專利名稱：一種快拆式內(nèi)傳輸框架結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種框架的快拆結(jié)構(gòu)，特別指 一種應(yīng)用于真空濺鍍腔體 內(nèi)，傳輸用框架的快拆式組裝結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
真空濺鍍技術(shù)是真空薄膜制程中應(yīng)用層面相當(dāng)廣泛的 一項(xiàng)重要技術(shù)，近年 來(lái)己逐漸取代噴導(dǎo)電漆或電解電鍍等方式，大量應(yīng)用在光電、通信及半導(dǎo)體等 產(chǎn)業(yè)，成為相當(dāng)重要的表面處理技術(shù)。
請(qǐng)參閱圖l所示， 一般真空濺鍍技術(shù)，利用磁控濺鍍陰極板l 1，將離子
化的氣體分子1 3以高速轟擊激發(fā)鍍材1 8 ，使鍍膜分子1 2均勻散布在真空 腔體l 0內(nèi)各個(gè)角落，再通過(guò)電位差高速濺射在被鍍物1 9表面上，進(jìn)而達(dá)到 鍍膜的目的。
而因應(yīng)真空'踐鍍制程應(yīng)用層面日廣，為增加相關(guān)鍍膜產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)竟?fàn)幜Γ?目前大部分濺鍍i殳備為連續(xù)式多腔體型式，以取代傳統(tǒng)批次式或晶圓式生產(chǎn)方
式。如圖2所示，連續(xù)式傳輸作業(yè)流程如可概分為進(jìn)料區(qū)、濺鍍區(qū)及出料區(qū)三
個(gè)區(qū)域。每一個(gè)區(qū)域都至少由一真空腔體1 0組成，再利用傳輸機(jī)構(gòu)將被鍍物 1 9輸送至不同區(qū)域的真空腔體1 0內(nèi)進(jìn)行各項(xiàng)程序作業(yè)。而一般連續(xù)式真空
濺鍍?cè)O(shè)備其自動(dòng)化傳輸機(jī)構(gòu)皆利用極限開(kāi)關(guān)及摩擦原理來(lái)完成不同腔體之間
傳輸順序。
請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D3，每個(gè)腔體分別具有一部伺服馬達(dá)l 3帶動(dòng)真空腔體1 0底 部前端的第一個(gè)輪軸1 4 ，再通過(guò)鏈條1 7帶動(dòng)后半部的輪軸1 4 ，托盤(pán)1 2 則置于輪軸1 4兩側(cè)的膠環(huán)1 6上方，通過(guò)托盤(pán)1 2與膠環(huán)1 6之間摩擦力的 作用下，將托盤(pán)l 2帶動(dòng)至下一個(gè)真空腔體1 0，而能連續(xù)進(jìn)行真空濺鍍的各 項(xiàng)作業(yè)程序。
上述結(jié)構(gòu)中，輪軸l 4兩端樞組固定于兩輪軸固定座1 5之間，而一般輪軸固定座l 5的長(zhǎng)度，對(duì)應(yīng)真空腔體l 0內(nèi)的空間大小為一體式的結(jié)構(gòu)。當(dāng)傳輸?shù)臉?gòu)件如輪軸1 4 、鏈條1 7或輪軸固定座1 5等對(duì)象表面殘留有鍍膜分子1 2沉積物時(shí)，為維持44膜高質(zhì)量要求，濺鍍?cè)O(shè)備必須定時(shí)停機(jī)保養(yǎng)，拆卸真空腔體1 0內(nèi)部零件，刮除其表面鍍膜分子1 2沉積物后，方可重新組合真空腔體1 0再次使用。
然而，隨著'減鍍?cè)O(shè)備機(jī)型、款式或應(yīng)用需求的不同，或?yàn)樵黾咏Y(jié)構(gòu)強(qiáng)度，真空腔體l O外層機(jī)殼的置入口上方中間適處，會(huì)設(shè)計(jì)一道;f黃板，由于該橫板的存在當(dāng)真空腔體l0內(nèi)部的輪軸14或輪軸固定座15等構(gòu)件欲取出時(shí)，則必須將該腔體外殼折卸后，方能將內(nèi)部零組件取出，不僅不便且費(fèi)時(shí)費(fèi)力，而需進(jìn)一步加以改善。

實(shí)用新型內(nèi)容
為了方便取出賊鍍?cè)O(shè)備的內(nèi)部零件，本實(shí)用新型提供了 一種快拆式內(nèi)傳輸框架結(jié)構(gòu)，包含用于真空濺鍍的框架，
