專利名稱：化學(xué)機械拋光心軸裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及化學(xué)機械拋光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種化學(xué)機械拋光設(shè)備心軸裝置。
背景技術(shù)：
化學(xué)機械拋光(CMP)是一種對半導(dǎo)體材料或是其它類型的材料的襯底進行平坦 化或是拋光的方法。在化學(xué)機械拋光過程中，拋光頭起著拾取硅片和帶動硅片旋轉(zhuǎn)在拋光 墊上進行拋光的作用，硅片拾取和硅片旋轉(zhuǎn)通過硅片運載器(carrier)實現(xiàn)，硅片運載器 與心軸系統(tǒng)上的運載器法蘭盤通過真空固定，硅片拾取和硅片旋轉(zhuǎn)通過心軸系統(tǒng)提供動 力。心軸裝置對運載器(carrier)進行連接、升降、旋轉(zhuǎn)及在拋光過程實現(xiàn)精確心軸力控制 的機構(gòu)。心軸裝置與carrier組成整個拋光頭系統(tǒng)，在功能上具有硅片夾持、下壓力產(chǎn)生、 背壓產(chǎn)生、壓力調(diào)整、旋轉(zhuǎn)、工位傳遞等多種功能。傳統(tǒng)的CMP心軸裝置采用杠桿結(jié)構(gòu)實現(xiàn) 拋光頭的升降，此機構(gòu)的缺點是拋光頭只在杠桿處于水平時才與拋光臺垂直，而在實際拋 光過程中要求拋光頭與拋光臺一直垂直，因此這種傳統(tǒng)依靠杠桿實現(xiàn)的心軸升降裝置要求 零件機械的加工精度、裝配精度很高，并且心軸力精度難以控制。本發(fā)明硅片化學(xué)機械拋光 的心軸裝置因采用四連桿結(jié)構(gòu)可以保證在心軸升降過程中拋光頭與拋光臺一直垂直。在四 連桿結(jié)構(gòu)中安裝壓力傳感器，采用閉環(huán)控制技術(shù)，實現(xiàn)心軸力的精確控制。本裝置中可使用 兩個拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)或多個拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)，具有機構(gòu)緊湊、效率高的優(yōu)點，使用旋轉(zhuǎn) 接頭技術(shù)很好地解決了心軸連續(xù)旋轉(zhuǎn)時的線路間纏繞問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種化學(xué)機械拋光心軸裝置，該裝置可以保證在心軸升降過 程中拋光頭與拋光臺一直垂直，具有結(jié)構(gòu)簡單、心軸力易于控制、加工精度高、工作效率高、 使用方便的特點；用途廣，尤其適用于硅片化學(xué)機械拋光設(shè)備上，也可適用于其它具有與 CMP相似工藝要求的半導(dǎo)體材料或其它類型的材料的加工半設(shè)備上。本發(fā)明裝置的主要技術(shù)方案是一種化學(xué)機械拋光心軸裝置，包括拋光心軸自轉(zhuǎn) 機構(gòu)，其特征在于設(shè)有轉(zhuǎn)塔機構(gòu)，轉(zhuǎn)塔機構(gòu)通過四連桿升降機構(gòu)和拋光主軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)相連， 并設(shè)有硅片吸附機構(gòu)。所述的四連桿升降機構(gòu)的結(jié)構(gòu)可為具有上活動板、下活動板，豎板和拋光主軸自 轉(zhuǎn)機構(gòu)的外殼及轉(zhuǎn)塔機構(gòu)的轉(zhuǎn)動架相鉸聯(lián)；轉(zhuǎn)動架和動力機械傳動裝置相連；上活動板或 下活動板和動力升降器相連。所述的動力升降器為氣囊充放氣式升降器較佳，運動平穩(wěn)，易控制，其較好結(jié)構(gòu) 為固定板固定在轉(zhuǎn)架上設(shè)的豎板上，壓簧和氣囊充放氣機構(gòu)分別固定在固定板的上下面 上，壓簧和氣囊充放氣機構(gòu)的另一端分別與上活動板、下活動板連接。所述的動力升降器也可為活塞式充放氣(油)式升降器、或電機機械式升降器等。所述的四連桿升降機構(gòu)中設(shè)有壓力傳感器a及軸力控制閉環(huán)控制電路較好。
