專利名稱：抽屜式密封腔體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種密封腔體，尤其涉及一種適用于作為真空蒸鍍工藝中的蒸鍍 腔室的密封腔體。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體工業(yè)、電子工業(yè)及機械工業(yè)領(lǐng)域，常使用蒸發(fā)鍍膜處理技術(shù)在元器件的 表面沉積一層薄膜，尤其是真空蒸發(fā)鍍膜技術(shù)；真空蒸發(fā)鍍膜(又稱真空蒸鍍)是將固體材 料置于真空室內(nèi)，在真空條件下，將固體材料加熱蒸發(fā)，蒸發(fā)出來的原子或分子能自由地彌 布到容器的器壁上。當(dāng)把一些加工好的基板材料放在其中時，蒸發(fā)出來的原子或分子就會 吸附在基板上逐漸形成一層薄膜，因此，在真空蒸發(fā)鍍膜技術(shù)獲得了廣泛的應(yīng)用，在電致發(fā) 光顯示器件的生產(chǎn)工藝中，真空蒸發(fā)鍍膜技術(shù)起著尤其重要的作用。電致發(fā)光顯示設(shè)備是一種在發(fā)光層上采用電壓以使電子和空穴復(fù)合而形成圖像 的顯示設(shè)備。由于電致發(fā)光顯示設(shè)備與其他顯示設(shè)備相比具有可見度好、重量輕、功耗小等 優(yōu)良特性，因此電致發(fā)光顯示設(shè)備具有了較好的市場前景；電致發(fā)光顯示設(shè)備一般包括基 板、陰極、陽極以及置于這兩個電極之間的發(fā)光層，在電壓作用下由陽極提供的空穴和由陰 極提供的電子可在發(fā)光層中復(fù)合而形成激子，即空穴電子對，從而在從激發(fā)態(tài)躍遷到基態(tài) 的同時發(fā)光。在電致發(fā)光顯示設(shè)備的生產(chǎn)工藝中，常采用真空蒸鍍技術(shù)形成陰極及發(fā)光層， 以O(shè)LED為例，OLED的制作過程大都采用以IT0(indium tin oxide)玻璃為基板，利用蒸鍍 設(shè)備將多層薄膜相繼沉積在玻璃基板上，以形成陰極及發(fā)光層，而在真空蒸鍍技術(shù)需要用 到真空腔室及蒸發(fā)源等。真空腔室用于限定一個空間，在此空間內(nèi)蒸發(fā)源的加熱器用于加熱待蒸鍍材料， 并使其蒸發(fā)。當(dāng)待蒸鍍材料使用完畢后就需要打開真空腔室進(jìn)行換料。另外真空腔室有些 時候需要維護(hù)、清理，這個時候就需要簡便、平穩(wěn)、快捷的打開真空腔室的腔門或腔蓋。維護(hù) 或清理完再關(guān)上真空腔室腔門或腔蓋時還需要確保真空腔室的密封性能。現(xiàn)有技術(shù)在對真 空腔室進(jìn)行打開或關(guān)閉時，都借助于外部機構(gòu)來打開腔蓋或腔門，例如有采用手輪帶動蝸 輪蝸桿的結(jié)構(gòu)來開啟腔門或腔蓋，采用電機驅(qū)動腔門或腔蓋啟閉、采用汽缸或者電缸來控 制腔門或腔蓋的啟閉等，這些技術(shù)會帶來如下問題一是在開啟腔門或腔蓋的過程中可能 會導(dǎo)致腔門或腔蓋變形，在腔門或腔蓋關(guān)閉時將導(dǎo)致密封性不佳，從而使真空腔室難以達(dá) 到較高的真空度；二是借助外界的動力機構(gòu)來打開腔門或腔蓋，結(jié)構(gòu)相對較復(fù)雜，生產(chǎn)成本 尚，因此，急需一種結(jié)構(gòu)簡單、開啟便捷、密封性好的密封腔體。
實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單、開啟便捷、密封性好的抽屜式密封腔 體。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術(shù)方案為提供一種抽屜式密封腔體，其包括移動腔體部及具有一開口面的固定腔體部，所述固定腔體部沿所述開口面形成中空結(jié)構(gòu)，所 述移動腔體部與所述固定腔體部的開口面對應(yīng)安裝，其中，所述固定腔體部的相鄰于所述 開口面的兩相互平行的側(cè)面上設(shè)置有第一滑軌及第二滑軌，所述第一滑軌及所述第二滑軌 相互平行且均垂直于所述開口面；所述移動腔體部包括第一支撐件、第二支撐件及與所述 固定箱體部的開口面相對應(yīng)的門板，所述第一支撐件及所述第二支撐件分別連接于所述門 板的兩相平行的側(cè)邊上，所述第一支撐件及所述第二支撐件均垂直于所述門板，所述第一 支撐件及所述第二支撐件上均具有滑槽；所述第一支撐件的滑槽與所述第一滑軌滑動連 接，所述二支撐件的滑槽與所述第二滑軌滑動連接，所述門板對所述固定腔體部的開口面 進(jìn)行密封或打開。