專利名稱：一種多室真空鍍膜裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種適合于工件大批量生產(chǎn)的真空鍍膜系統(tǒng)，特別是 一種多室真空鍍膜裝置。
背景技術(shù)：
在目前應(yīng)用于管狀、片狀及柱狀等小件物品鍍膜的真空裝置，多 為一個(gè)鍍膜室配一套真空獲得系統(tǒng)而組成的單機(jī)真空鍍膜設(shè)備。在生 產(chǎn)過程中， 一個(gè)工作周期主要包括裝工件、抽真空、鍍膜、充大氣、 卸工件等五個(gè)步驟。由此看出，在每一個(gè)工作周期中，都要對(duì)鍍膜室 抽一次真空、充一次空氣，這種周期式的鍍膜方式，對(duì)能源浪費(fèi)的同 時(shí)生產(chǎn)效率也大大降低且工藝控制難度增加。真空狀態(tài)下制備的膜
層， 一般對(duì)鍍膜的本底真空度要求較高，通常在10—spa數(shù)量級(jí)以上。 一臺(tái)單機(jī)設(shè)備從大氣抽到10—3Pa數(shù)量級(jí)的真空狀態(tài)，需要耗費(fèi)十幾 甚至幾十分鐘，占整個(gè)工作周期的一半，甚至還要多。而真空獲得系 統(tǒng)的耗電量在整臺(tái)鍍膜設(shè)備總的耗電量中，占相當(dāng)大的比例。所以抽 真空的時(shí)間越長，設(shè)備的工作周期就越長，能耗就越大、效率就越低、 工件的單位成本就越高。鍍膜室反復(fù)地經(jīng)常暴露大氣，對(duì)鍍膜環(huán)境造 成了不同程度的污染，使工藝運(yùn)行的重復(fù)性變差、穩(wěn)定性降低，質(zhì)量 控制增加了難度。
現(xiàn)有技術(shù)中，ZL200520130173.1的中國專利，它公開了一種多個(gè)鍍膜倉共用一個(gè)移動(dòng)式切換倉的真空鍍膜系統(tǒng)，移動(dòng)式切換倉需要 分別與各個(gè)鍍膜倉對(duì)接。對(duì)接后工件架需要從鍍膜室的頂部取出，然 后與切換倉內(nèi)的工件架進(jìn)行互換。其不足之處在于首先是切換倉與 鍍膜倉上下疊加，高度最少超過6米，操作不方便，占用空間。而且 切換倉內(nèi)要能容下兩副工件架，其體積龐大，增加了抽真空的負(fù)擔(dān)和 能耗。工件架在鍍膜室內(nèi)上升以及在切換倉進(jìn)行互換不容易實(shí)現(xiàn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提出了 一種能 耗低、效率高、提高了膜層質(zhì)量而且容易實(shí)現(xiàn)的多室真空鍍膜裝置。
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的， 一種多 室真空鍍膜裝置，其特點(diǎn)是包括鍍膜室、真空預(yù)備室和工件架車，
真空預(yù)備室的端部至少連接有一個(gè)鍍膜室，在每個(gè)鍍膜室內(nèi)都設(shè) 有環(huán)形軌道，用于工件架車在鍍膜室內(nèi)旋轉(zhuǎn)進(jìn)行鍍膜作業(yè)；
在真空預(yù)備室內(nèi)并排設(shè)有兩條工件架車轉(zhuǎn)運(yùn)軌道，兩條工件架車 轉(zhuǎn)運(yùn)軌道的端部通過軌道切換機(jī)構(gòu)分別與每一個(gè)鍍膜室內(nèi)的環(huán)形軌 道對(duì)接；
真空預(yù)備室與每個(gè)鍍膜室之間都設(shè)有真空鎖和門閥，真空預(yù)備室 和每個(gè)鍍膜室都與抽真空系統(tǒng)相連接，實(shí)現(xiàn)真空預(yù)備室與每個(gè)鍍膜室 之間在真空狀態(tài)下進(jìn)行工件架車的傳輸。
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題還可以通過以下技術(shù)方案來進(jìn)一步實(shí)
現(xiàn)，在真空預(yù)備室的邊側(cè)部設(shè)有工件裝卸臺(tái)，工件裝卸臺(tái)設(shè)有"u"
