專利名稱：晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種技術(shù)調(diào)節(jié)技術(shù)，特別是涉及一種應(yīng)用于晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào) 節(jié)機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，集成電路(integratedcircuit，IC)的運(yùn)用已經(jīng) 無處不在，因而作為集成電路的原材料，晶圓制造加工業(yè)的發(fā)展也日趨發(fā)展。集成電路作為 極為精密的器件，在各個(gè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)中對(duì)精準(zhǔn)度的要求都不容忽視。晶圓制造過程中的每一 個(gè)步驟，包括蝕刻、氧化、沉積、去光阻、以及化學(xué)機(jī)械磨削等，其中在機(jī)械磨削過程中對(duì)晶 圓的磨削精度有著極為嚴(yán)格的要求和限制。為了薄化半導(dǎo)體封裝件通常會(huì)對(duì)晶圓的背面實(shí)施磨削，而完成該項(xiàng)制程的就是業(yè) 內(nèi)俗稱的晶圓背磨機(jī)。所述的晶圓背磨機(jī)通常包括可旋轉(zhuǎn)的工作臺(tái)面、多個(gè)設(shè)置在該工作 臺(tái)面上并可轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)磨削吸盤、以及懸設(shè)于該工作臺(tái)面上方的磨頭等部件。對(duì)晶圓進(jìn)行 磨削時(shí)，是先將晶圓放置在其中的一個(gè)旋轉(zhuǎn)磨削吸盤上，再將轉(zhuǎn)動(dòng)的磨頭放下對(duì)準(zhǔn)該晶圓 載具上的晶圓進(jìn)行磨削作業(yè)。在現(xiàn)有技術(shù)中，為確保對(duì)晶圓的磨削精度，必須保證該磨頭相 對(duì)該旋轉(zhuǎn)磨削吸盤的高度水平精度，因此就需要在磨削作業(yè)前對(duì)該磨頭進(jìn)行水平檢測(cè)并橫 向調(diào)整或縱向調(diào)整。在現(xiàn)有技術(shù)中，無論是對(duì)背磨機(jī)的磨頭進(jìn)行橫向調(diào)整還是縱向調(diào)整均是采用螺絲 在螺孔中的旋進(jìn)旋出的方式，由于背磨機(jī)的磨頭大多裝設(shè)有質(zhì)量比較重的驅(qū)動(dòng)裝置(例如 馬達(dá))，所以要調(diào)整其移位的時(shí)候需要很大的力量，因而所采用的調(diào)整螺絲也是牙徑長(zhǎng)螺距 寬的高強(qiáng)度調(diào)節(jié)螺絲，然，由于所述磨頭大多是微觀上的傾斜，用以上所述調(diào)節(jié)螺絲稍微旋 進(jìn)或旋出一點(diǎn)就會(huì)形成很大的誤差，進(jìn)而導(dǎo)致調(diào)節(jié)不精確，為解決這一問題，業(yè)內(nèi)人員往往 會(huì)在磨頭的對(duì)稱兩側(cè)均設(shè)置調(diào)節(jié)螺絲，于調(diào)節(jié)磨頭時(shí)采用一邊旋出一邊旋進(jìn)的方式而達(dá)到 精確調(diào)節(jié)的目的，但是，調(diào)節(jié)螺絲位于磨頭兩側(cè)操作極為不便，往往一個(gè)操作人員難以單獨(dú) 完成，不僅費(fèi)時(shí)而且費(fèi)力，進(jìn)而降低了工作效率。所以，如何提供一種晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，以避免以上所述的缺點(diǎn)，實(shí)為相 關(guān)領(lǐng)域之業(yè)者目前亟待解決的問題。
發(fā)明內(nèi)容鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶圓背磨機(jī)的磨 頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，不但便于調(diào)節(jié)操作，而且還可以達(dá)成二維空間的精確調(diào)節(jié)。為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī) 構(gòu)，其至少包括有第一拖板、第二拖板、磨頭座、垂向斜塊、縱向圓軸、第一螺孔板、第二螺孔 板、縱向調(diào)整件。