專利名稱：硅錠的拋光方法、系統(tǒng)及拋光板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及太陽能電池用硅片的制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種硅錠的拋光方法、系統(tǒng)及拋光板。
背景技術(shù)：
新能源和可再生能源是21世紀(jì)世界經(jīng)濟(jì)發(fā)展中最具決定性影響的技術(shù)領(lǐng)域之 一。光伏電池是一種重要的可再生能源，既可作為獨(dú)立能源，亦可實(shí)現(xiàn)并網(wǎng)發(fā)電，而且是零 污染排放。硅太陽能電池由于成本原因，最初只能用于空間，但是隨著技術(shù)發(fā)展和工藝成 熟，應(yīng)用也逐步擴(kuò)大。面對(duì)今天的能源供應(yīng)狀況和日益嚴(yán)重的環(huán)境污染，硅太陽能電池更是 得到了更廣泛的使用。硅太陽能電池用硅片的制造工序主要包括單晶或多晶錠一切方一拋光或者酸腐 蝕一線切片一清洗等步驟。其中，拋光或者酸腐蝕的作用是減少方形硅錠表面的機(jī)械損傷 層，從而可以減少切片時(shí)硅片邊緣崩邊，提高成品率。如果采用酸腐蝕的方式，則會(huì)產(chǎn)生大 量含氟的廢酸，不僅會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染，而且還非常難以處理。因此目前主要采用拋光的方 法去除方形硅錠表面的機(jī)械損傷層。目前，主要采用的拋光工藝包括兩種，一種是用金剛石刷進(jìn)行拋光，但是這種工藝 所需的設(shè)備和金剛石刷的價(jià)格非常昂貴。因此為了降低生產(chǎn)成本，提出了另一種拋光方法， 如圖1所示，為現(xiàn)有技術(shù)的拋光方法示意圖，方形硅錠100可以沿水平方向運(yùn)動(dòng)，在方形硅 錠100的上方有帶動(dòng)拋光板300旋轉(zhuǎn)的傳動(dòng)桿200，并且傳動(dòng)桿200會(huì)產(chǎn)生一定的向下壓 力，通過旋轉(zhuǎn)力和壓力提高拋光能力，從而可以避免使用價(jià)格昂貴的金剛石刷。現(xiàn)有的拋光 板300包括上部的支撐板310和下部的拋光布320，其中拋光布320可以由尼龍制造，因此 現(xiàn)有技術(shù)可以大大地降低生產(chǎn)成本?，F(xiàn)有技術(shù)存在的缺點(diǎn)是，采用尼龍拋光布雖然可以大大地降低成本，但是拋光效 果并不好，不能滿足拋光的要求，因此還需要改進(jìn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的旨在至少解決上述技術(shù)缺陷之一，特別是提出一種硅錠的拋光方 法、系統(tǒng)及拋光板，不僅能夠降低生產(chǎn)成本，另外還能提高拋光效果。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明一方面提出一種硅錠的拋光方法，包括以下步驟提供硅 錠；移動(dòng)傳動(dòng)桿以使拋光板與所述硅錠的上表面接觸，并通過所述傳動(dòng)桿施加預(yù)設(shè)的壓力， 其中，所述拋光板具有至少一個(gè)用于拋光液導(dǎo)入的導(dǎo)入孔和與所述導(dǎo)入孔相連的至少一個(gè) 導(dǎo)流槽；將拋光液導(dǎo)入到所述拋光板的導(dǎo)入孔中，所述拋光液通過所述導(dǎo)入孔和導(dǎo)流槽流 入所述拋光板的拋光布與硅錠的拋光界面；和水平移動(dòng)所述硅錠并旋轉(zhuǎn)所述傳動(dòng)桿以對(duì)所 述硅錠的上表面進(jìn)行拋光。