專利名稱：研磨裝置及研磨方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及研磨裝置及研磨方法，詳細(xì)而言，涉及具備輸送具有撓性的板狀工件 的多個(gè)輸送輥和在這些輸送輥進(jìn)行輸送的輸送中途研磨板狀工件的拋光輥的研磨裝置及 研磨方法。
背景技術(shù)：
眾所周知，作為板狀工件的一種的印制電路板通過在形成于絕緣基板的一面或兩 面上的銅箔等構(gòu)成的金屬層的表面上形成光致抗蝕膜、經(jīng)由曝光、顯影、進(jìn)行蝕刻等的光刻 工序而制成。這種情況下，在絕緣基板的金屬層的表面上形成光致抗蝕膜的前階段，通常對 該金屬層進(jìn)行拋光，即使是印制電路板那樣極薄且具有撓性的基板，也需要進(jìn)行上述拋光。作為進(jìn)行這種拋光的研磨裝置，根據(jù)例如專利文獻(xiàn)1(該文獻(xiàn)的圖10)及專利文獻(xiàn) 2 (該文獻(xiàn)的圖8)，公開有如下所述的結(jié)構(gòu)具備拋光輥、與該拋光輥對置配置的支承輥，拋 光輥對送入這兩輥之間的作為板狀工件的印制電路板進(jìn)行研磨處理，同時(shí)將該印制電路板 向前方輸送。并且，由于上述文獻(xiàn)所公開的印制電路板是具有撓性的薄壁基板，因此由上下一 對引導(dǎo)部材以維持直進(jìn)性的方式引導(dǎo)并同時(shí)送入上述兩輥之間來接受研磨處理，并且在研 磨處理后也同樣由引導(dǎo)部材引導(dǎo)并同時(shí)由輸送輥向前方輸送。專利文獻(xiàn)1日本特開2004-268249號公報(bào)；專利文獻(xiàn)2日本特開2003-062745號公報(bào)。

發(fā)明內(nèi)容
然而，根據(jù)上述專利文獻(xiàn)1、2所公開的研磨裝置，構(gòu)成為印制電路板被沿水平方 向輸送且維持該水平姿態(tài)而被送入拋光輥與支承輥之間，但若印制電路板為極薄且具有撓 性的基板，則會產(chǎn)生如下問題基板產(chǎn)生翹曲而導(dǎo)致質(zhì)量降低。詳細(xì)而言，在研磨這種印制電路板時(shí)，例如對該印制電路板的上表面?zhèn)冗M(jìn)行研磨 的情況下，印制電路板的研磨區(qū)域中的輸送方向前端向下側(cè)位移，另外，例如對該印制電路 板的下表面?zhèn)冗M(jìn)行研磨的情況下，印制電路板的研磨區(qū)域的輸送方向前端向上側(cè)位移，換 言之，印制電路板向拋光輥側(cè)突起而彎曲。并且，由于在沒有消除隨著該彎曲而產(chǎn)生的翹曲 的情況下從研磨裝置輸出印制電路板，因此無法對研磨后的印制電路板適當(dāng)?shù)貓?zhí)行光刻工 序等后續(xù)工序，從而導(dǎo)致成品的質(zhì)量降低。進(jìn)而，在將這種印制電路板送入拋光輥與支承輥之間前，由于印制電路板為水平 姿勢，因此其前端因自重而折彎并下垂，會導(dǎo)致無法將印制電路板適當(dāng)?shù)貖A入兩輥間這種 情況，若不將其上游側(cè)或下游側(cè)的輸送輥的排列間距設(shè)置為極小，則還會導(dǎo)致印制電路板 的前端因自重而夾入輸送輥之間的間隙的不良情況。然而，上述的專利文獻(xiàn)1、2所公開的研磨裝置均構(gòu)成為在拋光輥與支承輥之間通 過拋光輥對印制電路板進(jìn)行研磨的結(jié)構(gòu)，因此在異物夾入該兩輥間的情況下，因支承輥的周面的剛性高等而對印制電路板造成打痕，由此也會導(dǎo)致印制電路板的質(zhì)量降低。本發(fā)明鑒于上述情況，其技術(shù)課題在于，能夠?qū)⒕哂袚闲缘陌鍫罟ぜm當(dāng)?shù)厮腿?拋光輥的配設(shè)位置，且抑制因支承輥的存在而對板狀工件造成打痕導(dǎo)致質(zhì)量降低的情況。為了解決上述技術(shù)課題，本發(fā)明所涉及的研磨裝置利用輸送機(jī)構(gòu)輸送具有撓性的 板狀工件，且在該輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行輸送的輸送中途利用拋光輥研磨所述板狀工件，所述研磨 裝置的特征在于，在由所述輸送機(jī)構(gòu)形成的輸送路徑的中途對置配置用于夾持所述板狀工 件的一對夾持輥，利用所述夾持輥沿上下方向傳送所述板狀工件，并且在對置配置的一對 所述拋光輥的彼此之間利用所述拋光輥同時(shí)研磨傳送來的所述板狀工件的兩面。