專利名稱：一種數(shù)控精密研磨拋光機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及主要用于硅片、硬盤基片、光盤母盤、陶瓷片、石英晶體及其它硬
脆材料的研磨加工設(shè)備，具體涉及一種數(shù)控精密研磨拋光機(jī)。
技術(shù)背景 傳統(tǒng)的研磨拋光機(jī)常采用普通電機(jī)拖動，通過齒輪傳動系統(tǒng)實現(xiàn)上下拋光盤以及 內(nèi)外齒圈的傳動，從而實現(xiàn)對工件的研磨拋光，其上下拋光盤與行星輪只有兩種速度比，限 制了雙面拋光機(jī)加工運動軌跡的變化，缺乏對速度的精確控制。 申請?zhí)枮?00710068275. 9的中國實用新型專利公開了一種精密雙面拋光機(jī)的控 制系統(tǒng)，其精密雙面拋光機(jī)采用四個變頻電機(jī)分別拖動上下拋光盤和內(nèi)外齒圈的原理來實 現(xiàn)傳動，而且采用了軸套結(jié)構(gòu)，雖然實現(xiàn)了無級調(diào)速，加工過程的軟啟動和軟停止，提高了 拋光機(jī)的工作效率和加工精度，但由于變頻電機(jī)需要有變頻器控制，其對使用條件要求較 高，動態(tài)響應(yīng)慢，抗干擾能力差，不適應(yīng)大扭矩的加工要求；特別是對于高精度的研磨拋光 設(shè)備來說，其軸套結(jié)構(gòu)本身的制造誤差也會使上下研磨盤產(chǎn)生跳動和振動，從而不能滿足 高精度和超高精度的加工要求。
發(fā)明內(nèi)容 本實用新型的目的在于避免現(xiàn)有技術(shù)的不足之處而提供一種數(shù)控精密研磨拋光
機(jī)，其利用伺服電機(jī)分別驅(qū)動下研磨盤主軸上的齒圈，從而實現(xiàn)對上下研磨盤的拖動，同時
對其運動實施閉環(huán)控制，從而有效滿足了高精度的研磨拋光機(jī)的使用要求。 本實用新型的目的可以通過采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)所述的一種數(shù)控精密研
磨拋光機(jī)，包括有焊接箱體(16)，其特點是還包括有所述的焊接箱體(16)的一側(cè)設(shè)有立
柱(17)，焊接箱體(16)的另一側(cè)設(shè)有電器柜(13)，橫梁(18)的兩端分別固定安裝在立柱
(17) 和電器柜(13)上，焊接箱體(16)內(nèi)的主支座(14)上設(shè)有主軸驅(qū)動系統(tǒng)(15)，橫梁
(18) 上與主軸驅(qū)動系統(tǒng)(15)對應(yīng)的位置設(shè)有上盤裝置，操作箱(12)通過操作箱托臂(9) 設(shè)在電器柜(13)上，上盤裝置的快速作用缸(5)的氣缸桿朝下固定安裝在橫粱(18)中央， 快速作用缸(5)的氣缸桿與緩作用缸(4)相連接，緩作用缸(4)的氣缸桿與拉力傳感器組 件(6)相連，承載盤(19)通過支桿(20)設(shè)在拉力傳感器組件(6)的下方，上盤(21)固定 安裝在承載盤(19)上，分液環(huán)(22)固定設(shè)置在拉力傳感器組件(6)上，分液環(huán)(22)上設(shè) 有分液球閥(8)，分液環(huán)(22)通過管架(7)與拉力傳感器組件(6)固定連接；所述的操作 箱(12)內(nèi)設(shè)有用于運動控制的上位機(jī)平板電腦，平板電腦內(nèi)設(shè)控制程序，通過觸摸屏發(fā)送 指令進(jìn)行設(shè)備的數(shù)據(jù)采集、傳輸、處理，以完成該研磨拋光機(jī)的高精度控制；所述的電器柜 (13)內(nèi)設(shè)有用于運動控制的工業(yè)控制器和電機(jī)驅(qū)動機(jī)構(gòu)。 所述的緩作用缸(4)上固定連接有上防轉(zhuǎn)板(23)，拉力傳感器組件(6)上固定連 接有下防轉(zhuǎn)板(24)，防轉(zhuǎn)桿(25)與下防轉(zhuǎn)板(24)固定連接，防轉(zhuǎn)桿(25)的上端設(shè)置在上 防轉(zhuǎn)板(23)的U型槽內(nèi)。