專利名稱：簡易型蒸發(fā)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于真空設(shè)備，特別是超高真空成膜用蒸發(fā)器。
背景技術(shù)：
超高真空環(huán)境中的鍍膜技術(shù)是新材料合成的基礎(chǔ)。為了實現(xiàn)在超高真空環(huán)境中的鍍膜質(zhì)量可靠，需要具有高質(zhì)量的簡易型的蒸發(fā)設(shè)備，目前所用用于金屬蒸發(fā)的蒸發(fā)設(shè)備多數(shù)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，難于從外界進(jìn)行控制，蒸發(fā)質(zhì)量較差。發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的目的是克服上述不足問題，提供一種簡易型蒸發(fā)器，結(jié)構(gòu)簡單，外界控制精確，確保蒸發(fā)質(zhì)量。
本實用新型為實現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案是簡易型蒸發(fā)器，回轉(zhuǎn)導(dǎo)入器導(dǎo)入棒真空端固定安裝遮板，遮板位于坩堝上方，坩堝上纏繞有加熱絲，加熱絲接通電極。
所述導(dǎo)入棒自轉(zhuǎn)軸端固定安裝遮板支架，遮板支架上固定裝有遮板。
所述回轉(zhuǎn)導(dǎo)入器為超高真空旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入器，外管內(nèi)裝有波紋管、驅(qū)動桿和導(dǎo)入棒，驅(qū)動桿和導(dǎo)入棒均由軸心線平行的自轉(zhuǎn)軸和繞轉(zhuǎn)軸一體構(gòu)成，波紋管一端焊接在可動法蘭上，另一端焊接在真空設(shè)備連接法蘭上，真空設(shè)備連接法蘭固定裝有外管一端，且中心孔內(nèi)通過軸承安裝導(dǎo)入棒自轉(zhuǎn)軸，外管另一端通過軸承安裝驅(qū)動桿自轉(zhuǎn)軸，導(dǎo)入棒自轉(zhuǎn)軸與驅(qū)動桿自轉(zhuǎn)軸同軸心，可動法蘭兩端均帶有套體，兩端套體內(nèi)分別通過軸承安裝驅(qū)動桿繞轉(zhuǎn)軸和導(dǎo)入棒繞轉(zhuǎn)軸，驅(qū)動桿繞轉(zhuǎn)軸與導(dǎo)入棒繞轉(zhuǎn)軸同軸心。
所述真空設(shè)備連接法蘭由法蘭盤、軸套和外筒連接套一體構(gòu)成，軸套一端連接法蘭板，另一端連接外筒連接套，外筒連接套通過固定法蘭與外管固定連接。
所述驅(qū)動桿自轉(zhuǎn)軸端頭固定安裝把手，把手上裝有定位螺釘。
本實用新型蒸發(fā)器具有顯著的特點l)可蒸發(fā)絕大多數(shù)金屬，2)坩堝的材質(zhì)為氧化鋁，可耐1800攝氏度的高溫，而且放出氣體少，3)熱源采用高熔點的鎢絲，通電加熱，使用方式簡單，4)安裝蒸發(fā)遮擋板，可以控制蒸發(fā)的時機(jī)，同時也可以確保蒸發(fā)的質(zhì)量，5)蒸發(fā)遮擋板的驅(qū)動靠超高真空旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器實現(xiàn)，可以人工從外界控制，6)和真空接觸部件，選用材質(zhì)考慮到放出氣體少的要求，適合超高真空環(huán)境的使用，7)采用刀口法蘭，適合超高真空密封，8)簡易蒸發(fā)源可耐高溫烘烤，9)整體構(gòu)造獨特且操作簡單。


圖l是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本實用新型加熱原理圖。
圖3是本實用新型回轉(zhuǎn)導(dǎo)入器結(jié)構(gòu)示意圖。
圖l中l(wèi)回轉(zhuǎn)導(dǎo)入器；2法蘭；3鉬棒；4坩堝；5遮板支架；6遮板；7加熱絲；8法蘭盤；9負(fù)極；10正極；ll波紋管；12導(dǎo)入棒；13真空設(shè)備連接法蘭；14固定法蘭；15可動法蘭；16外管；17把手；18定位螺釘；19驅(qū)動桿；20軸承。
具體實施方式
