(Ml)離子的水溶液處理過(guò)的有機(jī)膜進(jìn)行處理，將所述酸性基團(tuán)的金屬(M1)鹽轉(zhuǎn)化為金屬(M2)鹽，所述金屬(M2)離子水溶液含有離子化傾向比所述金屬(M1)離子低的金屬(M2)離子；和還原步驟對(duì)所述金屬(M2)離子進(jìn)行還原，在所述有機(jī)膜表面形成金屬膜。因而，以下對(duì)所述各步驟進(jìn)行說(shuō)明。(l-l.有機(jī)膜形成步驟)有機(jī)膜形成步驟包括如下步驟將含有具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物、具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物、和具有親水性官能團(tuán)的加成聚合化合物的底層組合物涂布在基板或膜上，并進(jìn)行聚合來(lái)形成有機(jī)膜。所述底層組合物形成底層(樹(shù)脂膜)，所述底層用于使后述的金屬固定步驟中導(dǎo)入的金屬(M2)離子析出于表面、從而形成指定的金屬膜；所述底層組合物包含具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物、具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物、和含有親水性基團(tuán)的加成聚合性化合物。所述具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物、具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物、和具有親水性基團(tuán)的加成聚合性化合物在1個(gè)分子內(nèi)具有1個(gè)以上的聚合性不飽和鍵、特別是聚合性雙鍵。此外，在本說(shuō)明書(shū)中，"加成聚合性化合物，，是指只要是可加成聚合的化合物即可，可以是單體，也可以是低聚物或聚合物。所述"具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物"用于對(duì)所述底層組合物賦予蓬松結(jié)構(gòu)，在本發(fā)明的制造方法中是必需的。通過(guò)所述底層組合物采取蓬松結(jié)構(gòu)，有機(jī)膜與聚酰亞胺相比，形成由該化合物引起的大體積三維結(jié)構(gòu)(蓬松結(jié)構(gòu))，所以，在后述的金屬固定步驟中能夠?qū)⒃S多的金屬(M2離子固定在有機(jī)膜上，并且能夠使膜中的該金屬(M2)離子處于容易與還原劑或紫外線(xiàn)等接觸的狀態(tài)。所述"反應(yīng)基團(tuán)"是指進(jìn)行自由基聚合、陽(yáng)離子聚合等加成聚合的官能團(tuán)。作為所述反應(yīng)基團(tuán)，沒(méi)有特殊限制，可以使用例如丙烯酰基、甲基丙烯酰基、丙烯酰胺基、乙烯基、烯丙基等。這其中，特別優(yōu)選使用容易構(gòu)成蓬松結(jié)構(gòu)的官能團(tuán)即丙烯酰基、曱基丙烯?；鼍哂?個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物的反應(yīng)基團(tuán)優(yōu)選包含丙烯酰基和/或曱基丙烯?；４送?，基于所述加成聚合性化合物的多個(gè)反應(yīng)基團(tuán)的分枝結(jié)構(gòu)能夠?qū)λ黾映删酆闲曰衔镔x予蓬松結(jié)構(gòu)，因此，所述反應(yīng)基團(tuán)的個(gè)數(shù)只要是3個(gè)以上即可，沒(méi)有特殊限制。作為所述具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物，具體地可以列舉出共榮社化學(xué)林式會(huì)社制造的TMP-A(三羥曱基丙烷三丙烯酸酯)、PE-3A(季戊四醇三丙烯酸酯)、PE-4A(季戊四醇四丙烯酸酯)、DPE-6A(二季戊四醇六丙烯酸酯)、UA306I(季戊四醇三丙烯酸酯異佛爾酮二異氰酸酯氨酯預(yù)聚物)、UA-510H(二季戊四醇五丙烯酸酯六亞曱基二異氰酸酯氨酯預(yù)聚合物)等。此外，所述"具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物"可以?xún)H使用1種，也可以2種以上組合使用。對(duì)于底層組合物中所述"具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物"的含量沒(méi)有特殊限制，優(yōu)選相對(duì)于底層組合物總量為0重量％以上且60重量％以下，特別優(yōu)選為10重量％以上且50重量°/。以下。如果增加所述加成聚合性化合物的含量，則由于所述加成聚合性化合物的蓬松結(jié)構(gòu)，底層組合物的金屬(M2)離子固定效果、金屬(M2)離子還原效果增強(qiáng)，但是，在底層組合物中，具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物和具有親水性官能團(tuán)的加成聚合化合物所占的比例減少，具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物和具有親水性官能團(tuán)的加成聚合化合物所顯示的效果減弱。因此，底層組合物中所述"具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物"的含量?jī)?yōu)選在所述范圍。所述"具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物，，中的酸性基團(tuán)只要能夠以鹽的方式保持金屬離子即可，對(duì)其沒(méi)有特殊限制。可以列舉出例如苯酚基團(tuán)、苯甲酸基團(tuán)、苯磺酸基團(tuán)、羧基、磺酸基、羥基、苯二甲酸基團(tuán)、水楊酸基團(tuán)、乙酰水楊酸基團(tuán)等。本發(fā)明人此次發(fā)現(xiàn):強(qiáng)酸性酸性基團(tuán)在金屬離子負(fù)載性方面表現(xiàn)特別良好，在金屬膜的制造中是非常有效的。因而，所述酸性基團(tuán)優(yōu)選為強(qiáng)酸性的酸性基團(tuán)。作為這樣的強(qiáng)酸性的酸性基團(tuán)，可以列舉出苯酚基團(tuán)、苯曱酸基團(tuán)、苯磺酸基團(tuán)、苯二曱酸基團(tuán)、水楊酸基團(tuán)、乙酰水楊酸基團(tuán)等。這其中，因?yàn)榻饘匐x子負(fù)載性特別好，所以特別優(yōu)選所述酸性基團(tuán)包含選自苯酚基團(tuán)、苯曱酸基團(tuán)、苯二曱酸基團(tuán)、水楊酸基團(tuán)、乙酰水楊酸基團(tuán)和苯磺酸基團(tuán)中的官能團(tuán)。此外，在本說(shuō)明書(shū)中，所述"酸性基團(tuán)，，可以具有酯的形式。即，"具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物"可以具有所述酸性基團(tuán)的酯基。