并可在U型槽內(nèi)滑動。上盤(21)在快速作用缸(5)及緩作用缸(4)的驅(qū)動下實現(xiàn)垂直移動，同時也可轉(zhuǎn)動和浮動。 所述的上盤(21)的上邊緣固定設(shè)置有手柄(10)。所述的承載盤(19)上設(shè)有活 動鍵(ll)，活動鍵(11)通過鍵座固定安裝在承載盤(19)內(nèi)環(huán)邊緣，數(shù)量為2個，成對稱分 布。 所述的橫梁(18)上緩作用缸(4)的兩側(cè)分別設(shè)有拉伸彈簧(2)和掛鉤作用氣缸 (3)，拉伸彈簧(2)和掛鉤作用氣缸(3)與掛鉤(1)相連。在拉伸彈簧2和掛鉤作用氣缸3 的作用下，掛鉤l可實現(xiàn)擺動。所述的拉力傳感器組件(6)內(nèi)設(shè)有關(guān)節(jié)軸承及推力軸承或 深溝球軸承。 所述的主軸驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括有包括有設(shè)置在焊接箱體(16)的主電機(jī)(26)和主支座 (14)，主電機(jī)(26)通過皮帶(51)與設(shè)在主支座(14)上的主減速箱(27)相連，所述的主支 座(14)上安裝有支撐套(46)，抬升套(57)設(shè)置在支撐套(46)的外部，抬升套(57)下部設(shè) 有抬升機(jī)構(gòu)(61);齒圈套(47)通過軸承(52)安裝在抬升套(57)上，齒圈套(47)上設(shè)有齒 圈從動齒輪(48)，齒圈支架(43)固定安裝在齒圈套(47)的上部，齒圈(42)設(shè)在齒圈支架 (43)上，支撐套(46)內(nèi)通過軸承裝有下盤軸(45)，下盤軸(45)上部固定安裝有托盤(37)， 下盤(41)設(shè)置在托盤(37)上，下盤(41)和托盤(37)上對應(yīng)設(shè)有撥銷(60);下盤軸(45) 的下部固定設(shè)有下盤從動齒輪(33)，下盤軸(45)內(nèi)部通過軸承裝有太陽輪軸(44)，太陽輪 軸(44)的上部設(shè)有太陽輪支架(58)，太陽輪支架(58)上設(shè)有太陽輪(40)，太陽輪軸(44) 的下端固定設(shè)有太陽輪從動齒輪(29);太陽輪軸(44)內(nèi)部通過軸承設(shè)有中心軸(3S)，中心 軸(38)上部固定連接有帶動上盤旋轉(zhuǎn)的撥輪(39)，中心軸(38)的下端固定連接有上盤從 動齒輪(30)，中心軸(38)下部通過軸承與主支座(14)安裝定位。 所述的焊接箱體(16)上還設(shè)有上盤電機(jī)(54)，上盤電機(jī)(54)通過皮帶與上盤減 速箱(55)相連，上盤減速箱(55)的動力輸出軸上設(shè)有上盤主動齒輪(56)，上盤主動齒輪 (56)與第二惰輪(59)相嚙合，第二惰輪(59)與上盤從動齒輪(30)相嚙合，所述的主支座 (14)上的主減速箱(27)的動力輸出軸上設(shè)有動力輸入齒輪(31)，動力輸入齒輪(31)與下 盤主動齒輪(32)相嚙合，下盤主動齒輪(32)與下盤從動齒輪(33)相嚙合；下盤主動齒輪 (32)設(shè)在動力傳動軸(28)上，動力傳動軸(28)通過軸承設(shè)在主支座(14)上。 所述的主支座(14)上還設(shè)有太陽輪電機(jī)(35)和齒圈電機(jī)(49)，太陽輪電機(jī)(35) 與太陽輪減速箱(36)相連，太陽輪減速箱(36)的動力輸出軸上設(shè)有太陽輪主動齒輪(34)， 太陽輪主動齒輪(34)與太陽輪從動齒輪(29)相嚙合；齒圈電機(jī)(49)與齒圈減速箱(50) 相連，齒圈減速箱(50)的動力輸出軸上設(shè)有齒圈主動齒輪(53)，齒圈主動齒輪(53)與齒圈 從動齒輪(48)相嚙合。 所述的工業(yè)控制器包括有單片機(jī)(62)、環(huán)形變壓器和電壓差分放大器(66)，單片 機(jī)(62)的兩個串口分別與上位機(jī)(63)和變頻器(64)相連，單片機(jī)(62)的通過SPI總線與 數(shù)模轉(zhuǎn)換器DAC(65)和鐵電(67)相連，單片機(jī)(62)通過數(shù)據(jù)總線與電壓差分放大器(66) 相連，單片機(jī)(62)通過數(shù)據(jù)地址總線與可編程邏輯控制器CPLD(69)相連，單片機(jī)(62)通 過并行地址數(shù)據(jù)總線與備用的存儲器RAM(68)相連，可編程邏輯控制器CPLD(69)通過數(shù)據(jù) 線分別與輸出光繼電器(70)、輸入光耦合器(71)和輸入AB相脈沖發(fā)生器(72)相連。 