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所述的拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)的較好結(jié)構(gòu)為伺服電機通過減速器和心軸相連，心軸 通過圓錐滾子軸承和心軸套相連。所述的轉(zhuǎn)塔機構(gòu)可設(shè)有1套，或2套或3套以上(含3套)的拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu) 及四連桿升降機構(gòu)；每個四連桿升降機構(gòu)均和轉(zhuǎn)動架相連；和轉(zhuǎn)動架相連的動力機械傳動 裝置采用轉(zhuǎn)塔多層軸系傳動結(jié)構(gòu)。所述的轉(zhuǎn)塔多層軸系傳動結(jié)構(gòu)較好為塔軸外裝有第2套式軸，塔軸通過第1固定 架和第1拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)相連，第1轉(zhuǎn)動架一端和第1拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)相連，另一端通 過軸承與第2套式軸相連；第2套式軸外裝有第3套式軸，第2套式軸通過第2固定架和第 2拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)相連，第2轉(zhuǎn)動架一端和第2拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)相連，另一端通過軸承 與第3套式軸相連或直接與第2套式軸相連。其多層軸系傳動結(jié)構(gòu)可以此類推。硅片吸附及其放置機構(gòu)的結(jié)構(gòu)可為氣路使硅片拋光過程產(chǎn)生區(qū)域背壓；真空實 現(xiàn)運載器法蘭盤與運載器的固定及吸附硅片的功能(可同已有技術(shù))；與轉(zhuǎn)塔機構(gòu)中塔軸 進行連接的三通道旋轉(zhuǎn)接頭將流體用軟管引入轉(zhuǎn)塔，流出轉(zhuǎn)塔的流體經(jīng)管接頭一分為二， 將經(jīng)過轉(zhuǎn)塔的流體用六通道旋轉(zhuǎn)接頭引入兩個拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)，并用軟管經(jīng)拋光心軸自 轉(zhuǎn)機構(gòu)進入運載器，進行流體的控制；實現(xiàn)硅片拋光后從運載器平穩(wěn)、可靠放到卸載臺上。所述的用轉(zhuǎn)塔多層軸系傳動結(jié)構(gòu)采用以下輸電電路結(jié)構(gòu)較好與轉(zhuǎn)塔合作的導(dǎo)電 滑環(huán)，導(dǎo)電滑環(huán)的旋轉(zhuǎn)端固定在固定支架上上，固定支架安裝在塔軸上，塔軸帶動導(dǎo)電滑環(huán) 的旋轉(zhuǎn)端旋轉(zhuǎn)，如上面所述，同時塔軸帶動第一拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)旋轉(zhuǎn)，由此導(dǎo)電滑環(huán)可以 實現(xiàn)將不同的電壓和電信號引入到第1拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)。用拖鏈在第一拋光心軸自轉(zhuǎn)機 構(gòu)和第2拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)建立聯(lián)結(jié)，使得第1拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)通過導(dǎo)電滑環(huán)接收的不 同的電壓和電信號中的被從第一拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)被弓I到第2拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)。本發(fā)明的積極效果是利用該裝置可以有效解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，該裝置 可以保證在心軸升降過程中拋光頭與拋光臺一直垂直，具有結(jié)構(gòu)簡單、心軸力易于控制、加 工精度高、工作效率高、使用方便的特點；可使用兩個拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)或多個拋光心軸自 轉(zhuǎn)機構(gòu)，根據(jù)需要分別使用它們，這樣可以達(dá)到靈活使用、機構(gòu)緊湊、效率高的目的；使用旋 轉(zhuǎn)接頭技術(shù)還可很好地解決了心軸間在連續(xù)旋轉(zhuǎn)時線路間纏繞問題。用途廣，尤其適用于 硅片化學(xué)機械拋光設(shè)備上，也可適用于其它具有與CMP相似工藝要求的半導(dǎo)體材料或其它 類型的材料的加工半設(shè)備上。以下結(jié)合一個較好的實施例及其附圖作詳述，但本實施例不能作為對本發(fā)明的限定。


