專利名稱：濕式鍍膜系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種鍍膜技術(shù)，尤其涉及一種濕式鍍膜系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
目前，薄膜制備技術(shù)一般分為干式鍍膜與濕式鍍膜兩種方法。其中，濕式鍍膜工藝 具有制程設(shè)備簡(jiǎn)單、便宜、沉積速率快、易控制沉積厚度及特性、制程溫度低、不受限于形狀 復(fù)雜之基板、適用于多樣性材料、更可將薄膜制備于軟性基材上等優(yōu)點(diǎn)。故，近年來濕式鍍 膜工藝已廣泛被用來沉積陶瓷、高分子、金屬等材料的鍍層。濕式鍍膜產(chǎn)生的已鍍膜的基板 一般需要進(jìn)行退火工藝，即將已鍍膜的基板加熱至400 500°C并持續(xù)一段時(shí)間后，慢慢冷 卻，從而使該基板上的薄膜達(dá)到一定的性能。但是，將基板從鍍膜工藝到退火工藝的轉(zhuǎn)移過程中，由于該鍍膜基板暴露在空氣 中，容易造成該鍍膜基板剛鍍上的薄膜層被氧化。因此，該鍍膜基板鍍膜完成后，會(huì)造成該 鍍膜基板的薄膜層品質(zhì)不佳，從而造成鍍膜良率下降。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，有必要提供一種能提升鍍膜良率的濕式鍍膜系統(tǒng)。一種濕式鍍膜系統(tǒng)，其包括選擇性地相互連通的一個(gè)鍍膜室、一個(gè)退火室及一個(gè) 設(shè)置在該退火室上的腔門。該鍍膜室內(nèi)包括一個(gè)用于對(duì)至少一個(gè)待鍍膜基板進(jìn)行鍍膜的濕 式鍍膜裝置及一個(gè)夾持手臂。該夾持手臂用于夾持該濕式鍍膜裝置并驅(qū)動(dòng)該濕式鍍膜裝置 在鍍膜室及退火室內(nèi)自由移動(dòng)。該至少一個(gè)待鍍膜基板在該濕式鍍膜裝置上的裝卸通過該 腔門在該退火室內(nèi)進(jìn)行。該退火室內(nèi)包括一加熱裝置，該加熱裝置用于對(duì)該濕式鍍膜裝置 產(chǎn)生的鍍膜基板進(jìn)行加熱，該加熱后的鍍膜基板在該退火室內(nèi)冷卻。與現(xiàn)有技術(shù)相比，所述濕式鍍膜系統(tǒng)，通過在相互連通的鍍膜室、退火室內(nèi)進(jìn)行鍍 膜及加熱，從而可避免因該鍍膜基板在空氣中的移動(dòng)而帶來的氧化問題，提升了鍍膜良率。


圖1為本發(fā)明一種實(shí)施方式提供的濕式鍍膜系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖1中的濕式鍍膜系統(tǒng)的濕式鍍膜裝置的立體示意圖。圖3為圖1中的濕式鍍膜系統(tǒng)的另一種濕式鍍膜裝置的立體示意圖。圖4為圖3中沿IV-IV線的濕式鍍膜裝置的夾持單元的剖面示意圖。圖5為圖1中的濕式鍍膜系統(tǒng)的又一種濕式鍍膜裝置的立體示意圖。圖6為圖5中沿VI-VI線的濕式鍍膜裝置的剖面示意圖。圖7為圖1中的濕式鍍膜系統(tǒng)的再一種濕式鍍膜裝置的立體示意圖。圖8為圖7中沿VII-VII線的濕式鍍膜裝置的剖面示意圖。
具體實(shí)施例方式下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施方式作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。請(qǐng)參閱圖1，為本發(fā)明一種實(shí)施方式提供的濕式鍍膜系統(tǒng)70，其包括相互連通的 一個(gè)鍍膜室71、一個(gè)退火室72、一個(gè)裝卸室73及一個(gè)設(shè)置在該裝卸室73上的腔門74。該鍍膜室71內(nèi)包括一個(gè)用于對(duì)至少一個(gè)待鍍膜基板101進(jìn)行鍍膜的濕式鍍膜裝 置100及一個(gè)夾持手臂77。在本實(shí)施方式中，該夾持手臂77為機(jī)械手臂，其用于夾持該濕 式鍍膜裝置100并驅(qū)動(dòng)該濕式鍍膜裝置100在鍍膜室71、退火室72及裝卸室73內(nèi)自由移 動(dòng)。