所述框架由若干副框架組成，各副框架相組接的外端各設(shè)有一對(duì)接板，各對(duì)接板上形成有定位部，所述副框架通過(guò)相對(duì)接的定位部結(jié)合為一體。
成型于所述對(duì)接板上的定位部為螺紋孔結(jié)構(gòu)，兩副框架通過(guò)螺絲定位件同時(shí)鎖設(shè)于兩相對(duì)接的定位部結(jié)合。
所述各副框架兩側(cè)底邊形成有若千螺紋孔，而所述腔體底部對(duì)應(yīng)組接后的框架四角落處則凸設(shè)有鎖置座，所述框架通過(guò)若干定位調(diào)整單元分別穿套所述螺紋孔后，再鎖設(shè)于對(duì)應(yīng)的鎖置座處固定。
所述各定位調(diào)整單元由一調(diào)整螺絲、螺帽及定位螺絲組成，所述調(diào)整螺絲內(nèi)緣呈貫通結(jié)構(gòu)，上端形成有六角孔，螺組于所述框架的螺紋孔處，所述螺帽螺設(shè)于作完框架的水平調(diào)整后的所述調(diào)整螺絲上，而用于固定所述框架的所述定位螺絲由所述螺帽鎖固后的所述調(diào)整螺絲內(nèi)緣往外穿出而螺組于所述腔體的鎖置座內(nèi)。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果
利用本實(shí)用新型框架呈分段式的快拆結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，不僅能方便且迅速于該腔體內(nèi)作組裝或拆卸之作業(yè)。同時(shí)利用該定位調(diào)整單元以四點(diǎn)定位鎖固方式，更能增加框架水平調(diào)整的簡(jiǎn)便性與穩(wěn)固性。具有分段快速拆卸及組裝的特點(diǎn)，提高了零件維修或清潔效率。


圖1現(xiàn)有為真空濺鍍?cè)硎疽鈭D。
圖2為現(xiàn)有連續(xù)式濺渡作業(yè)流程示意圖。
圖3為現(xiàn)有真空腔體立體分解圖。
圖4為本實(shí)用新型框架的立體分解圖。圖5為本實(shí)用新型的另一立體分解圖。圖6為本實(shí)用新型的組合剖視圖。其中，
腔體2 0框架3 0螺紋孔3 2定位部3 3 1調(diào)整螺絲41螺帽4 2定位件5 1
鎖置座2 1副框架3 1 、 3 1對(duì)接板3 3定位調(diào)整單元4 0六角孔411定位螺絲4 具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
參閱圖4~圖6所示，本實(shí)用新型由應(yīng)用于真空濺鍍作業(yè)的腔體2 0、框
架3 0,以及若干定位調(diào)整單元4 0等構(gòu)件組成，其中
該腔體2 0內(nèi)緣中空，其底部特定的四角隅位置凸設(shè)有鎖置座2 1 ,用以
供該定位調(diào)整單元4 0鎖固該框架3 0。由于腔體2 0為一般現(xiàn)有結(jié)構(gòu)，不再贅述。
該框架3 0為一對(duì)應(yīng)該腔體2 0的矩形框架，由若干副框架3 1、 3 1，組成，本實(shí)用新型以兩副框架3 1、 3 1，為實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。各副框架3 1、3 1'為四方形框體，其兩側(cè)底邊形成有若干螺紋孔3 2,而相組接的外端
5則各設(shè)有一對(duì)接板3 3 ，并于各對(duì)接板3 3上形成有若干定位部3 3 1。在本 實(shí)用新型的實(shí)施例，各定位部3 3 l為螺紋孔，當(dāng)兩副框架3 1、 3 1，的對(duì) 接板3 3相對(duì)靠接時(shí)，可利用螺絲等定位件5 l鎖設(shè)兩相對(duì)接的定位部3 3 1 內(nèi)部，將兩副框架3 1、 3 1'結(jié)合為一體。
定位調(diào)整單元4 0用以鎖固并調(diào)整框架3 0，各定位調(diào)整單元4 0由一調(diào) 整螺絲4 1 、螺帽4 2及定位螺絲4 3等組成。調(diào)整螺絲4 1內(nèi)緣呈貫通結(jié)構(gòu) ,上端形成有六角孔4 1 1，可螺組于該框架3 0的螺紋孔3 2處。螺帽則在 調(diào)整螺絲4 l作完框架3 O的水平調(diào)整后，螺設(shè)于該調(diào)整螺絲4 l上，使框架