圖1為本發(fā)明一個較好的實施例心軸裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖1中拋光心軸部分的正視圖。圖3為圖1中四連桿機構(gòu)的三維圖。圖4為圖1中氣囊充放氣機構(gòu)的運動軌跡圖。圖5為圖1中心軸安裝剖面圖。圖6為圖1中轉(zhuǎn)塔的正視圖。圖7為圖1中轉(zhuǎn)塔的剖視圖。
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圖8為圖1中心軸力控制系統(tǒng)框圖。圖9為圖1中心軸力校正三維圖。圖中標(biāo)號說明如下1_運載器(carrier)，2-拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)(為多個時，可分 為第1拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)、第2拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)等)，3-轉(zhuǎn)塔系統(tǒng)，4-六通道旋轉(zhuǎn)接頭， 5-同步帶輪，6-調(diào)節(jié)塊，7-電機(為多個時，可分為第1電機、第2電機等)，8-連桿，9-氣 囊充放氣機構(gòu)，10-心軸套，11-固定板，12-壓簧調(diào)整塊，13-壓簧，14-減速器，15-氣嘴， 16-三通道旋轉(zhuǎn)接頭，17-第1固定架，18-塔軸，19-第1轉(zhuǎn)動架，20-上活動板，21-旋轉(zhuǎn)接 頭法蘭，22-壓力傳感器a，23-接近開關(guān)，24-下活動板，25-鎖母，26-心軸，27-傳感器支 架，28-第2套式軸(或塔中軸)，29-第3套式軸(或塔外軸)，30-基座，31-同步帶，32-氣 缸接頭，33-限位塊支架，34-限位塊，35-伺服電機，36-壓母，37-軸承，38-軸承桿，39-豎 板，40-第2固定架，41-第2轉(zhuǎn)動架，42-壓力傳感器b，43-拋光臺，44-測試安裝板，45-運 載器法蘭盤，46-圓錐滾子軸承，47-密封件，48-鎖母，49-導(dǎo)電滑環(huán)，50-固定支架，51-軸 承A，52-帶輪；圖4中，H2-氣囊充放氣機構(gòu)安裝的最小高度，H3-氣囊充放氣機構(gòu)安裝的 最大高度，X-氣囊充放氣機構(gòu)安裝的中心處的高度，a _氣囊充放氣機構(gòu)傾角的范圍。
具體實施例方式參見圖1 圖9，該較佳實施例中，心軸系統(tǒng)與運載器(carrier) 1組成整個拋光頭 系統(tǒng)，在功能上具有硅片夾持、下壓力產(chǎn)生、背壓產(chǎn)生、壓力調(diào)整、旋轉(zhuǎn)、工位傳遞等多種功 能。心軸裝置包括拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)2和轉(zhuǎn)塔機構(gòu)3。拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)2與承載器1連 接后具有硅片夾持、工位轉(zhuǎn)換、下壓力控制功能。轉(zhuǎn)塔3與兩個拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)2連接后 進行拋光主軸間工位轉(zhuǎn)換，并利用傳感器支架27上的接近開關(guān)23實現(xiàn)精確定位。兩個拋 光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)2通常在在單個方向旋轉(zhuǎn)處理硅片，每個拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)2可以在特定 的拋光臺43獨立的工作。拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)2控制器控制拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)2的旋轉(zhuǎn)、升 降、背壓、保持環(huán)力，拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)2控制器可以通過可編程邏輯控制器PLC實現(xiàn)，運動 控制器與拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)2中的一個固定在一起驅(qū)動兩個拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)2的旋轉(zhuǎn)。 