作為構(gòu)成這樣的酯基的基團(tuán)，只要是酯鍵能夠被水解的基團(tuán)即可，對(duì)其沒(méi)有特殊限制?？梢粤信e出例如曱基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基等直鏈或支鏈烷基，苯基等1價(jià)芳香族烴基，異冰片基、金剛烷基等1價(jià)脂環(huán)族烴基、全氟曱基、全氟乙基、全氟-正丙基、全氟異丙基、全氟-正丁基、全氟異丁基、全氟-仲丁基、全氟-叔丁基等直鏈或支鏈全氟烷基、環(huán)氧乙烷基團(tuán)、環(huán)氧丙烷基團(tuán)等醚基等。而且，對(duì)所述酸性基團(tuán)或其酯基的個(gè)數(shù)沒(méi)有特殊限制。作為所述"具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物"，可以列舉出例如(曱基)丙烯酸、乙烯基笨羧酸、乙烯基乙酸、乙烯基磺酸、乙烯基苯磺酸、馬來(lái)酸、富馬酸、上述這些酸的酯、具有苯二甲酸基團(tuán)的丙烯酸酯、具有水楊酸基團(tuán)的丙烯酸酯、具有乙酰水楊酸基團(tuán)的丙烯酸酯、乙烯基苯酚等。此外，所述"具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物，，可以?xún)H使用l種，也可以組合使用2種以上。對(duì)于底層組合物中所述"具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物"的含量沒(méi)有特殊限制，優(yōu)選相對(duì)于底層組合物總量為10重量％以上且90重量％以下，特別優(yōu)選為30重量％以上且70重量％以下。如果增加所迷"具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物，，的含量，則底層組合物的金屬離子負(fù)載性提高，但具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合化合物和具有親水性官能團(tuán)的加成聚合化合物的含量減少，它們的效果減弱。因此，所述"具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物"的含量?jī)?yōu)選在上述范圍。所述"親水性官能團(tuán)"是指易于與水溶液親和的官能團(tuán)。作為所述"親水性官能團(tuán)"，可以使用環(huán)氧乙烷基、.環(huán)氧丙烷基、縮醛基、羥基、醚基等。這其中，因?yàn)楦纳朴袡C(jī)膜的親水性的能力良好，所以特別優(yōu)選使用環(huán)氧乙烷基、環(huán)氧丙烷基，所述親水性官能團(tuán)優(yōu)選包含環(huán)氧乙烷基和/或環(huán)氧丙烷基。作為所述"具有親水性官能團(tuán)的加成聚合性化合物，，，可以列舉出例如聚乙二醇二丙烯酸酯、聚丙二醇二丙烯酸酯、甘油二丙烯酸酯、聚l，4-丁二醇二丙烯酸酯、丙烯酸2-輕基丙酯等。此外，所述"具有親水性官能團(tuán)的加成聚合性化合物，，可以?xún)H使用l種，也可以組合使用2種以上。對(duì)于底層組合物中所述"具有親水性官能團(tuán)的加成聚合性化合物，，的含量沒(méi)有特殊限制，優(yōu)選相對(duì)于底層組合物總量為0重量％以上且80重量％以下，特別優(yōu)選為10重量％以上且70重量％以下。如果增加所述"具有親水性官能團(tuán)的加成聚合性化合物"的含量，則改善有機(jī)膜親水性的效果增強(qiáng)，但是，具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合化合物和金屬負(fù)載性化合物的含量減少，其效果減弱。因此，底層組合物中所述"具有親水性官能團(tuán)的加成聚合性化合物"的含量?jī)?yōu)選為上述范圍。這樣，所述底層組合物因?yàn)楹芯哂?個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物、具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物和具有親水性官能團(tuán)的加成聚合化合物，所以金屬(M2)離子的負(fù)載性良好。這其中，如果例如按照專(zhuān)利文獻(xiàn)1所述的使用了聚酰亞胺的技術(shù)來(lái)固定金，是非常困難的，但是，通過(guò)使用上述底層組合物在基板或膜上形成有機(jī)膜，則即使是對(duì)于金，也能夠?qū)⑵涑浞值毓潭ㄔ谟袡C(jī)膜上。所述底層組合物優(yōu)選含有聚合引發(fā)劑。作為聚合引發(fā)劑，只要能夠使底層組合物聚合即可，沒(méi)有特殊限制。可以列舉出例如光聚合引發(fā)劑和熱聚合引發(fā)劑等自由基聚合引發(fā)劑，陽(yáng)離子聚合引發(fā)劑和陰離子聚合引發(fā)劑等離子聚合引發(fā)劑，等等。這其中，優(yōu)選使用自由基聚合引發(fā)劑，從不利用熱、因而可適用于耐熱性低的基板的觀(guān)點(diǎn)來(lái)看，特別優(yōu)選使用光聚合引發(fā)劑。作為光聚合引發(fā)劑，沒(méi)有特殊限制，可以列舉出例如2-羥基_2-甲基-1-笨基-丙烯-l-酮、2-甲基-1-〔4-(曱硫基)苯基〕-2-嗎啉代丙烯-1-酮、2，4,6-三曱基苯曱酰-二苯基-氧化膦、三氟曱磺酸三苯基酯(卜^7工二，7》示二/k卜U7P—卜)等。14作為熱聚合引發(fā)劑，沒(méi)有特殊限制，可以列舉出例如氬過(guò)氧化枯烯、氫過(guò)氧化物叔丁基、過(guò)氧化苯甲酰、DBU、乙二胺、N,N-二甲基節(jié)胺等。而且，這些聚合引發(fā)劑可以單獨(dú)使用，也可以適當(dāng)?shù)亟M合使用。聚合引發(fā)劑的含量相對(duì)于底層組合物總量為0.05~10重量％，優(yōu)選為0.1~8重量％。所述底層組合物還可以含有除具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物、具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物、具有親水性基團(tuán)的加成聚合性化合物以外的加成聚合性化合物(以下也稱(chēng)"其它加成聚合性化合物"。所述其它加成聚合性化合物不具有酸性基團(tuán)或其酯基，并且在1個(gè)分子中具有1個(gè)聚合不飽和鍵、特別是聚合性雙鍵?？梢粤信e出例如苯乙烯、乙烯基環(huán)己烷等。所述其它加成聚合性化合物的含量?jī)?yōu)選相對(duì)于底層組合物總量為50重量％以下，更優(yōu)選為30重量°/。以下。所述底層組合物中還可以含有有機(jī)溶劑。通過(guò)含有有機(jī)溶劑，可以改善對(duì)基板或膜的涂布性。作為有機(jī)溶劑，沒(méi)有特殊限制，可以使用丙二醇單曱醚乙酸酯、丙二醇單甲醚、環(huán)己酮、乙酸丁酯等。有機(jī)溶劑的含量?jī)?yōu)選相對(duì)底層組合物總量為80重量％以下，更優(yōu)選為30重量％以下?；寤蚰た梢允褂萌我庵破?。