這里，上 述的“輸送機(jī)構(gòu)”可以是多個(gè)輸送輥或傳送帶或者由它們的組合構(gòu)成。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，具有撓性的板狀工件被一對夾持輥夾持而沿上下方向傳送到拋 光輥的配設(shè)位置，因此板狀工件的前端不會因其自重而折彎，板狀工件適當(dāng)?shù)刂边M(jìn)到拋光 輥的配設(shè)位置。并且，這樣，對于沿上下方向傳送的板狀工件來說，其兩面被對置配置的一 對拋光輥同時(shí)研磨，因此避免翹曲的產(chǎn)生，且抑制板狀工件的質(zhì)量降低。進(jìn)而，研磨板狀工 件時(shí)，不使用現(xiàn)有的支承輥，因此回避因異物的介入而對板狀工件造成打痕等不良情況，與 抑制上述的翹曲的產(chǎn)生相輔相成地進(jìn)一步可靠地抑制板狀工件的質(zhì)量降低。以上述的結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)，也可以構(gòu)成為，所述輸送路徑形成為使所述輸送機(jī)構(gòu)沿水 平方向輸送所述板狀工件，并且在該輸送路徑中途的一對所述夾持輥的下方配設(shè)一對所述 拋光輥。這樣，輸送路徑自身是將板狀工件沿水平方向輸送的路徑，但在進(jìn)行研磨時(shí)板狀 工件被沿上下方向傳送，因此，在享用上述優(yōu)點(diǎn)的基礎(chǔ)上，能夠沿水平方向進(jìn)行板狀工件向 該研磨裝置的搬入及搬出。由此，能夠?qū)⒃撗心パb置的整個(gè)高度維持較低而實(shí)現(xiàn)緊湊化，同 時(shí)，在設(shè)于該研磨裝置的上游側(cè)及下游側(cè)的用于執(zhí)行其他工序的裝置之間能夠順利地進(jìn)行 板狀工件的交接。另外，以上述結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)，也可以構(gòu)成為，所述板狀工件在由一對所述夾持輥夾持 的狀態(tài)下向下方傳送后向上方傳送，由此利用一對所述拋光輥對兩面同時(shí)研磨。這樣，一對夾持輥在夾持有板狀工件的狀態(tài)下正轉(zhuǎn)，由此該板狀工件被向下方傳 送并同時(shí)由一對拋光輥對其兩面同時(shí)研磨，之后，一對夾持輥反轉(zhuǎn)，由此該板狀工件被向上 方傳送并同時(shí)由一對拋光輥對其兩面同時(shí)研磨。由此，板狀工件的兩面被向該板狀工件的 下方及上方這兩個(gè)方向傳送，同時(shí)同一區(qū)域兩次被研磨，因此研磨效率提高。進(jìn)而，以上述結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)，也可以構(gòu)成為，在所述輸送路徑中途的上游側(cè)和下游側(cè) 的至少兩個(gè)部位分別配設(shè)一對所述夾持輥和一對所述拋光輥。這樣，一對拋光輥對板狀工件的兩面的同時(shí)研磨至少在兩個(gè)部位進(jìn)行，因此與現(xiàn) 有那樣利用拋光輥和支承輥在各一處分別僅對板狀工件的一面進(jìn)行研磨的情況相比，將拋 光輥的配設(shè)部位分為兩處而能夠?qū)崿F(xiàn)該研磨裝置的緊湊化。在這樣的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選構(gòu)成為，通過配設(shè)在所述輸送路徑中途的上游側(cè)的一對夾 持輥和一對拋光輥，對所述板狀工件的包括輸送方向一端的局部區(qū)域進(jìn)行研磨，通過配設(shè) 在下游側(cè)的一對夾持輥和一對拋光輥，對處于輸送方向反向狀態(tài)的所述板狀工件的包括未 研磨部的區(qū)域進(jìn)行研磨。這樣，在上述那樣實(shí)現(xiàn)了研磨裝置的緊湊化的基礎(chǔ)上，由于對板狀工件的整個(gè)區(qū)域?qū)嵤┻m當(dāng)?shù)难心?，且在下游?cè)在輸送方向與上游側(cè)的輸送方向反向的狀態(tài)下實(shí)施研磨， 因此即使在板狀工件的兩面或一面形成飛邊等，也能夠?qū)⒃擄w邊等適當(dāng)?shù)爻ァＡ硗?