專利名稱：載具的傳送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種傳送裝置，特別涉及一種專門(mén)用來(lái)傳送載具的傳送裝置。
背景技術(shù)：
參閱圖1、圖2，在以往的濺鍍加工中，為了讓靶材原子能夠沉積在預(yù)定物件的表 面上，通常是將多片基板11架設(shè)于一個(gè)直立的載具12上，再利用一個(gè)傳送裝置2將承載有 基板11的載具12送到一個(gè)真空腔座13內(nèi)，該載具12具有一個(gè)位于下方的驅(qū)動(dòng)端121以 及一個(gè)位于上方的導(dǎo)引端122。所述真空腔座13具有一個(gè)界定出一個(gè)真空腔室131的腔壁 132，該腔壁132具有兩片平行直立的側(cè)壁部133以及一片水平位于該側(cè)壁部133頂端的頂 壁部134。 而該傳送裝置2包括一個(gè)架設(shè)于該腔壁132的其中一個(gè)側(cè)壁部133上并且驅(qū)動(dòng)載 具12沿著一個(gè)移送方向前進(jìn)的傳送機(jī)構(gòu)21以及一個(gè)架設(shè)于該頂壁部134及載具12的導(dǎo) 引端122間的導(dǎo)引機(jī)構(gòu)22。該傳送機(jī)構(gòu)21具有多個(gè)位于真空腔室131內(nèi)并供載具12的 驅(qū)動(dòng)端121架靠的輸送輪211，由于本實(shí)用新型的改良和傳送機(jī)構(gòu)21的構(gòu)造無(wú)關(guān)，不再詳 述。而該導(dǎo)引機(jī)構(gòu)22具有一條安裝在載具12的導(dǎo)引端122上的軌道221以及多個(gè)間隔地 安裝在真空腔座13的頂壁部134下方的導(dǎo)引桿222，每個(gè)導(dǎo)引桿222都具有一個(gè)伸入該軌 道221的一個(gè)導(dǎo)引槽223內(nèi)的導(dǎo)引頭224。 當(dāng)傳送機(jī)構(gòu)21帶動(dòng)載具12沿著移送方向前進(jìn)時(shí)，通過(guò)所述導(dǎo)引桿222的導(dǎo)引頭 224伸入軌道221的導(dǎo)引槽223內(nèi)，可以防止載具12在移送時(shí)，該導(dǎo)引端122產(chǎn)生晃動(dòng)、不 穩(wěn)的現(xiàn)象。 以往用來(lái)傳送載具12的傳送裝置2在設(shè)計(jì)上，雖然可以利用該導(dǎo)引機(jī)構(gòu)22來(lái)增 加載具12移送時(shí)的順暢性，但是就導(dǎo)引桿222及軌道221的設(shè)計(jì)來(lái)說(shuō)，該導(dǎo)引桿222的導(dǎo)引 頭224必需和軌道221的導(dǎo)引槽223的寬度配合，才能達(dá)到較佳的導(dǎo)引效果，但如此一來(lái)， 該導(dǎo)引頭224也會(huì)和界定出該導(dǎo)引槽223的槽壁面產(chǎn)生摩擦，進(jìn)而產(chǎn)生摩擦粉塵。由于產(chǎn) 生的粉塵會(huì)散布在真空腔室131，這樣不但影響到真空腔室131的潔凈度，也會(huì)降低濺鍍加 工物件的加工品質(zhì)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種可以提高加工環(huán)境的潔凈度，并提高加工品質(zhì)的載 具的傳送裝置。 本實(shí)用新型的載具的傳送裝置安裝在一個(gè)真空腔座上，并且傳送一個(gè)載具以使該 載具沿著一個(gè)移送方向前進(jìn)，所述載具并具有一個(gè)導(dǎo)引端。而該傳送裝置包括一個(gè)用來(lái)移 送該載具的傳送機(jī)構(gòu)。 本實(shí)用新型所述的載具的傳送裝置還包括一個(gè)對(duì)應(yīng)該載具的導(dǎo)引端的磁浮導(dǎo)軌 機(jī)構(gòu)，上述磁浮導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)包括一個(gè)安裝在該載具的導(dǎo)引端上的磁浮單元、一個(gè)安裝在所述 真空腔座上的安裝座以及一個(gè)安裝在該安裝座上并利用相斥的磁力和該磁浮單元保持距離的固定導(dǎo)磁單元。 本實(shí)用新型所述的載具的傳送裝置，該安裝座具有兩個(gè)沿著移送方向設(shè)置且間隔