本發(fā)明另一方面還提出了一種硅錠的拋光系統(tǒng)，包括承載裝置，用于承載硅錠， 并可水平移動(dòng)；用于對(duì)所述硅錠進(jìn)行拋光的拋光板，其中，所述拋光板具有至少一個(gè)用于拋光液導(dǎo)入的導(dǎo)入孔和與所述導(dǎo)入孔相連的至少一個(gè)導(dǎo)流槽；旋轉(zhuǎn)伸縮裝置，用于移動(dòng)與 所述拋光板相連接的傳動(dòng)桿以使所述拋光板與所述硅錠的上表面接觸，并通過所述傳動(dòng)桿 對(duì)所述拋光板施加預(yù)設(shè)的壓力，以及在拋光所述硅錠時(shí)旋轉(zhuǎn)所述傳動(dòng)桿以使所述拋光板旋 轉(zhuǎn)；和供液裝置，用于將拋光液導(dǎo)入到所述拋光板的導(dǎo)入孔中，所述拋光液通過所述導(dǎo)入孔 和所述導(dǎo)流槽流入所述拋光板的拋光布與硅錠的拋光界面。 本發(fā)明采用濕法拋光技術(shù)對(duì)硅錠進(jìn)行拋光，可以增加拋光去除量，改善硅錠的表 面損傷層，因此本發(fā)明不僅能夠降低生產(chǎn)成本，還能提高拋光效果，通過本發(fā)明提出的方法 和系統(tǒng)進(jìn)行拋光的效果比用金剛石刷進(jìn)行拋光的效果更好。本發(fā)明再一方面還提出了 一種拋光板，包括支撐板，所述支撐板上具有至少一個(gè) 第一導(dǎo)入孔，傳動(dòng)桿與所述支撐板的中心點(diǎn)相連；和拋光布，所述拋光布與所述支撐板相連 接，用于對(duì)硅錠進(jìn)行拋光，其中，所述拋光布具有第二導(dǎo)入孔，所述第二導(dǎo)入孔與所述支撐 板的第一導(dǎo)入孔對(duì)應(yīng)；以及至少一個(gè)第一導(dǎo)流槽，所述至少一個(gè)第一導(dǎo)流槽與所述第二導(dǎo) 入孔相連通。通過本發(fā)明實(shí)施例提出的拋光板可以將拋光液導(dǎo)入到拋光布與硅錠的拋光界 面，改善拋光效果，并且本發(fā)明實(shí)施例的拋光布可以采用尼龍材料，因此可以大大地降低生 產(chǎn)成本。本發(fā)明附加的方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變 得明顯，或通過本發(fā)明的實(shí)踐了解到。


本發(fā)明上述的和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從下面結(jié)合附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變 得明顯和容易理解，其中圖1為現(xiàn)有技術(shù)的硅錠拋光方法示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例的硅錠濕法拋光方法流程圖；圖3為本發(fā)明實(shí)施例的硅錠濕法拋光系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖；圖4-7分別為本發(fā)明實(shí)施例拋光板的立體圖、俯視圖、仰視圖和側(cè)視圖。
具體實(shí)施例方式下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終 相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附 圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能解釋為對(duì)本發(fā)明的限制。下文的公開提供了許多不同的實(shí)施例或例子用來實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的不同結(jié)構(gòu)。為了簡 化本發(fā)明的公開，下文中對(duì)特定例子的部件和設(shè)置進(jìn)行描述。當(dāng)然，它們僅僅為示例，并且 目的不在于限制本發(fā)明。此外，本發(fā)明可以在不同例子中重復(fù)參考數(shù)字和/或字母。這種重 復(fù)是為了簡化和清楚的目的，其本身不指示所討論各種實(shí)施例和/或設(shè)置之間的關(guān)系。此 夕卜，本發(fā)明提供了的各種特定的工藝和材料的例子，但是本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以意識(shí)到 其他工藝的可應(yīng)用于性和/或其他材料的使用。