專利名稱：電池鍍膜設(shè)備中石英管的檢測(cè)裝置及其使用方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池鍍膜設(shè)備，尤其涉及其中石英管的檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
PECVD是太陽(yáng)能電池片等離子體化學(xué)沉積鍍膜法的簡(jiǎn)稱，在太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)過(guò) 程中，對(duì)硅片鍍膜是提高太陽(yáng)能吸收效率的關(guān)鍵技術(shù)，根據(jù)硅片的光電轉(zhuǎn)換發(fā)電原理，光線 照射到硅片上存在反射，硅片的光學(xué)損失和復(fù)合損失都會(huì)使太陽(yáng)能電池的輸出低于理想 值，對(duì)硅片表面進(jìn)行鍍膜處理是目前工業(yè)化生產(chǎn)應(yīng)用層面上的成熟技術(shù)，目前，硅片鍍膜多 數(shù)采用平板式等離子體化學(xué)沉積法，即通過(guò)PECVD在硅片表面形成一層減反射膜。太陽(yáng)能電池鍍膜設(shè)備的化學(xué)沉積鍍膜原理是在密閉的真空沉積源中裝有多根真 空石英管，在每根真空石英管中放有一根銅管，向沉積源中通入硅烷和氨氣，再通過(guò)電控部 分使真空石英管中的銅管發(fā)射出微波，在高溫條件下，沉積源中的硅烷、氨氣和硅片進(jìn)行反 應(yīng)生成氮化硅，氮化硅會(huì)慢慢沉積在電池片表面上，從而實(shí)現(xiàn)硅片鍍膜。由于氮化硅具有良 好的減反射性能，因此在硅片的吸光面進(jìn)行鍍膜可以大幅度提高太陽(yáng)能電池的吸光效率。由于石英管具有極其穩(wěn)定的物理和化學(xué)性能，其膨脹系數(shù)極小，能夠承受劇烈的 溫度變化，因而被廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能電池鍍膜設(shè)備中。在太陽(yáng)能電池鍍膜設(shè)備中，石英管質(zhì) 量的好壞對(duì)整個(gè)工藝過(guò)程至關(guān)重要，如果石英管存在缺陷，外界氣體就會(huì)進(jìn)入沉積源，會(huì)直 接影響硅烷、氨氣與硅片的反應(yīng)，直接影響硅片的鍍膜的質(zhì)量，甚至?xí)l(fā)爆炸事故，因此， 必須對(duì)太陽(yáng)能電池鍍膜設(shè)備中的石英管進(jìn)行耐壓氣密性檢查。目前，所有太陽(yáng)能電池生產(chǎn) 企業(yè)都沒(méi)有相應(yīng)的自檢裝置，給產(chǎn)品質(zhì)量和操作者的生產(chǎn)安全帶來(lái)極大隱患。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為太陽(yáng)能電池生產(chǎn)企業(yè)提供一種電池鍍膜設(shè)備中石英管的檢測(cè) 裝置及其使用方法，它能對(duì)太陽(yáng)能電池鍍膜設(shè)備中的石英管進(jìn)行耐壓氣密性檢查，能精確 查找石英管是否存在質(zhì)量隱患，避免因石英管質(zhì)量缺陷影響正常的鍍膜生產(chǎn)和質(zhì)量，確保 工作人員和生產(chǎn)設(shè)備的安全。本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是本發(fā)明所述電池鍍膜設(shè)備中石英管的檢測(cè)裝置，其特征是它包括待檢石英管、上 密封塞、下密封塞、真空計(jì)、閥門(mén)、真空泵、通氣管和硅膠密封圈，上密封塞和下密封塞塞裝 在待檢石英管的兩端，使待檢石英管內(nèi)形成密閉容腔，真空計(jì)、閥門(mén)和真空泵三者由通氣管 串接后與待檢石英管內(nèi)的密閉容腔相通。進(jìn)一步，在待檢石英管與上密封塞和下密封塞的密封段設(shè)有硅膠密封圈。具體檢驗(yàn)方法打開(kāi)真空泵，使閥門(mén)處于開(kāi)啟狀態(tài)，由于真空泵不斷工作，使待檢 石英管的密閉容腔內(nèi)真空度不斷提高，當(dāng)真空度達(dá)到預(yù)定值時(shí)，記錄觀察真空計(jì)上的讀數(shù)， 然后關(guān)閉閥門(mén)和真空泵，經(jīng)過(guò)一定時(shí)間的漏氣試驗(yàn)，再次記錄真空計(jì)上的讀數(shù)，將真空計(jì)的 前后讀數(shù)進(jìn)行對(duì)比，若前后一致，則說(shuō)明待檢石英管質(zhì)量可靠，能正常安裝使用，相反，則說(shuō)明待檢石英管存在質(zhì)量隱患，不能使用。由于本發(fā)明能夠模擬真空管的實(shí)際工作受壓狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè)，通過(guò)對(duì)密閉的待檢石 英管進(jìn)行抽真空，經(jīng)過(guò)一定時(shí)間觀察其內(nèi)的真空度是否會(huì)變化，以此來(lái)判定待檢石英管是 否存在質(zhì)量隱患，避免因石英管質(zhì)量缺陷影響正常的鍍膜生產(chǎn)和質(zhì)量，確保工作人員和生 產(chǎn)設(shè)備的安全。


圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為待檢石英管與上密封塞、下密封塞的連接示意圖。圖中1_待檢石英管；2-上密封塞；3-下密封塞；4-真空計(jì)；5-閥門(mén)；6-真空泵； 7-通氣管；8-硅膠密封圈。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明所述電池鍍膜設(shè)備中石英管的檢測(cè)裝置，如圖1、圖2所示，它由待檢石英 管1、上密封塞2、下密封塞3、真空計(jì)4、閥門(mén)5、真空泵6、通氣管7和硅膠密封圈8組成，上 密封塞2和下密封塞3通過(guò)硅膠密封圈8氣密性地塞裝在待檢石英管1的兩端，使待檢石 英管1內(nèi)形成密閉容腔，真空計(jì)4、閥門(mén)5和真空泵6三者由通氣管7串接后與待檢石英管 1內(nèi)的密閉容腔相通。具體檢驗(yàn)方法打開(kāi)真空泵6，使閥門(mén)5處于開(kāi)啟狀態(tài)，由于真空泵6不斷工作，使 待檢石英管1的密閉容腔內(nèi)真空度不斷提高，當(dāng)真空度達(dá)到預(yù)定值時(shí)，記錄觀察真空計(jì)4上 的讀數(shù)，然后關(guān)閉閥門(mén)5，經(jīng)過(guò)10分鐘時(shí)間，再次記錄真空計(jì)4上的讀數(shù)，將真空計(jì)4的前后 讀數(shù)進(jìn)行對(duì)比，若前后一致，則說(shuō)明待檢石英管1質(zhì)量可靠，能正常安裝使用。相反，則說(shuō)明 待檢石英管1存在質(zhì)量隱患，不能使用。
權(quán)利要求
一種電池鍍膜設(shè)備中石英管的檢測(cè)裝置，其特征是它包括待檢石英管(1)、上密封塞(2)、下密封塞(3)、真空計(jì)(4)、閥門(mén)(5)、真空泵(6)、通氣管(7)和硅膠密封圈(8)，上密封塞(2)和下密封塞(3)塞裝在待檢石英管(1)的兩端，使待檢石英管(1)內(nèi)形成密閉容腔，真空計(jì)(4)、閥門(mén)(5)和真空泵(6)三者由通氣管(7)串接后與待檢石英管(1)內(nèi)的密閉容腔相通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述電池鍍膜設(shè)備中石英管的檢測(cè)裝置，其特征是在待檢石英管 (1)與上密封塞(2)和下密封塞(3)的密封段設(shè)有硅膠密封圈(8)。
3.電池鍍膜設(shè)備中石英管的檢測(cè)裝置的使用方法如下打開(kāi)真空泵(6)，使閥門(mén)(5)處于開(kāi)啟狀態(tài)，由于真空泵(6)不斷工作，使待檢石英管 (1)的密閉容腔內(nèi)真空度不斷提高，當(dāng)真空度達(dá)到預(yù)定值時(shí)，記錄觀察真空計(jì)(4)上的讀 數(shù)，然后關(guān)閉閥門(mén)(5)和真空泵(6)，經(jīng)過(guò)一定時(shí)間的漏氣試驗(yàn)，再次記錄真空計(jì)(4)上的讀 數(shù)，將真空計(jì)(4)的前后讀數(shù)進(jìn)行對(duì)比，若前后一致，則說(shuō)明待檢石英管(1)質(zhì)量可靠，能正 常安裝使用，相反，則說(shuō)明待檢石英管(1)存在質(zhì)量隱患，不能使用。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種電池鍍膜設(shè)備中石英管的檢測(cè)裝置及其使用方法，它包括待檢石英管、上密封塞、下密封塞、真空計(jì)、閥門(mén)、真空泵、通氣管和硅膠密封圈，上密封塞和下密封塞塞裝在待檢石英管的兩端，使待檢石英管內(nèi)形成密閉容腔，真空計(jì)、閥門(mén)和真空泵三者由通氣管串接后與待檢石英管內(nèi)的密閉容腔相通。使用本發(fā)明能對(duì)太陽(yáng)能電池鍍膜設(shè)備中的石英管進(jìn)行耐壓氣密性檢查，能準(zhǔn)確可靠地判定待檢石英管是否存在質(zhì)量隱患，避免因石英管質(zhì)量缺陷影響正常的鍍膜生產(chǎn)和質(zhì)量，確保工作人員和生產(chǎn)設(shè)備的安全。
文檔編號(hào)C23C16/513GK101876580SQ201010134709
公開(kāi)日2010年11月3日 申請(qǐng)日期2010年3月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月19日
發(fā)明者姚偉忠 申請(qǐng)人:常州億晶光電科技有限公司