較佳地，所述固定腔體部還包括與所述第一滑軌相平行的第三滑軌及與所述第二 滑軌相平行的第四滑軌，所述第一滑軌及所述第二滑軌相對應(yīng)地設(shè)置于所述兩相平行側(cè)面 的下端，所述第三滑軌及所述第四滑軌相對應(yīng)地設(shè)置于所述兩相平行側(cè)面的上端；更具體 地，所述移動腔體部還包括與所述第一支撐件相平行且具有滑槽的第三支撐件及與所述第 二支撐件相平行且具有滑槽的第四支撐件，所述第一支撐件及所述第二支撐件對應(yīng)地安裝 于所述門板的下端，所述第三支撐件及所述第四支撐件對應(yīng)地安裝于所述門板的上端，所 述第三支撐件的滑槽與所述第三滑軌滑動連接，所述所述第四支撐件的滑槽與所述第四滑 軌滑動連接；四個支撐件的滑槽與固定腔體上的四個滑軌配合連接，實現(xiàn)門板與固定腔體 部的密封和開啟，使門板在密封和開啟的過程中更加穩(wěn)定。較佳地，所述設(shè)置有滑軌的側(cè)板上均設(shè)置有彈簧扣，所述門板上設(shè)置有卡扣，所述 卡扣與所述彈簧扣相鎖定扣合且能解除扣合；當(dāng)所述支撐件沿滑軌滑動使門板與固定腔體 部的開口相閉合時，彈簧扣與卡扣相鎖定扣合，使門板與固定腔體的開口壓合緊密，保證真 空腔體的密封性；當(dāng)需要打開密封腔體時，解除彈簧扣與卡扣的扣合，支撐件沿滑軌滑動帶 動門板運動即可打開腔體。較佳地，所述門板相對于所述開口面的一側(cè)形成內(nèi)表面，另一側(cè)形成外表面，所述 內(nèi)表面上開設(shè)有與所述開口面的開口相對應(yīng)的密封槽，所述密封槽內(nèi)安裝有密封圈，門板 內(nèi)表面安裝的密封圈，進(jìn)一步加強門板與開口之間的密封性，使真空腔體具有較高的密封 性。較佳地，所述門板的外表面處設(shè)置有把手；在需要打開真空腔體時，拉動門板上的 把手，支撐件通過其上的滑槽沿滑軌滑動，帶動門板平穩(wěn)、快捷的被拉開。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型抽屜式密封腔體包括移動腔體部及具有一開口面的 固定腔體部，所述固定腔體部沿所述開口面形成中空結(jié)構(gòu)，所述移動腔體部與所述固定腔 體部的開口面對應(yīng)安裝，其中，所述固定腔體部的相鄰于所述開口面的兩相互平行的側(cè)面 上設(shè)置有第一滑軌及第二滑軌，所述第一滑軌及所述第二滑軌相互平行且垂直于所述開口 面；所述移動腔體部包括第一支撐件、第二支撐件及與所述固定箱體部的開口面相對應(yīng)的 門板，所述第一支撐件及所述第二支撐件分別連接于所述門板的兩相平行的側(cè)邊上，所述 第一支撐件及所述第二支撐件均垂直于所述門板，所述第一支撐件及所述第二支撐件上均 具有滑槽；所述第一支撐件的滑槽與所述第一滑軌滑動連接，所述二支撐件的滑槽與所述 第二滑軌滑動連接，所述門板對所述固定腔體部的開口面進(jìn)行密封或打開；移動腔體部的 門板通過支撐件滑動地連接于固定腔體部上，使用時，門板壓合在固定腔體部的開口處，使移動腔體部與固定腔體部密封進(jìn)而使固定腔體部的中空結(jié)構(gòu)形成密封的真空腔室；需要打 開所述抽屜式密封腔體時候，拉動門板上的把手即可使門板對固定腔體部的開口面打開， 輕松便捷地打開真空腔室并對其進(jìn)行維護(hù)；該抽屜式密封腔體的開啟及關(guān)閉并不需要借助 外部機械，使抽屜式密封腔體的結(jié)構(gòu)簡單，生產(chǎn)成本低；同時門板不會因為受機械力的作用 而變形，開啟后關(guān)閉仍能保持較好的密封性，提高真空腔室的真空度。