的安裝壁，所述固定導(dǎo)磁單元具有一個(gè)安裝在所述安裝壁中一個(gè)安裝壁上的第一導(dǎo)磁件以
及一個(gè)安裝在所述安裝壁中另外一個(gè)安裝壁上的第二導(dǎo)磁件，上述第一導(dǎo)磁件具有一個(gè)面
向該磁浮單元的一個(gè)第一磁浮面且與該第一磁浮面極性相同的第一導(dǎo)磁面，而該第二導(dǎo)磁
件具有一個(gè)面向該磁浮單元的一個(gè)第二磁浮面且與該第二磁浮面極性相同的第二導(dǎo)磁面。 本實(shí)用新型所述的載具的傳送裝置，該安裝座具有兩個(gè)左右間隔的懸掛桿以及一
個(gè)懸掛在前述懸掛桿的下方并且設(shè)置所述安裝壁的安裝軌道。 本實(shí)用新型的有益功效在于當(dāng)載具被移送的過(guò)程中，該磁浮單元及固定導(dǎo)磁單 元以懸空的方式移動(dòng)，而不會(huì)和其他的元件產(chǎn)生摩擦，因此，本實(shí)用新型該項(xiàng)設(shè)計(jì)不但可以 提高工作環(huán)境的潔凈度，也可以提高加工物件的加工品質(zhì)。

圖1是一種以往載具的傳送裝置的立體使用示意圖； 圖2是該以往傳送裝置的側(cè)視安裝示意圖； 圖3是本實(shí)用新型傳送裝置的一個(gè)較佳實(shí)施例的使用狀態(tài)參考圖，顯示該傳送裝 置安裝在一個(gè)真空腔座上并且承載一個(gè)載具時(shí)的狀態(tài)； 圖4是該較佳實(shí)施例的一個(gè)前視示意圖； 圖5是該較佳實(shí)施例的一個(gè)局部放大圖，主要顯示該傳送裝置的一個(gè)磁浮導(dǎo)軌機(jī) 構(gòu)。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。 參閱圖3、圖4、圖5，本實(shí)用新型傳送裝置的一個(gè)較佳實(shí)施例架設(shè)于一個(gè)真空腔座 30上，并可承載一個(gè)載具31，同時(shí)驅(qū)動(dòng)該載具31沿著一個(gè)移送方向32前進(jìn)，該真空腔座30 包括一個(gè)腔壁301以及一個(gè)由該腔壁301界定而成的真空腔室302，所述腔壁301并具有兩 片直立的側(cè)壁部303以及一片架設(shè)于所述側(cè)壁部303頂緣間的頂壁部304，而該載具31具 有一個(gè)靠近下方的驅(qū)動(dòng)端311以及一個(gè)接近頂壁部304的導(dǎo)引端312。 本實(shí)施例的傳送裝置包括一個(gè)供載具31架設(shè)并傳送載具31沿著移送方向32前 進(jìn)的傳送機(jī)構(gòu)4以及一個(gè)用來(lái)導(dǎo)引該載具31的磁浮導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)5。 本實(shí)施例的傳送機(jī)構(gòu)4包括多個(gè)間隔地架設(shè)于該真空腔座30的其中一個(gè)側(cè)壁部 303上的傳動(dòng)輪41、一個(gè)連動(dòng)所述傳動(dòng)輪41的皮帶單元42以及一個(gè)圖中未示出并可驅(qū)動(dòng) 所述傳動(dòng)輪41旋轉(zhuǎn)的動(dòng)力源，每個(gè)傳動(dòng)輪41都具有一個(gè)位于真空腔室302內(nèi)并供載具31 的驅(qū)動(dòng)端311架設(shè)的導(dǎo)環(huán)溝411。 