優(yōu)選地，該鍍膜室71與該退火室72之間、該退火室72與該裝卸室73之間均存在一個(gè) 自動(dòng)門75。當(dāng)該夾持手臂77移動(dòng)至自動(dòng)門75前時(shí)，該自動(dòng)門75自動(dòng)打開；當(dāng)該夾持手臂 77遠(yuǎn)離自動(dòng)門75時(shí)，該自動(dòng)門75自動(dòng)關(guān)閉。該待鍍膜基板101通過在一定時(shí)間內(nèi)浸泡在 一待鍍液體102中以達(dá)到鍍膜目的。該待鍍液體102承載在一容器104中，且該待鍍液體 102 一般具有揮發(fā)性，當(dāng)該鍍膜室71內(nèi)存在多種待鍍液體102時(shí)，其揮發(fā)的氣體會(huì)存在相 互干擾待鍍液體102的現(xiàn)象，使得待鍍液體102的純度不高，從而該待鍍膜基板101的鍍膜 品質(zhì)不佳。優(yōu)選地，該鍍膜室71還包括一個(gè)用于導(dǎo)入氮?dú)獾倪M(jìn)氣裝置710及一個(gè)用于導(dǎo)出 氣體的排氣裝置711。該進(jìn)氣裝置710通入的氮?dú)獠灰装l(fā)生化學(xué)反應(yīng)，對(duì)鍍膜工藝沒有影 響。該排氣裝置711優(yōu)選為排氣泵，從而該排氣裝置711產(chǎn)生較大壓強(qiáng)，加速導(dǎo)走該鍍膜室 71內(nèi)的揮發(fā)氣體。為了便于該鍍膜室71內(nèi)的待鍍液體102的排放，該鍍膜室71還包括帶 有第一開關(guān)閥門7130的排液管713，該排液管713具有排液岔管7131，每個(gè)排液岔管7131 與對(duì)應(yīng)的容器104相通并利用第一開關(guān)閥門7130排放該多個(gè)容器104內(nèi)的待鍍液體102。 優(yōu)選地，每個(gè)排液岔管7131設(shè)置在對(duì)應(yīng)的容器104的底壁。再優(yōu)選地，該鍍膜室71內(nèi)還包 括與該排液管713對(duì)應(yīng)的進(jìn)液管714，該進(jìn)液管714帶有一個(gè)第二開關(guān)閥門7140并包括多 個(gè)進(jìn)液岔管7141，每個(gè)進(jìn)液岔管7141利用第二開關(guān)閥門7140將待鍍液體102注入到該多 個(gè)容器104內(nèi)。退火室72內(nèi)包括一個(gè)加熱裝置721，該加熱裝置721用于對(duì)該濕式鍍膜裝置100 鍍膜后的待鍍膜基板101進(jìn)行加熱，使膜層表面的附著性增加。在本實(shí)施方式中，該加熱裝 置721對(duì)該已鍍膜的待鍍膜基板101加熱至400°C 500°C，并持續(xù)一段時(shí)間，然后停止加 熱，使該已鍍膜的待鍍膜基板101自然冷卻。優(yōu)選地，該加熱裝置721為電阻絲或加熱爐管。 優(yōu)選地，該退火室72內(nèi)還包括一個(gè)溫度傳感器723及一個(gè)與該溫度傳感器723電性連接的 控制器725，該溫度傳感器723用于檢測(cè)該加熱裝置721的溫度并將檢測(cè)結(jié)果傳送至該控制 器725，該控制器725用于根據(jù)該檢測(cè)結(jié)果實(shí)時(shí)控制該加熱裝置721進(jìn)行加熱。該已鍍膜的待鍍膜基板101完成加熱后，由該夾持手臂77移動(dòng)至裝卸室73內(nèi)，在 該裝卸室73內(nèi)自然冷卻。可以理解，該待鍍膜基板101的裝卸通過腔門74在該裝卸室73 內(nèi)進(jìn)行。所述濕式鍍膜系統(tǒng)10，通過在相互連通的鍍膜室71、退火室72及裝卸室73內(nèi)進(jìn) 行鍍膜及加熱，從而可避免該已鍍膜的待鍍膜基板101在空氣中的氧化問題，提升了鍍膜 良率。請(qǐng)結(jié)合圖2，為濕式鍍膜系統(tǒng)70中的一種濕式鍍膜裝置100包括分別用于夾持該 多個(gè)待鍍膜基板101的多個(gè)夾持單元11、一個(gè)本體12及用于連接該多個(gè)夾持單元11與該 本體12的多個(gè)連接體13。