另外，以下描述的第一特征在第二特征之 “上”的結(jié)構(gòu)可以包括第一和第二特征形成為直接接觸的實(shí)施例，也可以包括另外的特征形 成在第一和第二特征之間的實(shí)施例，這樣第一和第二特征可能不是直接接觸。本發(fā)明采用濕法拋光技術(shù)對(duì)硅錠進(jìn)行拋光，可以增加拋光去除量，改善硅錠的表面損傷層，因此本發(fā)明不僅能夠降低生產(chǎn)成本，還能提高拋光效果，通過本發(fā)明提出的方法 和系統(tǒng)進(jìn)行拋光的效果比用金剛石刷進(jìn)行拋光的效果更好。如圖2所示，為本發(fā)明實(shí)施例的硅錠濕法拋光方法流程圖，包括以下步驟步驟S201，提供硅錠，例如方形硅錠，當(dāng)然其他形狀的硅錠也可應(yīng)用在本發(fā)明中。步驟S202，移動(dòng)傳動(dòng)桿以使拋光板與硅錠的上表面接觸，并通過傳動(dòng)桿施加預(yù)設(shè) 的壓力。在本發(fā)明實(shí)施例中，拋光板具有至少一個(gè)用于拋光液導(dǎo)入的導(dǎo)入孔和與拋光液導(dǎo) 入孔相連的至少一個(gè)導(dǎo)流槽，從而可以使拋光液通過導(dǎo)入孔和導(dǎo)流槽流入拋光布與硅錠的 拋光界面，改善拋光效果。其中，本發(fā)明的拋光板可采用尼龍材料的拋光布，因此可以大大 地降低生產(chǎn)成本。步驟S203，將拋光液導(dǎo)入到拋光板的導(dǎo)入孔中。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，拋光液 可包括二氧化硅(SiO2)顆粒和堿性水溶液，其中，二氧化硅顆粒的大小可為約70-1100nm， 通過本發(fā)明的拋光液可有效地提高拋光效果。步驟S204，水平移動(dòng)硅錠并旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)桿以對(duì)硅錠的上表面進(jìn)行拋光。經(jīng)實(shí)際檢驗(yàn)， 通過本發(fā)明提出的拋光方法進(jìn)行拋光的效果與用金剛石刷進(jìn)行拋光的效果更好，因此本發(fā) 明不僅能夠降低生產(chǎn)成本，還能有比較好的拋光效果。步驟S205，對(duì)拋光液進(jìn)行收集回收，進(jìn)行處理(例如過濾等)后循環(huán)導(dǎo)入到拋光板 的導(dǎo)入孔中，從而可以形成閉路循環(huán)，進(jìn)一步降低生產(chǎn)成本，另外循環(huán)使用拋光液還可減少 環(huán)境污染等問題。為了使本領(lǐng)域技術(shù)人員對(duì)上述方法有更清楚的認(rèn)識(shí)，本發(fā)明還提出了一種適用于 上述方法的拋光系統(tǒng)，但是需要說明的是本領(lǐng)域技術(shù)人員還可根據(jù)本發(fā)明的上述方法提出 其他拋光系統(tǒng)，或者對(duì)本發(fā)明的以下拋光系統(tǒng)進(jìn)行修改和改進(jìn)，在不脫離本發(fā)明上述方法 主要思想的范圍內(nèi)，這些均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。如圖3所示，為本發(fā)明實(shí)施例的硅錠濕法拋光系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。該濕法拋光系統(tǒng)包括 用于承載硅錠400的可水平移動(dòng)的承載裝置410、用于對(duì)硅錠400進(jìn)行拋光的拋光板460、 旋轉(zhuǎn)伸縮裝置440和供液裝置420。其中，拋光板460具有至少一個(gè)用于拋光液導(dǎo)入的導(dǎo)入 孔和與導(dǎo)入孔相連的至少一個(gè)導(dǎo)流槽，供液裝置420將拋光液導(dǎo)入到所述拋光板的導(dǎo)入孔 中，使得拋光液通過導(dǎo)入孔和導(dǎo)流槽流入拋光板460的拋光布與硅錠400的拋光界面。