本實(shí)施例的磁浮導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)5包括一個(gè)懸掛在真空腔座30的頂壁部304下方的安 裝座51、一個(gè)安裝在所述安裝座51上的固定導(dǎo)磁單元52以及一個(gè)固定地安裝在載具31的 導(dǎo)引端312上的磁浮單元53。該安裝座51具有兩個(gè)左右間隔的懸掛桿511以及一個(gè)懸掛 在所述懸掛桿511下方的安裝軌道512，該安裝軌道512具有兩個(gè)沿著移送方向32延伸并 且前后間隔的安裝壁513，每個(gè)安裝壁513都具有一個(gè)相對(duì)設(shè)置的安裝面514。本實(shí)施例的固定導(dǎo)磁單元52具有一個(gè)安裝在其中一個(gè)安裝面514上的第一導(dǎo)磁件521以及一個(gè)安裝 在另外一個(gè)安裝面514上的第二導(dǎo)磁件522，上述第一導(dǎo)磁件521及第二導(dǎo)磁件522都是強(qiáng) 力磁鐵的形式，而且第一導(dǎo)磁件521具有一個(gè)朝向第二導(dǎo)磁件522的第一導(dǎo)磁面523，第二 導(dǎo)磁件522具有一個(gè)朝向第一導(dǎo)磁件521的第二導(dǎo)磁面524，上述第一導(dǎo)磁面523及第二導(dǎo) 磁面524的極性相反。 本實(shí)施例的磁浮單元53沿著移送方向32橫向延伸，其固定在載具31的導(dǎo)引端 312上方，并且位于該第一導(dǎo)磁件521及第二導(dǎo)磁件522間，該磁浮單元53也是強(qiáng)力磁鐵的 形式，并具有一個(gè)朝向第一導(dǎo)磁面523的第一磁浮面531以及一個(gè)朝向第二導(dǎo)磁面524的 第二磁浮面532，該第一磁浮面531和第一導(dǎo)磁面523的極性相同，第二磁浮面532和第二 導(dǎo)磁面524的極性也是相同。 本實(shí)施例的傳送裝置在使用時(shí)，該載具31的驅(qū)動(dòng)端311架設(shè)于傳動(dòng)輪41的導(dǎo)環(huán) 溝411上，并且沿著該移送方向32前進(jìn)。而在載具31移送的過(guò)程中，由于該載具31的頂端 安裝有該磁浮單元53，所述磁浮單元53又位于第一導(dǎo)磁件521及第二導(dǎo)磁件522間，再加 上該磁浮單元53的第一磁浮面531及第二磁浮面532和對(duì)應(yīng)的第一導(dǎo)磁面523及第二導(dǎo) 磁面524都是同極相斥，因此，利用這些關(guān)系，可以讓磁浮單元53在不會(huì)和第一導(dǎo)磁件521 及第二導(dǎo)磁件522接觸的情況下，達(dá)到隨著載具31移送時(shí)穩(wěn)定、不晃動(dòng)的目的。換句話說(shuō)， 由于本實(shí)施例在移送載具31的過(guò)程中，該磁浮導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)5的元件不會(huì)抵靠、摩擦，因此，本 實(shí)用新型該項(xiàng)設(shè)計(jì)可以提高加工環(huán)境的潔凈度以及加工物件的加工品質(zhì)。 在設(shè)計(jì)上，本實(shí)用新型的磁浮單元53以及固定導(dǎo)磁單元52除了可以如實(shí)施例所 揭露使用長(zhǎng)條狀的強(qiáng)力磁鐵條外，還可以將其中的一個(gè)改變成間隔小塊的形式，也就是說(shuō)， 本實(shí)用新型的磁浮單元53也可以是多個(gè)間隔的強(qiáng)力磁鐵塊，或者將固定導(dǎo)磁單元52的第 一導(dǎo)磁件521及第二導(dǎo)磁件522改變成為多個(gè)間隔設(shè)置的強(qiáng)力磁鐵塊，以上的改變都可以 達(dá)到本實(shí)用新型預(yù)期的創(chuàng)作目的。