如圖1所示的簡易型蒸發(fā)器，回轉(zhuǎn)導(dǎo)入器1的導(dǎo)入棒12真空端 固定安裝遮板支架5，遮板支架上固定裝有遮板6，遮板位于坩堝4 上方，坩堝上纏繞有加熱絲7——鴨絲，加熱絲7分別接通電極負(fù)極 9和正級10的鉬棒3，加熱原理如圖2所示，回轉(zhuǎn)導(dǎo)入器如圖3所示， 外管16內(nèi)裝有波紋管11、驅(qū)動桿19和導(dǎo)入棒12,驅(qū)動桿和導(dǎo)入棒 均由軸心線平行的自轉(zhuǎn)軸和繞轉(zhuǎn)軸一體構(gòu)成，波紋管11 一端焊接在 可動法蘭15上，另一端焊接在真空設(shè)備連接法蘭13上，真空設(shè)備連 接法蘭13由法蘭板、軸套和外筒連接套一體構(gòu)成，軸套一端連接法 蘭板，另一端連接外筒連接套，外筒連接套通過固定法蘭與外管焊接 固定，真空設(shè)備連接法蘭中心孔內(nèi)通過軸承安裝導(dǎo)入棒自轉(zhuǎn)軸，外管 另一端通過軸承20安裝驅(qū)動桿自轉(zhuǎn)軸，導(dǎo)入棒自轉(zhuǎn)軸與驅(qū)動桿自轉(zhuǎn) 軸同軸心，可動法蘭15兩端均帶有套體，兩端套體內(nèi)分別通過軸承 安裝驅(qū)動桿繞轉(zhuǎn)軸和導(dǎo)入棒繞轉(zhuǎn)軸，驅(qū)動桿繞轉(zhuǎn)軸與導(dǎo)入棒繞轉(zhuǎn)軸同 軸心，驅(qū)動桿自轉(zhuǎn)軸端頭固定安裝把手17，操作方便，把手上裝有 定位螺釘，旋轉(zhuǎn)到設(shè)定位置后旋緊定位螺釘18。
使用時回轉(zhuǎn)導(dǎo)入器的導(dǎo)入棒控制遮板的旋轉(zhuǎn)，控制蒸發(fā)的時機(jī)和 成膜質(zhì)量。鎢絲纏繞在坩堝上，通過電極給鎢絲通電產(chǎn)生熱量，蒸發(fā) 坩堝內(nèi)的金屬。公式應(yīng)用<formula>formula see original document page 5</formula> i^為鎢絲的電阻，
S
2『為電流經(jīng)過鎢絲產(chǎn)生的熱量。
權(quán)利要求1、簡易型蒸發(fā)器，其特征是回轉(zhuǎn)導(dǎo)入器導(dǎo)入棒真空端固定安裝遮板，遮板位于坩堝上方，坩堝上纏繞有加熱絲，加熱絲接通電極。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的簡易型蒸發(fā)器，其特征是導(dǎo)入棒真 空端固定安裝遮板支架，遮板支架上固定裝有遮板。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的簡易型蒸發(fā)器，其特征是回轉(zhuǎn) 導(dǎo)入器為超高真空旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入器，外管內(nèi)裝有波紋管、驅(qū)動桿和導(dǎo)入棒, 驅(qū)動桿和導(dǎo)入棒均由軸心線平行的自轉(zhuǎn)軸和繞轉(zhuǎn)軸一體構(gòu)成，波紋管 一端焊接在可動法蘭上，另一端焊接在真空設(shè)備連接法蘭上，真空設(shè) 備連接法蘭固定裝有外管一端，且中心孔內(nèi)通過軸承安裝導(dǎo)入棒自轉(zhuǎn) 軸，外管另一端通過軸承安裝驅(qū)動桿自轉(zhuǎn)軸，導(dǎo)入棒自轉(zhuǎn)軸與驅(qū)動桿 自轉(zhuǎn)軸同軸心，可動法蘭兩端均帶有套體，兩端套體內(nèi)分別通過軸承 安裝驅(qū)動桿繞轉(zhuǎn)軸和導(dǎo)入棒繞轉(zhuǎn)軸，驅(qū)動桿繞轉(zhuǎn)軸與導(dǎo)入棒繞轉(zhuǎn)軸同 軸心。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的簡易型蒸發(fā)器，其特征是真空設(shè)備 連接法蘭由法蘭板、軸套和外筒連接套一體構(gòu)成，軸套一端連接法蘭 板，另一端連接外筒連接套，外筒連接套通過固定法蘭與外管固定連 接。
5、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的簡易型蒸發(fā)器，其特征是驅(qū)動桿自 轉(zhuǎn)軸端頭固定安裝把手，把手上裝有定位螺釘。
專利摘要本實用新型涉及真空設(shè)備。簡易型蒸發(fā)器，回轉(zhuǎn)導(dǎo)入器導(dǎo)入棒真空端固定安裝遮板，遮板位于坩堝上方，坩堝上纏繞有加熱絲，加熱絲接通電極。本實用新型蒸發(fā)器可蒸發(fā)絕大多數(shù)金屬，坩堝的材質(zhì)為氧化鋁，可耐1800攝氏度的高溫，而且放出氣體少，熱源采用高熔點的鎢絲，通電加熱，使用方式簡單，安裝蒸發(fā)遮擋板，可以控制蒸發(fā)的時機(jī)，同時也可以確保蒸發(fā)的質(zhì)量，蒸發(fā)遮擋板的驅(qū)動靠超高真空旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器實現(xiàn)，可以人工從外界控制，和真空接觸部件選用材質(zhì)適合超高真空環(huán)境的使用，簡易蒸發(fā)源可耐高溫烘烤，整體構(gòu)造獨特且操作簡單。
文檔編號C23C14/26GK201386134SQ20092001104
公開日2010年1月20日 申請日期2009年2月27日 優(yōu)先權(quán)日2009年2月27日
發(fā)明者郭方準(zhǔn) 申請人:大連齊維科技發(fā)展有限公司