，以上述的結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)，也可以構(gòu)成為，所述板狀工件在進(jìn)行由所述輸送機(jī)構(gòu) 的沿水平方向的輸送與相對于一對所述拋光輥的傳送的方向變換時(shí)，在一對所述夾持輥的 周邊接受流體的噴射供給。這樣，在具有撓性的板狀工件(板狀工件的前端)到達(dá)夾持輥的配設(shè)位置的時(shí)刻， 該板狀工件接受流體的噴射供給而侵入一對夾持輥之間，從而方向變換成朝向一對拋光輥 的方向，并且，在由一對拋光輥完成了研磨的板狀工件(板狀工件的后端)從一對夾持輥之 間拔出的時(shí)刻，該板狀工件也接受流體的噴射供給而方向變換成基于輸送機(jī)構(gòu)的水平輸送 方向。由此，能夠順利且可靠地進(jìn)行具有撓性的板狀工件在夾持輥處的方向變換。在上述結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)，所述板狀工件也可以是柔性印制電路板。這樣，能夠可靠地享受已經(jīng)敘述過的各種優(yōu)點(diǎn)，若為在兩面形成有銅箔等金屬層 的柔性印制電路板，則能夠進(jìn)一步可靠地享用已經(jīng)敘述過的優(yōu)點(diǎn)。需要說明的是，研磨對象 并不限于柔性印制電路板，當(dāng)然也可以是具有撓性的薄壁基板等其他的具有撓性的板狀工 件。另一方面，為了解決上述技術(shù)課題，本發(fā)明所涉及的研磨方法利用輸送機(jī)構(gòu)輸送 具有撓性的板狀工件，且在該輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行輸送的輸送中途利用拋光輥研磨所述板狀工 件，所述研磨方法的特征在于，在由所述輸送機(jī)構(gòu)形成的輸送路徑的中途對置配置用于夾 持所述板狀工件的一對夾持輥，利用所述夾持輥沿上下方向傳送所述板狀工件，并且在對 置配置的一對所述拋光輥的彼此之間利用所述拋光輥同時(shí)研磨傳送來的所述板狀工件的 兩面。根據(jù)這樣的方法，也能夠獲得與上述裝置的基本結(jié)構(gòu)所起到的作用效果實(shí)質(zhì)上相 同的作用效果。如上所述，根據(jù)本發(fā)明，由于具有撓性的板狀工件被一對夾持輥夾持而沿上下方 向傳送到拋光輥的配設(shè)位置，因此，板狀工件的前端不會因其自重而折彎，板狀工件適當(dāng)?shù)?直進(jìn)到拋光輥的配設(shè)位置，且該板狀工件的兩面被一對拋光輥同時(shí)研磨，因此避免翹曲的 產(chǎn)生，且抑制板狀工件的質(zhì)量降低。并且，無須現(xiàn)有的支承輥，因此避免因異物的介入而對 板狀工件造成打痕等不良情況，與抑制上述的翹曲的產(chǎn)生相輔相成地進(jìn)一步可靠地抑制板 狀工件的質(zhì)量降低。


圖1是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的研磨裝置的整體結(jié)構(gòu)的簡要主視圖。圖2是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的研磨裝置的整體結(jié)構(gòu)的簡要俯視圖。圖3是圖1的A-A線放大剖面圖。圖4是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的研磨裝置的主要部分的放大簡要立 體圖。圖5是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的研磨裝置的主要部分的放大簡要主 視圖。圖6(a)、(b)、(C)是分別表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的研磨裝置的作用的簡要主視圖。圖7(a)、(b)、(C)是分別表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的研磨裝置的作用的 簡要主視圖。圖8(a)、(b)、(C)是分別表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的研磨裝置的作用的 簡要主視圖。