圖1是本實用新型抽屜式密封腔體的立體結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實用新型抽屜式密封腔體拆除上底板的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是圖2中A部分的放大示意圖。圖4是本實用新型抽屜式密封腔體的開啟狀態(tài)示意圖。圖5是本實用新型抽屜式密封腔體的閉合狀態(tài)示意圖。
具體實施方式
現(xiàn)在參考附圖描述本實用新型的實施例，附圖中類似的元件標(biāo)號代表類似的元 件。如圖1、圖2所示，本實用新型抽屜式密封腔體10包括移動腔體部200及具有一開 口面的固定腔體部100，固定腔體部100沿所述開口面形成中空結(jié)構(gòu)，固定腔體部100包括 上底板101、下底板102、左側(cè)板103、右側(cè)板104及后側(cè)板105，上底板101與下底板102平 行設(shè)置，左側(cè)板103及右側(cè)板104相互平行地固定于上底板101及下底板102之間，左側(cè)板 103及右側(cè)板104均垂直于上底板101及下底板102，后側(cè)板105固定連接于上底板101、下 底板102、左側(cè)板103及右側(cè)板104的一端形成具有一開口面的中空結(jié)構(gòu)，所述中空結(jié)構(gòu)的 開口面形成腔體門106，腔體門106密封后使中空結(jié)構(gòu)的形成真空腔室，在左側(cè)板103的下 端設(shè)置有第一滑軌103a，第一滑軌103a由腔體門106向后側(cè)板105方向延伸且垂直于后側(cè) 板105，在左側(cè)板103的上端設(shè)置有與第一滑軌103a相互平行的第三滑軌103b，在右側(cè)板 104的下端和上端分別設(shè)置有與第一滑軌103a及第三滑軌103b相對應(yīng)的第二滑軌104a、 第四滑軌104b (圖未示)；移動腔體部200包括與腔體門106相對應(yīng)的門板205，門板205相 對于固定腔體部100的一側(cè)形成內(nèi)表面，另一側(cè)形成外表面；所述門板205的相對于左側(cè)板 103的側(cè)邊上設(shè)置有垂直于門板205的第一支撐件201及第三支撐件203，第一支撐件201 上具有與第一滑軌103a相配合的滑槽201a，第三支撐件203上具有與第三滑軌103b相配 合的滑槽203a，第一支撐件201及第三支撐件203的滑槽201a、203a分別與第一滑軌103a 及第三滑軌103b配合滑動連接；所述門板205的相對于右側(cè)板104的側(cè)邊上設(shè)置有垂直于 門板205的第二支撐件202及第四支撐件204，第二支撐件202上具有與第二滑軌104a相 配合的滑槽202a，第四支撐件204上具有與第四滑軌104b相配合的滑槽204a，第二支撐件 202及第四支撐件204的滑槽202a、204a分別與第二滑軌104a及第四滑軌104b配合滑動 連接；通過四個支撐件上的滑槽與左側(cè)板103、右側(cè)板104上的滑軌滑動連接，支撐件沿滑 軌滑動時可帶動門板205滑動使其壓緊在固定腔體部100的腔體門106處，使固定腔體部 100的中空結(jié)構(gòu)密封而形成真空腔室，而固定腔體部100與移動腔體部200壓緊在一起形 成抽屜式密封腔體10 ；門板205亦可在支撐件的帶動下滑動而與固定腔體部100的腔體門106分離，使固定腔體部100的中空結(jié)構(gòu)打開，進(jìn)而對中空結(jié)構(gòu)內(nèi)部進(jìn)行維護(hù)或更換材料。較佳地，如圖2、圖3所示，在固定腔體部100的左側(cè)板103鄰近腔體門106 —端還 設(shè)置有兩彈簧扣107，在門板205上設(shè)置有卡扣207 ；在右側(cè)板104鄰近腔體門106 —端也 設(shè)置有兩彈簧扣(圖未示)，在門板205上還設(shè)置有卡扣(圖未示)；卡扣207與彈簧扣107 相鎖定扣合且能解除扣合，使門板205緊壓在腔體門106處，實現(xiàn)中空結(jié)構(gòu)的閉合密封而形 成真空腔室；在門板205的內(nèi)表面上開設(shè)有與腔體門106相對應(yīng)的密封槽208，在該密封槽 208內(nèi)安裝有密封圈209 ；在門板205的外表面處設(shè)有把手206 ；門板205與腔體門106壓 緊時，門板205內(nèi)表面上安裝的密封圈209，進(jìn)一步加強門板205與腔體門106之間的密封 性，使由中空結(jié)構(gòu)密封而形成的真空腔室具有較高的密封性；當(dāng)需要打開真空腔體時，拉動 門板205上的把手206，通過支撐件上的滑槽沿滑軌滑動，帶動門板205滑動使其與固定腔 體部100的腔體門106分離，進(jìn)而使門板205平穩(wěn)、快捷的被拉開。