總之，因?yàn)樗龅讓咏M合物可以通過(guò)紫外線(xiàn)等來(lái)固化，所以，無(wú)需像使用聚酰亞胺清漆時(shí)那樣進(jìn)行高溫烘烤，同樣充分適用于耐熱性低的基板或膜。此外，因?yàn)闊o(wú)需在基板中使用昂貴的聚酰亞胺，所以，與例如專(zhuān)利文獻(xiàn)1所述的發(fā)明相比，能夠使材料成本變得非常廉價(jià)。作為所述基板或膜，可以列舉出丙烯酸樹(shù)脂、聚酯樹(shù)脂、聚碳酸酯樹(shù)脂、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、環(huán)氧樹(shù)脂制造的基板或膜，例如玻璃基板、石英、鈮酸鋰、鉭酸鋰、硼硅酸玻璃、PZT，PLZT等。作為將所述底層組合物涂布到基板或膜上的方法，沒(méi)有特殊限制，可以使用任意涂布方法?？梢粤信e出例如旋涂、噴涂、浸漬等方法。作為涂布厚度，沒(méi)有特殊限制，例如下述范圍是合適的，所述范圍使得聚合后有機(jī)膜的厚度在后述范圍內(nèi)。聚合可以使用例如聚合引發(fā)劑、或者放射線(xiàn)、電子線(xiàn)、紫外線(xiàn)、電磁線(xiàn)等活性能量線(xiàn)來(lái)進(jìn)行。例如，當(dāng)使用光聚合引發(fā)劑時(shí)，對(duì)基板或膜的涂布面?zhèn)日丈湎率霾ㄩL(zhǎng)的光、例如紫外線(xiàn)即可，所述波長(zhǎng)的光能夠被光聚合15引發(fā)劑吸收，從而產(chǎn)生自由基。此外，例如當(dāng)使用熱聚合引發(fā)劑時(shí)，加熱到下述溫度、例如50150°C即可，所述溫度能夠使該熱聚合引發(fā)劑分解，從而產(chǎn)生自由基。在聚合時(shí)，使用掩模通過(guò)紫外線(xiàn)照射使所述底層組合物聚合，然后除去未反應(yīng)單體區(qū)域，這樣，可以形成具有與掩模對(duì)應(yīng)的圖案形狀的有機(jī)膜。而且，通過(guò)將所得有機(jī)膜提供給后述步驟，能夠形成具有三維圖案形狀的金屬膜。由此，有機(jī)膜形成步驟中的聚合更優(yōu)選為使用紫外線(xiàn)的加成聚合。而且，未反應(yīng)單體區(qū)域可以使用鹽酸、硝酸、硫酸等強(qiáng)酸來(lái)除去。通過(guò)所述聚合，在基板或膜上形成了有機(jī)膜。所得有機(jī)膜的膜厚只要能夠?qū)崿F(xiàn)本發(fā)明的目的即可，沒(méi)有特殊限制，例如0.11000fim、特別是10500nm是合適的。'(1-2.金屬鹽生成步驟)金屬鹽生成步驟是用含有金屬(M1)離子的水溶液對(duì)所述有機(jī)膜進(jìn)行處理、從而將所述酸性基團(tuán)轉(zhuǎn)化為金屬(M1)鹽的步驟。所述處理通過(guò)例如在含有金屬(M1)離子的水溶液中浸漬形成了有機(jī)膜的基板或膜、將含有金屬(Ml)離子的水溶液涂布于形成了有機(jī)膜的基板或膜等方法，可以容易地實(shí)施o金屬(M1)離子是可以在后述的金屬固定步驟中與用于金屬膜形成的金屬(M2)離子進(jìn)行陽(yáng)離子交換的金屬離子。即，金屬(M1)離子是比金屬(M2)離子的離子化傾向高的金屬離子。金屬(M1)離子只要是可與金屬(M2)離子進(jìn)行陽(yáng)離子交換的金屬離子即可，沒(méi)有特殊限制?？梢粤信e出例如堿金屬離子、堿土金屬離子。這其中，從所述陽(yáng)離子交換容易的觀(guān)點(diǎn)來(lái)看，金屬(M1)離子優(yōu)選為堿金屬離子，更優(yōu)選為鉀離子或鈉離子。而且，在本說(shuō)明書(shū)中，"離子化傾向"是指金屬在與水接觸時(shí)成為金屬離子(P曰離子)的傾向；金屬離子的離子化傾向的強(qiáng)烈程度基于由金屬變?yōu)樵摻饘匐x子的強(qiáng)烈傾向的程度而定。作為含有金屬(M1)離子的水溶液，可以列舉出例如氫氧化鉀、氫氧化鈉等的水溶液。這樣的水溶液中的金屬(M1)離子濃度只要能夠生成酸性基團(tuán)的金屬鹽即可，沒(méi)有特殊限制，在本發(fā)明中，0.1~5M,優(yōu)選0.52.5M這樣的較低濃度即可高效地生成酸性基團(tuán)的金屬鹽，因此是優(yōu)選的。而且，本發(fā)明中不妨使用2種類(lèi)以上的金屬(M1)離子，此時(shí)金屬(M1)離子的合計(jì)濃度在上述范圍內(nèi)即可。通過(guò)用含有金屬(M1)離子的水溶液處理所述有機(jī)膜，有機(jī)膜所具有的酸性基團(tuán)的氫離子被置換為金屬(M1)離子。具體而言，有機(jī)膜所具有的例如-COOH或-S03H這樣的酸性基團(tuán)的氫離子直接被置換為金屬(M1)離子，生成例如-COOM'或-S03M'等這樣的酸性基團(tuán)金屬鹽。而且，M'表示金屬(Ml)離子的金屬原子(下同)。處理?xiàng)l件只要能夠生成酸性基團(tuán)的金屬鹽即可，沒(méi)有特殊限制。處理溫度通常為0~80°C,優(yōu)選為20~40°C。處理時(shí)間(浸漬時(shí)間)通常為130分鐘，優(yōu)選為5~15分鐘。當(dāng)所述具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物具有酯基時(shí)，也可以與上述情況相似地，通過(guò)用含有金屬(M1)離子的水溶液處理所述有機(jī)膜，來(lái)將所述酸性基團(tuán)轉(zhuǎn)變?yōu)榻饘?M1)鹽。此外，還可以用酸水溶液處理有機(jī)膜來(lái)水解酯鍵、生成酸性基團(tuán)，然后，通過(guò)用含有金屬(M1)離子的水溶液處理該酸性基團(tuán)，將所述酸性基團(tuán)轉(zhuǎn)變?yōu)榻饘?M1)鹽。作為所述"酸水溶液"，可以使用例如鹽酸、辟L酸、硝酸或乙酸等的水溶液，使用酸水溶液的處理可以容易地實(shí)施，例如將形成有有機(jī)膜的基^1或膜浸漬于酸水溶液中。酸的濃度例如為0.110M、優(yōu)選0.55M。處理溫度例如為0~80°C、優(yōu)選2050。C。在酸水溶液中的處理時(shí)間(浸漬時(shí)間)例如為1~30分鐘、優(yōu)選515分鐘。此外，使用含有金屬(M1)離子的水溶液對(duì)所述酸性基團(tuán)的處理可以容易地實(shí)施，例如，在該水溶液中浸潰形成有酸性基團(tuán)的基板或膜，或者將該水溶液涂布于形成有酸性基團(tuán)的基板或膜，等等。處理溫度例如為080°C、優(yōu)選2050。C;處理時(shí)間(浸漬時(shí)間)通常為1~30分鐘、優(yōu)選為5~15分鐘。(1-3.金屬固定步驟)金屬固定步驟包括將用所述含有金屬(M1)離子的水溶液處理過(guò)的有機(jī)膜、用含有離子化傾向比所述金屬(M1)離子低的金屬(M2)離子的金屬(M2)離子水溶液進(jìn)行處理，由此將所述酸性基團(tuán)的金屬(M1)鹽轉(zhuǎn)變?yōu)榻饘?M2)鹽。金屬固定步驟可以容易地實(shí)施，例如，在含有金屬(M2)離子的金屬(M2)離子水溶液中浸漬形成有經(jīng)所述含有金屬(M1)離子的水溶液處理過(guò)的有機(jī)膜的基板或膜，或者，將含有金屬(M2)離子的金屬(M2)離子水溶液涂布于形成有經(jīng)所述含有金屬(M1)離子的水溶液處理過(guò)的有機(jī)膜的基板或膜。