專利名稱：刀座端面修整裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成電路封裝設(shè)備制作領(lǐng)域，尤其涉及一種用于對(duì)安裝在切割機(jī)的主軸上的刀座端面進(jìn)行修整的刀座端面修整裝置。
背景技術(shù)：
切割機(jī)是將晶圓分割成電路單元的設(shè)備，是半導(dǎo)體后封裝關(guān)鍵設(shè)備。切割機(jī)的工作機(jī)理是強(qiáng)力磨削，主軸是強(qiáng)力磨削的執(zhí)行部件。由于晶圓切割要求主軸高轉(zhuǎn)速、高精度及高穩(wěn)定性，通常采用空氣靜壓電主軸，并且要求主軸刀座端面跳動(dòng)在2μπι以下。為了保證主軸端面跳動(dòng)精度，通常是在加工階段采用平面磨床對(duì)刀座端面進(jìn)行磨削加工，并在研磨板上手工研磨刀座端面，使其跳動(dòng)在2 μ m以下。然而由于存在裝配誤差，導(dǎo)致刀座裝夾到主軸上后，其端面跳動(dòng)導(dǎo)致加工精度難以保證。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述問題，本發(fā)明的目的是提供一種刀座端面修整裝置，通過消除刀座端面與切割機(jī)的主軸的裝配誤差，保證最終刀座端面跳動(dòng)精度。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種刀座端面修整裝置，用于對(duì)安裝在切割機(jī)的主軸6上的刀座端面5進(jìn)行修整，包括固定部件、固定于所述固定部件上的修刀板4和控制部件，其中所述控制部件，用于在所述主軸旋轉(zhuǎn)時(shí)，控制修刀板4在垂直于所述主軸6的軸心的X方向做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，對(duì)所述刀座端面5進(jìn)行修整。優(yōu)選的，所述控制部件還用于控制所述主軸6在軸心方向進(jìn)行步進(jìn)運(yùn)動(dòng)，以調(diào)整所述刀座端面5的修整量。優(yōu)選的，所述固定部件包括吸盤1、吸附板2和壓墊3，其中所述修刀板4通過所述壓墊3固定在所述吸附板2，所述吸附板2通過真空負(fù)壓固定在所述吸盤1表面。由上述技術(shù)方案可知，通過刀座端面修整裝置中的控制部件控制修刀板在垂直于切割機(jī)的主軸的軸心的X方向做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，在切割機(jī)的主軸高速旋轉(zhuǎn)情況下對(duì)刀座端面進(jìn)行修整，因此可以消除刀座與主軸的裝配誤差，保證最終刀座端面跳動(dòng)精度。


圖1為本發(fā)明的實(shí)施例中刀座端面修整裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式為了使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，下面結(jié)合實(shí)施例和附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例做進(jìn)一步詳細(xì)地說明。在此，本發(fā)明的示意性實(shí)施例及說明用于解釋本發(fā)明，但并不作為對(duì)本發(fā)明的限定。
參見圖1，為本發(fā)明的實(shí)施例中刀座端面修整裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，該刀座端面修整裝置包括固定部件、固定于所述固定部件上的修刀板4和控制部件，其中所述控制部件，用于在所述主軸旋轉(zhuǎn)時(shí)，控制修刀板4在垂直于所述主軸6的軸心的X方向做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，對(duì)所述刀座端面5進(jìn)行修整。在本實(shí)施例中，所述控制部件，還用于控制所述主軸6在軸心方向(即Y方向)進(jìn)行步進(jìn)運(yùn)動(dòng)，以調(diào)整所述刀座端面5的修整量。該控制部件可采用例如單片機(jī)等控制元器件來實(shí)現(xiàn)。上述所述固定部件包括吸盤1、吸附板2和壓墊3，其中所述修刀板4通過所述壓墊3固定在所述吸附板2，所述吸附板2通過真空負(fù)壓固定在所述吸盤1表面。本發(fā)明的技術(shù)方案可消除刀座端面5與切割機(jī)的主軸6的裝配誤差，保證在主軸 6正常工作狀態(tài)下刀座端面5的跳動(dòng)精度，提高切割機(jī)的劃切質(zhì)量。以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以作出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種刀座端面修整裝置，用于對(duì)安裝在切割機(jī)的主軸(6)上的刀座端面(5)進(jìn)行修整，其特征在于，包括固定部件、固定于所述固定部件上的修刀板(4)和控制部件，其中所述控制部件，用于在所述主軸旋轉(zhuǎn)時(shí)，控制修刀板(4)在垂直于所述主軸(6)的軸心的X方向做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，對(duì)所述刀座端面( 進(jìn)行修整。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的刀座端面修整裝置，其特征在于，所述控制部件還用于控制所述主軸(6)在軸心方向進(jìn)行步進(jìn)運(yùn)動(dòng)，以調(diào)整所述刀座端面(5)的修整量。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的刀座端面修整裝置，其特征在于，所述固定部件包括吸盤 (1)、吸附板( 和壓墊(3)，其中所述修刀板(4)通過所述壓墊C3)固定在所述吸附板(2)， 所述吸附板(2)通過真空負(fù)壓固定在所述吸盤(1)表面。
全文摘要
本發(fā)明提供一種刀座端面修整裝置，用于對(duì)安裝在切割機(jī)的主軸(6)上的刀座端面(5)進(jìn)行修整，包括固定部件、固定于所述固定部件上的修刀板(4)和控制部件，其中所述控制部件，用于在所述主軸旋轉(zhuǎn)時(shí)，控制修刀板(4)在垂直于所述主軸(6)的軸心的X方向做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，對(duì)所述刀座端面(5)進(jìn)行修整，通過消除刀座端面與主軸的裝配誤差，保證最終刀座端面跳動(dòng)精度。
文檔編號(hào)B24B7/16GK102343535SQ20101024326
公開日2012年2月8日 申請(qǐng)日期2010年8月2日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月2日
發(fā)明者常亮, 易輝, 李戰(zhàn)偉, 王兵鋒, 王明權(quán), 賈月明 申請(qǐng)人:北京中電科電子裝備有限公司