本體12包括一個(gè)頂壁121、多個(gè)首尾相接的側(cè)壁123及一個(gè)與該頂壁121相對(duì)的底壁125。該多個(gè)側(cè)壁123連接該頂壁121與該底壁125。每個(gè)夾持單元11均包括一個(gè)懸臂110及一個(gè)夾持件113。該懸臂110包括相對(duì) 的兩個(gè)端面IlOaUlOb及一個(gè)連接該兩個(gè)端面IlOaUlOb的側(cè)面110c。每個(gè)連接體13的 一端固接一懸臂110的側(cè)面110c，該連接體13的另一端固接該本體121的其中一個(gè)側(cè)壁 123。該夾持件113設(shè)置在該懸臂110遠(yuǎn)離該本體12的端面IlOb上，該夾持件113用于夾 持該待鍍膜基板101，優(yōu)選地，該夾持件113為夾爪。在本實(shí)施方式中，該待鍍膜基板101的 數(shù)量為6個(gè)，該夾持單元11、該待鍍液體102、該容器104、該側(cè)壁123與該待鍍膜基板101 的數(shù)量一一對(duì)應(yīng)，可以理解，該待鍍膜基板101的數(shù)量可以更多或者更少。進(jìn)一步，為了監(jiān)控該待鍍膜基板101進(jìn)行鍍膜，濕式鍍膜裝置100還包括一個(gè)固接 在該懸臂110的另一個(gè)端面Ila上的監(jiān)控器15。該監(jiān)控器15用于監(jiān)控該待鍍膜基板101 進(jìn)行鍍膜，如監(jiān)控該帶鍍膜基板101浸潤(rùn)在該待鍍液體102中的深度、時(shí)間等鍍膜參數(shù)。當(dāng) 該待鍍膜基板101達(dá)到最佳浸潤(rùn)時(shí)間時(shí)，該監(jiān)控器15可發(fā)出報(bào)警動(dòng)作以提示作業(yè)人員。在 本實(shí)施方式中，該監(jiān)控器15采用以下方式實(shí)現(xiàn)自動(dòng)監(jiān)控功能。該夾持件113設(shè)置有一個(gè)與 該監(jiān)控器15電性連接的傳感器1131，該傳感器1131用于采集數(shù)據(jù)(如電壓值、電流值)， 并將數(shù)據(jù)傳輸至該監(jiān)控器15。當(dāng)該夾持件113協(xié)同該傳感器1131進(jìn)入該待鍍液體102中 時(shí)，該傳感器1131根據(jù)該待鍍液體102產(chǎn)生信號(hào)，并將該信號(hào)傳遞至該監(jiān)控器15。該監(jiān)控 器15根據(jù)該傳感器1131的信號(hào)，掌控該待鍍膜基板101浸潤(rùn)在該待鍍液體102中的深度、 時(shí)間。該監(jiān)控器15與該傳感器1131通過導(dǎo)線(圖未示)電性連接，可以理解，該導(dǎo)線可以 埋藏在該夾持單元11內(nèi)。具體地，當(dāng)該傳感器1131接觸到該待鍍液體102時(shí)，該傳感器 1131的電壓(也可以是電流)發(fā)生巨大變化，該監(jiān)控器15接收到該傳感器1131的電壓發(fā) 生巨大變化時(shí)，該監(jiān)控器15提示作業(yè)人員該待鍍膜基板101已以最佳的形式浸潤(rùn)在該待 鍍液體102中，并且該監(jiān)控器15開始計(jì)時(shí)，當(dāng)該監(jiān)控器15計(jì)算到該待鍍膜基板101在該待 鍍液體102中的最佳浸潤(rùn)時(shí)間時(shí)，該監(jiān)控器15提示作業(yè)人員該待鍍膜基板101已在該待 鍍液體102中到達(dá)最佳浸潤(rùn)時(shí)間。本實(shí)施方式提供的濕式鍍膜裝置100通過設(shè)置6個(gè)夾持單元11，以使該6個(gè)夾持 單元分別夾持6個(gè)帶鍍膜基板101，從而該濕式鍍膜裝置100能同時(shí)對(duì)該6個(gè)帶鍍膜基板 101進(jìn)行鍍膜，使該濕式鍍膜裝置100具有高生產(chǎn)率。