其中，所述第二拖板活動(dòng)結(jié)合于所述第一拖板；所述磨頭座活動(dòng)結(jié)合于所 述第二拖板；所述垂向斜塊設(shè)置于所述第二拖板，所述垂向斜塊具有一垂向螺孔以及相對(duì) 垂向呈傾斜夾角的傾斜面；所述縱向圓軸設(shè)置于所述磨頭座，所述縱向圓軸的弧面接觸所述垂向斜塊的傾斜面；所述第一螺孔板固定于所述第二拖板，所述第一螺孔板具有第一螺 孔，所述第一螺孔具有第一內(nèi)螺紋；所述第二螺孔板固定于所述第一拖板，所述第二螺孔板 具有第二螺孔，所述第二螺孔具有第二內(nèi)螺紋；所述縱向調(diào)整件具有相對(duì)所述第一內(nèi)螺紋 的第一外螺紋及相對(duì)所述第二內(nèi)螺紋的第二外螺紋，所述縱向調(diào)整件依次穿過所述第二螺 孔板及第一螺孔板并旋設(shè)于所述第二螺孔及第一螺孔，并于所述第二螺孔及第一螺孔內(nèi)旋 進(jìn)或旋出時(shí)帶動(dòng)所述第二拖板縱向移動(dòng)。在本實(shí)用新型的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，還包括一微調(diào)螺桿，所述微調(diào)螺桿 旋設(shè)于所述垂向斜塊的垂向螺孔，并于旋進(jìn)或旋出時(shí)帶動(dòng)所述垂向斜塊垂向移動(dòng)；所述第 二拖板與磨頭座之間具有中心軸，由于所述垂向斜塊的傾斜面抵觸所述縱向圓軸的弧面， 故在所述垂向斜塊的傾斜面垂向運(yùn)動(dòng)時(shí)必迫使所述縱向圓軸于橫向移動(dòng)，并以所述第二拖 板與磨頭座之間的中心軸為支點(diǎn)，進(jìn)而撬動(dòng)所述磨頭座橫向調(diào)節(jié)。在本實(shí)用新型的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，還包括一橫向緊固件；所述垂向斜 塊還具有一狹長(zhǎng)槽，所述縱向圓軸具有一對(duì)應(yīng)所述狹長(zhǎng)槽的通孔，所述橫向緊固件依次穿 過所述通孔及狹長(zhǎng)槽，于所述磨頭座橫向調(diào)節(jié)好之后，將所述縱向圓軸及垂向斜塊的相對(duì) 位置固定。于具體的實(shí)施方式中，所述橫向緊固件為螺栓。在本實(shí)用新型的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)中，所述第一內(nèi)螺紋的螺距大于所述 第二內(nèi)螺紋的螺距，所述第一外螺紋的螺距大于所述第二外螺紋的螺距，所述第一內(nèi)螺紋 的螺距等于所述第一外螺紋的螺距，所述第二內(nèi)螺紋的螺距等于所述第二外螺紋的螺距。 于具體的實(shí)施方式中，所述縱向調(diào)整件為差動(dòng)螺絲。如上所述，本實(shí)用新型的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，通過垂向斜塊與縱向圓軸 的結(jié)合對(duì)所述磨頭座進(jìn)行橫向調(diào)節(jié)，通過第一螺孔板及第二螺孔板與縱向調(diào)整件的結(jié)合對(duì) 所述磨頭座進(jìn)行縱向調(diào)節(jié)，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)不但容易操作，而且還 可以達(dá)成二維空間的精確調(diào)節(jié)，進(jìn)而解決了現(xiàn)有技術(shù)中調(diào)節(jié)操作極為不便，費(fèi)時(shí)費(fèi)力而降 低了工作效率等諸多缺點(diǎn)。


圖1顯示為本實(shí)用新型的背磨機(jī)的磨頭結(jié)構(gòu)立體示意圖。 圖2顯示為本實(shí)用新型的背磨機(jī)的磨頭結(jié)構(gòu)側(cè)向剖面示意圖。 圖3顯示為圖2的A處放大示意圖。
圖4顯示為本實(shí)用新型的背磨機(jī)的磨頭結(jié)構(gòu)俯視剖面示意圖。 圖5顯示為圖4的B處放大示意圖。 圖6顯示為本實(shí)用新型的縱向調(diào)整件的結(jié)構(gòu)示意圖。 元件標(biāo)號(hào)的簡(jiǎn)單說明
11第一拖板 111 螺孔
12第二拖板
13磨頭座 131,151 通孔
14垂向斜塊[0025]141垂向螺孔[0026]142傾斜面[0027]143狹長(zhǎng)槽[0028]15縱向圓軸[0029]16第一螺孔板[0030]161第一螺孔[0031]17第二螺孔板[0032]171第二螺孔[0033]18縱向調(diào)整件[0034]181第一外螺紋[0035]182第二外螺紋[0036]19微調(diào)螺桿[0037]20橫向緊固件[0038]21中心軸
具體實(shí)施方式