金屬(M2)離子比金屬(M1)離子的離子化傾向低，所以有機(jī)膜所具有的酸性基團(tuán)的金屬(M1)鹽容易與金屬(M2)離子進(jìn)行陽(yáng)離子交換，從而在有機(jī)膜上導(dǎo)入和固定金屬(M2)離子。作為金屬(M2),沒(méi)有特殊限制，只要是能夠進(jìn)行所述陽(yáng)離子交換的金屬即可，從導(dǎo)電性良好的觀(guān)點(diǎn)來(lái)看，優(yōu)選金、銀、銅、釔、銦、4自，因在金屬中具有最好的化學(xué)穩(wěn)定性，所以特別優(yōu)選金。此外，采用本發(fā)明的制造方法，還可以制造鈷、鐵、或鎳等的氽屬膜。如上所述，本發(fā)明的制造方法中使用了下述金屬膜和金屬布線(xiàn)圖案形成用底層組合物，所述底層組合物具有蓬松的結(jié)構(gòu)、且含有具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物、金屬離子負(fù)載性良好的具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物和具有親水性基團(tuán)的加成聚合性化合物，因此，可以良好地對(duì)金進(jìn)行成膜，而采用傳統(tǒng)技術(shù)將金固定在基板或膜上是困難的。作為金屬(M2)離子水溶液，沒(méi)有特殊限制，可以列舉出例如氯化金(m)、氯化金(I)、氯化金酸、乙酸金、硝酸銀、乙酸銀、碳酸銀、氯化銀、硝酸銅、^樣酸銅、乙酸銅、碳酸銅、氯化銅、氯化4巴、硝酸4巴、乙酸4巴、硫酸鈀、氯化銦、硝酸銦、乙酸銦、硫酸銦、反式-二氯二氨合鉑、氯化鈷、硝酸鈷、硫酸鈷、乙酸鈷、氯化鐵(n)、氯化鐵(in)、硝酸鐵(in)、硫酸鐵(n)、硫酸鐵(m)、氯化鎳、賄酸鎳、硫酸鎳、乙酸鎳等的水溶液。所述水溶液中金屬(M2)離子的濃度只要能夠?qū)崿F(xiàn)陽(yáng)離子交換即可，沒(méi)有特殊限制，優(yōu)選為例如5~500mM,特別優(yōu)選為30~250mM。處理溫度只要能夠?qū)崿F(xiàn)陽(yáng)離子交換即可，沒(méi)有特殊限制，例如為080°C、優(yōu)選2040。C。處理時(shí)間(浸漬時(shí)間)只要能夠?qū)崿F(xiàn)陽(yáng)離子交換即可，沒(méi)有特殊限制，例如為1~30分鐘、優(yōu)選515分鐘。此外，本發(fā)明中不妨使用2種以上的金屬(M2)離子，當(dāng)使用2種以上的金屬(M2)離子時(shí)，金屬(M2)離子的合計(jì)濃度在所述范圍內(nèi)即可。在一個(gè)實(shí)施方式中，優(yōu)選所述金屬(M2)離子水溶液包含石威金屬和/或堿土金屬的離子。如上所述，利用金屬(M2)離子與金屬(M1)離子之間的離子化傾向差異，能夠促進(jìn)在有機(jī)膜上固定金屬(M2)離子，堿金屬和/或堿土金屬具有非常高的離子化傾向，因此，在本步驟中，通過(guò)所述金屬(M"離子水溶液中包含堿金屬和/或堿土金屬的離子，能夠利用與金屬(M2)離子水溶液中的金屬(M2)離子之間的離子化傾向差異進(jìn)一步促進(jìn)離子交換，從而將金屬(M2)更有效地固定在有機(jī)膜上。特別是，采用傳統(tǒng)技術(shù)將金直接固定在有機(jī)膜上是困難的，而可以認(rèn)為采用本發(fā)明的底層樹(shù)脂組合物和制造方法，利用具有高離子化傾向的堿金屬和/或堿土金屬離子與金屬(M1)離子共存，能夠降低以離子形式存在的金的比例，從而促進(jìn)了其在有機(jī)膜上的固定。所述堿金屬和堿土金屬可以分別單獨(dú)使用，也可以?xún)烧呓M合使用；因?yàn)殡x子化傾向越高越優(yōu)選，所以更優(yōu)選單獨(dú)使用堿金屬。作為堿金屬、堿土金屬的種類(lèi)，沒(méi)有特殊限制，從離子化傾向高、廉價(jià)、易于使用的觀(guān)點(diǎn)來(lái)看，更優(yōu)選鈉、鉀。作為所述堿金屬和/或堿土金屬的使用量，只要能獲得與所述金屬(M2)離子水溶液之間的相容性即可，沒(méi)有特殊限制。例如，當(dāng)使用金作為金屬(M2)、使用鈉作為堿金屬和/或堿土金屬時(shí)，優(yōu)選相對(duì)于金離子水溶液，以鈉單質(zhì)計(jì)，金與鈉的摩爾比為1:1。所述堿金屬和/或堿土金屬也可以以可在水溶液中電離的鹽的形式添加到所述金屬(M2)離子水溶液中。可以使用例如乙酸鈉、碳酸鈉等。此外'還可以以含有例如氬氧化鉀、氫氧化鈉等這樣的石咸金屬和/或石咸土金屬的水溶液的形式添加。在一個(gè)實(shí)施方式中，優(yōu)選所述金屬(M2)離子水溶液含有多元醇。由于可以高效率地進(jìn)行成膜，所以，優(yōu)選金屬(M2)離子水溶液中金屬(M2)離子濃度盡量地高，但是，特別是對(duì)金離子而言，因其比重大，故如果為高濃度則容易沉淀。但是，通過(guò)添加多元醇，如上所迷使得金屬(M"離子不易沉淀，因此，能夠使金屬(M2)離子與金屬(M1)離子之間的陽(yáng)離子交換更順利地進(jìn)行，從而促進(jìn)金屬(M2)離子在有機(jī)膜上的固定。此外，通常在金屬(M2)離子與溶劑之間具有相容性而金屬(M2)仍然沉淀時(shí)，為了高效地進(jìn)行陽(yáng)離子交換，優(yōu)選對(duì)溶液進(jìn)行攪拌。然而，通過(guò)使金屬(M2)離子水溶液中含有多元醇，可以高效地進(jìn)行陽(yáng)離子交換、而無(wú)需攪拌。因此，從改善操作效率的觀(guān)點(diǎn)來(lái)看，這是非常有用的。作為所述多元醇所含的醇性羥基的個(gè)數(shù)，沒(méi)有特殊限制，只要1個(gè)分子中有2個(gè)以上即可。作為所述多元醇，可以使用例如甘油、聚乙二醇、山梨糖醇等。這其中，特別優(yōu)選使用甘油，因?yàn)槠湓稣承粤己?、防止金?M2)離子沉淀的效果高、促進(jìn)金離子在有機(jī)膜上的固定的效果好。作為所述多元醇的使用量，出于與金屬離子水溶液的相容性的理由，優(yōu)選相對(duì)于所述金屬(M2)離子水溶液為1080重量％,將其混合在所述金屬(M2)離子水溶液中、并使其達(dá)到該濃度即可。(1_3.還原步驟)還原步驟包括還原所述金屬(M2)離子、從而在所述有機(jī)膜表面形成金屬膜。即，通過(guò)對(duì)在金屬固定步驟中導(dǎo)入有機(jī)膜的金屬(M2)離子進(jìn)行還原、使該離子的金屬原子在有機(jī)膜表面析出，由此形成指定金屬膜的步驟。作為還原方法，可以列舉出例如使用選自(l)抗壞血酸、抗壞血酸鈉、硼氫化鈉、二曱胺硼烷、三甲胺硼烷、檸檬酸、檸檬酸鈉、鞣酸、二硼烷、肼、曱醛，(2)(1)中的化合物的衍生物、和(3)亞硫酸鹽、次磷酸鹽中的l種以上的還原劑，和/或選自(4)紫外線(xiàn)、熱、等離子體、氫中的l種以上還原方法進(jìn)行的方法等。作為所述衍生物，沒(méi)有特殊限制。此外，對(duì)于所述(2)亞硫酸鹽、次磷酸鹽，沒(méi)有特殊限制。