圖9(a)、(b)、(C)是分別表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的研磨裝置的作用的 簡要主視圖。圖10(a)、(b)、(C)是分別表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的研磨裝置的作用 的簡要主視圖。圖11 (a)、(b)、(c)是分別表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的研磨裝置的作用 的簡要主視圖。圖12是示意性地表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的研磨裝置的主要部分的簡 要主視圖。圖13是示意性地表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式所涉及的研磨裝置的主要部分的簡 要主視圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。圖1是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉 及的研磨裝置的整體結(jié)構(gòu)的簡要主視圖，圖2是表示該研磨裝置的整體結(jié)構(gòu)的簡要俯視 圖。另外，圖3是圖1的A-A線放大剖面圖。進(jìn)而，圖4是表示該研磨裝置的主要部分的放 大簡要立體圖，圖5是表示該研磨裝置的主要部分的放大簡要主視圖。如圖1所示，本實(shí)施方式所涉及的研磨裝置1在箱體2的內(nèi)部具有將板厚0. Imm 以下(例如0.084mm)的具有撓性的作為板狀工件的包括柔性印制電路板的薄壁基板(以 下簡稱為印制電路板)P沿水平方向輸送的輸送路徑3。該輸送路徑3被大致劃分為與搬入 印制電路板P的搬入口 4連通的搬入用輸送路徑3A、對印制電路板P進(jìn)行研磨并同時(shí)輸送 的研磨用輸送路徑3B、與輸出印制電路板P的搬出口 5連通的搬出用輸送路徑3C。在搬入用輸送路徑3A上，在載置有印制電路板P的狀態(tài)下從上游側(cè)(該圖的左 側(cè))向下游側(cè)(該圖的右側(cè))輸送的多個(gè)下部輸送輥6沿水平方向排列。并且，在該搬入 用輸送路徑3A的下游側(cè)端部配設(shè)有入口傳感器7和基板用限動器8，其中，所述入口傳感器 7檢測由下部輸送輥6輸送的印制電路板P的前端(該圖的右端)到達(dá)了初始位置這一情 況，所述基板用限動器8根據(jù)來自該入口傳感器7的信號，通過下降來停止印制電路板P。在研磨用輸送路徑IBB上，以小力夾持印制電路板P而進(jìn)行輸送的多個(gè)下部輸送輥 6及多個(gè)上部輸送輥9沿水平方向排列，且在研磨用輸送路徑:3B的上游端及下游端分別配 設(shè)有夾持印制電路板P的整個(gè)區(qū)域而進(jìn)行該印制電路板P的液切的上下一對夾持輥10、11。 需要說明的是，上部輸送輥9的排列間距是下部輸送輥6的排列間距的二倍，且上部輸送輥 9在每隔一個(gè)下部輸送輥6的上方與該下部輸送輥6對置配置。這種情況下，上部輸送輥9 的排列間距與下部輸送輥6的排列間距也可以相同。進(jìn)而，在該研磨用輸送路徑:3B的中間 部的上游側(cè)和下游側(cè)這兩個(gè)部位分別對質(zhì)配置有以大力夾持印制電路板P的左右一對夾 持輥12、13，且在該兩個(gè)部位的夾持輥12、13的正下方分別對置配置有左右一對拋光輥14、15。另外，在該研磨用輸送路徑:3B的兩個(gè)部位的夾持輥12、13的上游側(cè)分別配設(shè)有檢測印 制電路板P的前端到達(dá)了研磨用初始位置這一情況的初始位置檢測傳感器18、19。進(jìn)而， 在配設(shè)于兩個(gè)部位的一對夾持輥12、13的各自中位于上游側(cè)的夾持輥12、13的斜右上方分 別對置配置有方向變換用引導(dǎo)輥16、17，且在同樣位于游側(cè)的夾持輥12、13的斜左上方分 別配設(shè)有將水或空氣等流體(在本實(shí)施方式中為水)向斜右下方噴射的流體噴射機(jī)構(gòu)20、 21。另外，在該研磨用輸送路徑:3B的下方的各一對拋光輥14、15的配設(shè)位置的各自的左右 兩側(cè)配設(shè)有向?qū)?yīng)的夾持輥12、13及拋光輥14、15以及印制電路板P噴射供給研磨液的研 磨液供給機(jī)構(gòu)22。