本實用新型的有益效果是，所述的一種數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，可以由單個或多個 伺服電機(jī)拖動，每個伺服電機(jī)還可以單獨驅(qū)動，這樣可以靈活規(guī)劃加工工藝，每步工序中各驅(qū)動件的轉(zhuǎn)速及轉(zhuǎn)向均可靈活編輯；從而使變速范圍廣，運動精度更高，響應(yīng)速度更快，抗 干擾能力強(qiáng)，能更好的適應(yīng)不同研磨材料及研磨工藝的要求，實現(xiàn)了軟啟動，軟停止，調(diào)速 穩(wěn)定，沖擊小。工作可靠，對維護(hù)和保養(yǎng)要求低。

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本實用新型圖1的后視結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3為本實用新型圖1中的主軸驅(qū)動系統(tǒng)結(jié)構(gòu)原理示意圖； 圖4為本實用新型工業(yè)控制原理圖。
具體實施方式

以下結(jié)合附圖所示之最佳實施例作進(jìn)一步詳述 見圖1、2、3，所述的一種數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，包括有焊接箱體16，其特點是還包 括有所述的焊接箱體16的一側(cè)設(shè)有立柱17，焊接箱體16的另一側(cè)設(shè)有電器柜13，橫梁 18的兩端分別固定安裝在立柱17和電器柜13上，焊接箱體16內(nèi)的主支座14上設(shè)有主軸 驅(qū)動系統(tǒng)15，橫梁18上與主軸驅(qū)動系統(tǒng)15對應(yīng)的位置設(shè)有上盤裝置，操作箱12通過操作 箱托臂9設(shè)在電器柜13上，上盤裝置的快速作用缸5的氣缸桿朝下固定安裝在橫粱18中 央，快速作用缸5的氣缸桿與緩作用缸4相連接，緩作用缸4的氣缸桿與拉力傳感器組件6 相連，承載盤19通過支桿20設(shè)在拉力傳感器組件6的下方，上盤21固定安裝在承載盤19 上，分液環(huán)22固定設(shè)置在拉力傳感器組件6上，分液環(huán)22上設(shè)有分液球閥8，分液環(huán)22通 過管架7與拉力傳感器組件6固定連接；所述的操作箱12內(nèi)設(shè)有用于運動控制的上位機(jī)平 板電腦，平板電腦內(nèi)設(shè)控制程序，通過觸摸屏發(fā)送指令進(jìn)行設(shè)備的數(shù)據(jù)采集、傳輸、處理，以 完成該研磨拋光機(jī)的高精度控制；所述的電器柜13內(nèi)設(shè)有用于運動控制的工業(yè)控制器和 電機(jī)驅(qū)動機(jī)構(gòu)。 所述的緩作用缸4上固定連接有上防轉(zhuǎn)板23，拉力傳感器組件6上固定連接有下 防轉(zhuǎn)板24，防轉(zhuǎn)桿25與下防轉(zhuǎn)板24固定連接，防轉(zhuǎn)桿25的上端設(shè)置在上防轉(zhuǎn)板23的U型 槽內(nèi)。并可在U型槽內(nèi)滑動。上盤21在快速作用缸5及緩作用缸4的驅(qū)動下實現(xiàn)垂直移 動，同時也可轉(zhuǎn)動和浮動。 所述的上盤21的上邊緣固定設(shè)置有手柄10。所述的承載盤19上設(shè)有活動鍵11， 活動鍵11通過鍵座固定安裝在承載盤19內(nèi)環(huán)邊緣，數(shù)量為2個，成對稱分布。 所述的橫梁18上緩作用缸4的兩側(cè)分別設(shè)有拉伸彈簧2和掛鉤作用氣缸3，拉伸 彈簧2和掛鉤作用氣缸3與掛鉤1相連。