專利名稱：用于濺鍍設(shè)備更換靶材的輔助裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種用于濺鍍設(shè)備更換靶材的輔助裝置。
背景技術(shù)：
濺鍍法為物理氣相沉積法一種,于金屬材料及非金屬材料均可廣泛應(yīng)用，自
1860年開始，賊鍍沉積技術(shù)即已被廣泛的應(yīng)用，特別于半導(dǎo)體領(lǐng)域上；其原理 是在真空中利用具有動能的粒子撞擊靶材，將靶材表面的物質(zhì)打出，以附著在 欲鍍物品上形成薄膜；通常濺鍍沉積技術(shù)是將靶材(Target)裝載于陰極 (Cathode)上，而將待鍍物裝載于陽極(Anode)上，由于濺鍍能擊出靶材原 子變成氣相并析鍍于欲鍍物品上，幾乎任何材料均可析鍍上，且濺鍍沉積技術(shù) 具有無污染的特征，故得以廣泛應(yīng)用；濺鍍沉積而成的薄膜優(yōu)劣包含整個沉積 過程中的工作壓力、電流、電壓于離子轟擊率的高低，通常越高的轟擊率所代 表的靶材使用率也越低。
更換靶材是為濺鍍沉積技術(shù)必然的作業(yè)程序，現(xiàn)有賊鍍設(shè)備在更換耙材時, 均是由作業(yè)人員以手動方式將鎖固于濺鍍靶源上的連接元件松脫后，配合陰極 本體的尺寸及重量，由 一個及多個作業(yè)人員及人力搬運(yùn)的方式提握置設(shè)于陰極 本體上的提把，將陰極本體搬離濺鍍設(shè)備的真空腔體外進(jìn)行翻轉(zhuǎn)，使輩巴材翻轉(zhuǎn) 至陰極本體上方進(jìn)行更換；隨著濺鍍沉積技術(shù)應(yīng)用范圍更加廣泛，其陰極本體 尺寸也隨之增大，故增加了更換靶材時的困難度,必須通過多人合力合作，謹(jǐn)慎 將復(fù)數(shù)組陰極本體進(jìn)行搬運(yùn)，避免碰撞損傷濺鍍靶源，方能順利進(jìn)行耙材的更 換，利用現(xiàn)有人力搬運(yùn)技術(shù)更換靶材著實增加靶材更換的困難度，不但浪費(fèi)時 間，而且耗費(fèi)作業(yè)人力，實于不便。

實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的在于提供一種用于濺鍍設(shè)備更換靶材的輔助裝置，以克 服現(xiàn)有技術(shù)利用人力搬運(yùn)濺鍍靶源以進(jìn)行耙材更換的缺點。
4實現(xiàn)本實用新型的目的技術(shù)方案如下
一種用于濺鍍設(shè)備更換靶材的輔助裝置，包括濺鍍靶源，該濺鍍耙源主要 包括一疊置的陰4及本體及靶材，陰極本體及靶材疊置成板狀且該陰極本體疊置 于革巴材之上；所述輔助裝置還包括一旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)設(shè)于'踐鍍耙源的側(cè) 邊中段位置，該旋轉(zhuǎn)才幾構(gòu)設(shè)一驅(qū)動機(jī)構(gòu)，該驅(qū)動4幾構(gòu)連接一軸桿，該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) 通過軸桿與陰極本體連接，該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)可驅(qū)動濺鍍靶源旋轉(zhuǎn)其角度至更換靶材 過當(dāng)位置，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)下方設(shè)一基架，基架承載該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，該基架連接一桂具， 該掛具利用連接元件活動埋設(shè)結(jié)合于陰極本體； 一伸縮機(jī)構(gòu)，該伸縮機(jī)構(gòu)與基 架通過連接元件連接，該伸縮機(jī)構(gòu)主要包括一壓缸，壓缸通過連通管連通一壓 棒，該壓缸是氣壓缸或油壓缸，壓棒是氣壓棒或油壓棒，該伸縮機(jī)構(gòu)制動基架 以及旋轉(zhuǎn)才幾構(gòu)伸縮以間接連動濺鍍靶源形成升降； 一輔助伸縮才幾構(gòu)，該輔助伸 縮機(jī)構(gòu)設(shè)于'減鍍靶源的一側(cè)邊并對應(yīng)該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的位置，該輔助伸縮機(jī)構(gòu)主要 包括一壓缸，壓缸通過連通管連通一壓棒，該壓缸是氣壓缸或油壓缸，壓棒是 氣壓棒或油壓棒，輔助伸縮機(jī)構(gòu)與伸縮機(jī)構(gòu)對'減鍍靶源二側(cè)形成伸縮的平衡， 其中該輔助伸縮才幾構(gòu)通過一基架形成支持，該基架頂部設(shè)一連接元件，且該基 架設(shè)一連接桿串聯(lián)連接元件與一掛具，該掛具活動結(jié)合于陰極本體，使陰極本 體與桂具活動拆裝以輔助伸縮機(jī)構(gòu)制動基架伸縮，且連動濺鍍靶源形成升降。