在搬出用輸送路徑3C上，以小力夾持印制電路板P的多個(gè)下部輸送輥6及上部輸 送輥9沿水平方向排列，且在搬出用輸送路徑3C的下游端配設(shè)有檢測印制電路板P的前端 到達(dá)了搬出口 5附近這一情況的出口傳感器23。這種情況下，如圖2及圖3所示，下部輸送輥6是在與上下游方向(輸送方向)正 交的輥軸6a上并列固定有多片輥體6b的結(jié)構(gòu)。詳細(xì)而言，厚度為直徑的1/2以下的10片 以上的輥體6b固定在輥軸6a上，且被設(shè)置成如下狀態(tài)在相鄰的輥軸6a中，另一方的輥 軸6a上的各輥體6b進(jìn)入一方的輥軸6a上的各輥體6b間的間隙中。另外，如圖3所示那 樣，上部輸送輥9也是在與上下游方向正交的輥軸9a上并列固定有同樣的多片輥體9b的 結(jié)構(gòu)。另一方面，如圖2所示，上游端及下游端的夾持輥10、11的外周面均被制成在與上 下游方向正交的軸向上連續(xù)延伸的圓筒面，且該圓筒面的軸向長度設(shè)定為能夠夾持印制電 路板P的整個(gè)區(qū)域的長度。進(jìn)而，也如圖4所示那樣，各夾持輥12(1 的外周面及各拋光 輥14(15)的外周面也被制成在與上下游方向正交的軸向上連續(xù)延伸的圓筒面，且這些圓 筒面的軸向長度設(shè)定為能夠夾持印制電路板P的整個(gè)區(qū)域的長度。另外，方向變換用引導(dǎo) 輥16(17)的外周面也被制成具有與上述同樣的軸向長度的圓筒面。圖5表示上游側(cè)的一對夾持輥12及一對拋光輥14的周邊結(jié)構(gòu)。需要說明的是， 對于下游側(cè)的一對夾持輥13及一對拋光輥15的周邊結(jié)構(gòu)來說，實(shí)際上與上游側(cè)的一對夾 持輥12及一對拋光輥14的周邊結(jié)構(gòu)相同，因此對這些結(jié)構(gòu)要素在圖5中標(biāo)注帶括號的符 號而省略說明。如該圖所示，對于隨著下部輸送輥6及上部輸送輥9從研磨用輸送路徑:3B 的上游側(cè)向箭頭a方向的旋轉(zhuǎn)而被向水平方向下游側(cè)輸送的印制電路板P來說，在其前端 到達(dá)了一對夾持輥12中上游側(cè)的夾持輥12的時(shí)刻，在從流體噴射機(jī)構(gòu)20噴射供給的流體 (水)的流動Wl的作用下與上游側(cè)的夾持輥12的外周面接觸并同時(shí)夾持在一對夾持輥12 彼此之間。然后，通過這兩夾持輥12沿箭頭b方向正轉(zhuǎn)，夾持在兩夾持輥12間的印制電路 板P被向下方傳送，而送入一對拋光輥14的彼此之間。該送入的印制電路板P的表背兩面 被一對拋光輥14同時(shí)研磨，該研磨一直執(zhí)行到印制電路板P的后端即將離開一對夾持輥12之前。之后，通過一對夾持輥12沿箭頭c方向反轉(zhuǎn)，使印制電路板P向上方傳送，一對拋 光輥14對印制電路板P的同一區(qū)域進(jìn)行與上述反方向的兩面的同時(shí)研磨。這種情況下，在 印制電路板P向上方的傳送開始后，印制電路板P的后端在從流體噴射機(jī)構(gòu)20噴射供給的 流體(水)的流動W2的作用下與下游側(cè)的夾持輥12的外周面接觸并同時(shí)夾持在其下游側(cè) 的下部輸送輥6及上部輸送輥9的彼此之間，之后，印制電路板P被向水平方向下游側(cè)輸送。需要說明的是，一對拋光輥14維持向箭頭d方向的旋轉(zhuǎn)。接下來，按時(shí)間順序?qū)帽緦?shí)施方式所涉及的研磨裝置1研磨印制電路板P的 動作進(jìn)行說明。如圖6 (a)所示，通過搬入口 4搬入的印制電路板P被搬入用輸送路徑3A的下部 輸送輥6向下游側(cè)輸送，在入口傳感器7檢測出印制電路板P的前端到達(dá)了初始位置的時(shí) 刻，基板用限動器8下降為圖示的狀態(tài)。其結(jié)果是，如圖6 (b)所示，印制電路板P的前端與基板用限動器8抵接而在夾持 輥10前停止，在該時(shí)刻，通過基板用限動器8的動作使印制電路板P的前端在與上下游方 向正交的方向上對齊，將印制電路板P維持成準(zhǔn)確的姿態(tài)。其后，如圖6(c)所示，印制電路板P在由上下一對夾持輥10夾持的狀態(tài)下被下部 輸送輥6及上部輸送輥9向下游側(cè)輸送，通過上游側(cè)的初始位置檢測傳感器18檢測印制電 路板P的前端到達(dá)了研磨用初始位置這一情況。