在拉伸彈簧2和掛鉤作用氣缸3的作用下，掛鉤 l可實現(xiàn)擺動。所述的拉力傳感器組件6內(nèi)設(shè)有關(guān)節(jié)軸承及推力軸承或深溝球軸承。 所述的主軸驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括有包括有設(shè)置在焊接箱體16的主電機(jī)26和主支座14， 主電機(jī)26通過皮帶51與設(shè)在主支座14上的主減速箱27相連，所述的主支座14上安裝有 支撐套46，抬升套57設(shè)置在支撐套46的外部，抬升套57下部設(shè)有抬升機(jī)構(gòu)61 ;齒圈套47 通過軸承52安裝在抬升套57上，齒圈套47上設(shè)有齒圈從動齒輪48，齒圈支架43固定安 裝在齒圈套47的上部，齒圈42設(shè)在齒圈支架43上，支撐套46內(nèi)通過軸承裝有下盤軸45， 下盤軸45上部固定安裝有托盤37，下盤41設(shè)置在托盤37上，下盤41和托盤37上對應(yīng)設(shè)有撥銷60 ;下盤軸45的下部固定設(shè)有下盤從動齒輪33，下盤軸45內(nèi)部通過軸承裝有太陽 輪軸44，太陽輪軸44的上部設(shè)有太陽輪支架58，太陽輪支架58上設(shè)有太陽輪40，太陽輪 軸44的下端固定設(shè)有太陽輪從動齒輪29 ;太陽輪軸44內(nèi)部通過軸承設(shè)有中心軸38，中心 軸38上部固定連接有帶動上盤旋轉(zhuǎn)的撥輪39，中心軸38的下端固定連接有上盤從動齒輪 30，中心軸38下部通過軸承與主支座14安裝定位。 所述的焊接箱體16上還設(shè)有上盤電機(jī)54，上盤電機(jī)54通過皮帶與上盤減速箱55 相連，上盤減速箱55的動力輸出軸上設(shè)有上盤主動齒輪56，上盤主動齒輪56與第二惰輪 59相嚙合，第二惰輪59與上盤從動齒輪30相嚙合，所述的主支座14上的主減速箱27的動 力輸出軸上設(shè)有動力輸入齒輪31 ，動力輸入齒輪31與下盤主動齒輪32相嚙合，下盤主動齒 輪32與下盤從動齒輪33相嚙合；下盤主動齒輪32設(shè)在動力傳動軸28上，動力傳動軸28 通過軸承設(shè)在主支座14上。 所述的主支座14上還設(shè)有太陽輪電機(jī)35和齒圈電機(jī)49，太陽輪電機(jī)35與太陽輪 減速箱36相連，太陽輪減速箱36的動力輸出軸上設(shè)有太陽輪主動齒輪34，太陽輪主動齒 輪34與太陽輪從動齒輪29相嚙合；齒圈電機(jī)49與齒圈減速箱50相連，齒圈減速箱50的 動力輸出軸上設(shè)有齒圈主動齒輪53，齒圈主動齒輪53與齒圈從動齒輪48相嚙合。 所述的工業(yè)控制器包括有單片機(jī)62、環(huán)形變壓器和電壓差分放大器66，單片機(jī)62 的兩個串口分別與上位機(jī)63和變頻器64相連，單片機(jī)62的通過SPI總線與數(shù)模轉(zhuǎn)換器 DAC 65和鐵電67相連，單片機(jī)62通過數(shù)據(jù)總線與電壓差分放大器66相連，單片機(jī)62通過 數(shù)據(jù)地址總線與可編程邏輯控制器CPLD 69相連，單片機(jī)62通過并行地址數(shù)據(jù)總線與備用 的存儲器RAM 68相連，可編程邏輯控制器CPLD 69通過數(shù)據(jù)線分別與輸出光繼電器70、輸 入光耦合器71和輸入AB相脈沖發(fā)生器72相連。
權(quán)利要求一種數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，包括有焊接箱體(16)，其特征是還包括有所述的焊接箱體(16)的一側(cè)設(shè)有立柱(17)，焊接箱體(16)的另一側(cè)設(shè)有電器柜(13)，橫梁(18)的兩端分別固定安裝在立柱(17)和電器柜(13)上，焊接箱體(16)內(nèi)的主支座(14)上設(shè)有主軸驅(qū)動系統(tǒng)(15)，橫梁(18)上與主軸驅(qū)動系統(tǒng)(15)對應(yīng)的位置設(shè)有上盤裝置(21)，操作箱(12)通過操作箱托臂(9