請(qǐng)一并參閱圖3及圖4，為濕式鍍膜系統(tǒng)70中的另一種濕式鍍膜裝置200，其與濕 式鍍膜裝置100的區(qū)別在于該濕式鍍膜裝置200的每個(gè)夾持單元21還包括一個(gè)傳動(dòng)件 212，該傳動(dòng)件212的一端連接該懸臂210，該傳動(dòng)件212的另一端連接該夾持件213 ；該懸 臂210為中空的且包括一個(gè)內(nèi)頂壁2101，該懸臂210的內(nèi)表面上開設(shè)有第一內(nèi)螺紋2108， 該傳動(dòng)件212的外表面開設(shè)有與該第一內(nèi)螺紋2108相螺合的第一外螺紋2121，該懸臂210 與該傳動(dòng)件212相螺合以使該傳動(dòng)件212可被該懸臂210的第一內(nèi)螺紋2108導(dǎo)引移動(dòng)；該 懸臂210內(nèi)的內(nèi)頂壁2101上設(shè)置有一個(gè)與該監(jiān)控器25電性連接并受該監(jiān)控器25控制的 馬達(dá)2100及一個(gè)與該內(nèi)頂壁2101垂直的轉(zhuǎn)軸2102，該傳動(dòng)件212靠近該轉(zhuǎn)軸2102的一端 開設(shè)有一個(gè)用于收容該轉(zhuǎn)軸2102的凹槽2120，該轉(zhuǎn)軸2102 —端與該馬達(dá)2100固定，該轉(zhuǎn) 軸2102的另一端與該傳動(dòng)件212相螺合并收容在該凹槽2120內(nèi)，該轉(zhuǎn)軸2102的外表面設(shè)置有第二外螺紋2104，該凹槽2120內(nèi)壁設(shè)置有與該第二外螺紋2104相螺合的第二內(nèi)螺紋 2122，且第一內(nèi)螺紋2108與第二內(nèi)螺紋2122同步；該監(jiān)控器25控制該馬達(dá)2100帶動(dòng)該轉(zhuǎn)軸2102旋轉(zhuǎn)，以使該傳動(dòng)件212的第一外螺紋2121與該懸臂210的第一內(nèi)螺紋2108相配 合，從而使該轉(zhuǎn)軸2102的第二外螺紋2104與該傳動(dòng)件212的第二內(nèi)螺紋2122相螺合，進(jìn) 而使該傳動(dòng)件212在該懸臂210內(nèi)自由伸縮。由于該傳動(dòng)件212能在該懸臂210內(nèi)自由伸縮，故，該傳動(dòng)件212帶動(dòng)該夾持件 213協(xié)同該帶鍍膜基板101可被該懸臂210導(dǎo)引移動(dòng)。因此，該監(jiān)控器25監(jiān)控到該待鍍膜 基板101的最佳浸潤(rùn)深度時(shí)，該監(jiān)控器25控制該馬達(dá)2100停止轉(zhuǎn)動(dòng)；該監(jiān)控器25監(jiān)控到 該待鍍膜基板101的最佳浸潤(rùn)時(shí)間時(shí)，控制該馬達(dá)2100帶動(dòng)該傳動(dòng)件212以使該帶鍍膜基 板101從待鍍液體102中拉出?？梢岳斫猓?qū)動(dòng)該傳動(dòng)件212被該懸臂210的內(nèi)螺紋2108 導(dǎo)引移動(dòng)的方式不局限于本實(shí)施方式中的馬達(dá)200。與該濕式鍍膜裝置100相比，該濕式鍍 膜裝置200除具有該濕式鍍膜裝置100的有益效果之外，該濕式鍍膜裝置200還能自動(dòng)將 該待鍍膜基板101進(jìn)行浸入或拉出待鍍液體102中，實(shí)現(xiàn)該濕式鍍膜裝置200的智能控制， 降低作業(yè)人員的勞動(dòng)強(qiáng)度。請(qǐng)一并參閱圖5及圖6，為濕式鍍膜系統(tǒng)70的又一種濕式鍍膜裝置300，其與濕式 鍍膜裝置100的區(qū)別在于該濕式鍍膜裝置300的本體32、連接體33及懸臂310均為中空 的，且該本體32、該連接體33及該懸臂310相互連通；該本體32的頂壁321開設(shè)有一個(gè)入 風(fēng)口 3210，該懸臂310的端面310b開設(shè)有與該入風(fēng)口 3210相通的多個(gè)出風(fēng)口 311 ；該監(jiān)控 器35還用于監(jiān)控該待鍍膜基板101的烘烤溫度、烘烤時(shí)間等參數(shù)。