以下通過特定的具體實(shí)例說明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說 明書所揭示的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本實(shí)用新型還可以通過另外 不同的具體實(shí)方式加以實(shí)施或應(yīng)用，本說明書中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用， 在不背離本實(shí)用新型的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。請(qǐng)參閱圖1至圖5，其顯示為本實(shí)用新型的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的實(shí)施方 式示意圖，如圖所示，本實(shí)用新型提供一種晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其至少包括有第一 拖板11、第二拖板12、磨頭座13、垂向斜塊14、縱向圓軸15、第一螺孔板16、第二螺孔板17、 縱向調(diào)整件18、微調(diào)螺桿19、橫向緊固件20、以及中心軸21。需要說明的是，圖式中均為簡(jiǎn)化的示意圖式，而僅以示意方式說明本實(shí)用新型的 基本構(gòu)想，遂圖式中僅顯示與本實(shí)用新型的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)有關(guān)的組件而非按 照實(shí)際實(shí)施時(shí)的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實(shí)際實(shí)施時(shí)各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為 一種隨意的改變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復(fù)雜。請(qǐng)參閱圖1及圖3，圖1顯示為本實(shí)用新型的背磨機(jī)的磨頭結(jié)構(gòu)立體示意圖。圖2 顯示為本實(shí)用新型的背磨機(jī)的磨頭結(jié)構(gòu)側(cè)向剖面示意圖。圖3顯示為圖2的A處放大示意 圖。于本實(shí)用新型的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)中，所述第二拖板12活動(dòng)結(jié)合于所述第一 拖板11并可相對(duì)所述第一拖板11移動(dòng)，所述磨頭座13活動(dòng)結(jié)合于所述第二拖板12并可 相對(duì)所述第二拖板12移動(dòng)。如圖所示，所述垂向斜塊14設(shè)置于所述第二拖板12，所述垂向斜塊14具有一垂向 螺孔141以及相對(duì)垂向呈傾斜夾角的傾斜面142，需要說明地是，所述傾斜面142相對(duì)垂向 呈現(xiàn)的傾斜夾角可根據(jù)具體的實(shí)際情況而設(shè)計(jì)，于本實(shí)施方式中，所述垂向斜塊14還具有 一狹長(zhǎng)槽143，具體地，所述狹長(zhǎng)槽143呈U型結(jié)構(gòu)。所述縱向圓軸15呈縱向設(shè)置并設(shè)置于所述磨頭座13，具體地，所述磨頭座13具有 一 V型槽(未標(biāo)示)，所述縱向圓軸15呈縱向設(shè)置并設(shè)置于所述V型槽內(nèi)。所述縱向圓軸15的弧面接觸所述垂向斜塊14的傾斜面142，所述縱向圓軸15還具有一對(duì)應(yīng)所述狹長(zhǎng)槽143的通孔151。所述微調(diào)螺桿19旋設(shè)于所述垂向斜塊14的垂向螺孔141，并于旋進(jìn)或旋出時(shí)帶動(dòng) 所述垂向斜塊14進(jìn)行垂向移動(dòng)；所述中心軸21位于第二拖板12與磨頭座13之間。由于 所述垂向斜塊14的傾斜面141抵觸所述縱向圓軸15的弧面，故在所述垂向斜塊14的傾斜 面141垂向運(yùn)動(dòng)時(shí)必迫使所述縱向圓軸15在橫向移動(dòng)，并以所述第二拖板12與磨頭座13 之間的中心軸21為支點(diǎn)，進(jìn)而帶動(dòng)所述磨頭座13繞軸心前頃或后仰調(diào)整，即撬動(dòng)所述磨頭 座13橫向調(diào)節(jié)。由于本實(shí)用新型采用了斜面與弧面相切的結(jié)構(gòu)，使得所述磨頭座13的橫 向移動(dòng)量更容易控制。需要說明的是，所述第一拖板11具有一螺孔111，所述磨頭座13具有一通孔131， 艮口，所述通孔131、通孔151、狹長(zhǎng)槽143以及螺孔111位于同一水平線上，于所述磨頭座橫 13向調(diào)節(jié)好之后，藉由以橫向緊固件20加以固定。所述橫向緊固件20依次穿過所述通孔 131、通孔151、狹長(zhǎng)槽143并鎖固于所述螺孔111中，也就是將所述縱向圓軸15及垂向斜塊 14的相對(duì)位置固定。于具體的實(shí)施方式中，所述橫向緊固件20為螺栓。請(qǐng)參閱圖4及圖5，圖4顯示為本實(shí)用新型的背磨機(jī)的磨頭結(jié)構(gòu)俯視剖面示意圖。 圖5顯示為圖4的B處放大示意圖。如圖所示，所述第一螺孔板16固定于所述第二拖板 12，所述第一螺孔板16具有第一螺孔161，所述第一螺孔161具有第一內(nèi)螺紋。所述第二螺 孔板17固定于所述第一拖板11，所述第二螺孔板17具有第二螺孔171，所述第二螺孔171 具有第二內(nèi)螺紋。