專利名稱：金屬離子注入設(shè)備內(nèi)動(dòng)態(tài)水冷系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型具體涉及一種用于真空設(shè)備內(nèi)動(dòng)態(tài)狀況下 冷卻的金屬離子注入設(shè)備內(nèi)動(dòng)態(tài)水冷系統(tǒng)。
技術(shù)背景現(xiàn)有的金屬離子注入設(shè)備工件轉(zhuǎn)動(dòng)裝置只能進(jìn)行公轉(zhuǎn) 和自轉(zhuǎn)，沒(méi)有水冷卻功能。其缺點(diǎn)是工件在實(shí)施離子注入的過(guò)程中 形成溫升，使輕薄型工件因溫度的升高而產(chǎn)生形變和降低表面硬度， 導(dǎo)致工件精度和機(jī)械性能的大幅降低。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種工件裝卸方便、定位準(zhǔn) 確靈活、工件不變形、能提高表面硬度和耐磨度的、具有水冷功能的 一種金屬離子注入設(shè)備內(nèi)動(dòng)態(tài)水冷系統(tǒng)。
本實(shí)用新型的技術(shù)方案是 一種金屬離子注入設(shè)備內(nèi)動(dòng)態(tài)水冷 系統(tǒng)，真空室下端外側(cè)依次設(shè)有中心轉(zhuǎn)軸裝置和側(cè)邊驅(qū)動(dòng)裝置，中心 轉(zhuǎn)軸裝置是由軸承支撐的中心轉(zhuǎn)軸、套裝于軸上的內(nèi)套和固定于真空 室的外套組成，外套與內(nèi)套之間設(shè)軸承和密封圈；側(cè)邊驅(qū)動(dòng)裝置是由 軸承、固定座支撐的側(cè)邊驅(qū)動(dòng)軸和軸上端設(shè)有的驅(qū)動(dòng)齒輪組成，軸的 下端設(shè)有碰頭與固定于真空室上的限位開關(guān)相配合；驅(qū)動(dòng)齒輪與支撐 架支撐的大齒輪環(huán)相嚙合，大齒輪環(huán)圓周上設(shè)有多個(gè)工件托盤裝置； 所述的工件托盤裝置是由固于大齒輪環(huán)圓周上的工件托盤和小傳動(dòng) 齒輪組成，工件托盤上設(shè)有的小傳動(dòng)齒輪與中心軸上端設(shè)有中心齒輪 相嚙合；其特征是外套外側(cè)設(shè)有進(jìn)、出水口，通過(guò)內(nèi)套的進(jìn)、出水 孔及進(jìn)出水管與工件托盤內(nèi)腔體相連通，又通過(guò)串聯(lián)水管使多個(gè)工件 托盤相連通。
3由于采用上述技術(shù)方案，轉(zhuǎn)動(dòng)架采用支撐和中心定位裝置，-實(shí)現(xiàn) 上下盤的分離，通過(guò)側(cè)邊的驅(qū)動(dòng)使轉(zhuǎn)動(dòng)架公轉(zhuǎn)，依靠定位裝置使工件 托盤逐個(gè)對(duì)準(zhǔn)離子注入源，再通過(guò)中心軸的驅(qū)動(dòng)使工件托盤自轉(zhuǎn)。工 件托盤可以逐個(gè)定位自轉(zhuǎn)，在注入的過(guò)程中工'件托盤內(nèi)腔持續(xù)有冷卻 水循環(huán)，對(duì)工件進(jìn)行其冷卻。因而具有工件裝卸方便、定位準(zhǔn)確靈活、 工件不變形、能提高表面硬度和耐磨度、具有水冷功能的優(yōu)點(diǎn)。


以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施來(lái)對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案 做進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
附圖是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