這種情況下，根據(jù)來自初始位置檢測傳感 器18的信號，由未圖示的控制機(jī)構(gòu)控制與印制電路板P的長度及輸送速度對應(yīng)的夾持輥12 的正轉(zhuǎn)及反轉(zhuǎn)時(shí)期和來自流體噴射機(jī)構(gòu)20的水的噴射供給時(shí)期等。然后，印制電路板P被進(jìn)一步向下游側(cè)輸送，由此印制電路板P在方向變換用引導(dǎo) 輥16及來自流體噴射機(jī)構(gòu)20的水的流動Wl的作用下方向變換，如圖7(a)所示，在由正轉(zhuǎn) 的一對夾持輥12夾持的狀態(tài)下印制電路板P的前方部被向下方輸送，其前端順利地侵入一 對拋光輥14間。這樣，在印制電路板P的前端侵入一對拋光輥14間之后，這一對拋光輥14對印制 電路板P的兩面同時(shí)研磨且將印制電路板P向下方傳送。然后，如圖7(b)所示，如此與印 制電路板P的研磨相伴的向下方的傳送在印制電路板P的后端即將從一對夾持輥12間脫 離之前停止。在該時(shí)刻，后續(xù)的印制電路板Pl處于通過入口傳感器7而被基板用限動器8 停止的待機(jī)狀態(tài)。之后，一對夾持輥12反轉(zhuǎn)而將先行的印制電路板P向上方傳送，此時(shí)，印制電路板 P的兩面在同方向旋轉(zhuǎn)的一對拋光輥14的作用下同時(shí)接受與上述實(shí)際上同方向的研磨。并 且，在印制電路板P向上方的傳送開始后，印制電路板P的后端成為前端，其前端在方向變 換用引導(dǎo)輥16和來自流體噴射機(jī)構(gòu)20的水的流動W2的作用下方向變換為朝向水平方向 下游側(cè)，在作為印制電路板P的最初前端的后端向上方傳送而從一對拋光輥14間脫離的時(shí) 刻，如圖7(c)所示，印制電路板P被下部輸送輥6及上部輸送輥9進(jìn)一步向下游側(cè)輸送。需 要說明的是，該印制電路板P的前側(cè)區(qū)域(最初后側(cè)區(qū)域)成為未研磨區(qū)域。在該時(shí)刻，后 續(xù)的印制電路板Pl由于基板用限動器8的上升而能夠向下游側(cè)輸送。進(jìn)而，先行的印制電路板P被向下游側(cè)輸送，如圖8(a)所示，其前端(最初后端) 被下游側(cè)的初始位置檢測傳感器19檢測到，由此規(guī)定下游側(cè)的一對夾持輥13的正轉(zhuǎn)及反 轉(zhuǎn)的時(shí)期和流體噴射機(jī)構(gòu)21的動作，且在該時(shí)刻，后續(xù)的印制電路板Pl被上游側(cè)的一對夾 持輥10夾持而向下游側(cè)輸送。然后，如圖8 (b)所示，先行的印制電路板P及后續(xù)的印制電路板P1被向下游側(cè)輸 送，由此如圖8(c)所示，在先行的印制電路板P的前端即將到達(dá)下游側(cè)的夾持輥13之前的 時(shí)刻，后續(xù)的印制電路板Pl的前端被上游側(cè)的初始位置檢測傳感器18檢測到，由此規(guī)定上 游側(cè)的一對夾持輥12的正轉(zhuǎn)及反轉(zhuǎn)的時(shí)期和流體噴射機(jī)構(gòu)20的動作。
其后，如圖9(a)所示，在先行的印制電路板P的前端方向變換而被向下方傳送、且 侵入下游側(cè)的一對拋光輥15間的時(shí)刻，后續(xù)的印制電路板Pl的前端在上游側(cè)的夾持輥12 的附近方向變換。需要說明的是，上游側(cè)的夾持輥12及拋光輥14、下游側(cè)的夾持輥13及拋 光輥15的旋轉(zhuǎn)方向等的動作相同。然后，如圖9(b)所示，先行的印制電路板P被進(jìn)一步向下方傳送，由此作為該印制 電路板P的未研磨區(qū)域的前側(cè)區(qū)域被下游側(cè)的一對拋光輥15研磨，且在該時(shí)刻，后續(xù)的印 制電路板Pl開始侵入上游側(cè)的一對拋光輥14間。進(jìn)而，如圖9(c)所示，在先行的印制電 路板P的后端即將從一對夾持輥13間脫離之前停止的時(shí)刻，后續(xù)的印制電路板Pl處于與 向下方的傳送相伴的研磨中途。由此，在該研磨裝置1中，多片(在圖例中為2片)印制電 路板P、Pl同時(shí)接受研磨處理。