于本實(shí)施方式中，所述第一內(nèi)螺紋的螺距大于所述第二內(nèi)螺紋的螺距。所述縱向調(diào)整件18具有相對(duì)所述第一內(nèi)螺紋的第一外螺紋181及相對(duì)所述第二 內(nèi)螺紋的第二外螺紋182，所述縱向調(diào)整件18依次穿過所述第二螺孔板17及第一螺孔板 16并旋設(shè)于所述第二螺孔171及第一螺孔161，并于所述第二螺孔171及第一螺孔161內(nèi) 旋進(jìn)或旋出時(shí)帶動(dòng)所述第二拖板12縱向移動(dòng)，進(jìn)而由第二拖板12帶動(dòng)所述磨頭座13繞軸 心左右傾斜角度調(diào)節(jié)，即縱向調(diào)節(jié)。需要特別指出的是，請(qǐng)參閱圖6，圖6顯示為本實(shí)用新型的縱向調(diào)整件的結(jié)構(gòu)示意 圖。所述第一外螺紋181的螺距大于所述第二外螺紋182的螺距，所述第一內(nèi)螺紋的螺距 等于所述第一外螺紋181的螺距，所述第二內(nèi)螺紋的螺距等于所述第二外螺紋182的螺距。 于具體的實(shí)施方式中，所述縱向調(diào)整件18為差動(dòng)螺絲。由于所述縱向調(diào)整件18上具有兩種不同螺距的螺紋，即第一外螺紋181與第二外 螺紋182，并于所述第一螺孔板16上設(shè)置對(duì)應(yīng)所述第一外螺紋181的第一內(nèi)螺紋，于所述第 二螺孔板17上設(shè)置對(duì)應(yīng)所述第二外螺紋182的第二內(nèi)螺紋，當(dāng)所述縱向調(diào)整件18于所述 第二螺孔171及第一螺孔161內(nèi)旋進(jìn)或旋出時(shí)，所縱向移動(dòng)的距離即為第一外螺紋181螺 距與第二外螺紋182螺距的差值，或者說為第一內(nèi)螺紋螺距與第二內(nèi)螺紋螺距的差值。于本實(shí)施里中，所述縱向調(diào)整件18的第一外螺紋181螺距為1. 5mm，第二外螺紋 182的螺距為2. Omm,即所述縱向調(diào)整件18每旋進(jìn)一圈，位于前段的第一外螺紋181比位于 后段的第二外螺紋182多位移0. 5mm,也就是說，帶動(dòng)第二拖板12和磨頭座13位移0. 5mm, 如此以來，則更加精確地控制了所述縱向調(diào)整件18的旋進(jìn)或旋出的距離，進(jìn)而更加精確地 控制了所述磨頭座13在縱向的移動(dòng)量。然，所述縱向調(diào)整件18的第一外螺紋181及第二外螺紋182的螺距并不局限以上所列舉之?dāng)?shù)值，于其它的實(shí)施方式中，可根據(jù)實(shí)際的需要來設(shè)計(jì)螺紋螺距的數(shù)值，凡達(dá)成本 實(shí)用新型中揭示之技術(shù)思想，均被本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。綜上所述，本實(shí)用新型主要是通過垂向斜塊與縱向圓軸的結(jié)合對(duì)所述磨頭座進(jìn)行 橫向調(diào)節(jié)，通過第一螺孔板及第二螺孔板與縱向調(diào)整件的結(jié)合對(duì)所述磨頭座進(jìn)行縱向調(diào) 節(jié)，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)不但容易操作，而且還可以達(dá)成二維空間的精 確調(diào)節(jié)，進(jìn)而解決了現(xiàn)有技術(shù)中調(diào)節(jié)操作極為不便，費(fèi)時(shí)費(fèi)力而降低了工作效率等，即有效 克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺陷而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。上述實(shí)施例僅例示性說明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非用于限制本實(shí)用新 型。任何熟習(xí)此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行 修飾或改變。因此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精 神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