優(yōu)選地，在該入風(fēng)口 3210設(shè)置一個(gè)吹風(fēng)機(jī)36，該監(jiān)控器35與該吹風(fēng)機(jī)36電性連 接并控制該吹風(fēng)機(jī)36的運(yùn)轉(zhuǎn)。當(dāng)該待鍍膜基板101從該待鍍液體102撤離時(shí)，該監(jiān)控器35 控制該吹風(fēng)機(jī)36往該入風(fēng)口 3210進(jìn)風(fēng)，以使殘留在該待鍍膜基板101上的待鍍液體102 迅速發(fā)揮。優(yōu)選地，從該入風(fēng)口 3210進(jìn)的風(fēng)為氮?dú)?，由于該氮?dú)獠粫?huì)影響該待鍍膜基板101 及該待鍍液體102的組成成分，因此，該待鍍膜基板101的鍍膜質(zhì)量不會(huì)受到影響。該監(jiān)控 器35監(jiān)控到該待鍍膜基板101達(dá)到最佳烘烤溫度以及最佳烘烤時(shí)間時(shí)，該監(jiān)控器35控制 該吹風(fēng)機(jī)36停止運(yùn)轉(zhuǎn)。與該濕式鍍膜裝置100相比，該濕式鍍膜裝置300除具有該濕式鍍 膜裝置100的有益效果之外，該濕式鍍膜裝置300通過經(jīng)由該入風(fēng)口 3210進(jìn)熱風(fēng)，將該熱 風(fēng)從該多個(gè)出風(fēng)口 311吹出，從而將殘留在該待鍍膜基板101上的待鍍液體102迅速發(fā)揮。 因此，該已鍍膜的基板在轉(zhuǎn)移的過程中，由于避免在空氣中暴露，從而不會(huì)受到空氣的腐蝕 或氧化，使得該已鍍膜的基板的鍍膜品質(zhì)較佳。請(qǐng)一并參閱圖7至圖8，為濕式鍍膜系統(tǒng)70的再一種濕式鍍膜裝置400，其與濕式 鍍膜裝置200的區(qū)別在于該濕式鍍膜裝置400的本體42及連接體43均為中空的，且該本 體42、該連接體43及該懸臂410相互連通；該本體42的頂壁421開設(shè)有一個(gè)入風(fēng)口 4210， 該懸臂410的端面410b開設(shè)有與該入風(fēng)口 4210相通的多個(gè)出風(fēng)口 411 ；該監(jiān)控器45還用 于監(jiān)控該待鍍膜基板101的烘烤溫度、烘烤時(shí)間等參數(shù)。優(yōu)選地，在該入風(fēng)口 4210設(shè)置一個(gè)吹風(fēng)機(jī)46，該監(jiān)控器45與該吹風(fēng)機(jī)46電性連 接并控制該吹風(fēng)機(jī)46的運(yùn)轉(zhuǎn)。當(dāng)該待鍍膜基板101從該待鍍液體102撤離時(shí)，該監(jiān)控器45 控制該吹風(fēng)機(jī)往該入風(fēng)口 4210進(jìn)風(fēng)，以使殘留在該待鍍膜基板101上的待鍍液體102迅速 發(fā)揮。優(yōu)選地，從該入風(fēng)口 3210進(jìn)的風(fēng)為氮?dú)猓捎谠摰獨(dú)獠粫?huì)影響該待鍍膜基板101及 該待鍍液體102的組成成分，因此，該待鍍膜基板101的鍍膜質(zhì)量不會(huì)受到影響。該監(jiān)控器 45監(jiān)控到該待鍍膜基板101達(dá)到最佳烘烤溫度以及最佳烘烤時(shí)間時(shí)，該監(jiān)控器45控制該吹風(fēng)機(jī)46停止運(yùn)轉(zhuǎn)。與該濕式鍍膜裝置100相比，該濕式鍍膜裝置400除具有該濕式鍍膜裝 置200的有益效果之外，該濕式鍍膜裝置400通過經(jīng)由該入風(fēng)口 4210進(jìn)熱風(fēng)，將該熱風(fēng)從 該多個(gè)出風(fēng)口 411吹出，從而將殘留在該待鍍膜基板101上的待鍍液體102迅速發(fā)揮。因 此，該已鍍膜的基板101在轉(zhuǎn)移的過程中，由于避免在空氣中暴露，從而不會(huì)受到空氣的腐 蝕或氧化，使得該已鍍膜的基板101的品質(zhì)較佳。 雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施方式披露如上，但是，其并非用以限定本發(fā)明，另外，本 領(lǐng)域技術(shù)人員還可以在本發(fā)明精神內(nèi)做其它變化等。當(dāng)然，這些依據(jù)本發(fā)明精神所做的變 化，都應(yīng)包含在本發(fā)明所要求保護(hù)的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