本實用新型的有益效果為不需受限于以人力搬運(yùn)濺鍍靶源的考慮，實用 范圍極為廣泛，且該輔助裝置的組成構(gòu)件皆為輕巧及具機(jī)動性，維修、更換組 件時可就部分組件進(jìn)行更換，組裝方便、維修容易，對于提高產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)效能 及增加產(chǎn)業(yè)竟?fàn)幜哂?f艮大幫助；本實用新型可大幅提升自動化的生產(chǎn)效能， 同時于生產(chǎn)制程中有效降低因失誤而造成濺鍍靶源的碰撞、損傷，增加靶材更 換的便易性，可以提供節(jié)省人力搬運(yùn)濺鍍靶源，可將靶材更換角度至更換靶材 的適當(dāng)位置；通過伸縮機(jī)構(gòu)制動基架以及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)伸縮，從而間接連動濺鍍靶 源形成升降，而令靶材隨賊鍍靶源伸縮而可提供一符合人因工學(xué)的施工高度；
成伸縮的平衡。附困說明
以下結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步說明


圖1是本實用新型的用于濺鍍設(shè)備更換靶材的輔助裝置的立體圖2是本實用新型的用于濺鍍設(shè)備更換靶材的輔助裝置的局部分解圖3是本實用新型的用于'踐鍍設(shè)備更換靶材的輔助裝置工作狀態(tài)圖之一；
圖4是本實用新型的用于濺鍍設(shè)備更換靶材的輔助裝置工作狀態(tài)圖之一。
圖中1、濺鍍靶源；11、陰極本體；12、靶材；2、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；21、驅(qū)動 機(jī)構(gòu)；211、軸桿；22、基架；221、掛具；222、連接元件；3、伸縮機(jī)構(gòu)；31、 壓缸；32、壓棒；33、連通管；34、連接元件；4、輔助伸縮機(jī)構(gòu)；41、基架； 42、連接元件；43、掛具；44、連接桿；45、壓缸；46、壓棒。
具體實施方式
、
如
圖1-2所示，本實用新型實施例所述的用于濺鍍設(shè)備更換靶材的輔助裝 置，主要包括
一濺鍍靶源1:該'減鍍靶源1主要包括一疊置的陰極本體11及靶材12,所 述陰極本體11及靶材12優(yōu)選疊置成板狀，且該陰極本體11以慣常狀態(tài)疊置于 靶材12之上；
一旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2:該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2設(shè)于濺鍍靶源1的側(cè)邊中段位置，以對于施 力有一均衡且旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2設(shè)一驅(qū)動機(jī)構(gòu)21 ，該驅(qū)動機(jī)構(gòu)21優(yōu)選為一伺服馬達(dá)， 該驅(qū)動機(jī)構(gòu)21連接一軸桿211,該:旋轉(zhuǎn)才幾構(gòu)2通過軸桿211與陰極本體11連 接，以使旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2可驅(qū)動濺鍍靶源1旋轉(zhuǎn)其角度；該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2下方設(shè)一基 架22,通過該基架22承載旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2，該基架22可以連接一掛具221，該掛 具221可以利用連接元件222活動埋設(shè)結(jié)合于陰極本體11，以使陰極本體11 與掛具221可以進(jìn)行活動拆裝,從而間接令陰極本體11與靶材12與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2形成活動拆裝；