然后，如圖10(a)所示，在先行的印制電路板P處于與向上方的傳送相伴的研磨中 途時(shí)，后續(xù)的印制電路板Pl的后端處于即將從一對夾持輥13間脫離之前停止的狀態(tài)，在該 時(shí)刻，進(jìn)而后續(xù)(第三片)的印制電路板P2處于通過入口傳感器7而被基板用限動器8停 止的狀態(tài)。從而，在該研磨裝置1中，多片(在圖例中為三片)印制電路板P、P1、P2同時(shí)接 受輸送或研磨等處理。需要說明的是，先行的印制電路板P在該下游側(cè)的拋光輥15的作用 下接受與上游側(cè)的拋光輥14的情況下反方向的研磨。其后，如圖10(b)所示，在先行的印制電路板P被下游側(cè)的上下一對夾持輥11夾 持的狀態(tài)下，其前端通過出口傳感器23而從搬出口 5稍向外部突出的時(shí)刻，后續(xù)的印制電 路板Pl與進(jìn)而后續(xù)的印制電路板P2處于與如上述的圖7(c)所示的狀態(tài)相同的狀態(tài)。需 要說明的是，經(jīng)過圖10(c)所示的狀態(tài)，先行的印制電路板P的前端按照圖ll(a)、(b)、(c) 所示的變化方式從搬出口 5漸漸地突出，由此后續(xù)的印制電路板Pl和進(jìn)而后續(xù)的印制電路 板P2處于與上述的圖8(a)、(b)、(c)所示的變化方式相同的狀態(tài)。然后，在先行的印制電 路板P的后端通過了出口傳感器的時(shí)刻，結(jié)束對該印制電路板P的研磨裝置1內(nèi)的處理。需要說明的是，在上述的實(shí)施方式中，搬入用輸送路徑3A、研磨用輸送路徑;3B及 搬出用輸送路徑3C均構(gòu)成為沿水平方向，但這些路徑3A、3B、3C中的至少一個(gè)也可以相對 于水平方向傾斜所定角度。圖12例示了本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的研磨裝置1，為了方便而省略了輸送 輥等，且用單點(diǎn)劃線圖示了印制電路板P的移動軌跡。如該圖所示，該研磨裝置1構(gòu)成為，從 搬入口至上游側(cè)的夾持輥12為止的輸送路徑的全部或一部分的路徑3A1沿上下方向，且從 下游側(cè)的夾持輥13至搬出口為止的輸送路徑的全部或一部分的路徑3C1沿上下方向。其 他結(jié)構(gòu)與上述第一實(shí)施方式所涉及的研磨裝置1實(shí)際上相同，因此對共用的結(jié)構(gòu)要件標(biāo)注 相同符號而省略動作等的說明。圖13例示了本發(fā)明的第三實(shí)施方式所涉及的研磨裝置1，這種情況下為了方便而 省略輸送輥等，且用單點(diǎn)劃線圖示了印制電路板P的移動軌跡。如該圖所示，該研磨裝置1 構(gòu)成為，從搬入口沿水平方向(也可以為上下方向)輸送而到達(dá)了上游側(cè)的夾持輥12的印 制電路板P被向下方傳送且兩面被上游側(cè)的拋光輥14同時(shí)研磨，之后方向變換而輸送至下 游側(cè)的拋光輥15的正下方，進(jìn)一步方向變換而被向上方傳送且兩面被下游側(cè)的拋光輥15 同時(shí)研磨，之后經(jīng)由下游側(cè)的夾持輥13沿水平方向(也可以為上下方向)輸送至搬出口。 這種情況下，夾持印制電路板P的上游側(cè)的夾持輥12及下游側(cè)的夾持輥13配設(shè)在上游側(cè)的拋光輥14的上方及下方、及下游側(cè)的拋光輥15的上方及下方，這些夾持輥12、13與各拋 光輥14、15沿該輥中標(biāo)注的箭頭的方向旋轉(zhuǎn)。其他結(jié)構(gòu)與上述的第一實(shí)施方式所涉及的研 磨裝置1實(shí)際上相同，因此對公共的結(jié)構(gòu)要件標(biāo)注相同符號而省略動作等的說明。
需要說明的是，在以上的實(shí)施方式中，使用了輸送輥?zhàn)鳛檩斔陀≈齐娐钒錚的輸 送機(jī)構(gòu)，但該輸送機(jī)構(gòu)也可以為傳送帶，或者也可以為輸送輥與傳送帶組合。符號說明1研磨裝置3A輸送路徑(搬入用輸送路徑)3B輸送路徑(研磨用輸送路徑)3C輸送路徑(搬出用輸送路徑)6輸送機(jī)構(gòu)(下部輸送輥)9輸送機(jī)構(gòu)(上部輸送輥)12夾持輥(上游側(cè)的夾持輥)13夾持輥(下游側(cè)的夾持輥)14拋光輥(上游側(cè)的拋光輥)15拋光輥(下游側(cè)的拋光輥)16方向變換用引導(dǎo)輥(上游側(cè)的方向變換用引導(dǎo)輥)17方向變換用引導(dǎo)輥(下游側(cè)的方向變換用引導(dǎo)輥)20流體噴射機(jī)構(gòu)(上游側(cè)的流體噴射機(jī)構(gòu))21流體噴射機(jī)構(gòu)(下游側(cè)的流體噴射機(jī)構(gòu))P印制電路板(薄壁基板)Pl印制電路板(薄壁基板)P2印制電路板(薄壁基板)Wl流體(水)的流動W2流體(水)的流動