一種濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，其包括選擇性地相互連通的一個(gè)鍍膜室、一個(gè)退火室及一個(gè)設(shè)置在該退火室上的腔門，該鍍膜室內(nèi)包括用于對(duì)至少一個(gè)待鍍膜基板進(jìn)行鍍膜的一個(gè)濕式鍍膜裝置及一個(gè)夾持手臂，該夾持手臂用于夾持該濕式鍍膜裝置并驅(qū)動(dòng)該濕式鍍膜裝置在鍍膜室及退火室內(nèi)自由移動(dòng)，該至少一個(gè)待鍍膜基板在該濕式鍍膜裝置上的裝卸通過該腔門在該退火室內(nèi)進(jìn)行，該退火室內(nèi)包括一加熱裝置，該加熱裝置用于對(duì)該濕式鍍膜裝置產(chǎn)生的鍍膜基板進(jìn)行加熱，該加熱后的鍍膜基板在該退火室內(nèi)冷卻。
2.如權(quán)利要求1所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該濕式鍍膜系統(tǒng)還包括一個(gè)與該 退火室選擇性連通的裝卸室，該夾持手臂還用于夾持該濕式鍍膜裝置并驅(qū)動(dòng)該濕式鍍膜裝 置在裝卸室內(nèi)自由移動(dòng)，該腔門設(shè)置在該裝卸室上，該待鍍膜基板的裝卸通過該腔門在該 裝卸室內(nèi)進(jìn)行。
3.如權(quán)利要求1所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該鍍膜室內(nèi)還包括一個(gè)用于導(dǎo)入 氮?dú)獾倪M(jìn)氣裝置及一個(gè)用于導(dǎo)出氣體的排氣裝置。
4.如權(quán)利要求1所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該鍍膜室內(nèi)還包括承載有待鍍液 體的多個(gè)容器及帶有第一開關(guān)閥門的排液管，該待鍍液體用于對(duì)該待鍍膜基板進(jìn)行鍍膜， 該排液管包括多個(gè)排液岔管，每個(gè)排液岔管與對(duì)應(yīng)的容器相通并利用該第一開關(guān)閥門排放 該多個(gè)容器內(nèi)的待鍍液體。
5.如權(quán)利要求4所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該鍍膜室內(nèi)還包括帶有第二開關(guān) 閥門的進(jìn)液管，該進(jìn)液管包括多個(gè)進(jìn)液岔管，每個(gè)進(jìn)液岔管利用該第二開關(guān)閥門將待鍍液 體注入到該多個(gè)容器內(nèi)。
6.如權(quán)利要求1所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該退火室內(nèi)還包括一個(gè)溫度傳感 器及一個(gè)與該溫度傳感器電性連接的控制器，該溫度傳感器用于檢測(cè)該加熱裝置的溫度并 將檢測(cè)結(jié)果傳送至該控制器，該控制器用于根據(jù)該檢測(cè)結(jié)果實(shí)時(shí)控制該加熱裝置進(jìn)行加 熱。
7.如權(quán)利要求2所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該鍍膜室與該退火室之間、及該退 火室與該裝卸室之間均存在一個(gè)自動(dòng)門，以使該夾持手臂驅(qū)動(dòng)該濕式鍍膜裝置在鍍膜室、 退火室及裝卸室內(nèi)自由移動(dòng)。