形傳輸軌道，"u"形傳輸軌道的兩端與真空預(yù)備室內(nèi)兩條工件架車轉(zhuǎn)運(yùn)軌道橫向相交，在相交處設(shè)有變軌裝置和軌道槽，真空預(yù)備室與 工件裝卸臺(tái)之間設(shè)有真空鎖和門閥。
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題還可以通過以下技術(shù)方案來進(jìn)一步實(shí) 現(xiàn)，所述的鍍膜室對(duì)稱的設(shè)置在真空預(yù)備室的左右兩端。
本發(fā)明主要涉及到的是鍍膜室、真空預(yù)備室、工件裝卸臺(tái)的組合 的結(jié)構(gòu)形式及工作的流程控制方式，借助中間的真空預(yù)備室，可實(shí)現(xiàn) 單機(jī)節(jié)拍式真空鍍膜。在生產(chǎn)過程中鍍膜室不暴露大氣，預(yù)備真空室 的抽真空過程和兩端鍍膜室的鍍膜過程可同時(shí)進(jìn)行，鍍膜工藝的運(yùn)行 周期即為工件生產(chǎn)的工作周期。本發(fā)明解決了目前單機(jī)鍍膜設(shè)備，所 存在的鍍膜室頻繁暴露大氣、抽真空時(shí)間長等影響效率和質(zhì)量的問 題。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下幾項(xiàng)有益的效果①縮短了生 產(chǎn)周期，提高了生產(chǎn)效率，降低了能源消耗；②鍍膜室杜絕了大氣污 染，提高了膜層質(zhì)量；③結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，占地面積小，易于大 規(guī)模的推廣使用。


圖1為本發(fā)明設(shè)有兩個(gè)鍍膜室的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2為真空預(yù)備室兩端連接四個(gè)鍍膜室的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
一種多室真空鍍膜裝置，包括鍍膜室2、真空預(yù)備室l和工件架 車9，真空預(yù)備室1的端部至少連接有一個(gè)鍍膜室2，在每個(gè)鍍膜室 2內(nèi)都設(shè)有環(huán)形軌道4，用于工件架車9在鍍膜室2內(nèi)旋轉(zhuǎn)進(jìn)行鍍膜作業(yè)；在真空預(yù)備室內(nèi)1并排設(shè)有兩條工件架車轉(zhuǎn)運(yùn)軌道3，兩條工 件架車轉(zhuǎn)運(yùn)軌道的端部通過軌道切換機(jī)構(gòu)分別與每一個(gè)鍍膜室內(nèi)的 環(huán)形軌道4對(duì)接；真空預(yù)備室1與每個(gè)鍍膜室2之間都設(shè)有真空鎖5， 真空預(yù)備室1和每個(gè)鍍膜室都與抽真空系統(tǒng)10相連接，實(shí)現(xiàn)真空預(yù) 備室1與每個(gè)鍍膜室之間在真空狀態(tài)下進(jìn)行工件架車9的傳輸。
在真空預(yù)備室的邊側(cè)部設(shè)有工件裝卸臺(tái)11，工件裝卸臺(tái)11設(shè)有 "U"形傳輸軌道，"U"形傳輸軌道的兩端與真空預(yù)備室1內(nèi)兩條工 件架車轉(zhuǎn)運(yùn)軌道3橫向相交，在相交處設(shè)有變軌裝置和軌道槽7，真 空預(yù)備室1與工件裝卸臺(tái)11之間設(shè)有門閥6。所述的鍍膜室2對(duì)稱 的設(shè)置在真空預(yù)備室1的左右兩端。
軌道切換機(jī)構(gòu)包括傳輸軌道以及在傳輸軌道相交處設(shè)置的變軌 裝置。
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明鍍膜方法、流程方式，作詳細(xì)的說明。如
圖1所示