運動控制器獨立地驅(qū)動兩個拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)2，使得兩個拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)2可以獨立 旋轉(zhuǎn)。第1拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)2可以在第2拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)2靜止時旋轉(zhuǎn)，第2拋光心 軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)2可以在第1拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)2靜止時旋轉(zhuǎn)。圖1示出了心軸裝置的結(jié)構(gòu)圖，圖2示出拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)的正視圖，拋光心軸自 轉(zhuǎn)機構(gòu)實現(xiàn)拋光心軸升降、拋光心軸自轉(zhuǎn)。拋光心軸升降拋光心軸的升降通過四連桿機構(gòu)(圖3所示)實現(xiàn)，參見圖2 圖 3，固定板11固定在豎板39上，壓簧13和氣囊充放氣機構(gòu)9分別固定在固定板11的上下 面上，壓簧13和氣囊充放氣機構(gòu)9另一端分別與上活動板20、下活動板24連接，上、下活動 板20、24分別安裝在四連桿機構(gòu)上，四連桿機構(gòu)與心軸26相連，心軸26在壓簧13和氣囊 充放氣機構(gòu)9上保持平衡，通過對氣囊充放氣機構(gòu)9充氣，實現(xiàn)心軸26的上升，通過對氣囊 充放氣機構(gòu)9放氣，實現(xiàn)心軸26的下降，這一過程也實現(xiàn)對心軸力的控制。氣囊充放氣機構(gòu)9結(jié)構(gòu)簡單，由兩塊金屬板扣住橡膠氣囊而成。如果保持氣囊充 放氣機構(gòu)的充氣狀態(tài)，則該氣缸就成了一個氣彈簧。氣囊充放氣機構(gòu)具有以下特性具有 很好的柔性；傾斜提升角度達(dá)30度；同時氣囊充放氣機構(gòu)的行程可以被描述成一個圓周軌跡，這個軌跡不能超過所示傾角a的范圍，傾角a最大值30°，如圖4所示。選用氣囊充 放氣機構(gòu)可以很好解決Carrier在四連桿升降過程中產(chǎn)生橫向偏移問題。拋光主軸自轉(zhuǎn)伺服電機35通過減速器14帶動心軸26旋轉(zhuǎn)，心軸26與圓錐滾子 軸承46安裝如附圖5所示。拋光心軸公轉(zhuǎn)如圖6所示，第1電機7通過同步帶31帶動帶輪52旋轉(zhuǎn)，帶輪52 帶動塔軸18旋轉(zhuǎn)，塔軸18分別通過第1固定架17、第1轉(zhuǎn)動架19帶動第1拋光心軸自轉(zhuǎn) 機構(gòu)2獨立旋轉(zhuǎn)；同理第2電機7通過另一同步帶帶動另一帶輪旋轉(zhuǎn)，另一帶輪帶動第2套 式軸28旋轉(zhuǎn)，第2套式軸28分別通過第2轉(zhuǎn)動架41、第2固定架40帶動第2拋光心軸自 轉(zhuǎn)機構(gòu)2獨立旋轉(zhuǎn)，從而實現(xiàn)兩個拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)2繞轉(zhuǎn)塔3獨立地進行公轉(zhuǎn)。圖8為心軸力控制系統(tǒng)框圖。在該系統(tǒng)中，其任務(wù)是使施加的心軸力等于給定的 心軸力。由壓力傳感器測量的心軸力，把數(shù)據(jù)反饋與給定的心軸力比較，經(jīng)PLC控制器按一 定的規(guī)律計算后，輸出的信號輸入到電氣比例閥閥去控制氣囊充放氣機構(gòu)，從而達(dá)到控制 心軸力的目的。精確心軸力控制通過電氣比例閥精確控制通入到心軸26上的氣囊充放氣機構(gòu)9 內(nèi)部氣壓，從而控制心軸下壓力。在氣囊充放氣機構(gòu)9底部裝有壓力傳感器a22，通過壓力 傳感器a22與電氣比例閥形成閉環(huán)控制，從而提高控制精度。電氣比例閥的校準(zhǔn)根據(jù)下壓力計算出氣囊充放氣機構(gòu)的壓力范圍為0 0. 7Mpa,電氣比例閥的控制信號為4 20mA，將電氣比例閥的輸出端接上氣壓傳感器a22， 設(shè)置輸入4mA對應(yīng)的輸出為0. OOlMpa ；輸入20mA對應(yīng)的氣壓為0. 