8.如權(quán)利要求1所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該濕式鍍膜裝置包括分別用于夾 持多個(gè)待鍍膜基板的多個(gè)夾持單元、本體及用于連接該多個(gè)夾持單元與該本體的多個(gè)連接 體，每個(gè)夾持單元包括懸臂及用于夾持該待鍍膜基板的夾持件，該懸臂包括相對(duì)的兩個(gè)端 面及連接該兩個(gè)端面的側(cè)面，該連接體與該側(cè)面固接，該夾持件固接在懸臂的其中一個(gè)端 面上。
9.如權(quán)利要求8所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該濕式鍍膜裝置還包括多個(gè)監(jiān)控 器，每個(gè)監(jiān)控器固接在每個(gè)夾持單元的懸臂的另一個(gè)端面上，該監(jiān)控器用于監(jiān)控該待鍍膜 基板進(jìn)行鍍膜。
10.如權(quán)利要求8所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該本體、該連接體及該懸臂均為 中空的，且該本體、該連接體及該懸臂相互連通，該本體包括一個(gè)入風(fēng)口，該懸臂包括與該 入風(fēng)口相通的多個(gè)出風(fēng)口，該多個(gè)出風(fēng)口開設(shè)在該懸臂設(shè)置有該夾持件的端面上。
11.如權(quán)利要求9所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，每個(gè)夾持單元還包括一個(gè)傳動(dòng) 件，該傳動(dòng)件的一端連接該懸臂，該傳動(dòng)件的另一端連接該夾持件，該懸臂為中空的，該懸臂的內(nèi)表面具有第一內(nèi)螺紋，該傳動(dòng)件的外表面具有與該第一內(nèi)螺紋相螺合的第一外螺 紋，該懸臂與該傳動(dòng)件相螺合以使該連傳動(dòng)件可被該懸臂的第一內(nèi)螺紋導(dǎo)引移動(dòng)。
12.如權(quán)利要求11所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該本體及該連接體均為中空的， 且該本體、該連接體及該懸臂相互連通，該本體包括一個(gè)入風(fēng)口，該懸臂包括與該入風(fēng)口相 通的多個(gè)出風(fēng)口，該多個(gè)出風(fēng)口開設(shè)在該懸臂設(shè)置有該傳動(dòng)件的端面上。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種濕式鍍膜系統(tǒng)，其包括選擇性地相互連通的一個(gè)鍍膜室、一個(gè)退火室及一個(gè)設(shè)置在該退火室上的腔門。該鍍膜室內(nèi)包括一個(gè)用于對(duì)至少一個(gè)待鍍膜基板進(jìn)行鍍膜的濕式鍍膜裝置及一個(gè)夾持手臂。該夾持手臂用于夾持該濕式鍍膜裝置并驅(qū)動(dòng)該濕式鍍膜裝置在鍍膜室及退火室內(nèi)自由移動(dòng)。該至少一個(gè)待鍍膜基板在該濕式鍍膜裝置上的裝卸通過該腔門在該退火室內(nèi)進(jìn)行。該退火室內(nèi)包括一加熱裝置，該加熱裝置用于對(duì)該濕式鍍膜裝置產(chǎn)生的鍍膜基板進(jìn)行加熱，該加熱后的鍍膜基板在該退火室內(nèi)冷卻。該濕式鍍膜系統(tǒng)，通過在相互連通的鍍膜室、退火室內(nèi)進(jìn)行鍍膜及加熱，從而可避免因該鍍膜基板在空氣中的移動(dòng)而帶來的氧化問題，提升了鍍膜良率。
文檔編號(hào)C23C22/00GK101988193SQ200910305218
公開日2011年3月23日 申請(qǐng)日期2009年8月5日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月5日
發(fā)明者裴紹凱, 黃建豪 申請(qǐng)人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司