專利名稱：一種內(nèi)傳輸轉(zhuǎn)軸單元快拆結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種快速拆卸的組裝結(jié)構(gòu)，特別指一種應(yīng)用于真空賊鍍的 腔體轉(zhuǎn)軸單元的快拆結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
真空濺鍍技術(shù)是真空薄膜制程中應(yīng)用層面相當廣泛的 一項重要技術(shù)，近年 來己逐漸取代噴導電漆或電解電鍍等方式，大量應(yīng)用在光電、通信及半導體等 產(chǎn)業(yè)，成為相當重要的表面處理技術(shù)。
參閱圖1所示， 一般真空濺鍍技術(shù)，利用磁控賊鍍陰極板11,將離子化
的氣體分子13以高速轟擊激發(fā)鍍材18,使鍍膜分子12均勻散布在真空腔體 IO內(nèi)各個角落，再藉由電位差高速濺射在被鍍物19表面上，進而達到鍍膜的 目的。
而因應(yīng)真空濺鍍制程應(yīng)用層面日廣，為增加相關(guān)鍍膜產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)竟爭力， 目前現(xiàn)有大部分賊鍍設(shè)備為連續(xù)式多腔體型式，以取代傳統(tǒng)批次式或晶圓式生 產(chǎn)方式。如圖2所示，連續(xù)式傳輸作業(yè)流程如可概分為進料區(qū)、賊鍍區(qū) 及出料區(qū)三個區(qū)域。每一個區(qū)域都至少由一真空腔體10組成，再利用傳輸機 構(gòu)將被鍍物19輸送至不同區(qū)域的真空腔體10內(nèi)進行各項程序作業(yè)。而一般連 續(xù)式真空濺鍍設(shè)備其自動化傳輸機構(gòu)皆利用極限開關(guān)及摩擦原理來完成不同 腔體之間傳輸順序。
請再參閱圖3，每個腔體分別具有一部伺服馬達13帶動真空腔體10底部 前端的第一個輪軸14，再藉由鏈條17帶動后半部的輪軸14，托盤12則置于 輪軸14兩側(cè)的膠環(huán)16上方，藉由托盤12與膠環(huán)16之間摩擦力的作動下，將 托盤12帶動至下一個真空腔體10,達成連續(xù)式的作業(yè)目的。
在進行濺鍍作業(yè)期間，真空腔體10某些內(nèi)部污染物是無法避免的，如被 轟擊激發(fā)的鍍膜分子12均勻散布在真空腔體10四周， 一部分成功濺鍍在被鍍物19表面而達到鍍膜的目的，而某部份散布在其它角落的鍍膜分子12,便會 逐漸沉積在真空腔體IO底部及傳輸機構(gòu)如輪軸14、鏈條17表面等。 一段時 間下來，真空腔體10內(nèi)壁會殘留鍍膜分子12沉積物，此沉積物揮發(fā)將造成真 空腔體內(nèi)部污染，為維持鍍膜高質(zhì)量要求，濺鍍設(shè)備必須定時停機保養(yǎng)，拆卸 真空腔體10內(nèi)部零件，刮除拋光真空腔體10內(nèi)壁表面鍍膜分子12沉積物后 ,方可重新組合真空腔體IO再次使用。
然而，如圖3所示， 一般組設(shè)于該真空腔體10內(nèi)的輪軸14，其二端結(jié)合 于二相對的輪軸固定座15間時，將該輪軸14桿體端穿過4侖軸固定座15對應(yīng) 圓孔后，再利用螺鎖等方式固定。故當有某一輪軸14損壞須更換，或使用者 欲清除沉積物時，必須將輪軸固定座15自其位置拆卸，方能將輪軸14取出作 清除作業(yè)，而無法就單一的輪軸14進行維修，或折卸的清潔工作，大大降低 設(shè)備的稼動率及使用率，而有加以改良的必要。

實用新型內(nèi)容
本實用新型的主要目的，在于解決上述的問題而提供一種內(nèi)傳輸轉(zhuǎn)軸單元 快拆結(jié)構(gòu)，其令真空濺鍍用于輸送載盤的轉(zhuǎn)軸單元，能具有快速拆卸、裝設(shè)于 框架上的特點。
為實現(xiàn)上述目的，本實用新型的內(nèi)傳輸轉(zhuǎn)軸單元快拆結(jié)構(gòu)應(yīng)用于真空濺鍍 的設(shè)備，由一腔體，以及組設(shè)于該腔體內(nèi)的框架、多個轉(zhuǎn)軸單元、 一載盤、一 伺服馬達，以及二導引單元等構(gòu)件組成。將這些轉(zhuǎn)軸單元等間隔樞組于該框架 上，且該框架供這些轉(zhuǎn)軸單元樞固的位置，形成多個開放的容置槽，并于相鄰 容置槽的一外側(cè)邊緣成型一較大圓徑的定位槽，且各該容置槽側(cè)邊適處另形成 多個供螺絲穿設(shè)的通孔。