8Mpa，根據(jù)這兩個值可以 得出電氣比例閥輸入與輸出的關(guān)系。心軸下壓力的校準(zhǔn)從拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)2上卸下carrierl，裝上測試安裝板如 圖9所示，然后將測試安裝板44壓在壓力傳感器b42上，壓力傳感器b42和測試安裝板44 的總高度與carrier相同。根據(jù)前面得到的電氣比例閥輸入與輸出的關(guān)系，從0到0. 8Mpa 之間每隔0. 05Mpa輸入一個氣壓值，從力傳感器b42得到一組壓力值，另外還可以從氣囊充 放氣機構(gòu)9底部的壓力傳感器a22得到一組壓力值，根據(jù)這些數(shù)據(jù)可以得出電氣比例閥的 輸出氣壓與心軸下壓力的關(guān)系和心軸下壓力與氣囊充放氣機構(gòu)9底部壓力傳感器a22測量 值的關(guān)系，根據(jù)這種關(guān)系進行心軸下壓力的校準(zhǔn)。心軸流體控制流體用管接頭與三通道旋轉(zhuǎn)接頭16連接，并經(jīng)三通道旋轉(zhuǎn)接頭16 進入轉(zhuǎn)塔機構(gòu)3的塔軸18內(nèi)的軟管里，從轉(zhuǎn)塔機構(gòu)3塔軸18流出的流體經(jīng)管接頭一分為 二，經(jīng)六通道旋轉(zhuǎn)接頭4引入心軸26軟管里，流體為真空、壓縮空氣、去離子水等，水路、氣 路、真空通過旋轉(zhuǎn)接頭4、心軸26、運載器法蘭盤45與carrier相連，其中4路氮氣產(chǎn)生3 區(qū)域背壓和一路保持環(huán)力，2路真空實現(xiàn)吸附硅片和心軸26與運載器1的固定功能，其中產(chǎn) 生背壓的一路氮氣與吸附硅片的一路真空公用一個通道，由一個電磁閥實現(xiàn)控制。水的流 量通過比例閥控制，壓縮空氣的壓力通過電氣比例閥控制。本實施例中，拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)與承載器組成的系統(tǒng)依靠真空作用帶動硅片升降 及心軸力的調(diào)整，轉(zhuǎn)塔機構(gòu)通過同步帶輪、轉(zhuǎn)動架的作用帶動拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)公轉(zhuǎn)進行 工位轉(zhuǎn)換。在拋光心軸升降機構(gòu)中可選用壓力傳感器，采用閉環(huán)控制技術(shù)，實現(xiàn)心軸力精 確控制。流體通過三通道旋轉(zhuǎn)接頭進入轉(zhuǎn)塔機構(gòu)，從轉(zhuǎn)塔機構(gòu)流出的流體經(jīng)管接頭一分為 二，經(jīng)六通道旋轉(zhuǎn)接頭、心軸、心軸法蘭后與carrier連接，在拋光過程中起到產(chǎn)生背壓、吸附硅片、清洗硅片等作用。轉(zhuǎn)塔的頂部處用于電信號和動力的導(dǎo)電滑環(huán)提供用于輸送電力 (不同電壓)和電信號以通信到拋光主軸控制器和拋光主軸間；可使用旋轉(zhuǎn)接頭、導(dǎo)電滑環(huán) 技術(shù)解決心軸間連續(xù)旋轉(zhuǎn)時的線路間纏繞問題。系統(tǒng)使用兩個拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)或多個拋 光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)，根據(jù)需要分別使用它們，這樣可以達(dá)到靈活使用、機構(gòu)緊湊的目的。
以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精 神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
一種化學(xué)機械拋光心軸裝置，包括拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)(2)，其特征在于設(shè)有轉(zhuǎn)塔機構(gòu)(3)，轉(zhuǎn)塔機構(gòu)(3)通過拋光主軸四連桿升降機構(gòu)和拋光主軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)(2)相連，并設(shè)有硅片吸附機構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機械拋光心軸裝置，其特征在于所述的四連桿升降機構(gòu) 的結(jié)構(gòu)為具有上活動板(20)、下活動板(24)，豎板(39)和拋光主軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)(2)的外殼 