在使用例如還原劑的方法中，通過(guò)使有機(jī)膜表面與還原劑接觸，能夠?qū)λ鼋饘?M2)離子進(jìn)行還原。還原劑.通常以水溶液的方式使用，通過(guò)在還原劑水溶液中浸漬具有有機(jī)膜的基板或膜，可以容易地實(shí)現(xiàn)還原。對(duì)于還原劑水溶液中還原劑的濃度沒(méi)有特殊限制，但還原劑的濃度過(guò)低時(shí)，存在還原反應(yīng)速度減慢的傾向，還原劑濃度過(guò)高時(shí)，有時(shí)析出的金屬會(huì)脫落，因此并非優(yōu)選。因而，還原劑的濃度優(yōu)選為1500mM，更優(yōu)選為5100mM。對(duì)于還原時(shí)的處理溫度沒(méi)有特殊限制，例如還原劑水溶液的溫度優(yōu)選為080°C,更優(yōu)選為2040°C。此外，對(duì)于處理時(shí)間(浸漬時(shí)間)沒(méi)有特殊限制，例如，優(yōu)選為130分鐘，更優(yōu)選為515分鐘。此外，在一個(gè)實(shí)施方式，所述還原步驟中優(yōu)選與所述還原劑一起使用醇和/或表面活性劑。由此，能夠使水溶性還原劑易于與金屬膜和金屬布線(xiàn)圖案形成用底層組合物親和，因此，能夠更加高效地進(jìn)行還原。作為所述醇，因?yàn)樾枰芙庠谶€原劑水溶液中、且需要具有易于與金屬膜和金屬布線(xiàn)圖案形成用底層組合物親和的性質(zhì)，所以，其必須為兩親性。只要是兩親性即可，可以是任意的鏈?zhǔn)酱?、脂環(huán)式醇或芳香族醇?？?0以使用例如乙醇、曱醇、丙醇、丁醇等低級(jí)1元鏈?zhǔn)酱?，乙二醇等多元醇，千醇等芳香族醇，等等。此外，作為表面活性劑，可以是?yáng)離子表面活性劑、陰離子表面活性劑、兩性表面活性劑或非離子性表面活性劑。作為陽(yáng)離子表面活性劑，可以使用例如烷基胺鹽、酰胺鍵合胺鹽、酯鍵合胺鹽等胺鹽；烷基銨鹽、酰胺鍵合銨鹽、酯鍵合銨鹽、醚鍵合銨鹽等季銨鹽；烷基吡啶鐳鹽、酰胺鍵合吡啶錯(cuò)鹽、醚鍵合吡啶鎮(zhèn)鹽等吡啶鐳鹽；等等。作為陰離子表面活性劑，可以使用皂、硫酸化油、烷基硫酸鹽、烷基磺酸鹽、烷基烯丙基磺酸鹽、烷基萘磺酸鹽等。此外，作為非離子性表面活性劑，可以使用烷基烯丙基醚型、烷基醚型、烷基胺型等環(huán)氧乙烷類(lèi)表面活性劑；甘油脂肪酸酯、山梨糖醇酐脂肪酸酯、聚乙二醇脂肪酸酯等多元醇脂肪酸酯類(lèi)表面活性劑；聚環(huán)乙亞胺類(lèi)表面活性劑；脂肪酸烷醇酰胺類(lèi)表面活性劑等。作為兩性表面活性劑，可以使用組合陽(yáng)離子表面活性劑和陰離子表面活性劑而得的制品、組合陽(yáng)離子表面活性劑或陰離子表面活性劑與非離子性表面活性劑而得的制品等。醇和表面活性劑可以分別單獨(dú)使用，也可以?xún)烧呓M合使用。此外，所用的醇的種類(lèi)、表面活性劑的種類(lèi)可以是1種，也可以是2種以上。醇和/或表面活性劑，可以在浸漬基板或膜之前添加到還原劑水溶液中。醇和/或表面活性劑的添加量，出于與金屬離子水溶液的相容性的理由，優(yōu)選為1060重量％。此外，所述醇和/或表面活性劑也可以與底層樹(shù)脂組合物一起涂布在基板或膜上。此時(shí)，所述醇和/或表面活性劑的使用量，出于與金屬離子水溶液的相容性的理由，優(yōu)選為0.01~10重量％。此外，在使用紫外線(xiàn)進(jìn)行還原的方法中，對(duì)有機(jī)膜表面照射紫外線(xiàn)即可。例如，當(dāng)使用SEN特殊光源抹式會(huì)社制造的UV照射裝置PL16-110時(shí)，照射時(shí)間優(yōu)選10~150分鐘、特別是6090分鐘。當(dāng)采用這樣的方法進(jìn)行還原時(shí)，通過(guò)使用掩模進(jìn)行紫外線(xiàn)照射，能夠形成具有與掩模對(duì)應(yīng)的圖案形狀的金屬膜。因而，可以筒便地形成比較復(fù)雜的金屬圖案。圖案部以外的區(qū)域，例如可以通過(guò)浸漬在1%硝酸水溶液等中而除去。在利用熱(加溫)的還原方法中，利用熱板、烘箱等可進(jìn)行加熱的裝置對(duì)21金屬(M2)離子進(jìn)行還原即可。優(yōu)選加溫溫度為150~300°C,加溫時(shí)間為560分鐘。在所述還原步驟中，可以組合使用還原劑和選自紫外線(xiàn)、熱、等離子體、氫中的1種以上還原方法來(lái)進(jìn)行還原。在一個(gè)實(shí)施方式中，當(dāng)在所述還原步驟使用選自所述(l)、(2)和(3)中的1種以上還原劑時(shí)，優(yōu)選在堿金屬和/或堿土金屬的存在下進(jìn)行所述金屬(M2)離子的還原。堿金屬和/或堿土金屬比本發(fā)明中使用的金屬(M2)的離子化傾向大，因此，通過(guò)在堿金屬和/或堿土金屬的存在下進(jìn)行所迷還原，可以防止在金屬固定步驟中固定于有機(jī)膜上的金屬(M2)發(fā)生離子化，并能夠防止溶解?？傊诮饘俟潭ú襟E中使用的堿金屬和/或堿土金屬起到促進(jìn)金屬(M2)在有機(jī)膜上的固定的作用，在還原步驟中使用的堿金屬和/或堿土金屬則起到防止固定在有機(jī)膜上的金屬(M2)溶解、進(jìn)一步切實(shí)地進(jìn)行還原的作用。所述堿金屬和堿土金屬可以分別單獨(dú)使用，也可以?xún)烧呓M合使用，因?yàn)殡x子化傾向越高越優(yōu)選，所以更優(yōu)選單獨(dú)使用堿金屬。作為堿金屬、堿土金屬的種類(lèi)，沒(méi)有特殊限制，從離子化傾向高、廉價(jià)、且易于使用的觀(guān)點(diǎn)來(lái)看，更優(yōu)選鈉、鉀。作為所述堿金屬和/或堿土金屬的使用量，只要能夠獲得與所述金屬(M2)離子水溶液的相溶性即可，沒(méi)有特殊限制。例如，當(dāng)使用金作為金屬(M2)、使用鈉作為堿金屬和/或堿土金屬時(shí)，優(yōu)選相對(duì)金離子水溶液，以鈉計(jì)，金與鈉的摩爾比為1:1。所述堿金屬和/或堿土金屬也可以以在水溶液中可電離的鹽的形式添加在所述還原劑水溶液中。例如，可以使用乙酸鈉、碳酸鈉等。此外，還可以以含有例如氫氧化鉀、氫氧化鈉等這樣的堿金屬和/或堿土金屬的水溶液的形式，添加在所述還原劑水溶液中。此外，當(dāng)采用選自紫外線(xiàn)、熱、等離子體、氫中的1種以上還原方法進(jìn)行還原時(shí)，如下進(jìn)行即可制備堿金屬和/或;威土金屬的鹽的水溶液、或含有堿金屬和/或堿土金屬的水溶液，將形成有固定了金屬(M"的有機(jī)膜的基板或膜浸漬在該水溶液中，然后，進(jìn)行紫外線(xiàn)照射等處理。還原結(jié)束后，通常對(duì)基板或膜進(jìn)行清洗和干燥。清洗可以是水洗，但為了切實(shí)地除去殘余的金屬離子，當(dāng)使用了還原劑時(shí)，優(yōu)選使用硫酸水溶液進(jìn)行清洗。千燥在室溫下放置即可實(shí)現(xiàn)，但從防止所得金屬膜氧化的觀(guān)點(diǎn)來(lái)看，優(yōu)選在氮?dú)鈿夥障逻M(jìn)行。此外，在本發(fā)明中，優(yōu)選在所述各步驟或處理之間進(jìn)行基板或膜的水洗。對(duì)于經(jīng)過(guò)以上步驟、采用本發(fā)明的制造方法獲得的金屬膜的厚度沒(méi)有特殊限制，可以控制在例如10500nm、特別是20~200nm的范圍內(nèi)。