① 開機(jī)，真空預(yù)備室1、在鍍膜室2內(nèi)都裝有工件。在工件裝 卸臺(tái)上的"U"形傳輸軌道位置裝有空的工件架車9。利用抽真空系 統(tǒng)10抽真空，真空度達(dá)到要求開始鍍膜。其中一個(gè)鍍膜室先鍍膜， 等到先鍍膜的鍍膜室的工藝時(shí)間運(yùn)行至一半左右，再啟動(dòng)另一鍍膜室 鍍膜。
② 在工件裝卸臺(tái)11軌道上的工件架車9裝工件8。
③ 先鍍膜的鍍膜室鍍膜完畢，與該室連接的真空鎖5打開，通 過軌道切換機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)鍍膜室內(nèi)的環(huán)形軌道與真空預(yù)備室1內(nèi)的工件架車轉(zhuǎn)運(yùn)軌道3的連接。鍍膜室2內(nèi)的工件8與真空預(yù)備室1內(nèi)的工 件8交換，交換結(jié)束該真空室連接的真空鎖5關(guān)閉，該鍍膜室開始鍍
在縱橫兩條軌道的交叉處，有便于工件架車9通過的軌道槽7， 可以實(shí)現(xiàn)工件架車9縱向、橫向通過，而且不會(huì)影響傳動(dòng)的平穩(wěn)性。
④真空預(yù)備室l充入空氣，開門閥6，通過變軌裝置及軌道槽7 實(shí)現(xiàn)真空預(yù)備室l內(nèi)的工件架車轉(zhuǎn)運(yùn)軌道3與工件裝卸臺(tái)上的軌道的 連接。對(duì)真空預(yù)備室1內(nèi)的工件8與工件裝卸臺(tái)11上的工件8進(jìn)行 交換。交換完畢，關(guān)畢門閥6，真空預(yù)備室l抽真空。工件裝卸臺(tái)ll 進(jìn)行卸、裝工件8的操作。裝完工件的工件架車9，在此等待。
另一鍍膜室2鍍膜完畢，與該鍍膜室連接的真空鎖5打開， 通過變軌裝置實(shí)現(xiàn)鍍膜室內(nèi)的環(huán)形軌道4與真空預(yù)備室1內(nèi)的工件架 車轉(zhuǎn)運(yùn)軌道3的連接。鍍膜室2內(nèi)的工件8與真空預(yù)備室1內(nèi)的工件 8交換，交換結(jié)束該真空室連接的真空鎖5關(guān)閉，該鍍膜室開始鍍膜。
⑥真空預(yù)備室1充入空氣，重復(fù)④動(dòng)作。
從③一⑥為正常生產(chǎn)的一個(gè)工作周期，接下來將是鍍膜室2鍍膜 完畢，與真空預(yù)備室1的工件進(jìn)行交換，重復(fù)以上③一⑥所描述的工作。
在工作過程中要有多套工件架車在該鍍膜裝置上運(yùn)轉(zhuǎn)，這樣在裝 工件—抽真空一鍍膜一充大氣—卸工件一個(gè)工作周期內(nèi)，其它環(huán)節(jié)的 操作，完全在鍍膜的時(shí)間內(nèi)完成。生產(chǎn)周期即為鍍膜工藝運(yùn)行的時(shí)間， 生產(chǎn)節(jié)拍就等于鍍膜工藝運(yùn)行時(shí)間除以鍍膜室的數(shù)量。圖2所示，是在真空預(yù)備室的兩端配備了 4個(gè)鍍膜室。工件傳輸 的流程，與2個(gè)鍍膜室的情況一致。各鍍膜室之間的啟停根據(jù)流程控 制的先后排序，但必須保證各鍍膜室鍍膜的啟停時(shí)間彼此有一定間 隔，最好是等時(shí)間間隔，這樣才能保證物流通道的通暢，最大限度的 提高設(shè)備效率。
4個(gè)鍍膜室的工藝流程，結(jié)合2個(gè)鍍膜室的結(jié)構(gòu)，進(jìn)行如下描述:
⑦ 第三個(gè)鍍膜室對(duì)裝入的工件8鍍膜，鍍膜完畢與該室通過變 軌裝置實(shí)現(xiàn)鍍膜室內(nèi)的軌道4與真空預(yù)備室1內(nèi)的軌道3的連接。鍍 膜室2內(nèi)的工件8與真空預(yù)備室1內(nèi)的工件8交換，交換結(jié)束該真空 室2連接的真空鎖5關(guān)閉，該鍍膜室2開始鍍膜。真空預(yù)備室1充空 氣，重復(fù)④動(dòng)作。
⑧ 第四個(gè)鍍膜室2對(duì)裝入的工件8鍍膜，鍍膜完畢通過變軌裝 置實(shí)現(xiàn)鍍膜室內(nèi)的軌道3與真空預(yù)備室內(nèi)的軌道3的連接。鍍膜室內(nèi) 的工件8與真空預(yù)備室1內(nèi)的工件8交換，交換結(jié)束該鍍膜室連接的 真空鎖5關(guān)閉，該鍍膜室開始鍍膜。真空預(yù)備室l充空氣，重復(fù)④動(dòng) 作。