)安裝在電器柜(13)頂部，上盤裝置的快速作用缸(5)的氣缸桿朝下固定安裝在橫梁(18)中央，快速作用缸(5)的氣缸桿與緩作用缸(4)相連接，緩作用缸(4)的氣缸桿與拉力傳感器組件(6)相連，承載盤(19)通過支桿(20)設(shè)在拉力傳感器組件(6)的下方，上盤(21)固定安裝在承載盤(19)上，分液環(huán)(22)固定設(shè)置在拉力傳感器組件(6)上，分液環(huán)(22)上設(shè)有分液球閥(8)，分液環(huán)(22)通過管架(7)與拉力傳感器組件(6)固定連接；所述的操作箱(12)內(nèi)設(shè)有用于運動控制的上位機(jī)平板電腦，所述的電器柜(13)內(nèi)設(shè)有用于運動控制的工業(yè)控制器和電機(jī)驅(qū)動機(jī)構(gòu)。
2. 如權(quán)利要求1所述的一種數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，其特征在于所述的緩作用缸(4) 上固定連接有上防轉(zhuǎn)板(23)，拉力傳感器組件(6)上固定連接有下防轉(zhuǎn)板(24)，防轉(zhuǎn)桿 (25)與下防轉(zhuǎn)板(24)固定連接，防轉(zhuǎn)桿(25)的上端定位于上防轉(zhuǎn)板(23)的U型槽內(nèi)。
3. 如權(quán)利要求l所述的一種數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，其特征在于所述的上盤(21)的上 邊緣固定有手柄(10)。
4. 如權(quán)利要求1所述的一種數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，其特征在于所述的承載盤(19)上 設(shè)有活動鍵(ll)，活動鍵(11)通過鍵座固定安裝在承載盤(19)內(nèi)環(huán)邊緣，數(shù)量為2個，對 稱分布。
5. 如權(quán)利要求2所述的一種數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，其特征在于所述的橫梁(18)上緩 作用缸(4)的兩側(cè)分別設(shè)有拉伸彈簧(2)和掛鉤作用氣缸(3)，拉伸彈簧(2)和掛鉤作用氣 缸(3)與掛鉤(1)相連。
6. 如權(quán)利要求2所述的一種數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，其特征在于所述的拉力傳感器組 件(6)內(nèi)設(shè)有關(guān)節(jié)軸承及推力軸承或深溝球軸承。
7. 如權(quán)利要求1所述的一種數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，其特征在于所述的主軸驅(qū)動機(jī)構(gòu) 包括有設(shè)置在焊接箱體(16)的主電機(jī)(26)和主支座(14)，主電機(jī)(26)通過皮帶(51)與 設(shè)在主支座(14)上的主減速箱(27)相連，所述的主支座(14)上安裝有支撐套(46)，抬升 套(57)設(shè)置在支撐套(46)的外部，抬升套(57)下部設(shè)有抬升機(jī)構(gòu)(61);齒圈套(47)通 過軸承(52)安裝在抬升套(57)上，齒圈套(47)上設(shè)有齒圈從動齒輪(48)，齒圈支架(43) 固定安裝在齒圈套(47)的上部，齒圈(42)設(shè)在齒圈支架(43)上，支撐套(46)內(nèi)通過軸承 裝有下盤軸(45)，下盤軸(45)上部固定安裝有托盤(37)，下盤(41)設(shè)置在托盤(37)上， 下盤(41)和托盤(37)上對應(yīng)設(shè)有撥銷(60);下盤軸(45)的下部固定設(shè)有下盤從動齒輪 (33)，下盤軸(45)內(nèi)部通過軸承裝有太陽輪軸(44)，太陽輪軸(44)的上部設(shè)有太陽輪支架 (58)，太陽輪支架(58)上設(shè)有太陽輪(40)，太陽輪軸(44)的下端固定設(shè)有太陽輪從動齒 輪(29);太陽輪軸(44)內(nèi)部通過軸承設(shè)有中心軸(38)，中心軸(38)上部固定連接有帶動 上盤旋轉(zhuǎn)的撥輪(39)，中心軸(38)的下端固定連接有上盤從動齒輪(30)，中心軸(38)下 部通過軸承與主支座(14)安裝定位。