權(quán)利要求
1.一種研磨裝置，其利用輸送機(jī)構(gòu)輸送具有撓性的板狀工件，且在該輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行輸 送的輸送中途利用拋光輥研磨所述板狀工件，所述研磨裝置的特征在于，在由所述輸送機(jī)構(gòu)形成的輸送路徑的中途對置配置用于夾持所述板狀工件的一對夾 持輥，利用所述夾持輥沿上下方向傳送所述板狀工件，并且在對置配置的一對所述拋光輥 的彼此之間利用所述拋光輥同時(shí)研磨傳送來的所述板狀工件的兩面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，所述輸送路徑形成為使所述輸送機(jī)構(gòu)沿水平方向輸送所述板狀工件，并且在該輸送路 徑中途的一對所述夾持輥的下方配設(shè)一對所述拋光輥。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的研磨裝置，其特征在于，所述板狀工件在由一對所述夾持輥夾持的狀態(tài)下向下方傳送后向上方傳送，由此利用 一對所述拋光輥同時(shí)研磨兩面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的研磨裝置，其特征在于，在所述輸送路徑中途的上游側(cè)和下游側(cè)的至少兩個(gè)部位分別配設(shè)一對所述夾持輥和 一對所述拋光輥。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的研磨裝置，其特征在于，通過配設(shè)在所述輸送路徑中途的上游側(cè)的一對夾持輥和一對拋光輥，對所述板狀工 件的包括輸送方向一端的局部區(qū)域進(jìn)行研磨，通過配設(shè)在下游側(cè)的一對夾持輥和一對拋光 輥，對處于輸送方向反向狀態(tài)的所述板狀工件的包括未研磨部的區(qū)域進(jìn)行研磨。
6.根據(jù)權(quán)利要求2 5中任一項(xiàng)所述的研磨裝置，其特征在于，所述板狀工件在進(jìn)行由所述輸送機(jī)構(gòu)的沿水平方向的輸送與相對于一對所述拋光輥 的傳送的方向變換時(shí)，在一對所述夾持輥的周邊噴射流體。
7.根據(jù)權(quán)利要求1 6中任一項(xiàng)所述的研磨裝置，其特征在于，所述板狀工件是柔性印制電路板。
8.一種研磨方法，其利用輸送機(jī)構(gòu)輸送具有撓性的板狀工件，且在該輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行輸 送的輸送中途利用拋光輥研磨所述板狀工件，所述研磨方法的特征在于，在由所述輸送機(jī)構(gòu)形成的輸送路徑的中途對置配置用于夾持所述板狀工件的一對夾 持輥，利用所述夾持輥沿上下方向傳送所述板狀工件，并且在對置配置的一對所述拋光輥 的彼此之間利用所述拋光輥同時(shí)研磨傳送來的所述板狀工件的兩面。
全文摘要
本發(fā)明提供一種研磨裝置及研磨方法。所述研磨裝置中，在由輸送具有撓性的板狀工件(P)的多個(gè)輸送輥(6、9)形成的輸送路徑(3A、3B、3C)的中途，對置配置夾持板狀工件(P)的一對夾持輥(12、13)，利用所述夾持輥(12、13)將板狀工件(P)沿上下方向傳送，并且在對置配置的一對拋光輥(14、15)之間利用所述拋光輥(14、15)同時(shí)研磨傳送來的該板狀工件(P)的兩面。
文檔編號B24B29/00GK102046330SQ20098012061
公開日2011年5月4日 申請日期2009年4月2日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月6日
發(fā)明者坂本裕二, 增成誠治, 山本晉宏 申請人:株式會社石井表記