在 對(duì)硅錠400進(jìn)行拋光時(shí)，旋轉(zhuǎn)伸縮裝置440移動(dòng)與拋光板460相連接的傳動(dòng)桿450以使拋 光板460與硅錠400的上表面接觸，并通過傳動(dòng)桿450對(duì)拋光板460施加預(yù)設(shè)的壓力，并 且旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)桿450以使拋光板460旋轉(zhuǎn)。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，拋光板460包括支撐 板和與固定在支撐板之上的拋光布，其中，拋光布可由尼龍材料構(gòu)成，因此可以大大地降低 生產(chǎn)成本。在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中，拋光液可包括堿性水溶液和二氧化硅顆粒，例如 70-1100nm的二氧化硅顆粒，通過本發(fā)明的拋光液可有效地提高拋光效果。優(yōu)選地，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，該濕法拋光系統(tǒng)還可包括回收循環(huán)裝置430， 用于對(duì)拋光液進(jìn)行收集回收，并將處理后的拋光液提供到供液裝置420中，從而可以形成 閉路循環(huán)，不僅能夠進(jìn)一步降低生產(chǎn)成本，而且循環(huán)使用拋光液還可減少環(huán)境污染等問題。本發(fā)明還提出了一種拋光板，該拋光板包括支撐板和與支撐板相連接的拋光布， 在本發(fā)明中由于拋光布可由尼龍材料構(gòu)成，因此可以大大地降低生產(chǎn)成本。其中，支撐板上 具有至少一個(gè)第一導(dǎo)入孔，傳動(dòng)桿與支撐板的中心點(diǎn)相連，拋光布具有與支撐板的第一導(dǎo)入孔對(duì)應(yīng)的第二導(dǎo)入孔和與第二導(dǎo)入孔相連通的至少一個(gè)第一導(dǎo)流槽。這樣，拋光液進(jìn)入 第一導(dǎo)入孔后會(huì)通過第二導(dǎo)入孔流入到各個(gè)第一導(dǎo)流槽中，從而可以使得拋光液流入拋光 布與硅錠的拋光界面，提高拋光效果。具體地，本發(fā)明提出了一種拋光板的實(shí)例圖，如圖4-7所示，分別為本發(fā)明實(shí)施例 拋光板的立體圖、俯視圖、仰視圖和側(cè)視圖。需要說明的是，該實(shí)施例為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施 例方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠根據(jù)上述提到的拋光板的特點(diǎn)對(duì)以下實(shí)施例做出等同的修改 或替換，例如導(dǎo)入孔的位置和數(shù)量，導(dǎo)流槽的位置、數(shù)量、形狀和深度等，這些修改或替換均 應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。為了便于圖示說明，在該圖4中拋光布120粘接在支撐 板110之上，但是在實(shí)際拋光過程中拋光布120在支撐板110之下與硅錠的上表面接觸。 如圖4-7所示，拋光板包括支撐板110和與支撐板110相連接(例如粘接)的拋光布120， 支撐板110的中心與傳動(dòng)桿450相連接，當(dāng)然本領(lǐng)域技術(shù)人員也可選擇支撐板110的其他 位置與傳動(dòng)桿450相連接，但優(yōu)選為支撐板110的中心。其中支撐板110的中心可與傳動(dòng) 桿450以任意可能的方式相連接，例如焊接、鉚接等固定方式連接，但是優(yōu)選地，如圖4和 圖5，可在支撐板110的中心設(shè)有帶螺紋的螺孔140，傳動(dòng)桿450的一端帶有螺紋以與螺孔 140螺紋連接，這樣可以使拋光板很容易地從傳動(dòng)桿450上卸下，從而便于清理舊的拋光布 并安裝新的拋光布，當(dāng)然本領(lǐng)域技術(shù)人員也可選擇其他方式使得傳動(dòng)桿450與支撐板110 的中心可拆卸地連接。