參考附圖， 一種金屬離子注入設(shè)備內(nèi)動(dòng)態(tài)水冷 系統(tǒng)，真空室12下端外側(cè)依次設(shè)有中心轉(zhuǎn)軸裝置和側(cè)邊驅(qū)動(dòng)裝置， 中心轉(zhuǎn)軸裝置是由軸承支撐的中心轉(zhuǎn)軸10、套裝于軸上的內(nèi)套13和
固定于真空室的外套14組成，外套14與內(nèi)套13之間設(shè)軸承和密封 圈ll;側(cè)邊驅(qū)動(dòng)裝置是由軸承、固定座15支撐的側(cè)邊驅(qū)動(dòng)軸4和軸 上端設(shè)有的驅(qū)動(dòng)齒輪16組成，軸的下端設(shè)有碰頭17與固定于真空室 上的限位開關(guān)18相配合；驅(qū)動(dòng)齒輪16與支撐架2支撐的大齒輪環(huán)1 相嚙合，大齒輪環(huán)1圓周上設(shè)有多個(gè)工件托盤裝置；所述的工件托盤 裝置是由固于大齒輪環(huán)1圓周上的工件托盤3和小傳動(dòng)齒輪6組成， 工件托盤3上設(shè)有的小傳動(dòng)齒輪6與中心軸上端設(shè)有中心齒輪5相嚙 合；外套14外側(cè)設(shè)有進(jìn)、出水口 19、 20，通過(guò)內(nèi)套13的進(jìn)、出水 孔及進(jìn)出水管7、 9與工件托盤3內(nèi)腔體相連通，又通過(guò)串聯(lián)水管8 使多個(gè)工件托盤3相連通。
權(quán)利要求1、一種金屬離子注入設(shè)備內(nèi)動(dòng)態(tài)水冷系統(tǒng)，真空室(12)下端外側(cè)依次設(shè)有中心轉(zhuǎn)軸裝置和側(cè)邊驅(qū)動(dòng)裝置，中心轉(zhuǎn)軸裝置是由軸承支撐的中心轉(zhuǎn)軸(10)、套裝于軸上的內(nèi)套(13)和固定于真空室的外套(14)組成，外套(14)與內(nèi)套(13)之間設(shè)軸承和密封圈(11)；側(cè)邊驅(qū)動(dòng)裝置是由軸承、固定座(15)支撐的側(cè)邊驅(qū)動(dòng)軸(4)和軸上端設(shè)有的驅(qū)動(dòng)齒輪(16)組成，軸的下端設(shè)有碰頭(17)與固定于真空室上的限位開關(guān)(18)相配合；驅(qū)動(dòng)齒輪(16)與支撐架(2)支撐的大齒輪環(huán)(1)相嚙合，大齒輪環(huán)(1)圓周上設(shè)有多個(gè)工件托盤裝置；所述的工件托盤裝置是由固于大齒輪環(huán)(1)圓周上的工件托盤(3)和小傳動(dòng)齒輪(6)組成，工件托盤(3)上設(shè)有的小傳動(dòng)齒輪(6)與中心軸上端設(shè)有中心齒輪(5)相嚙合；其特征是外套(14)外側(cè)設(shè)有進(jìn)、出水口(19、20)，通過(guò)內(nèi)套(13)的進(jìn)、出水孔及進(jìn)出水管(7、9)與工件托盤(3)內(nèi)腔體相連通，又通過(guò)串聯(lián)水管(8)使多個(gè)工件托盤(3)相連通。
專利摘要本實(shí)用新型具體涉及一種用于真空設(shè)備內(nèi)動(dòng)態(tài)狀況下冷卻的金屬離子注入設(shè)備內(nèi)動(dòng)態(tài)水冷系統(tǒng)。其特征是外套外側(cè)設(shè)有進(jìn)、出水口，通過(guò)內(nèi)套的進(jìn)、出水孔及進(jìn)出水管與工件托盤內(nèi)腔體相連通，又通過(guò)串聯(lián)水管使多個(gè)工件托盤相連通。因而具有工件定位準(zhǔn)確、束斑范圍內(nèi)注入離子均勻、工件溫升小、幾何形狀穩(wěn)定，保證工件表面硬度和耐磨性等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)C23C14/48GK201395627SQ20092002544
公開日2010年2月3日 申請(qǐng)日期2009年5月15日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月15日
發(fā)明者欒庚祖, 王桂岳, 趙松強(qiáng) 申請(qǐng)人:龍口市比特真空技術(shù)有限公司