一伸縮機(jī)構(gòu)3:該伸縮機(jī)構(gòu)3與基架22通過連接元件34連接，通過該伸 縮機(jī)構(gòu)3制動基架22以及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2伸縮，間接連動濺鍍耙源1形成升降，該 伸縮才幾構(gòu)3主要包4舌一壓缸31，通過連通管33連通一壓纟奉32，而該壓缸31可 以是氣壓缸或油壓缸，壓棒32為氣壓棒或油壓棒；
一輔助伸縮才幾構(gòu)4:該輔助伸縮4幾構(gòu)4 i殳于濺鍍輩巴源1的一側(cè)邊并對應(yīng)該 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2的位置，該輔助伸縮機(jī)構(gòu)4主要包括一壓缸45，通過連通管(圖未 顯示)連通一壓4奉46，而該壓缸45可以是氣壓缸或油壓缸，而壓棒46為氣壓 棒或油壓棒，輔助伸縮機(jī)構(gòu)4與伸縮機(jī)構(gòu)2對濺鍍乾源1二側(cè)形成伸縮的平衡， 其中該輔助伸縮機(jī)構(gòu)4通過一基架41形成支持，該基架41頂部設(shè)一連接元件 42,且該基架41設(shè)一連接桿44串聯(lián)連接元件42與一掛具43，且該掛具43是 活動結(jié)合于陰極本體ll，可使陰極本體ir與掛具43活動拆裝，以輔助伸縮機(jī) 構(gòu)4制動基架41伸縮，且連動濺鍍靶源1形成升降。
請參閱圖3所示，當(dāng)欲更換靶材12時，可以利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2驅(qū)動軸桿211, 該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2通過軸桿211與陰極本體11連接，而形成旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)21可驅(qū)動濺 鍍靶源l旋轉(zhuǎn)其角度，其中該旋轉(zhuǎn)的角度可為180度，使其適于人因工學(xué)的施 工角度而利于更換靶材12。
請參閱圖4所示，本實用新型更進(jìn)一步可以利用伸縮機(jī)構(gòu)3制動機(jī)架22以 及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2伸縮，以間接連動'踐鍍靶源1形成升降，而形成伸縮機(jī)構(gòu)3可驅(qū) 動濺鍍靶源l提高其高度，使其適于人因工學(xué)的施工高度而利于更換靶材12, 同時由于單邊的伸縮機(jī)構(gòu)3付出較大力矩而導(dǎo)致輸出動力必須加大，且導(dǎo)致伸 縮失去平衡，因此本實用新型更可通過輔助伸縮機(jī)構(gòu)4制動基價41伸縮，且連 動濺鍍耙源1形成升降，進(jìn)而以輔助伸縮機(jī)構(gòu)4可以與伸縮機(jī)構(gòu)3共同對賊鍍 靶源1二側(cè)形成伸縮的平衡。
上述實施例為本實用新型產(chǎn)業(yè)上的一較佳實施例，凡依本實用新型權(quán)利要 求所作的等效變化皆屬本案權(quán)利要求的內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種用于濺鍍設(shè)備更換靶材的輔助裝置，包括濺鍍靶源(1)，該濺鍍靶源(1)主要包括一疊置的陰極本體(11)及靶材(12)，其特征在于，所述輔助裝置還包括一旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(2)，該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(2)設(shè)于濺鍍靶源(1)的側(cè)邊中段位置，該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(2)設(shè)一驅(qū)動機(jī)構(gòu)(21)，該驅(qū)動機(jī)構(gòu)(21)連接一軸桿(211)，該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(2)通過軸桿(211)與陰極本體(11)連接；該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(2)下方設(shè)一基架(22)，通過該基架(22)承載旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(2)；一伸縮機(jī)構(gòu)(3)，該伸縮機(jī)構(gòu)(3)與基架(22)通過連接元件(34)連接，該伸縮機(jī)構(gòu)(3)主要包括一壓缸(31)，壓缸(31)通過連通管(33)連通一壓棒(32)；一輔助伸縮機(jī)構(gòu)(4)，該輔助伸縮機(jī)構(gòu)(4)設(shè)于濺鍍靶源(1)的一側(cè)邊并對應(yīng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(2)的位置，該輔助伸縮機(jī)構(gòu)(4)主要包括一壓缸(45)，壓缸(45)通過連通管連通一壓棒(46)，輔助伸縮機(jī)構(gòu)(4)與伸縮機(jī)構(gòu)(2)對濺鍍靶源(1)二側(cè)形成伸縮的平衡，其中該輔助伸縮機(jī)構(gòu)(4)通過一基架(41)形成支持，該基架(41)頂部設(shè)一連接元件(42)，且該基架(41)設(shè)一連接桿(44)串聯(lián)連接元件(42)與一掛具(43)。
2、 如權(quán)利要求1所述的用于濺鍍設(shè)備更換靶材的輔助裝置，其特征在于該濺鍍靶源(1 )的陰極本體(11 )及靶材(12 )疊置成板狀且該陰極本體(11 )疊置于靶材(12)之上。
3、 如權(quán)利要求1所述的用于濺鍍設(shè)備更換靶材的輔助裝置，其特征在于該驅(qū)動機(jī)構(gòu)(21)為伺服馬達(dá)。
4、 如權(quán)利要求1所述的用于濺鍍設(shè)備更換靶材的輔助裝置，其特征在于該基架(22)連接一掛具(221),該掛具(221)利用連接元件(222)活動埋設(shè)結(jié)合于陰極本體(11 )。
5、 如權(quán)利要求l-4任一項所述的用于'賊鍍設(shè)備更換耙材的輔助裝置，其特征在于該壓缸(31 )是氣壓缸或油壓缸，壓棒(32 )是氣壓棒或油壓棒。
6、 如權(quán)利要求l-4任一項所述的用于濺鍍設(shè)備更換耙材的輔助裝置，其棒征在于該壓缸(45)是氣壓缸或油壓缸，壓才奉(46)是氣壓棒或油壓棒。
7、 如權(quán)利要求l-4任一項所述的用于濺鍍設(shè)備更換耙材的輔助裝置，其特征在于該掛具(43)活動結(jié)合于陰極本體(11)，使陰極本體(11)、與掛具(43 )活動拆裝以輔助伸縮機(jī)構(gòu)(4 )制動基架(41 )伸縮，且連動賊鍍耙源(1 )形成升降。
專利摘要本實用新型涉及一種用于濺鍍設(shè)備更換靶材的輔助裝置，主要包括一濺鍍靶源，其主要包括一疊置的陰極本體及靶材；一旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其設(shè)于濺鍍靶源的側(cè)邊中段位置，該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)可驅(qū)動濺鍍靶源旋轉(zhuǎn)其角度至更換靶材過當(dāng)位置，該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)下方設(shè)一基架，該基架承載該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；一伸縮機(jī)構(gòu)，該伸縮機(jī)構(gòu)與基架通過連接元件連接，該伸縮機(jī)構(gòu)制動基架以及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)伸縮以間接連動濺鍍靶源形成升降；一輔助伸縮機(jī)構(gòu)，該輔助伸縮機(jī)構(gòu)設(shè)于濺鍍靶源的一側(cè)邊并對應(yīng)該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的位置，輔助伸縮機(jī)構(gòu)與伸縮機(jī)構(gòu)對濺鍍靶源二側(cè)形成伸縮的平衡。本實用新型有益效果節(jié)省人力搬運(yùn)，利于更換靶材。
文檔編號C23C14/34GK201301335SQ20082013588
公開日2009年9月2日 申請日期2008年10月10日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月10日
發(fā)明者辛 劉 申請人:蘇州凡特真空濺鍍科技有限公司