在圖4和圖5的實(shí)施例中，支撐板110通過多個(gè)連接臂150與螺孔 140相連接，在各個(gè)連接臂150之間形成有第一導(dǎo)入孔130，當(dāng)然本領(lǐng)域技術(shù)人員也可選擇 其他方式使得支撐板110與螺孔140相連接。同樣在拋光布120上與第一導(dǎo)入孔130對(duì)應(yīng) 的位置也形成有相應(yīng)的第二導(dǎo)入孔，由于第一導(dǎo)入孔和第二導(dǎo)入孔處于相同的位置，因此 第一導(dǎo)入孔和第二導(dǎo)入孔均采用同樣的標(biāo)號(hào)130。在拋光布120上還包括多個(gè)與第二導(dǎo)入 孔130相連通的第一導(dǎo)流槽160，該第一導(dǎo)流槽160以第二導(dǎo)入孔130為中心向拋光布120 的四周發(fā)散，優(yōu)選地，各個(gè)第一導(dǎo)流槽160在拋光布120上等距離分布，雖然在圖示中為6 個(gè)第一導(dǎo)流槽160，但本領(lǐng)域技術(shù)人員也可以增加或減少第一導(dǎo)流槽160的數(shù)量，這樣拋光 液會(huì)通過第二導(dǎo)入孔130流入到各個(gè)第一導(dǎo)流槽160中，從而可以使得拋光液流入拋光布 120與硅錠的拋光界面，提高拋光效果。為了進(jìn)一步提高拋光效果，在拋光布120上還可包 括至少一個(gè)沿著周向延伸的第二導(dǎo)流槽70，以連接第一導(dǎo)流槽160的至少一部分，從而可 以使拋光液更均勻的分布在拋光界面上，提高拋光效果。本發(fā)明采用濕法拋光技術(shù)對(duì)硅錠進(jìn)行拋光，可以增加拋光去除量，改善硅錠的表 面損傷層，因此本發(fā)明不僅能夠降低生產(chǎn)成本，還能提高拋光效果，實(shí)驗(yàn)證明通過本發(fā)明提 出的方法和系統(tǒng)進(jìn)行拋光的效果比用金剛石刷進(jìn)行拋光的效果更好。盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以 理解在不脫離本發(fā)明的原理和精神的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換 和變型，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求及其等同限定。
權(quán)利要求
一種硅錠的拋光方法，其特征在于，包括以下步驟提供硅錠；移動(dòng)傳動(dòng)桿以使拋光板與所述硅錠的上表面接觸，并通過所述傳動(dòng)桿施加預(yù)設(shè)的壓力，其中，所述拋光板具有至少一個(gè)用于拋光液導(dǎo)入的導(dǎo)入孔和與所述導(dǎo)入孔相連的至少一個(gè)導(dǎo)流槽；將拋光液導(dǎo)入到所述拋光板的導(dǎo)入孔中，所述拋光液通過所述導(dǎo)入孔和導(dǎo)流槽流入所述拋光板的拋光布與硅錠的拋光界面；和水平移動(dòng)所述硅錠并旋轉(zhuǎn)所述傳動(dòng)桿以對(duì)所述硅錠的上表面進(jìn)行拋光。
2.如權(quán)利要求1所述的硅錠的拋光方法，其特征在于，還包括 對(duì)拋光液進(jìn)行收集回收，處理后循環(huán)導(dǎo)入到所述拋光板的導(dǎo)入孔中。
3.如權(quán)利要求1或2所述的硅錠的拋光方法，其特征在于，所述拋光液包括二氧化硅顆 粒和堿性水溶液。
4.如權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的硅錠的拋光方法，其特征在于，所述拋光布由尼龍材 料構(gòu)成。
5.一種硅錠的拋光系統(tǒng)，其特征在于，包括 承載裝置，用于承載硅錠，并可水平移動(dòng)；用于對(duì)所述硅錠進(jìn)行拋光的拋光板，其中，所述拋光板具有至少一個(gè)用于拋光液導(dǎo)入 的導(dǎo)入孔和與所述導(dǎo)入孔相連的至少一個(gè)導(dǎo)流槽；旋轉(zhuǎn)伸縮裝置，用于移動(dòng)與所述拋光板相連接的傳動(dòng)桿以使所述拋光板與所述硅錠的 上表面接觸，并通過所述傳動(dòng)桿對(duì)所述拋光板施加預(yù)設(shè)的壓力，以及在拋光所述硅錠時(shí)旋 轉(zhuǎn)所述傳動(dòng)桿以使所述拋光板旋轉(zhuǎn)；和供液裝置，用于將拋光液導(dǎo)入到所述拋光板的導(dǎo)入孔中，所述拋光液通過所述導(dǎo)入孔 和所述導(dǎo)流槽流入所述拋光板的拋光布與硅錠的拋光界面。