而各該轉(zhuǎn)軸單元跨置于該框架多個呈橫向平行的容置 槽上，其上除等距套設(shè)有多個滾輪外，并于對應(yīng)各該容置槽適當處設(shè)有多個軸 承座，各該軸承座內(nèi)緣可供軸承置設(shè)，外部一外側(cè)突設(shè)有一凸軸部，以及二呈 相對的螺孔部。當轉(zhuǎn)軸單元置設(shè)于這些容置槽內(nèi)時，各該凸軸部恰可容置于對 應(yīng)的定位槽內(nèi)，再二螺絲分別穿過該通后，螺鎖于該軸承座的鎖孔部，以固定 該轉(zhuǎn)軸單元，達到^f青準且穩(wěn)固定位的組裝效果。其次，該載盤^L置于這些轉(zhuǎn)軸 單元的滾輪上，且這些轉(zhuǎn)軸單元彼此之間，可通過多個皮帶，該伺服馬達作傳動連結(jié)。而該二導引單元設(shè)于該腔體內(nèi)對應(yīng)載盤位置的二側(cè)，各該導引單元由 二導輪座、多個導輪與樞軸，以及一蓋板等構(gòu)件組成。各該導輪座上形成有多 個輪孔，且各該輪孔對應(yīng)該載盤的內(nèi)側(cè)剖設(shè)一缺口，當各該導輪利用樞軸樞組 于輪孔內(nèi)時，這些導輪的輪面凸出于該缺口，再通過該蓋板蓋設(shè)于該二導輪座 上端面而固定。以當該載盤在這些滾輪上被輸送位移時，可通過該二導引單元 導正其輸送的路徑，避免產(chǎn)生不當?shù)钠魄樾巍?br>

圖1:真空濺鍍原理示意圖。 圖2:現(xiàn)有連續(xù)式濺渡作業(yè)流程示意圖。 圖3:現(xiàn)有真空腔體立體分解圖。 圖4:本實用新型的立體分解圖。 圖5:本實用新型局部;^文大的立體分解圖。 圖6:實用新型導引單元應(yīng)用的筒易示意圖。 其中，附圖標記
腔體20框架30
容置槽31定位槽32
通孔33轉(zhuǎn)軸單元40
滾輪41軸承座42
螺孔部421凸軸部422
軸承43載盤50
伺服馬達60傳動軸61
導引單元70導輪座71
輪孔711缺口 712
導輪72樞軸73
蓋板74螺絲8具體實施方式
為使能進一步了解本實用新型的結(jié)構(gòu)設(shè)計及技術(shù)，謹配合圖式再予說明于后
參閱圖4~圖6所示，本實用新型的內(nèi)傳輸轉(zhuǎn)軸單元快拆結(jié)構(gòu)，由構(gòu)成真 空'減鍍設(shè)備的腔體20、框架30、多個轉(zhuǎn)軸單元40、 一載盤50、伺服馬達60 ，以及二導引單元70等構(gòu)件組成，其中
該腔體20內(nèi)緣中空，可供該框架30、轉(zhuǎn)軸單元40、載盤50、伺服馬達 60，以及導引單元70等構(gòu)件容置。緣于此腔體20乃一現(xiàn)有結(jié)構(gòu)，不再贅述。
該框架30為一矩形框架，其二側(cè)及中間的框板上，等間隔形成有成多個 相連通且呈開放的容置槽31及定位槽32，且令各該定位槽32略大于容置槽 31。各該容置槽31側(cè)邊適處，形成多個通孔33，供鎖固用的螺絲81穿設(shè)。
這些轉(zhuǎn)軸單元40跨置于該框架30的多個呈橫向平行的容置槽31上。各 該轉(zhuǎn)軸單元40外緣，除等距套設(shè)有多個滾專侖41外，并于對應(yīng)各該容置槽31 適當處設(shè)有多個軸承座42。各該軸承座42內(nèi)緣可供軸承43置設(shè)，并于二旁 側(cè)形成有對應(yīng)這些通孔33的螺孔部421,而軸向?qū)?yīng)該定位槽32的外側(cè)面， 則突設(shè)有一凸軸部422。當各該轉(zhuǎn)軸單元40分別置設(shè)于這些橫向平行的容置 槽31內(nèi)時，各該凸軸部422恰可容置于對應(yīng)定位槽32內(nèi)，達到精準且穩(wěn)固的 定位。再令各該螺絲81穿設(shè)通孔33后螺鎖于螺孔部421,以固定該轉(zhuǎn)軸單元 40。
該載盤50為矩形板體，放置于這些轉(zhuǎn)軸單元40的滾輪41上。而該伺服 馬達60固設(shè)于腔體IO置放的腳架(圖中未顯示)側(cè)邊，且其傳動軸61與中 間位置的轉(zhuǎn)軸單元40結(jié)合。同時這些轉(zhuǎn)軸單元40彼此之間，可通過多個皮帶 (圖中未顯示)作傳動連結(jié)，當該伺服馬達60運轉(zhuǎn)時，可帶動這些轉(zhuǎn)軸單元 40旋轉(zhuǎn)，并藉由這些轉(zhuǎn)軸單元40同步帶動該載盤50輸送位移。由于該載盤 50及伺服馬達60乃現(xiàn)有結(jié)構(gòu)，不再贅述。
