專利名稱：一種合金拼接靶的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種鍍膜技術(shù)，特別是涉及一種可方便快捷的制備不同成分 合金膜的合金拼接靶。
背景技術(shù)：
磁控濺射技術(shù)是利用磁場控制輝光放電產(chǎn)生的等離子體來轟擊出靶材 表面的粒子并使其沉淀到基片表面的一種技術(shù)，是當(dāng)今主流鍍膜技術(shù)之一。 可用于高熔點(diǎn)金屬、合金和化合物材料成膜。
在研究合金膜的成分和性能之間的關(guān)系時(shí)，常常需要制備不同成分的合 金膜，進(jìn)行性能測試，以優(yōu)化出最佳的合金膜成分。通常是煉制一個(gè)成分的 合金靶，濺射后就獲得相應(yīng)成分的合金膜，要獲得幾個(gè)成分的合金膜就要煉 制幾個(gè)成分的合金靶，然后分別濺射。這樣煉制多個(gè)合金靶的成本比較高， 同時(shí)分別濺射的時(shí)間也比較長。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單的合金拼接靶，采用合金拼接靶可 方便快捷的制備不同成分合金膜，使之達(dá)到經(jīng)濟(jì)適用的使用目的。 本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的
一種合金拼接靶，基片對(duì)應(yīng)靶材的不同成分位置分層擺放，其合金拼接 靶由高合金半靶和低合金半靶拼接在一起，構(gòu)成一個(gè)整體平面濺射靶兩個(gè) 半耙分別加工出臺(tái)階，然后搭接一起。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)與效果是
本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單， 一塊拼接合金耙、 一次濺射實(shí)驗(yàn)便可以在基片上方便、 快捷的制備不同成分的合金膜，且經(jīng)濟(jì)適用。


本發(fā)明圖1為合金拼接靶主視本發(fā)明圖2為合金拼接靶左視本發(fā)明圖3為基片分層擺放示意圖。 具體實(shí)施方案
根據(jù)要獲得的合金膜的成分確定合金靶的組元，兩個(gè)組元或三個(gè)組元。 一個(gè)組元作為合金基體，另一個(gè)或兩個(gè)組元作為合金元素，分別煉制含合金 元素低的合金靶半塊(A)，含合金元素高的合金靶半塊(B)，將A和B兩 個(gè)半靶加工成厚度相等，且一端有其一半厚度的臺(tái)階，然后將兩個(gè)半塊靶拼 接成一個(gè)整體合金靶如圖1、圖2。濺射時(shí)，基片對(duì)應(yīng)合金靶從低合金靶區(qū) 到高合金耙區(qū)分層擺放，濺射后對(duì)應(yīng)低合金靶區(qū)的第一層基片上的膜含合金 元素低，對(duì)應(yīng)高合金靶區(qū)的第四層基片上的膜含合金元素高，位于中間區(qū)域 的第二層和第三層基片上膜的成分介于兩塊靶之間。具體每一層基片上膜的 成分通過電子探針等分析確定。
根據(jù)要獲得的合金膜的成分確定合金靶的組元，兩個(gè)組元或三個(gè)組元。 一個(gè)組元作為合金基體，另一個(gè)或兩個(gè)組元作為合金元素，分別煉制含合金 元素低的合金靶半塊(A)，含合金元素高的合金靶半塊(B)，加工后將兩 個(gè)半塊靶拼接成一個(gè)整體合金靶。濺射時(shí)，基片分層擺放。濺射后對(duì)應(yīng)低合 金靶區(qū)的基片上的膜含合金元素低，對(duì)應(yīng)高合金靶區(qū)的基片上的膜含合金元素高，位于中間區(qū)域的基片上膜的成分介于兩塊靶之間。具體每一層基片上 膜的成分通過電子探針等分析確定。
由高合金半靶和低合金半靶拼接在一起，構(gòu)成一個(gè)整體平面濺射靶；兩 個(gè)半靶分別加工出臺(tái)階，然后搭接以免水冷板在縫隙處參與濺射影響膜的成 分；濺射時(shí)基片對(duì)應(yīng)靶材的不同成分位置分層擺放的方法。濺射時(shí)采用如 圖3所示的矩形基片懸掛架，分層懸掛基片2。懸掛架l的尺寸與靶一致， 與靶正面相對(duì)安裝，基片從上到下依次分為第一層、第二層、第三層和第四 層。
權(quán)利要求
1. 一種合金拼接靶，基片對(duì)應(yīng)靶材的不同成分位置分層擺放，其特征在于合金拼接靶由高合金半靶和低合金半靶拼接在一起，構(gòu)成一個(gè)整體平面濺射靶兩個(gè)半靶分別加工出臺(tái)階，然后搭接一起。
全文摘要
一種合金拼接靶，涉及一種鍍膜技術(shù)，基片對(duì)應(yīng)靶材的不同成分位置分層擺放，其特征在于合金拼接靶由高合金半靶和低合金半靶拼接在一起，構(gòu)成一個(gè)整體平面濺射靶兩個(gè)半靶分別加工出臺(tái)階，然后搭接一起。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，一塊拼接合金靶、一次濺射實(shí)驗(yàn)便可以在基片上方便、快捷的制備不同成分的合金膜，且經(jīng)濟(jì)適用。
文檔編號(hào)C23C14/34GK101463467SQ20091001004
公開日2009年6月24日 申請日期2009年1月9日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月9日
發(fā)明者付廣艷, 群 劉 申請人:沈陽化工學(xué)院