如圖4、圖5所示，抽屜式密封腔體10用作真空蒸鍍的真空腔體時，固定腔體部 100與移動腔體部200緊壓，門板205與腔體門106緊密閉合，使固定腔體部100的中空結(jié) 構(gòu)被密封而形成密封的真空腔室；在真空腔室內(nèi)部需要維護(hù)或需要更換蒸鍍材料時，解開 相互卡和的彈簧扣107及卡扣207，拉動移動腔體部200的門板205上的把手206，移動腔體 部200的支撐件沿滑軌滑動，使門板205沿圖5中箭頭方向滑動進(jìn)而離開腔體門106，使真 空腔室被打開，真空腔室被打開的抽屜式密封腔體10如圖4所示；在維護(hù)完成或更換蒸鍍 材料完成后，需要將腔體門106密封以使中空結(jié)構(gòu)形成真空腔室，這時，推動門板205沿圖4 中箭頭方向移動，移動腔體部200的支撐件沿滑軌向著后側(cè)板105的方向滑動，當(dāng)門板205 抵觸于腔體門106處時，移動腔體部200與固定腔體部100閉合而使固定腔體部100的中 空結(jié)構(gòu)密封形成真空腔室，由于門板205的內(nèi)表面上設(shè)置有密封圈209，使得門板205緊壓 在固定腔體部100的腔體門106處，實現(xiàn)真空腔體的密封，保證真空腔室可靠的密封性能； 同時卡合彈簧扣107與卡扣207，使門板205與固定腔體部100緊密壓合，加強真空腔體的 密封，閉合的抽屜式密封腔體10如圖5所示。由于本實用新型抽屜式密封腔體10包括移動腔體部200及具有一開口面的固定 腔體部100，固定腔體部100沿所述開口面形成中空結(jié)構(gòu)，移動腔體部200對所述固定腔體 部100的開口面進(jìn)行密封或打開，其中，固定腔體部100的相鄰于所述開口面的兩相互平行 的側(cè)面上設(shè)置有第一滑軌103a及第二滑軌104a，所述第一滑軌103a及所述第二滑軌104a 相互平行且垂直于所述開口面；所述移動腔體部200包括第一支撐件201、第二支撐件202 及與所述固定腔體部100的開口面相對應(yīng)的門板205，所述第一支撐件201及所述第二支撐 件202分別連接于所述門板205的兩相平行的側(cè)邊上，所述第一支撐件201及所述第二支 撐件202均垂直于所述門板205，第一支撐件201及第二支撐件202上分別具有滑槽201a、 202a ；所述第一支撐件201的滑槽201a與所述第一滑軌103a滑動連接，所述第二支撐件 202的滑槽202a與所述第二滑軌104a滑動連接，所述門板205對所述固定腔體部100的 開口面進(jìn)行密封或打開；移動腔體部200的門板205通過支撐件滑動地連接于固定腔體部 100上，使用時，門板205壓合在固定腔體部100的開口面處，移動腔體部200與固定腔體部 100密封形成抽屜式密封腔體10，而固定腔體部100的中空結(jié)構(gòu)被密封而形成真空腔室；需 要打開所述抽屜式密封腔體10時候，拉動門板205即可輕松便捷地使門板205與固定腔體 部100的開口面相分離，進(jìn)而打開固定腔體部100的中空結(jié)構(gòu)，對抽屜式密封腔體10內(nèi)部進(jìn)行維護(hù)；本實用新型分離式真空腔體10的開啟及關(guān)閉并不需要借助外部機械，使該分離 式真空腔體10的結(jié)構(gòu)簡單，生產(chǎn)成本低；同時門板205不會因為受機械力的作用而變形，開 啟后關(guān)閉仍能保持較好的密封性，提高真空腔體的真空度。以上僅對具有四支撐件的抽屜式密封腔體10進(jìn)行了描述，但不限于該實施例，本 實用新型抽屜式密封腔體10的支撐件還可根據(jù)實際需要，設(shè)置相應(yīng)的個數(shù)；本實用新型抽 屜式密封腔體10也不限于真空蒸鍍技術(shù)中的真空腔室，還可根據(jù)實際需要，用于相類似的 環(huán)境中。本實用新型抽屜式密封腔體10內(nèi)的蒸發(fā)源及用于加熱蒸鍍材料的加熱器等均為 本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所熟知，在此不再做詳細(xì)的說明。以上所揭露的僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，當(dāng)然不能以此來限定本實用新 型之權(quán)利范圍，因此依本實用新型申請專利范圍所作的等同變化，仍屬本實用新型所涵蓋 的范圍。