權(quán)利要求一種晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其至少包括有第一拖板、活動(dòng)結(jié)合于所述第一拖板的第二拖板、以及活動(dòng)結(jié)合于所述第二拖板的磨頭座，其特征在于垂向斜塊，設(shè)置于所述第二拖板，所述垂向斜塊具有一垂向螺孔以及相對(duì)垂向呈傾斜夾角的傾斜面；縱向圓軸，設(shè)置于所述磨頭座，所述縱向圓軸的弧面接觸所述垂向斜塊的傾斜面；第一螺孔板，固定于所述第二拖板，所述第一螺孔板具有第一螺孔，所述第一螺孔具有第一內(nèi)螺紋；第二螺孔板，固定于所述第一拖板，所述第二螺孔板具有第二螺孔，所述第二螺孔具有第二內(nèi)螺紋；以及縱向調(diào)整件，具有相對(duì)所述第一內(nèi)螺紋的第一外螺紋及相對(duì)所述第二內(nèi)螺紋的第二外螺紋，所述縱向調(diào)整件依次穿過所述第二螺孔板及第一螺孔板并旋設(shè)于所述第二螺孔及第一螺孔，并于所述第二螺孔及第一螺孔內(nèi)旋進(jìn)或旋出時(shí)帶動(dòng)所述第二拖板縱向移動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于還包括一微調(diào)螺桿， 旋設(shè)于所述垂向斜塊的垂向螺孔，并于旋進(jìn)或旋出時(shí)帶動(dòng)所述垂向斜塊垂向移動(dòng)。
3.如權(quán)利要求1所述的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述垂向斜塊還具 有一狹長(zhǎng)槽。
4.如權(quán)利要求3所述的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述縱向圓軸具有 一對(duì)應(yīng)所述狹長(zhǎng)槽的通孔。
5.如權(quán)利要求4所述的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于還包括一橫向緊固 件，所述橫向緊固件依次穿過所述通孔及狹長(zhǎng)槽將所述縱向圓軸及垂向斜塊的相對(duì)位置固定。
6.如權(quán)利要求1所述的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述第二拖板與磨 頭座之間具有中心軸。
7.如權(quán)利要求1所述的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述第一內(nèi)螺紋的 螺距大于所述第二內(nèi)螺紋的螺距。
8.如權(quán)利要求1所述的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述第一外螺紋的 螺距大于所述第二外螺紋的螺距。
9.如權(quán)利要求7或8所述的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述第一內(nèi)螺 紋的螺距等于所述第一外螺紋的螺距；所述第二內(nèi)螺紋的螺距等于所述第二外螺紋的螺 距。
10.如權(quán)利要求1所述的晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述縱向調(diào)整件為差動(dòng)螺絲。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種晶圓背磨機(jī)的磨頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，用以對(duì)所述磨頭的前、后，左、右傾斜角度進(jìn)行調(diào)整，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)至少包括有第一拖板、活動(dòng)結(jié)合于所述第一拖板的第二拖板、及活動(dòng)結(jié)合于所述第二拖板的磨頭座，其重點(diǎn)是藉由所述垂向斜塊的傾斜面抵觸所述縱向圓軸的弧面，以使所述垂向斜塊的傾斜面垂向運(yùn)動(dòng)時(shí)迫使所述縱向圓軸于橫向活動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)所述磨頭座繞軸心前頃或后仰調(diào)整，以及藉由第一螺孔板及第二螺孔板與縱向調(diào)整件的結(jié)合，利用螺紋的螺距差值達(dá)到精確的左、右傾斜角度調(diào)整，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型不但便于調(diào)節(jié)操作，而且還可以達(dá)成二維空間的精確調(diào)節(jié)，進(jìn)而解決了現(xiàn)有技術(shù)中調(diào)節(jié)操作極為不便，費(fèi)時(shí)費(fèi)力而降低了工作效率等諸多缺點(diǎn)。
文檔編號(hào)B24B37/04GK201559119SQ200920211038
公開日2010年8月25日 申請(qǐng)日期2009年10月21日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月21日
發(fā)明者盧建偉 申請(qǐng)人:昭進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司