◎第一個(gè)鍍膜室鍍膜完畢，重復(fù)③的動(dòng)作，然后依次重復(fù)③一 ⑨所有動(dòng)作，進(jìn)行節(jié)拍式的生產(chǎn)。
根據(jù)以上的發(fā)明，在兩個(gè)鍍膜室基礎(chǔ)上，每增加一個(gè)鍍膜室效率 就提高n/2 (n表示鍍膜室的數(shù)量，2表示基礎(chǔ)設(shè)備鍍膜室的數(shù)量)， 如果配套的附屬設(shè)施允許，可以將鍍膜室增加到6、 8甚至更多。
權(quán)利要求
1. 一種多室真空鍍膜裝置，其特征在于包括鍍膜室、真空預(yù)備室和工件架車，真空預(yù)備室的端部至少連接有一個(gè)鍍膜室，在每個(gè)鍍膜室內(nèi)都設(shè)有環(huán)形軌道，用于工件架車在鍍膜室內(nèi)旋轉(zhuǎn)進(jìn)行鍍膜作業(yè)；在真空預(yù)備室內(nèi)并排設(shè)有兩條工件架車轉(zhuǎn)運(yùn)軌道，兩條工件架車轉(zhuǎn)運(yùn)軌道的端部通過軌道切換機(jī)構(gòu)分別與每一個(gè)鍍膜室內(nèi)的環(huán)形軌道對(duì)接；真空預(yù)備室與每個(gè)鍍膜室之間都設(shè)有真空鎖，真空預(yù)備室和每個(gè)鍍膜室都與抽真空系統(tǒng)相連接，實(shí)現(xiàn)真空預(yù)備室與每個(gè)鍍膜室之間在真空狀態(tài)下進(jìn)行工件架車的傳輸。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙端多室真空鍍膜裝置，其特征在于在 真空預(yù)備室的邊側(cè)部設(shè)有工件裝卸臺(tái)，工件裝卸臺(tái)設(shè)有"U"形 傳輸軌道，"U"形傳輸軌道的兩端與真空預(yù)備室內(nèi)兩條工件架車 轉(zhuǎn)運(yùn)軌道橫向相交，在相交處設(shè)有變軌裝置和軌道槽，真空預(yù)備 室與工件裝卸臺(tái)之間設(shè)有門閥。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙端多室真空鍍膜裝置，其特征在于所 述的鍍膜室對(duì)稱的設(shè)置在真空預(yù)備室的左右兩端。
全文摘要
一種雙端多室真空鍍膜裝置，包括鍍膜室、真空預(yù)備室和工件架車，在真空預(yù)備室的邊側(cè)部設(shè)有工件裝卸臺(tái)，真空預(yù)備室內(nèi)設(shè)有兩條工件架車轉(zhuǎn)運(yùn)軌道，在真空預(yù)備室的左右兩端各連接有至少一個(gè)鍍膜室，在所述的鍍膜室內(nèi)設(shè)有環(huán)形軌道，環(huán)形軌道分別通過軌道切換機(jī)構(gòu)與工件架車轉(zhuǎn)運(yùn)軌道對(duì)接，工件裝卸臺(tái)設(shè)有“U”形傳輸軌道，“U”形傳輸軌道的兩端與兩條工件架車轉(zhuǎn)運(yùn)軌道橫向相交，在相交處設(shè)有變軌裝置和軌道槽，真空預(yù)備室與鍍膜室和工件裝卸臺(tái)之間分別設(shè)有真空鎖和門閥，真空預(yù)備室和鍍膜室都與抽真空系統(tǒng)相連接。借助中間的真空預(yù)備室，可實(shí)現(xiàn)單機(jī)節(jié)拍式真空鍍膜。在生產(chǎn)過程中鍍膜室不暴露大氣，縮短了生產(chǎn)周期，提高了生產(chǎn)效率，提高了膜層質(zhì)量。
文檔編號(hào)C23C14/22GK101418431SQ20081015566
公開日2009年4月29日 申請(qǐng)日期2008年10月10日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月10日
發(fā)明者張明富, 群 朱, 王萬忠 申請(qǐng)人:江蘇太陽雨太陽能有限公司