及轉(zhuǎn)塔機構(gòu)(3)的轉(zhuǎn)動架相鉸鏈；轉(zhuǎn)動架和動力機械傳動裝置相連；上活動板(20)或下活 動板(24)和動力升降器相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)機械拋光心軸裝置，其特征在于所述的力升降器為氣囊 充放氣式升降器，其結(jié)構(gòu)為固定板(11)固定在轉(zhuǎn)架上設(shè)的豎板(39)上，壓簧(13)和氣囊 充放氣機構(gòu)(9)分別固定在固定板(11)的上下面上，壓簧(13)和氣囊充放氣機構(gòu)(9)的 另一端分別與上活動板(20)、下活動板(24)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的化學(xué)機械拋光心軸裝置，其特征在于所述的四連桿升降機構(gòu) 中設(shè)有壓力傳感器a(22)及軸力控制閉環(huán)控制電路。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機械拋光的心軸裝置，其特征在于所述的拋光心軸自轉(zhuǎn) 機構(gòu)(2)的結(jié)構(gòu)為伺服電機(35)通過減速器(14)和心軸(26)相連，心軸(26)通過圓錐 滾子軸承(46)和心軸套(10)相連。
6.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3、4或5所述的化學(xué)機械拋光心軸裝置，其特征在于所述的轉(zhuǎn)塔 機構(gòu)(3)設(shè)有2套或3套以上的拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)(2)及四連桿升降機構(gòu)；每個四連桿升 降機構(gòu)均和轉(zhuǎn)動架相連；和轉(zhuǎn)動架相連的動力機械傳動裝置采用轉(zhuǎn)塔多層軸系傳動結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的化學(xué)機械拋光的心軸裝置，其特征在于所述的轉(zhuǎn)塔多層軸系 傳動結(jié)構(gòu)為塔軸(18)外裝有第2套式軸(28)，塔軸(18)通過第1固定架(17)和第1拋 光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)(2)相連，第1轉(zhuǎn)動架(19) 一端和第1拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)(2)相連，另一 端通過軸承與第2套式軸(28)相連；第2套式軸(28)外裝有第3套式軸(29)，第2套式 軸(28)通過第2固定架(40)和第2拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)(2)相連，第2轉(zhuǎn)動架(41) 一端和 第2拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)(2)相連，另一端通過軸承與第3套式軸(29)相連或直接與第2套 式軸(28)相連。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種化學(xué)機械拋光心軸裝置，屬于化學(xué)機械拋光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。包括拋光心軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)，最主要特征是轉(zhuǎn)塔機構(gòu)通過四連桿升降機構(gòu)和拋光主軸自轉(zhuǎn)機構(gòu)相連，并設(shè)有硅片吸附機構(gòu)。本發(fā)明可以保證在心軸升降過程中拋光頭與拋光臺一直垂直，具有結(jié)構(gòu)簡單、心軸力易于控制、加工精度高、工作效率高、使用方便的特點；其用途廣，尤其適用于硅片化學(xué)機械拋光設(shè)備上，也可用于其它具有與CMP相似工藝要求的半導(dǎo)體材料或其它類型的材料的加工半設(shè)備上。
文檔編號B24B37/04GK101972983SQ20101024987
公開日2011年2月16日 申請日期2010年8月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月11日
發(fā)明者廖垂鑫, 王東輝, 王偉, 陳威 申請人:中國電子科技集團公司第四十五研究所