6.如權(quán)利要求5所述的硅錠的拋光系統(tǒng)，其特征在于，還包括回收循環(huán)裝置，用于對(duì)拋光液進(jìn)行收集回收，并將處理后的拋光液提供到所述供液裝 置中。
7.如權(quán)利要求5所述的硅錠的拋光系統(tǒng)，其特征在于，所述拋光液包括二氧化硅顆粒 和堿性水溶液。
8.如權(quán)利要求7所述的硅錠的拋光系統(tǒng)，其特征在于，所述拋光板包括支撐板和與固 定在所述支撐板之上的拋光布，其中，所述支撐板上具有至少一個(gè)第一導(dǎo)入孔，所述拋光布 具有與所述支撐板的第一導(dǎo)入孔對(duì)應(yīng)的第二導(dǎo)入孔，和與所述第二導(dǎo)入孔相連通的至少一個(gè)第一導(dǎo)流槽。
9.如權(quán)利要求8所述的硅錠的拋光系統(tǒng)，其特征在于，所述第一導(dǎo)入孔和第二導(dǎo)入孔 均位于所述拋光布的中心，所述第一導(dǎo)流槽以所述第二導(dǎo)入孔為中心向所述拋光布的四周發(fā)散。
10.如權(quán)利要求9所述的硅錠的拋光系統(tǒng)，其特征在于，所述拋光布還包括至少一個(gè)沿 著周向延伸的第二導(dǎo)流槽，以連通所述第一導(dǎo)流槽的至少一部分。
11.如權(quán)利要求5-10任一項(xiàng)所述的硅錠的拋光系統(tǒng)，其特征在于，所述拋光布由尼龍 材料構(gòu)成。
12.一種拋光板，其特征在于，包括支撐板，所述支撐板上具有至少一個(gè)第一導(dǎo)入孔，傳動(dòng)桿與所述支撐板的中心點(diǎn)相連；和拋光布，所述拋光布與所述支撐板相連接，用于對(duì)硅錠進(jìn)行拋光，其中，所述拋光布具有第二導(dǎo)入孔，所述第二導(dǎo)入孔與所述支撐板的第一導(dǎo)入孔對(duì)應(yīng)；以及 至少一個(gè)第一導(dǎo)流槽，所述至少一個(gè)第一導(dǎo)流槽與所述第二導(dǎo)入孔相連通。
13.如權(quán)利要求12所述的拋光板，其特征在于，所述第二導(dǎo)入孔位于所述拋光布的中 心，所述第一導(dǎo)流槽以所述第二導(dǎo)入孔為中心向所述拋光布的四周發(fā)散。
14.如權(quán)利要求13所述的拋光板，其特征在于，所述拋光布還包括至少一個(gè)沿著周向 延伸的第二導(dǎo)流槽，以連接所述第一導(dǎo)流槽的至少一部分。
15.如權(quán)利要求12-14任一項(xiàng)所述的拋光板，其特征在于，所述拋光布由尼龍材料構(gòu)成。
全文摘要
本發(fā)明提出一種硅錠的拋光方法，包括以下步驟提供硅錠；移動(dòng)傳動(dòng)桿以使拋光板與所述硅錠的上表面接觸，并通過所述傳動(dòng)桿施加預(yù)設(shè)的壓力，其中，所述拋光板具有至少一個(gè)用于拋光液導(dǎo)入的導(dǎo)入孔和與所述導(dǎo)入孔相連的至少一個(gè)導(dǎo)流槽；將拋光液導(dǎo)入到所述拋光板的導(dǎo)入孔中，所述拋光液通過所述導(dǎo)入孔和導(dǎo)流槽流入所述拋光板的拋光布與硅錠的拋光界面；和水平移動(dòng)所述硅錠并旋轉(zhuǎn)所述傳動(dòng)桿以對(duì)所述硅錠的上表面進(jìn)行拋光。本發(fā)明采用濕法拋光技術(shù)對(duì)硅錠進(jìn)行拋光，可以增加拋光去除量，改善硅錠的表面損傷層，因此本發(fā)明不僅能夠降低生產(chǎn)成本，還能提高拋光效果。
文檔編號(hào)B24B29/00GK101817160SQ20101014726
公開日2010年9月1日 申請(qǐng)日期2010年4月13日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月13日
發(fā)明者王敬 申請(qǐng)人:王敬