而且，除了改變例如KOH濃度、溫度、時(shí)間之外，改變金屬離子濃度、溫度、時(shí)間和還原劑濃度、溫度、時(shí)間等也可以對(duì)金屬膜的厚度進(jìn)行控制，金屬膜的厚度可以通過(guò)截面觀(guān)察、例如TEM(林式會(huì)社日立HIGHTECHNOLOGES制造)來(lái)測(cè)定。如上所述，通過(guò)本發(fā)明的制造方法所得的金屬膜中，金屬(M2)良好地固定在有機(jī)膜上，固定在有機(jī)膜內(nèi)部的金屬(M2)能夠充分地被還原。特別是，如果能夠?qū)⒔鸪浞值毓潭ㄔ谟袡C(jī)膜上并將其充分地還原，則可以獲得導(dǎo)電性良好的金屬膜，其作為電子部件等的材料是非常有用的，但，采用傳統(tǒng)技術(shù)無(wú)法充分地進(jìn)行固定、還原。但是，本發(fā)明的制造方法由于底層組合物具有蓬松結(jié)構(gòu)和良好的離子負(fù)載性、金屬(M1)離子與金屬(M2)離子之間的陽(yáng)離子交換性良好、能夠防止被固定的金屬(M2)離子溶解等原因，即使在金屬(M2)為金時(shí)，也能夠?qū)⒔痣x子充分地固定在有機(jī)膜上、對(duì)存在于有機(jī)膜內(nèi)部的金離子也能充分地進(jìn)行還原。由此，可以認(rèn)為有機(jī)膜的表面、里面均能進(jìn)行鏡面反射，其結(jié)果是可以獲得能夠發(fā)揮良好導(dǎo)電性的Au膜或Au布線(xiàn)圖案。采用本發(fā)明的制造方法制造的金屬膜對(duì)于作為電極、微細(xì)布線(xiàn)電路、反應(yīng)膜、保護(hù)膜等的金屬膜和金屬布線(xiàn)圖案的形成是有用的，所述電極、微細(xì)布線(xiàn)電路、反應(yīng)膜、保護(hù)膜等可用于以半導(dǎo)體、液晶顯示面板、高頻用途為代表的各種電子部件、以及傳感器等領(lǐng)域。此外，通過(guò)本發(fā)明，可以形成SPR或SAW傳感器用的金屬膜。所述電子部件、傳感器、電極、微細(xì)布線(xiàn)電路、反應(yīng)膜、保護(hù)膜等可以采用傳統(tǒng)公知的方法來(lái)制造。例如，可以采用蒸鍍法、濺射法等來(lái)制造。而且，本發(fā)明不受以上說(shuō)明的各方案的限定，在權(quán)利要求書(shū)所示的范而得到的實(shí)施方式也包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)。實(shí)施例〔實(shí)施例17〕(底層樹(shù)脂組合物的制備與有機(jī)膜的形成)混合表1所示的化合物，制備了試劑液作為底層樹(shù)脂組合物，采用旋涂法將該試劑液涂布在丙烯酸樹(shù)脂板上。然后，使用紫外線(xiàn)照射裝置(SEN特殊光源抹式會(huì)社制、PL16-U0),對(duì)所述丙蹄酸樹(shù)脂板進(jìn)行20分鐘紫外線(xiàn)照射，在丙烯酸樹(shù)脂板上形成了透明的有機(jī)膜AD。而且，Irgacurel173(CibaSpecialtyChemicals株式會(huì)社制造)為聚合反應(yīng)引發(fā)劑、PE-3A(共榮社化學(xué)林式會(huì)社制)為具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物、14EG-A(共榮社化學(xué)抹式會(huì)社制造)為親水性加成聚合化合物、HOA-MPL(共榮社化學(xué)抹式會(huì)社制)為具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage24</column></row><table>數(shù)值單位均為重量％(金屬膜的形成)對(duì)于形成有有機(jī)膜A~D的丙烯酸樹(shù)脂板進(jìn)行下述步驟，從而得到了金屬膜。(1)浸漬于40。C、2.5M氬氧化鉀水溶液中，保持10分鐘。(2)在蒸餾水中充分清洗。(3)在室溫下浸漬于表2所示的金屬離子水溶液中，保持15分鐘。(4)在蒸餾水中充分清洗。(5)在室溫下浸漬于表2所示的還原劑水溶液中，保持15分鐘?；蛘?使用所述紫外線(xiàn)照射裝置照射紫外線(xiàn)30分鐘。(6)在蒸餾水中充分清洗。(7)在室溫下用1%石克酸清洗。(8)在蒸餾水中充分清洗。(9)在氮?dú)鈿夥障逻M(jìn)行干燥。而且，在本實(shí)施例中使用丙烯酸樹(shù)脂板作為基板，但如上所述，本發(fā)明的制造方法同樣適用于耐熱性低的基板，因此，可使用的基板并非僅限于丙烯酸樹(shù)脂板。此外，在進(jìn)行熱還原時(shí)，優(yōu)選使用耐熱性高的基板，例如，當(dāng)使用玻璃基板時(shí)，在形成有機(jī)膜前預(yù)先用例如KBM5103(信越化學(xué)工業(yè)林式會(huì)社制造)等硅烷偶合劑對(duì)玻璃基板表面進(jìn)行改性，然后形成有機(jī)膜。然后，在步驟(5)中，裝入保持在20(TC的烘箱中，保持10分鐘。此外，相對(duì)于金屬離子水溶液的甘油的添加量為金屬離子水溶液總量的50重量％。使用電阻率計(jì)(三菱化學(xué)制造，LORESTAGP)測(cè)定表面電阻率，小于10Q/口為o，10Q/口以上且小于lkQ/口為A,lkQ/口以上為x,以此來(lái)評(píng)價(jià)是否具有導(dǎo)電性。表2基板底層組合物KOH處理金屬離子還原導(dǎo)電性比凈交例1聚酰亞胺無(wú)5MKOHlOmin50mM氯化金(III)15min15mM抗壞血酸10minX實(shí)施例1丙蹄酸樹(shù)脂板有機(jī)膜D2.5MKOH10min50mM氯化金(III)15min15mM抗壞血酸10min△實(shí)施例2丙烯酸樹(shù)脂板有機(jī)膜D2.5MKOH10min50mM氯化金CIIi;)+50inM乙酸鈉15mM抗壞血酸10min〇實(shí)施例3丙蜂酸樹(shù)脂板有機(jī)膜D2.5MKOH10min50mM氯化金(in)+50mM乙酸鈉15min15mM抗壞血酸+5mM乙酸鈉1Omin〇實(shí)施例4丙烯酸樹(shù)脂板有機(jī)膜D2.5MKOH10min50mM氯化金CIII)+50mM乙酸鈉15min15mM抗壞血酸+50wt。/。乙醇5minO實(shí)施例5丙烯酸樹(shù)脂板有機(jī)膜D2.5MKOH10min100mM氯化金(in)+100mM乙酸鈉+50wt%甘油5min15mM抗壞血酸+5mM乙酸鈉10min〇實(shí)施例6丙烯酸樹(shù)脂板有機(jī)膜D2.5MKOH10min50mM氯化金CIIi;)+50mM乙酸鈉15minUV照射30min△實(shí)施例7石英有機(jī)膜D2.5MKOH10min50mM氯化金(III)+50mM乙酸鈉15min200'C下放置10min△25如表1所示，目測(cè)確認(rèn)能否在丙烯酸樹(shù)脂板的一面形成Au膜，據(jù)此來(lái)判斷是否具有成膜性。