8. 如權(quán)利要求7所述的一種數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，其特征是所述的焊接箱體(16)上 還設(shè)有上盤電機(jī)(54)，上盤電機(jī)(54)通過皮帶與上盤減速箱(55)相連，上盤減速箱(55)的動力輸出軸上設(shè)有上盤主動齒輪(56)，上盤主動齒輪(56)與第二惰輪(59)相嚙合，第二 惰輪(59)與上盤從動齒輪(30)相嚙合，所述的主支座(14)上的主減速箱(27)的動力輸 出軸上設(shè)有動力輸入齒輪(31)，動力輸入齒輪(31)與下盤主動齒輪(32)相嚙合，下盤主動 齒輪(32)與下盤從動齒輪(33)相嚙合；下盤主動齒輪(32)設(shè)在動力傳動軸(28)上，動力 傳動軸(28)通過軸承設(shè)在主支座(14)上。
9. 如權(quán)利要求8所述的一種數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，其特征是所述的主支座(14)上還 設(shè)有太陽輪電機(jī)(35)和齒圈電機(jī)(49)，太陽輪電機(jī)(35)與太陽輪減速箱(36)相連，太陽 輪減速箱(36)的動力輸出軸上設(shè)有太陽輪主動齒輪(34)，太陽輪主動齒輪(34)與太陽輪 從動齒輪(29)相嚙合；齒圈電機(jī)(49)與齒圈減速箱(50)相連，齒圈減速箱(50)的動力輸 出軸上設(shè)有齒圈主動齒輪(53)，齒圈主動齒輪(53)與齒圈從動齒輪(48)相嚙合。
10. 如權(quán)利要求1所述的一種數(shù)控精密研磨拋光機(jī)，其特征是所述的工業(yè)控制器包括 有單片機(jī)(62)、環(huán)形變壓器和電壓差分放大器(66)，單片機(jī)(62)的兩個串口分別與上位機(jī) (63)和變頻器(64)相連，單片機(jī)(62)的通過SPI總線與數(shù)模轉(zhuǎn)換器DAC(65)和鐵電(67) 相連，單片機(jī)(62)通過數(shù)據(jù)總線與電壓差分放大器(66)相連，單片機(jī)(62)通過數(shù)據(jù)地址 總線與可編程邏輯控制器CPLD(69)相連，單片機(jī)(62)通過并行地址數(shù)據(jù)總線與備用的存 儲器RAM(68)相連，可編程邏輯控制器CPLD(69)通過數(shù)據(jù)線分別與輸出光繼電器(70)、輸 入光耦合器(71)和輸入AB相脈沖發(fā)生器(72)相連。
專利摘要本實用新型涉及主要用于硅片、硬盤基片、光盤母盤、陶瓷片、石英晶體及其它硬脆材料的研磨加工設(shè)備，具體涉及一種數(shù)控精密研磨拋光機(jī)。包括有焊接箱體(16)，其主支座(14)上設(shè)有主軸驅(qū)動系統(tǒng)(15)，其上盤裝置的快速作用缸(5)的氣缸桿朝下固定安裝在橫粱(18)中央，快速作用缸(5)的氣缸桿與緩作用缸(4)相連接，其操作箱(12)內(nèi)設(shè)有用于運動控制的上位機(jī)平板電腦，所述的電器柜(13)內(nèi)設(shè)有用于運動控制的工業(yè)控制器和電機(jī)驅(qū)動機(jī)構(gòu)。其變速范圍廣，運動精度更高，響應(yīng)速度更快，抗干擾能力強(qiáng)，能更好的適應(yīng)不同研磨材料及研磨工藝的要求，實現(xiàn)了軟啟動，軟停止，調(diào)速穩(wěn)定，沖擊小。
文檔編號B24B51/00GK201471286SQ20092016314
公開日2010年5月19日 申請日期2009年7月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月10日
發(fā)明者周軍, 梁春, 金萬斌 申請人:蘭州瑞德實業(yè)集團(tuán)有限公司