3 O保持穩(wěn)定的水平狀態(tài)。而定位螺絲4 3則在螺帽4 2鎖緊后，由調(diào)整螺絲
4 1內(nèi)緣往外穿出，使其螺組于腔體2 0的鎖置座2 1內(nèi)，用以固定框架3 0
因此，通過(guò)上述構(gòu)件組成，利用框架3 O呈分段式的快拆結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可方 便且迅速于該腔體2 0內(nèi)作組裝或拆卸的作業(yè)。同時(shí)利用定位調(diào)整單元4 0以 四點(diǎn)定位鎖固方式，更能增加框架水平調(diào)整的簡(jiǎn)便性與穩(wěn)固性。
以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的 普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以作出若干改進(jìn) 和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1. 一種快拆式內(nèi)傳輸框架結(jié)構(gòu)，包含用于真空濺鍍的框架，其特征在于所述框架由若干副框架組成，各副框架相組接的外端各設(shè)有一對(duì)接板，各對(duì)接板上形成有定位部，所述副框架通過(guò)相對(duì)接的定位部結(jié)合為一體。
2. 如權(quán)利要求1所述的快拆式內(nèi)傳輸框架結(jié)構(gòu)，其特征在于，成型于所 述對(duì)接板上的定位部為螺紋孔結(jié)構(gòu)，兩副框架通過(guò)螺絲定位件同時(shí)鎖設(shè)于兩相 對(duì)接的定位部結(jié)合。
3. 如權(quán)利要求1所述的快拆式內(nèi)傳輸框架結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述各副 框架兩側(cè)底邊形成有若干螺紋孔，而所述腔體底部對(duì)應(yīng)組接后的框架四角落處 則凸設(shè) 有鎖置座，所述框架通過(guò)若干定位調(diào)整單元分別穿套所述螺紋孔后，再 鎖設(shè)于對(duì)應(yīng)的鎖置座處固定。
4. 如權(quán)利要求3所述的快拆式內(nèi)傳輸框架結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述各定 位調(diào)整單元由一調(diào)整螺絲、螺帽及定位螺絲組成，所述調(diào)整螺絲內(nèi)緣呈貫通結(jié) 構(gòu)，上端形成有六角孔，螺組于所述框架的螺紋孔處，所述螺帽螺設(shè)于作完框 架的水平調(diào)整后的所述調(diào)整螺絲上，而用于固定所述框架的所述定位螺絲由所 述螺帽鎖固后的所述調(diào)整螺絲內(nèi)緣往外穿出而螺組于所述腔體的鎖置座內(nèi)。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種快拆式內(nèi)傳輸框架結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)在真空濺鍍的腔體內(nèi)設(shè)置了一個(gè)框架，該框架由若干副框架組成，各副框架的組接處外端各設(shè)有一對(duì)接板，并于各該對(duì)接板上形成有定位部，該定位部為螺紋孔結(jié)構(gòu)，可利用一如螺絲等定位件鎖設(shè)于相對(duì)接合的二定位部處，將副框架結(jié)合為一體，因此可方便框架于腔體內(nèi)作組裝或拆卸的作業(yè)。
文檔編號(hào)C23C14/34GK201272830SQ20082012948
公開(kāi)日2009年7月15日 申請(qǐng)日期2008年8月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月18日
發(fā)明者黎瑞海 申請(qǐng)人:凌嘉科技股份有限公司