首先比較有機(jī)膜A和有機(jī)膜B，可以認(rèn)為有^U菱B包含作為具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物的PE-3A，所以，歸因于蓬松結(jié)構(gòu)，與有機(jī)膜A相比，金的固定能力得以改善，其結(jié)果是金的還原性也得以改善，因此，有機(jī)膜B顯示出的成膜性比有機(jī)膜A更好。接下來(lái)比較有機(jī)膜A和有機(jī)膜C,可以認(rèn)為有機(jī)膜C含有作為具有強(qiáng)酸性的酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物的HOA-MPL、而不是丙烯酸，所以，強(qiáng)酸性酸性基團(tuán)帶來(lái)金離子負(fù)載性的改善，因而，有機(jī)膜C顯示出的成膜性比有機(jī)膜A更好。比較有機(jī)膜A、有機(jī)膜B、有機(jī)膜C三者，有機(jī)膜C顯示出優(yōu)于有才幾膜B的成膜性，而具備HOA-MPL和PE-3A的有機(jī)膜D顯示出最好的成膜性?！脖容^例1〕作為基板，僅使用聚酰亞胺，使用的金屬離子如表2所示。金屬膜制造方法與實(shí)施例相同?！碴P(guān)于實(shí)施例、比較例中獲得的金屬膜的成膜性、導(dǎo)電性〕如表2所示，比較例1中未使用底層組合物、而是將金屬固定在聚酰亞胺上，這樣的方法無(wú)法對(duì)金進(jìn)行成膜。但是，在使用了底層組合物的方法中，底層組合物的蓬松結(jié)構(gòu)帶來(lái)有機(jī)膜金離子高承載性的改善、有機(jī)膜親水性的提高帶來(lái)了與處理液的反應(yīng)性的改善，因而，能夠形成膜厚Mnm的金膜。而且，如實(shí)施例2所示，通過(guò)在氯化金(III)水溶液中添加起到促進(jìn)鉀離子與金離子間的陽(yáng)離子交換作用的乙酸鈉，得到了導(dǎo)電性良好的膜厚45nm的Au膜。此外，如實(shí)施例3所示，當(dāng)在氯化金(III)水溶液中添加乙酸鈉、并且在還原劑水溶液添加起到防止還原步驟中金離子溶解的作用的乙酸鈉時(shí)，得到了導(dǎo)電性良好的膜厚123nm的Au膜。此外，如實(shí)施例4所示，當(dāng)在氯化金(III)水溶液中添加乙酸鈉、并且在還原劑水溶液中添加起到增加還原劑水溶液與有機(jī)膜的親和性的作用的乙醇時(shí)，得到了導(dǎo)電性良好的膜厚98nm的Au膜。此外，如實(shí)施例5所示，當(dāng)在氯化金(III)水溶液中添力4油和乙酸鈉時(shí)，在短時(shí)間內(nèi)得到了導(dǎo)電性良好的膜厚95nm的Au膜。此外，如實(shí)施例6所示，當(dāng)在氯化金(m)水溶液中添加乙酸鈉、并通過(guò)紫外線(xiàn)照射進(jìn)行還原時(shí)，得到了膜厚59nm的Au膜。此外，如實(shí)施例7所示，當(dāng)在石英基板上對(duì)底層組合物進(jìn)行成膜、在氯化金(ni)水溶液中添加乙酸鈉、并且通過(guò)加溫進(jìn)行還原時(shí)，得到了膜厚63腿的Au膜。圖1為顯示采用本發(fā)明的制造方法獲得的Au膜的外觀(guān)的照片。圖l(a)、圖l(b)和圖l(c)分別顯示了比較例1、實(shí)施例1和實(shí)施例5中得到的Au膜的外觀(guān)。圖l(a)所示的Au膜并非金色，未獲得導(dǎo)電性。圖l(b)所示的Au膜的表面雖呈金色，但其里面尚有紅色殘留，其雖顯示導(dǎo)電性，但其導(dǎo)電性低于圖l(c)所示的Au膜。圖l(c)所示的Au膜的表面、里面均呈充分的金色，其顯示出優(yōu)于圖l(a)、圖l(b)所示的Au膜的導(dǎo)電性。如上所述，本發(fā)明的金屬膜制造方法包括，有機(jī)膜形成步驟將含有具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物、具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物、和具有親水性官能團(tuán)的加成聚合化合物的底層組合物涂布于基板或膜上，并進(jìn)行聚合，形成有機(jī)膜；金屬鹽生成步驟通過(guò)用含有金屬(M1)離子的水溶液對(duì)所述有機(jī)膜進(jìn)行處理，將所述酸性基團(tuán)轉(zhuǎn)化為金屬(M1)鹽；金屬固定步驟通過(guò)用金屬(M2)離子水溶液對(duì)上述用含有金屬(M1)離子的水溶液處理過(guò)的有機(jī)膜進(jìn)行處理，將所述酸性基團(tuán)的金屬(M1)鹽轉(zhuǎn)化為金屬(M2)鹽，其中，所述金屬(M2)離子水溶液含有離子化傾向比所述金屬(M1)離子低的金屬(M2)離子；和還原步驟對(duì)所述金屬(M2)離子進(jìn)行還原，在所述有機(jī)膜表面形成金屬膜。因此，所起到的效果是能夠在任意基板上直接、廉價(jià)、有效地形成數(shù)十nm數(shù)百nm左右的金屬薄膜，而無(wú)需使用催化劑。作為本發(fā)明的詳細(xì)說(shuō)明事項(xiàng)的具體實(shí)施方式或?qū)嵤├齼H用于明確本發(fā)明的精神以及權(quán)利要求書(shū)的范圍內(nèi)，本發(fā)明可以有各種變形實(shí)施方式。工業(yè)實(shí)用性本發(fā)明的金屬膜制造方法能夠高效地在有機(jī)膜上固定和還原金屬、特別是金，因此能夠廉價(jià)地提供膜厚數(shù)十nm數(shù)百nm的導(dǎo)電性良好的金屬膜(金屬薄膜)。由此，其可以應(yīng)用于電極、微細(xì)布線(xiàn)電路、反應(yīng)膜、保護(hù)膜、SPR或SAW傳感器用金屬膜，在電子工業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用，其中，所述電極、微細(xì)布線(xiàn)電路、反應(yīng)膜、保護(hù)膜等可用于以半導(dǎo)體、液晶顯示面板、高頻用途為代表的各種電子部件、以及傳感器等領(lǐng)域。權(quán)利要求1.一種金屬膜制造方法，該方法包括有機(jī)膜形成步驟將包含具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物、具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物、和具有親水性官能團(tuán)的加成聚合化合物的底層組合物涂布于基板或膜上，并進(jìn)行聚合，形成有機(jī)膜；金屬鹽生成步驟用含有金屬(M1)離子的水溶液對(duì)所述有機(jī)膜進(jìn)行處理，將所述酸性基團(tuán)轉(zhuǎn)化為金屬(M1)鹽；金屬固定步驟用金屬(M2)離子水溶液對(duì)經(jīng)上述含有金屬(M1)離子的水溶液處理過(guò)的有機(jī)膜進(jìn)行處理，將所述酸性基團(tuán)的金屬(M1)鹽轉(zhuǎn)化為金屬(M2)鹽，所述金屬(M2)離子水溶液含有離子化傾向比所述金屬(M1)離子低的金屬(M2)離子；和還原步驟對(duì)所述金屬(M2)離子進(jìn)行還原，在所述有機(jī)膜表面形成金屬膜。