權(quán)利要求一種抽屜式密封腔體，包括移動腔體部及具有一開口面的固定腔體部，所述固定腔體部沿所述開口面形成中空結(jié)構(gòu)，所述移動腔體部與所述固定腔體部的開口面對應(yīng)安裝，其特征在于所述固定腔體部的相鄰于所述開口面的兩相互平行的側(cè)面上設(shè)置有第一滑軌及第二滑軌，所述第一滑軌及所述第二滑軌相互平行且均垂直于所述開口面；所述移動腔體部包括第一支撐件、第二支撐件及與所述固定箱體部的開口面相對應(yīng)的門板，所述第一支撐件及所述第二支撐件分別連接于所述門板的兩相平行的側(cè)邊上，所述第一支撐件及所述第二支撐件均垂直于所述門板，所述第一支撐件及所述第二支撐件均具有滑槽；所述第一支撐件的滑槽與所述第一滑軌滑動連接，所述二支撐件的滑槽與所述第二滑軌滑動連接，所述門板對所述固定腔體部的開口面進(jìn)行密封或打開。
2.如權(quán)利要求1所述的抽屜式密封腔體，其特征在于還包括與所述第一滑軌相平行 的第三滑軌及與所述第二滑軌相平行的第四滑軌，所述第一滑軌及所述第二滑軌相對應(yīng)地 設(shè)置于所述兩相平行側(cè)面的下端，所述第三滑軌及所述第四滑軌相對應(yīng)地設(shè)置于所述兩相 平行側(cè)面的上端。
3.如權(quán)利要求2所述的抽屜式密封腔體，其特征在于還包括與所述第一支撐件相平 行且具有滑槽的第三支撐件及與所述第二支撐件相平行且具有滑槽的第四支撐件，所述第 一支撐件及所述第二支撐件對應(yīng)地安裝于所述門板的下端，所述第三支撐件及所述第四支 撐件對應(yīng)地安裝于所述門板的上端，所述第三支撐件的滑槽與所述第三滑軌滑動連接，所 述所述第四支撐件的滑槽與所述第四滑軌滑動連接。
4.如權(quán)利要求1所述的抽屜式密封腔體，其特征在于兩所述設(shè)置有滑軌的側(cè)板上均 設(shè)置有彈簧扣，所述門板上設(shè)置有卡扣，所述卡扣與所述彈簧扣相鎖定扣合且能解除扣合。
5.如權(quán)利要求1所述的抽屜式密封腔體，其特征在于所述門板相對于所述開口面的 一側(cè)形成內(nèi)表面，另一側(cè)形成外表面，所述內(nèi)表面上開設(shè)有與所述開口面的開口相對應(yīng)的 密封槽，所述密封槽內(nèi)安裝有密封圈。
6.如權(quán)利要求5所述的抽屜式密封腔體，其特征在于所述門板的外表面處設(shè)置有把手。
專利摘要本實用新型公開了一種抽屜式密封腔體，包括移動腔體部及具有一開口面的固定腔體部，移動腔體部與固定腔體部的開口面對應(yīng)安裝，其中，固定腔體部的相鄰于開口面的兩相互平行的側(cè)面上設(shè)置有第一滑軌及第二滑軌，第一滑軌及第二滑軌相互平行且均垂直于開口面；移動腔體部包括第一支撐件、第二支撐件及與固定箱體部的開口面相對應(yīng)的門板，第一支撐件及第二支撐件分別連接于門板的兩相平行的側(cè)邊上，第一支撐件及第二支撐件均垂直于門板，第一支撐件及第二支撐件上均具有滑槽；第一支撐件的滑槽與第一滑軌滑動連接，二支撐件的滑槽與第二滑軌滑動連接，門板對固定腔體部的開口面進(jìn)行密封或打開。本實用新型抽屜式密封腔體結(jié)構(gòu)簡單、開啟便捷、密封性好。
文檔編號C23C14/24GK201634754SQ20092027420
公開日2010年11月17日 申請日期2009年12月1日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月1日
發(fā)明者劉惠森, 楊明生, 王偉, 王勇, 王曼媛, 范繼良, 郭遠(yuǎn)倫 申請人:東莞宏威數(shù)碼機械有限公司