該二導引單元70相對固設(shè)于該載盤50位于腔體10內(nèi)外側(cè)鄰接處。各該 導引單元70由二呈直接相隔的導輪座71、多個導輪72與樞軸73,以及一蓋 板74等構(gòu)件組成。其中各該導輪座71上形成有多個輪孔711，且各該輪孔711 對應(yīng)該載盤50的內(nèi)側(cè)剖設(shè)一缺口 712,當各該導輪72利用樞軸73樞組于輪 孔711內(nèi)時，這些導專侖72的4侖面凸出于該缺口 712夕卜。而該蓋板74蓋設(shè)于該 二導輪座71上端面，用以固定樞組的導輪72。當該載盤50在這些滾輪41上
6被輸送位移時，可通過該二導引單元70的導輪72與載盤50的側(cè)邊抵觸，而 導正其輸送的路徑，避免輸送時產(chǎn)生不當或過大偏移情形。
據(jù)此，通過上述的構(gòu)件組成，利用這些樞轉(zhuǎn)單元40可分別快速組裝及拆 卸于框架30的結(jié)構(gòu)設(shè)計，不僅提升機構(gòu)零件清潔或維修時拆卸或組裝的效率 ，亦能確保軸承43裝設(shè)的穩(wěn)固性。同時通過該二導引單元70的設(shè)置，更能確 保載盤50輸送位移的平穩(wěn)性。
以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的 普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以作出多個改進 和潤飾，這些改進和潤飾也應(yīng)^L為本實用新型的保護范圍。
權(quán)利要求1. 一種內(nèi)傳輸轉(zhuǎn)軸單元快拆結(jié)構(gòu)，包含應(yīng)用于真空濺鍍的框架，以及多個樞固于該框架上的轉(zhuǎn)軸單元，其特征在于該框架供轉(zhuǎn)軸單元樞固的位置形成多個開放的容置槽，且各該容置槽側(cè)邊形成有多個供螺絲穿設(shè)的通孔；轉(zhuǎn)軸單元跨置于該框架的多個呈橫向平行的容置槽上，容置槽上除等距套設(shè)有多個滾輪外，并在對應(yīng)各該容置槽的適當位置設(shè)有多個軸承座，各該軸承座內(nèi)緣供設(shè)置軸承，外部則形成有對應(yīng)各該通孔的用于供各該螺絲鎖固，以固定該轉(zhuǎn)軸單元的螺孔部。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的內(nèi)傳輸轉(zhuǎn)軸單元快拆結(jié)構(gòu)，其特征在于，各該容置槽形成于框架上時，其相鄰的一外側(cè)邊^(qū)^另成型有一定位槽，同時各該軸承座相對應(yīng)的外側(cè)則突設(shè)有一凸軸部，轉(zhuǎn)軸單元置設(shè)于這些容置槽內(nèi)時，各該凸軸部容置于對應(yīng)的定位槽內(nèi)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的內(nèi)傳輸轉(zhuǎn)軸單元快拆結(jié)構(gòu)，其特征在于，該框架及多個轉(zhuǎn)軸單元組設(shè)于一腔體內(nèi)，且該腔體內(nèi)對應(yīng)該載盤二側(cè)邊的適當位置另設(shè)有二導引單元，各該導引單元由二導輪座、多個導輪與樞軸，以及一蓋板組成，各該導輪座上形成有多個輪孔，且各該輪孔對應(yīng)該載盤的內(nèi)側(cè)剖設(shè)一缺口，各該導輪利用樞軸樞組于輪孔內(nèi)時，導輪的輪面凸出于該缺口，該蓋板蓋設(shè)于該二導輪座上端面。
專利摘要本實用新型公開了一種內(nèi)傳輸轉(zhuǎn)軸單元快拆結(jié)構(gòu)，包含應(yīng)用于真空濺鍍的框架，以及多個樞固于該框架上的轉(zhuǎn)軸單元，該框架供轉(zhuǎn)軸單元樞固的位置形成多個開放的容置槽，且各該容置槽側(cè)邊形成有多個供螺絲穿設(shè)的通孔；轉(zhuǎn)軸單元跨置于該框架的多個呈橫向平行的容置槽上，容置槽上除等距套設(shè)有多個滾輪外，并在對應(yīng)各該容置槽的適當位置設(shè)有多個軸承座，各該軸承座內(nèi)緣供設(shè)置軸承，外部則形成有對應(yīng)各該通孔的用于供各該螺絲鎖固，以固定該轉(zhuǎn)軸單元的螺孔部。本實用新型不僅方便各該轉(zhuǎn)軸單元的組裝及拆卸，并能確保軸承裝設(shè)的穩(wěn)固。
文檔編號C23C14/34GK201272828SQ200820129480
公開日2009年7月15日 申請日期2008年8月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月18日
發(fā)明者黎瑞海 申請人:凌嘉科技股份有限公司