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬膜制造方法，其中，所述酸性基團(tuán)包含選自苯酚基、苯甲酸基、苯二曱酸基、水楊酸基、乙酰水楊酸基和苯磺酸基中的官能團(tuán)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬膜制造方法，其中，所述具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物的反應(yīng)基團(tuán)包含丙烯?；?或曱基丙烯酰基。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬膜制造方法，其中，所述親水性官能團(tuán)包含環(huán)氧乙烷基和/或環(huán)氧丙烷基。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬膜制造方法，其中，所述金屬(M1)為鉀或鈉。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬膜制造方法，其中，所述金屬(M2)為金、銀、銅、4巴、銦或鈾。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬膜制造方法，其中，所述金屬(M2)離子水溶液包含堿金屬的離子和/或堿土金屬的離子。8.權(quán)利要求1所述的金屬膜制造方法，其中，所述金屬(M2)離子水溶液包含多元醇。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬膜制造方法，其中，在所述還原步驟中，采用選自(1)抗壞血酸、抗壞血酸鈉、硼氬化鈉、二曱胺硼烷、三曱胺硼烷、檸檬酸、檸檬酸鈉、鞣酸、二硼烷、肼、曱醛，(2)(1)中的化合物的衍生物，和(3)亞硫酸鹽、次磷酸鹽中的l種以上的還原劑、和/或選自(4)紫外線(xiàn)、熱、等離子體、氫中的1種以上的還原方法進(jìn)行所述金屬(M2)離子的還原。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的金屬膜制造方法，其中，在所述還原步驟中，當(dāng)使用所述選自(l)、(2)和(3)中的l種以上的還原劑時(shí)，在堿金屬和/或堿土金屬的存在下進(jìn)行所述金屬(M2)離子的還原。11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的金屬膜制造方法，其中，在所述還原步驟中，與所述還原劑一起使用醇和/或表面活性劑。12.—種金屬膜制造方法，該方法包括有機(jī)膜形成步驟將含有具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物、具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物和具有親水性官能團(tuán)的加成聚合化合物的底層組合物涂布在基板或膜上，并進(jìn)行聚合，形成有機(jī)膜；金屬鹽生成步驟用含有金屬(M1)離子的水溶液對(duì)所述有機(jī)膜進(jìn)行處理，將所述酸性基團(tuán)轉(zhuǎn)化為金屬(M1)鹽；金屬固定步驟用金屬(M2)離子水溶液對(duì)經(jīng)上述含有金屬(M1)離子的水溶液處理過(guò)的有機(jī)膜進(jìn)行處理，將所述酸性基團(tuán)的金屬(M1)鹽轉(zhuǎn)化為金屬(M2)鹽，其中，所述金屬(M2)離子水溶液含有離子化傾向比所述金屬(M1)離子低的金屬(M2)離子；和還原步驟對(duì)所述金屬(M2)離子進(jìn)行還原，在所述有機(jī)膜表面形成金屬膜；其中，通過(guò)下述方法形成具有圖案形狀的金屬膜在所述有機(jī)膜形成步驟中，使用掩模通過(guò)紫外線(xiàn)照射使所述底層組合物聚合，然后除去未反應(yīng)單體區(qū)域；或者在所述還原步驟中，使用掩模并通過(guò)紫外線(xiàn)照射進(jìn)行還原。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的金屬膜制造方法，其中，所述酸性基團(tuán)包含選自笨酚基、苯曱酸基、苯二曱酸基、水楊酸基、乙酰水楊酸基和苯磺酸基中的官能團(tuán)。14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的金屬膜制造方法，其中，所述具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物的反應(yīng)基團(tuán)包含選自丙烯?；?、曱基丙烯酰基中的反應(yīng)基團(tuán)。15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的金屬膜制造方法，其中，所述親水性官能團(tuán)包含環(huán)氧乙烷基和/或環(huán)氧丙烷基。16.—種底層組合物，該底層組合物含有具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物、具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物、和具有親水性官能團(tuán)的加成聚合化合物，其中，所述酸性基團(tuán)包含選自苯酚基、苯曱酸基、苯二曱酸基、水楊酸基、乙酰水楊酸基、和苯磺酸基中的官能團(tuán)。17.采用權(quán)利要求1所述的金屬膜制造方法制造的金屬膜。18.具備采用權(quán)利要求1所述的金屬膜制造方法制造的金屬膜的電子部件。19.采用權(quán)利要求12所述的金屬膜制造方法制造的金屬膜。20.具備采用權(quán)利要求12所述的金屬膜制造方法制造的金屬膜的電子部件。全文摘要本發(fā)明提供一種金屬膜制造方法，該方法包括有機(jī)膜形成步驟將含有具有3個(gè)以上反應(yīng)基團(tuán)的加成聚合性化合物、具有酸性基團(tuán)的加成聚合性化合物、和具有親水性官能團(tuán)的加成聚合化合物的底層組合物涂布于基板或膜上，并進(jìn)行聚合，形成有機(jī)膜；金屬鹽生成步驟用含有金屬(M1)離子的水溶液對(duì)所述有機(jī)膜進(jìn)行處理，將所述酸性基團(tuán)轉(zhuǎn)化為金屬(M1)鹽；金屬固定步驟用金屬(M2)離子水溶液對(duì)上述用含有金屬(M1)離子的水溶液處理過(guò)的有機(jī)膜進(jìn)行處理，將所述酸性基團(tuán)的金屬(M1)鹽轉(zhuǎn)化為金屬(M2)鹽，其中，所述金屬(M2)離子水溶液含有離子化傾向比所述金屬(M1)離子低的金屬(M2)離子；和，還原步驟對(duì)所述金屬(M2)離子進(jìn)行還原，在所述有機(jī)膜表面形成金屬膜。由此，可以高效地制造金屬膜，特別是金膜。文檔編號(hào)C23C18/18GK101479404SQ20078002401公開(kāi)日2009年7月8日申請(qǐng)日期2007年6月13日優(yōu)先權(quán)日2006年6月28日發(fā)明者中島誠(chéng)二,森哲也申請(qǐng)人:歐姆龍株式會(huì)社