權(quán)利要求一種載具的傳送裝置，其安裝在一個(gè)具有一真空腔室的真空腔座上，并且傳送一個(gè)載具以使該載具沿著一個(gè)移送方向前進(jìn)，所述載具上具有一個(gè)導(dǎo)引端，而該載具的傳送裝置包括一個(gè)移送該載具前進(jìn)的傳送機(jī)構(gòu)；其特征在于，該載具的傳送裝置還包括一個(gè)磁浮導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)，上述磁浮導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)包括一個(gè)安裝在該載具的導(dǎo)引端上的磁浮單元、一個(gè)安裝在所述真空腔座上的安裝座以及一個(gè)安裝在該安裝座上并利用相斥的磁力和該磁浮單元保持距離的固定導(dǎo)磁單元。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述載具的傳送裝置，其特征在于，該安裝座具有兩個(gè)沿著移送方 向設(shè)置且間隔的安裝壁，所述固定導(dǎo)磁單元具有一個(gè)安裝在所述安裝壁中一個(gè)安裝壁上的 第一導(dǎo)磁件以及一個(gè)安裝在所述安裝壁中另外一個(gè)安裝壁上的第二導(dǎo)磁件，上述第一導(dǎo)磁 件具有一個(gè)面向該磁浮單元的一個(gè)第一磁浮面且與該第一磁浮面極性相同的第一導(dǎo)磁面， 而該第二導(dǎo)磁件具有一個(gè)面向該磁浮單元的一個(gè)第二磁浮面且與該第二磁浮面極性相同 的第二導(dǎo)磁面。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述載具的傳送裝置，其特征在于，該安裝座具有兩個(gè)左右間隔的 懸掛桿以及一個(gè)懸掛在前述懸掛桿的下方并且設(shè)置所述安裝壁的安裝軌道。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種載具的傳送裝置，其安裝在一個(gè)真空腔座上，并傳送一個(gè)載具以使該載具前進(jìn)，該載具的傳送裝置包括一個(gè)用來(lái)移送該載具的傳送機(jī)構(gòu)以及一個(gè)對(duì)應(yīng)該載具的一個(gè)導(dǎo)引端的磁浮導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)。該磁浮導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)包括一個(gè)安裝在該載具的導(dǎo)引端上的磁浮單元、一個(gè)安裝在該真空腔座上的安裝座以及一個(gè)組裝在安裝座上并對(duì)應(yīng)該磁浮單元的固定導(dǎo)磁單元，所述固定導(dǎo)磁單元和磁浮單元利用相斥作用力讓該磁浮單元保持懸空、穩(wěn)定。由于本實(shí)用新型在移送載具時(shí)導(dǎo)引的元件不會(huì)摩擦產(chǎn)生粉塵，故該項(xiàng)設(shè)計(jì)可以提高工作環(huán)境的潔凈度及加工物件的加工品質(zhì)。
文檔編號(hào)C23C14/34GK201525882SQ20092027044
公開(kāi)日2010年7月14日 申請(qǐng)日期2009年11月19日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月19日
發(fā)明者曾政富, 許三益, 鄭博仁, 黃泳釗 申請(qǐng)人:北儒精密股份有限公司